characterization of carbon-coated silicon: structural evolution and possible limitations
TRANSCRIPT
�������������� � ��� ������� ���������������� ������� ��� ���� �� ����������
������ ������ ����� ������ � ����� ��� ������� ��!���� "����� #�����$
����������� ���� �� ���� ����� ���� �� ���� ��� � ���� ���� ������� � !���� " ��# $%�� �&� ��' � ( ) � *�)�����#�)#� $ ��)�#��#�+ ��� ,#)#)� ������ �� !����
%������� &' �� ����� ())(* �������� �� ������� ��� &+ ������ �� ())(* �������� (, ������ �� ())(
��������
��� ������� ������ ��� ��� ���������� � � ������� ���� �������� ����� ����! ������ �-��� ��� ������. ����� ����� �������
� � ����!�� ������� !��/ 0� ��� ��� �������!���� ����� ��������� ����!��!.�������!��! ����/ 0� ��� ������ ��� ������ ������� �����!��
!������ ���������� �����! ������� ��������.�1�������/ 2������ �� �1������� ��� ��� ������ ��� �����1 ��� �� ���� � ��� ������� � ��
������ ������ ���������/ 0� �������� � ��- ������ ������ -��� ��������/ 0�������� ���������� -�� ������� � ����� ��� ����!��
�����! ��� 3��� ������� ��������.�1�������/ ��� ������� ��!!��� ���� ��� �������� ������ ����������� ���� ��� ������� ���!�� ����� -������3���
����������� ���-���� �� ���� �� � �1����� ��� �������� ���3����� �� ��� ������� �������� ������/ 0�������� ������� ������ �������� ��� �����
��������� ��� �������� ����!�� �� ��� ��!����� � ��� ����� �������� ��-��� ��� ��.� ��� �.����������/ 4�������� � ��� ��������
���3����� -�� ���� �� ��� ����� ������ ������� ��������.�1������� -��� ��� ������� ������� ���-�� ��� ���������� � ��� %�������
����/
� ())( 4������� ������� 5/6/ 7�� ��!��� ��������/
$��-���. ������* 2������ ������* 7��� ��������* 0�������� ����������
� ���� ������
����� ��� �- ���� �� !���� � ������������ � !�������
����� �� 205/ 8�� �1����� !��� �� ��� �������� �������
��������� ����� �� 2�92�&.:��,.:;8' 9&;/ 5������ � ���
������� ����� ��-��� ��� �����! ���� �� ���� �������� ���
��� 2�� ��� �� �������� �1������� ������ ����� ��� ��������� ������/<-����� ��� � ����� ������������ ��!���������
-��!��� ���� ��������� ���� � �������� � &,) �7�.! � ����/
8� ��� ���� �1������ ��� ��� �������� ��� ��� ������ ������
���3��� �-�!���� 000� 06� ���6� ���������� �� ��� ���
� ����� ����� ��� 1����/ 0� ������� � ��� ���������
�������� ���������� ����� ������ ���� ���� ��!� ����������
���������� � ��� ���� � ,))='))) �7�.! >�� ��� ���� � ��?
-��� �����! ��� ����� 2�/">��������� / � &�'?/ <-�������� � ��� ����� ����!� ��� ��� ����� ��������� � ���
����� ������ � ���� ���������� ���� ���� �� ���
�������� ��� � ��������� ������/ 0� ����� �� ���� �����!
��� 3��� 2�� ��������� ��� ������� � ��� ����������! ����
�������� �� ������ � ����� ��������/ @������� ���� ��-���
����� �- �1������ ��� �- �� ��� ����� �� ��� ���� ��
��������� ������� �� ��������/�����! ���2�� ��������� �������� � !������� ����!�� ���!����� �������! ��� ���������
��� ����� ��� �������� � ������/ ���� ��� ���������� ���!
����� ��������� !���� � ����� ��� ���� �����/ ��� ���
����� �� ��� ��� ����� � �����.����� ����� ���� ����������
��������� ����� � ��!�� �� ��� ��� ����� � ��� �����
������ � ��� ������ ��������� ��� ��� ����� -���� ����
��� ��������� >������� ��� �.!�������?/ � ������ ���� �
�������� ������� ������ -��� ������/ 8�� � ���� �� �
��� ��������� ��������� > ������ ������� ������ � ��/<�
����� � �����? 9(�:;/ 7� ���� ���- ��� � ���� ����� ��
���� �� 3��� !���� ����� ������ � ������� ��������� ���
������ ��� ����� ��������� ���� � ���� ��!� ������� ����!��
���� ����� � ���� ���� ��� �� �� ���3���� � �������� ����
�������� �� ��� ��� � �����1/ %�������� � ��- ����� ���
��� ������A��� �� ���� ������� � ����� �����������
9';/ 0� ����� ���� ���� ������B�� ����� �� ���� �� � ���� ���
���- ���� � ��� 3��������/ 0� ���� � B������ ������ �� ��
������! � �� �������� ��1���� � ��� ����� �������� >��
�1����� C ��(? -��� �� � C ��1�� -��� ��� ����������
D����� � C-�� ������ &&' >()):? EE=F,
$ ����������! �����/ ��1/G �E&�F,(�(E�E,F&/0��� � �������. ����H���/��/��!���/��/�� >"/ #���?/
):+E�++,:.)(.I = ��� ���� ������ � ())( 4������� ������� 5/6/ 7�� ��!��� ��������/
C00G � ) : + E � + + , : > ) ( ? ) ) , : : � ,
����� � ��� �.!�������/ ����� ��� ������� � ��� �����
�������� �� �����! ����� �� ��� ��� � �����1� ���� ��� ��������
�� ����� �� ��� ��� � ��������!.��������! ����� ����
������! ��� �� ���� � ��!� ������� ����!� >�������!? � ���
���������� ����������������������/ ���� ������ ����� �
� �������! �� ��� ���� �� ���- ��� ��!�� � ��� ��
�������� ����� � ��� �������/ ���� �� -�� -� ���� ������ �
��� � �����! �� � ����� � ���� ��� ������ ��������� �-��
� ���� ���� ���� �������! ������ �� ������! ����������/
���� ����� -�� ������� � ���� � ��� ������� !��������
�����! ����� ����� ������! ���������� ���� ��� ������� ��
�� �� ��������� ��� ������������ ���� ���� �������
9,;/ 0� �������� �� �� ����������� ������ �� ��� ���� �
������� � � ���!������� ��������/
0� ���� ������ -� �������� �� ������� -�� 9J;/ K�
���� ��-� ���� ��� ���������� � ���� � �������� ��
����!�� ��������� � ��� ���� ��������/ <��� ��� �������
��L� ��������� ���� ��� ������� �������!����/ ��� ���������
�������� ���3������ �� ������� ������� �������� ������ ����
��� ��������� ��� ��� ��������� � ��� �������� �����!
-�� ��!!�����/ ��� ���� �� ���������� �� ��� ���������� �
���� ���� � ���� ���� ��� ��� ��!!�����/
� ������������
��� ������� ������ -�� �������� � ��� "����� ���
�/ >D����? ��� ���� -����� ��� ������� ���������/ ����
�������� ��� ��� ���-��! ���������������G ���� �������� ���
� &E ��� ������! ������� � )/F !.��:� �����3� ������� ����� (/E �(.!� ��������� � ��� ��� � ����� � &/(, ��� ��� �������� � ����� ��� � () -�/M/ 0� -����1�� -��� &) -�/M
C6�� ������ ���"C��������� � � ����� ��� � ���������
���� -����� � � ��������� ������/ 0� -�� ���� ����� �� &,) ���� : ��� ����� � ������ � ����� �� ���/ ��� ��������� -��!��
���� � ��� ��� ������� ������ ���C6��-��FG&/ ��� ���
����� -��� ������� ������ ��������� -��� �� ���� � ( ��(/
���� -��� ������� �� ,)) �!.��( ��-��� �- ��������� �����
������� ����������!�� �� &') ������� ������������� �� ���������! ���� ������ ������� �����/ ���� ����� ���! ��� ����
��! -��� ��� �� �� ��!� 3���� !��� 1/ ������! ���� -��
�������� ����! �����!�� ���� ������ >D����?-���� ���-�
-����! �� �� ��� ������������ ��� !����������� ����/
41 ���� �������� N���� ���������� >N%�� %��� &)))� %�!���?
����! �� �� �������� -�� ������� � �������� ��� ������������� ����� ����!�� -��� ������! �����! � ,)) �7�.!
�������� ������ ����/ 0�������� ������� -��� ������� ����!
�������������� ����� -��� ������ ��� ��������� ��������� �
������������ �� � & "2�C�J 4�G�"�&G( >�.�? ������-���
� ������� �0 &(E+ 4������������� 0�������� ������ -���
�� �0 &(,) ���B����� %������ 7������/
� ������� �� ���������
��!�/ & ��� ( ��- �������� ���� � ���� ������ -���
��� ��� ������� ������/ ��� ������! ���������� � ���
��� ������� ������ ������ 2������� �� ������� �����
��!/ &/ ��������.����� ��� �� � ��� ������� ������ ������! ���� �� ������ ��������G >�? 2�� ��������G )/: �7.�! ����� , �6� ���� ���� �� , �6 �����J)).&()) >����� �����? �7�.! �������* �1������� �� )/: �7.�! � &/, 6/ > ? 2�� ��������G )/: �7.�! ����� , �6� ���� ���� �� , �6 ����� E)).&()) >����������? �7�.! �������* �1������� �� )/: �7.�! � &/, 6/ >�? 2�� ��������G ����� ����� )/: �7.�! ����� , �6 ���� ���� �� , �6 ����� &&)) �7�* ��1� ������)/: �7.�! ����� &)) �6 ��� ���� : �* �1������� �� )/: �7.�! � )/E 6/ >�? 2�� ��������G ����� ����� )/: �7.�! ����� , �6 ���� ���� �� , �6 �����
&&)) �7�.!* ��1� ������ )/: �7.�! ����� &)) �6 ��� ���� : �* �1������� �� )/: �7.�! � )/E 6 ��� ���� �� )/E 6 ����� )/)& �7.�!/
1& � �� �� ��& 2 !#���� 3-�� �#�+�� ��� 4 ��'5 ��67� EF
��������� ��������/ 0� ��� ������ ��� 3��� ����!� >���������
��! �� ���� ���� � 2�� ��������? -�� &&)).&()) �7�.! -���������� � ��� ������ ������������������/ 0� -�� �������� ��
���� �-�� ������ � ��� ��������� � ��� 3��� 2�� ������������/ 8����-���� ��� ��������.����� ��� �� ���� ��- �
����������� ��1���� ��� �� �� ���3���� � ������ ��� �������
��L� ������! ���������� �� ��������� ��������/ ����!��!
-�� �������� �� ���-�/ 0��������� ��� ������� -�� ���� ��
�)/: �7.�! ����� ��� ����!� ������ � , �6/ ���� �������!� -�� ���� �� , �6 ��� ��� ������� -�� ���������
�������!�� � ���� ��� , �6 ����� ��� �����3��� ��������
-�� ������� >&&)) � &()) �7�.!?/ ��� ��� ����� ������
����!��! -�� �������� �� ��������� � ��� !�����/ 2��
�1������� -�� �������� �� ������� ������� �������
>�)/: �7.�!? ����� &/,.)/E 6/ 8��� �� >�? ���� ����� �������!)/E 6� ��� �1������� -�� �������� ����� ��� ������� ������
��)/)& �7.�!/ 7��������� �� ������ &� �����! ���� �������� ���� ����� ������������ � ��� ��� �����1 ��� ��
������� ����� �� �����! �����/ ���� ������ ����� ���
����!� �� ��� ������� ������� ���������� �����! -���� ���
����!� �� ���� , �6/ ��� ��� ����� ������ ��� 3��� �����
!��!.�������!��! ����!� -�� ���� �� ��������� �� ��!/ (/ �
����� -������ ��� �1������� ������ �� ������� ��� ���������
���� ���� ��� ������/ ���� ��� ��-���� 9F; ��!!�����
���� ���������! ��� �1������� �������� �-� � )/E 6 ����� �
����������� � ��� ������! ����������/ <-����� ��� ���
OO������LL ����!��!.�������!��! ������� �� �� ����� ���� ���
�-�� �1������� �������� ��� �� ������ ��� �1�������
��3������/ %�!�� ���� �������! -��� ������ � ��� ����!��!
����� �� � ��� ���� ���� �� �� ��� ���� �����/ ��� ���
!������ -� ��� ��� ���� ����1������� �� &))) �7�.!� ���
����������� ��������� �� �������� ���� ���� ��� ������/ ����
������ �� ��� �������� �� ������� �������� ������ �����
>��!�/ &�� ��� (�� ?/
C��� � �� �������� ����� ��� �� ����� ����� ��-� ������
������! ���� ������� �� ������G >�? !�-�� � �40 �����* >��?
���������� � ��� ������ �������� ��� ��� ������� �������
��� >���? ���� �� ��������� �� ����������� � 2�� �� ���
������ �����1/ 0� ��� ������ ������ �� ������! ����������
>� ��� ���� � ����� � ������? -�� �������� -��� ���
����!��! �����! ������! -�� ���� ���� E)) �7�.!/ <�����
-� ��� �������� ��� �������! ��� ������� � 2�� ����������� ��� �� �����1 -���� ����� ���- ������ �� ������!
����������/ ����������� ��� ��� ������� ������ �������
� ��� � ��� ��/ �� ��� �������G
/2����� / �� � 2�/���
-� ��� ������ 3�� ��� ������� ��-��� ��� ��������
��������� ��� >�7�.!?� � ��� �������� ��� ��� ��� �������
� 2�� 9/; �������� �� ��� ������ ��� �����1/ 0� ��� ����� �
��!/ (/ 6���!�.�������� ���� � ��� ������� ������ ������! ���� �� ������ ��������G >�? 2�� ��������G )/: �7.�! ����� , �6� ���� ���� �� , �6 �����J)).&()) >����� �����? �7�.! �������* �1������� �� )/: �7.�! � &/, 6/ > ? 2�� ��������G )/: �7.�! ����� , �6� ���� ���� �� , �6 ����� E)).&()) >����������? �7�.! �������* �1������� �� )/: �7.�! � &/, 6/ >�? 2�� ��������G ����� ����� )/: �7.�! ����� , �6 ���� ���� �� , �6 ����� &&)) �7�* ��1� ������)/: �7.�! ����� &)) �6 ��� ���� : �* �1������� �� )/: �7.�! � )/E 6/ >�? 2�� ��������G ����� ����� )/: �7.�! ����� , �6 ���� ���� �� , �6 �����
&&)) �7�.!* ��1� ������ )/: �7.�! ����� &)) �6 ��� ���� : �* �1������� �� )/: �7.�! � )/E 6 ��� ���� �� )/E 6 ����� )/)& �7.�!/
F) 1& � �� �� ��& 2 !#���� 3-�� �#�+�� ��� 4 ��'5 ��67�
�� �� ��� �������� �� � 9-�/M;� ��� ������� ���� � ������
������ � ��� �B�����G
��� � (JE))�/
(E�)F� >&?
-���� (E/)F >!.��? �� ��� ����� ���� � ������/
��� ������ �B����� �� ����� ��� �� ����� �� � ��������
�������� � 2�� ��� ��� ��� ������� � ��� ��������/
<-����� �� ������� N%� ���� 9J; ��!!��� ���� ����� ��
��� ����!��! � ��� ��� � ���� �������� ������ �
��� ����!�� �� ��� ��� �������/ ��������� -� �����
�������� ��� ����� ���� � ��� ���� �� �������� �������
2�� � �J � �� � 2��J/ 0� �� �������� ��� ��1����
�������� � ��� ��� � �� �B��� � :+) �7�.!� ��� ��������
� / �� 2�/�� -��� �G
���� �&� ��:+) � (JE))�/&
(E�)F� >(?
�����! ��� ������� �B������ -��� ������� � / ��� /&� -�
��� 3�� ��� ����������! ��� �������� � 2�� �� ���
������ ��� �����1 �� � !���� ��������/ ��� ������� ���
���������� ��- ���� ��� ���� ����� � / ����� ��� �� ���
���!� /& � /���� � // �� ��� �������� ������ ���� � � ',M�
��� ��� �������! �������� �� � �� E)) �7�.!/ �� ��������!
��� ��� ��� ��� 4B�/ >&? ��� >(?� -� 3�� / � &�EJ�/& � &�:E/ ��� ���� ��������� �� ��� ���� � ��� 3���2�� �������� >&()) �7�.!? !���� / � (�E ��� /& � (�:/��� ��� 2�=�������� ���!��� �� ��� ��� ���� ����� ���
��� ���� �� ���� ��������� �1�����! �� �������� ����
���������G 2�&/+&��� 2�(/::��� 2�:/(,�� ��� 2�'/'��/ ���������
�� ���� ����� ������ �� ������! ���������� -�� ��������
-����! -��� ��� �-��� ��� ������ ������� ������ ����
>�/�/ 2�&/+&�� � 2�(/::��?/ ��� ���������� �������� � ���
��!!��� ���� 2�� �������� ������ -��� ��� ��� � ��� ���������������/ <-����� �� �� ������ ���� �����! ��� 2�� ��������>��������� �� ��� ��!� ������� �������� -� ������� �����
�)/: �7.�!? ��� ������� ����� �� �������������� -��� 2���-���� �� ��� ������ � ��� �������� ������� ������ � �����
������!�� ��!�� � ����� ������/ �����! ������!� ����
������ ��� �����!�� !������ ���������� ��� ���
������ ���� � ��� ������� ���� �� �����! ������/
4������� �� ���� ��������� �� ��� N%� ������� � ���
�������� ������ �����! ��� ,)) �7�.! �������� ������ ����
��������� �� ��!/ :/ "������� -�� ������ �� ���-�G �����
!��! >2�� ��������? -�� �������� ����� ,)) �7�.!� ����������!��! >2�� �1�������? �� )/: �7.�! ����� &/, 6 -����������/ C���!�� ������! �� ,)) �7�.! ���� � � !������
�������� �� ��� ��������� � ��� ���������� �����/ ��� ����
����!�� ��� ������ �����! ��� 3��� ����� �� �������
�������� ������/ ��� N%������ �� ��� ������ ���� ��� !����
�� ��!/ ' �� ��������/ 0� �� ��� ������ ���� �� �� �����
����� ��� � ��-�� ����� �����/ �����! � �� OON%��
�����������LL �������� ����� ���� ��� ��������� � ���
�������� ��!� ����������� ������� ��� �- �����������
�������������� ������� �� ���������/ 0� ��� 3��� ����� -� ���
���� � -������3��� ���������� �� ��� ������ ��� ��� �
��!��� ������� ����� -��� ���� ������!/ ��� ����
�������� -�� ���-� �� 9+;� -���� 2�� �������� �� ���
������ ��� �����1 -�� ������� �� ������ ����! ������
������B��� ><%4�"� %���� ����������� �4"? ��� ��
-�� ��-� ���� ��� ������� ��� �������� �� ��� ������ �����1
���� � ���������� � ��� ������ �������/ 0� �������� ���
������ ������������ ��������� -����� ��� � ���� �����
���� �!!�������� ��� ����� ����/ ��� ������ ��-� ��
�������������� ��������! 9E; -�� ������� � � ������� ��
�� ��� ���� �������� ����/ 8� ��� ���� ����� ��� �������� �
��������� >�� ��� ���� � ������������� ������� �� 9+;? ���
���������!�������� �������� -����� ��� ������ �����1 ���
������ ��� ����� � ���!���! ���/ ���� ��� ����������
��� ����� � ��� ������ ����� ����� � ��������� ��� �-
�������� �� ����G >�? �����!���� ��� ����� � ��� ������
����� ��� >��? ������� ����� � ��� ������� ��������.�1�������
�������/
� �1���� ����� ������ ����������� ������� ���������
���������� ��� ��� �������/ ��� �������� �B�������� ����
���� ���� � ��������� � �������� �������� ��������������
������ �� ��� %������� �B�������� �������/ 8��!������� ����
����� -�� �������� � 3�� ��� �������� �������� ���3�
������ � �������������� ������� �� ���� ����� ���� 3��� 9&);/
0� �� ����� �-����� ��� �������� �� ������� ����������/
K� ���� �� �� �������� ������ � � ��� � �����/ ���������
����� �1���� ������������� ������ � ��� �������� � �����
��!/ :/ N%������G ������� �������� ������! ���� >,)) �7�.!? �����
��������� ��� �� � ������/
��!/ '/ N%������G ����� 2�� �������� �� ������ ������ >�7�.!?/
1& � �� �� ��& 2 !#���� 3-�� �#�+�� ��� 4 ��'5 ��67� F&
�������� �/�/ �.����������� ��.� ��� ���������� ��.�������
����/ 0� �������� ������ � ��� ������� ������ ���� � ��� ����
������ >������� �� ��� ������ � ��� � �����?� �� ���
�1���� ��������� �������� � 2�� �� ��� ��� ������� �� ��� �!�����! � ��� ������/
��!/ , ���������� ��� ��������� ������� � ��� ��� ��
����� ������/ ����!��! -�� �������� �� � �- �������
������� >,) �7.��( � &) �7.�!? � ������ ���� �B����� ���� ��������/ 7���� ����!��! � ��� �������� >������
� ��� !�����?� ��� ����� -��� ������ �� , �/ 0��������
���������� ������������ -��� �������� ��� � ����
B����� ���!� ��� , �< � J) �</ ��� �� ���������
���� �����! ��� ������������ -�� &) �6/ ��!/ J ��-� ���
���� �������� ����� ��� 3��� 2�� �1�������/ 0� -�� ������������� ��� ���� ����!� ������� &/, 6/ 7 ����� ������ ��������
�� !���� �� �� 3!���� �� ��������� ��!��3������ ����� ���
������ ��� ���� ��!��� ������� � ��� ���� ������� �� ���
�-�� ���B�������/
7� ���� �� 9&);� ��� �������� ���3����� ��� � ������
����� ��� ��� �- ���B����� ��!��� -���� ��� ��������
��������� ��������/ 0� ���� ��!�� ��� -��� ��� �������
�� � & >-���� � � ���(��&.(?� �G ��������� � ��� 3��? ����������� � ��� � 0�>8? ������ %�>8? !���� � �����!�� ���� -���
� ���� � ',�/ ���� ���� ��������� ��� �1������� ����� K�� ��! ��������� ������3�� � %��8� � 0��8� ����� ��&.(� -���� ��� ���� �� �1������� �� 9�>�0.�/?.�,�>(�?&.(/ <���� ��� �������� ���3����� ����� ���� ���
������ ��� � �1������� ������� �%�>8? ��/��&.( � 0�>8?��/��&.(/ ��� ���B����� ���!� ���� ������� � ��� ���������
� ��� ��������� �� ��� ������� �� � &���� � �����3��/ ����
�� �1������������ ���� � �1�������� � ��� ����/ ���
��������� �� %�>8? ��������� � ��� ��� � ��� ����!�
�������� ���������� ��� ���������� ����������/ ��� ���������
�� 0�>8? >����������! � � �? �� �1������ � � ��/8��� -��� ����� �� �� �!������� ��-��� ��� ����� �
�� ����� >%�>8?.��&.(� 0�>8?.��&.(? ��� ��� ���� � ������=��� ��� �� ������ �� ���� � & >',�?� -� ��� ����������� �������� ���3�����/
<-����� �� � 3���� 3�� ���������� � �����!�� ������ ��
�� ��-��� ������� ��� � ����� ���������� ��� � ���� ��
��� 0�>8?=%�>8? ���/ ���� ��������� � � ����� ������
�����! ����� �� ��� 3�� �� ������ ���������/ ��� ������� ��
��� �������� � ���� ������ �� �( � �.�/2���! �� ��� ������ ����� -� ��� ��� ���� ���������! ���
����!��! ����� �� ���������� � ����!�� �� ��� ��������
�������/ 0� ��� ����� ����!�� ������� ��� ������� �� �����������
� ��������� ����������� ��� � ������ �����/ <-����� ���
���� -��� ��� ���� �1�� �� �� ���������� �!!�� ���� ',�/0���������!��� ����� ����!��! ����� ����� ������� ��- ����
������ ������/ ��� ������ ����!�� � ')) �7�.! ��-�
�- ��������� ����������� ���-�� � � ������ �����/ 0�
���� -��� ��� ���� �1�� �� ����� ���� ��!��� ���� ',�/ 8� ������� ����� ��� ������� ������� �� E)) ��� &()) �7�.!
��- ������ ������ -��� � ���� ���� ',� -���� ������ ��������� ��� %������� ����/ ��� ������ �� E)) �7�.! ���
� ����� ����� ����������� �� ���� ������ �� �� -���
��������/ 0� �������� ��� ����� ���������� !��������
���������� �� ��� ������� �������� ����� ���������/ K�
��!/ ,/ 0�������� ������� � ��� ������� ������ ����� ��� ����� 2�� �������� �� ��������� �������� ������ ��������� � ��� !�����/
F( 1& � �� �� ��& 2 !#���� 3-�� �#�+�� ��� 4 ��'5 ��67�
�1����� ����� ���� �� ��� ���-��! -��/ ��� ����� ������
��� ���� ��!��� ��������� �� ��� �- ���B�������� -���� ��
��� �� � �� � ����B����� � ��� ��������� ��������
��������������/ K��� ������� �� �������� ������ ����� �� �
��������� � ��� ��� � ����� ������ � ��� ������ �����1
�1������/ ����� ���� �� �� � ���!�������� ��������� ��
�������� ��� ��� ������� ���������/ K��� �1������� �������
��� ���������� ��-��� ��� ������� ����� ���� ���
��������/ ��� ���������� ��-��� ��� ')) �7�.! ������
��� ��� ���� �- ������� �� �� � �� ������ � ��� ����
������ ������� �������� �� ��� ��� ������� �� ��� �!�����!
� ��� ������/ 7� � �- ������� ����!��! ������ ��� ������
��-��� ��� ������ ��� ��� ������� �� �� !�/ ���
����� ���������� �� ������� � ��� ��������� ��������������
� ��� ��!� ����� ������.� ������/ 7� ��!��� ����!��!
������� �-����� ��� ������ ��-��� ����� �� ������
����� ����� ��� ��� �������� �� � -��� ������ ��
���!�������� ��������/ K� ��� �������� ��� �������� ���3�
����� �� ����� ���������� �����/ ������� ����� � ������ ��
&( ��:.�� ��� ���� � !������� ,/, ��:.��/ ����� �������
�������� ������������� ����� ����� �� �� ������� ���
��������� ���� ����� � ��� �������� ����� ��� ��-���
����� �- ������/ 0� -� ���� ��� ����� �� ������� ���
���������� �������� ���3����� �� ������ � E)) ���
&()) �7�.! ��� &�+� &)�&& ��� J�)� &)�&& ��(.�/ �������! �� ���� ��� ������� �������� � ��� -� � �� �1����
� !�� ��� �1��� ������ � ��� �������� ���3�����/ �� �� ��
��� �������� � ��� ��� ����� ��� ��� !������ ������ ��
��� ������� �������� ����� ���������/ ��� ��� ����� -��� -�
��� ����� -��� ��� ��!��� � ��������� ��� ���������� �
��� �������� ���3����� ����� ��� ��� ������� ����!�� �
E)) ��� &()) �7�.! ��� ���� �������!�� � &/, 6/ �����
���� ������ ��3�� �� ��������� �� ��� ��������� � ���
������ ������� ���������� �����! ��� 3��� ������� ��������/
7� ��� �!�����! � ��� ������� ��� �������� ����!��
�������� ��� ��� ����� ����������/ ��� ���������� �� ���
����� � %�>8? ��� 0�>8? �� ��� ��!�� 2�� �������� ����� ������� �������� �� ���� ���������/ 8� ��� ���� ����� ���
������� �������� ������ ��- ������ �� ���� ������/
7����� ����������! ���� � ����� �� ��� ����� � ���
��������� 8%�.��&.(/ �����! ��� ��������� �� ��� �� ����!�
��!���3������� -���� ��������� ����� �� � �������� �� �40�
����� �������/ 7���� ��� �1�������� ��� 8%� ���������� ���
���������/ ��� ������ �� ��� ��!�� �������� ����� ��������
��� ����!�� ��� ��� ������� �����/ 7����!� ��� ����� ��
�� ����� ���� �� �� ������ ���� ���� �� ��� � ��� ��!����� �
��� ��.������� ������/ 7� ')) �7�.!� ��� ��������� �����
� / �� )/(/ 7� ���� � �- ������ ��� ��� � ����� �� ��
������� ���� �� �� ��� ���� ����� �� �� ������ ���� ��� ��
������� ��!����� �� ��!��� ���� �� ��� ������� �����/ 7� �
������� ��� ������� �( � �.� �� �� � �� �����3�� ���� ������������ ������� ��- ��� ������� ����� ����������/ ���
�������� ������! � � �� ���� ���� �� ��� ������� �������� �
��� ��!����� � ��� ������ �������/ ��� ���� ��� �������
��� �� �� �� &/ ��� ���������� ����� ��� ���������� ���
!���� -��� ��� �������� ���������� � ��� ������ 3����!
��������/ : �� ��� ��������� ���3������ ��� � �� ���
��� �� � ����� ������� �� ��� 3����! �������� >�/�/
��!/ J/ ������� ��-� � ��!/ , ����� 2�� �1������� �� )/: �7.�! ����� &/, 6 -�� �������/
1& � �� �� ��& 2 !#���� 3-�� �#�+�� ��� 4 ��'5 ��67� F:
��� ����� ����! � � �����!�� ���� �� ��� �-��� ���B�����
���!�?/ 4�������� � ��� �������� ���3����� ����� -��
�������� ��� -��� ��� ���� ���������� � ��� �����
-��� ��� >���=��� ������ ����� ��!�� ���� � & >',�?����� � ��� ������ � ��� ����� 8%�.�
�&.(* 80�.��&.(?/ ���
��������� ������� � ��� ��� ������� ������ ��� ���
������� �1������� ��� ���� ��� !���� � ��!�/ ,=E/ ���
��������� � ��� ����� � 2�� �������� �� ��� �� �����1 -�� ���� � ��� ���������� ���� 2�� 3��� ��������� ��� ��� ������ ��� ���� �� !�����! ��� ��� ������/ 7 ���� �� �����
�� ��� ����� �������! � ��� ���� -��� ��� %������� ����
�� ��!��� 2�� �������� ������ �� ��� ������ ������ � ���
��!/ +/ 8%�.80� ��/ ��&.( ���� � ��� ���� ��������� � ��!/ ,/
��!/ E/ 8%�.80� ��/ ��&.( ���� � ��� ���� ��������� � ��!/ J/
F' 1& � �� �� ��& 2 !#���� 3-�� �#�+�� ��� 4 ��'5 ��67�
�������� ����� ��� 3��� ��������.�1�������/ �����! ��� 3���
��������� �� �� ������ ���� ����� �� � �! ����������� !�������
� 2�� �� ��� ��� � ��� ������ ���/ 7���� ��� �1�������� ����������� 2�� ��� ��� �������� ������ ���� -����� ��� ��-������� ������� �����/ 0� ������� ������ � ��� �����
�1������� ��� ��� � ����� �� ������� ��� ��� ��������
����������� ��-� � ���!�������� ���� ����� ������/
� �����������
5� ������! ��� ������ ��������� -��� ��� �� ��� ������!
���������� � ����� -�� �� ���������� �������/ ���
������ ������� ��� ������ �� -��� ��� ��� ������
����! ��� ���3���� ������/ ��� �������� ��-� � ��!�
������� �� �������� ��� J)) �7�.! �� ��� 3��� (, ������/
� ��������� -������ ���� ����� � ��������� -��� � � �� �
������� ��� �� ��� ��������� � ��� �������� �����! >�
��� ���� � ,=&) �7�.! ��� �����? ����� � ������� ��
��� ������� -���� �� ��������� �� ��!����/ 8�� �������
���� 9J; ��!!��� ���� ��� ��� � �����! �� �� ���������
����� � �������� ��� ����!���� � ��� ���������/ <-�����
���� ��!�� � �� ���!� � ���� ��! ���� ������! ������
�����/ 7���� �����3����� � ��� ��� � ������ ��� ������
��� >�� ���� ���� -��� �������� � ��� ���� � &) ��? ����� ���!� -��� ��� ���� ���������� �� �� �� � �� �����
������� ��� ����� � 2��/ 0� ���- � ����� 3����!��
������� ���������� � ��� �������� �� � �� ����� �
��� �� �- -���G
>�? ������! ��� ���������� ������ � ��� ������ �� �����
� �������� ��� >�� ���?� ����� -���� �� ��� ����
����������� ������! ����������* ���
>��? ������! ��� ����� >�� � �� ��!��� ������� ��
����� ������� �����? -���� ��!�� � � �� � ����
������� �� -��� ������� ���/
����������
9&; �/ 8����� �/ K���� �/ #������ �/ 7������� ��G C�������!� �
��� '(�� 5������ �������� �� D����� #������ (&=(: �����
��� ������ :7&F/
9(; </ 2�� N/ <���!� 2/ ����� P/ K�� #/ 2���!� 4���������/ ���� �����
2���/ ( >&&? >&FFF? ,'+=,'F/
9:; 0/ ���� C/ ������ @/4/ 5��!���� 4���������/ ���� ����� 2���/ :
>&&? >()))? 'F:='FJ/
9'; @/7/ ����� ��G C�������!� � ��� 7 ������ ('F � D��� 0�����������
"�����!� ��� ��������� �7� (=+ ������ �� ())&/
9,; "/ #���� </ K��!� �/ ������� #/ <���� #/ 7������ D/ 4���������
��/ &'+ >'? >()))? &(',=&(,)/
9J; �/ ���� �/ ������� </ K��!� �/ ����� �/ 0-�� "/ #����
���� 2���/ >())&? �2�)&)E(E/
9+; </ 2�� N/ <���!� 2/ ����� @/ P��� P/ P���!� �/ #�� #/D/ "� �/ C���
���� ����� 0���� &:, >()))? &E&=&F&/
9E; D/�/ 6��!���� �/�/ ������� �/%/ 6������� "/"/ ���������� ��G
C�������!� � ��� 7 ������� � ��� ����� 0����������� "�����!
� 2������ 5��������� C���� &� ���� E(� 4��� ��!�� �������� D���
&FFE/
9F; 0/7/ �������� D/%/ ����� D/ 4���������/ ��/ &'' >&FF+? (F':/
9&); �/ <� 0/�/ %�������� %/7/ <�!!���� D/ 4���������/ ��/ &(+ >&FE)?
:':=:,)/
�� �� &
������� � ��� ��������� ������� ����
0������� >�7�.!? ���� 0�������� : � ���� � &)�&&
>��(.�?���=��� 8%�.�
�&.(
>� ��&.(?80�.�
�&.(
>� ��&.(?8%�.�
�&.(
>�?80�.�
�&.(
>�?
) = = = = = = = =
')) > 2�)/(��? :/'F � )/)F.+'/) � )/'� )/E( � )/)( (/E+ � )/)E &E/J& � )/)+ �'/)J � )/:& )/FFE F =
E)) > 2�&/,��? :/&+ � )/)F.+(/, � )/,� )/F: � )/)' (/F+ � )/)F &E/(, � )/&, �:/&F � )/:+ )/FFJ F =
&()) > 2�(/,��? &/+E � )/),.J)/+ � )/J� )/F& � )/)& &/J( � )/)' &+/+ � )/), �)/FE � )/&J )/FFE && =
7���� 2�� �1������������� ')) '/(' � )/&J.+J/+ � )/,� &J/+J � )/(& +&/(: � (/:: J&/,& � )/F& �&&E/J+ � F/J: )/FFE + =
������ E)) &/&' � )/)(.'E/+ � )/,� (F/'( � )/(( :(/:& � )/), &'/&( � )/EE �&(/F( � )/&E )/FFF &) &/+
������ &()) )/E, � )/)&.')/' � )/:� &+/'F � )/(& &'/E, � )/)E (E/E' � )/J) :/:' � )/(& )/FFF (: J/'
1& � �� �� ��& 2 !#���� 3-�� �#�+�� ��� 4 ��'5 ��67� F,