Transcript
Page 1: Biological Interference Using Biom Sensors-MEMS

������� ��� � �� �� �� ��������������� ���� ���������� ������������� ���� �������

��� ��� ������������ �� ����� ����������� ������ �� ������

����������� ��� ��� �� ������������ ������ � �� ���� ���� � ������ � ��� ������ � � ��� �� ������ ���������� ���� �������

�� !!" #$%$ ���� �&��� '������ ������ �( ))*$%� ��'����������� ������ ������ � �� ���� ���� ������ ��� ����� ���������� ��� ������� ��� ������� �+ #,$$!-%%)%� ��'

����������� .������� �� �/�� � ��� �� 0��������� ���������� ��� ������� ��� ������� �+ #,$$!� ��'

���� ��� !" ���� !##"

��������

���� � �� ��������� �� � ����� �� ���$��� ��� �$����� ���������� ����� ������� ������� �� ��� ������ ���� ��������� % ���

� �� % �$ �� ���� ��� �������� �� ����������� �����$����� ��� ���������� ���������$� ��� ���� ��$�� �� ��� � ��� ��� �����

����� �� � �����������$ �� ��& ���� '� ���� ��� ��(� ������� �������� ���� ����) �� �� ������� ����������$ �� � �������� ���

�� � ���� ��� ���������� *� �� ���������$ +�� ���, �$ ��� ����� �� ���� �� ������ �������� ��� ��������$ ���� *� ���������� ��� �������

)��� ��� ���������� ��� ��� ��(� ����-���� ����������� ��� �� ����������� ����� ����� ���� �� ����������$ ������� ��� ��� )���� ��

�������.� ��� ������ ��� /�&������$�

���� � �� ������ �� ��� ������ ��� �� � �� ���� ��������� ��� ���� �� ������ ��� � ������������� ������������� �������

����/����������� ������ �$��� ��� ���� ��� �$���������� ���������� ���� �������� )��� ������ � �� ���� �� ������� ���� ��� ����������

�� ��� ��� �� � ��������� ����� 0��� ������� �� � ������1 ���� ��� ��� ���� ������� ������� � !##! �������� ������� 2��� ��� ������

���������

1��&���3 � ��4 �����������4 5������� ���� ��4 ������$���4 5������� ������� $

� ���� ������

*� ���� � ��� )� ������ �� )�� ���� �� ������ ��� ��

���& ������ ������ ������ ���� ��� ���� ���� �� ��

����� 0��- �1 ��� ���� ��� ���������� ����������� ���

������� �������� �� ��� ������� ������ ��������� � ������

��� �� ��� �� �� � ����� ���� ������� ������ �������� ��

��� ����������� �� ����/���� ������� ������� )���

�������� �� ��� (���������� ������������� �� � ������

���'�� 06��� "1� 7� ��������$ �� �� ����$.� ���

�$������� ����� ��� ��� ����� ���������� �� ��� �������

��$�� �� ��� � ��� ��� ����� ����� 0�51� �� �� ���������

�� ������� ������ �$��� ���������� ��� �$����������

������ ������ �� ������� ���� ����� � ���.�� ���� �� ��

����� ��� ��� ������� �������� 0��� ��$��� ����1 ���

����� ������ �� ��� )��� �� ���$ ���������� )��� �������

����������� /������ �������� �� ���� ��������� ��� �����

��(�� ���������� � ��� �� ��� ��������$ )��� ��� � ��

������� ��� � �� ����� �� ��� ����� � ���� ��� � ��

���������� �� ���������� ���� ������$ ���� ��� ��

�� ��� )��� ����� �������� ��� )���� )��� ��/���

�����'���� �$���������� ������� ������� ���� �������

�������� ���� ��� �������� �$ ���������� �������

�$���� 8"9:;�

� �������� �� ��� �� ��� ������ �� ���� �������� �� ���

������$ �� ��������� )��� ��� � �� ����� �� � ������� ������

��� ���� �$���� �������$ ���� ������ ���� ����� ��

����� � �������� ���� ������� 05��1������ �����������

�� ���� ��������� 0)��� ������$ �������� �� ����

���� <9"# � ������� ������ �������� �� �����������

��������1 ���� � ����� ������������� ������� � ����� ��

������� �� ���� ���� ������� �$��� )��� �� �������$

���'���� �� ������ � ���� ����� �$��� )���� ������$

������ ��� �� �������� ����� /�� ���������� ���� ��� ��

������������$ ��� ������������$ �������� �� ��� ��=��� ��

������ ��� ����������

*� ���� � ��� )� ���� �� ��� ������ ��� ��� � �����

���� �� ��� ����/���� ���� ��������� �� ��� ��� � ���

��� ������ ��� �� ���� ��������� )��� ����) �� ���� ��

������� �$���� �� ��� �5 ��� )��� ��������$ ����������

��������� �� ��� ��=���� �����������$� ��� �$���� ����

���������������� >����� :: 0!##!1 "!"9"!?

������������������ �

##!@�!@A!-#!-B � ��� ����� ����� � !##! �������� ������� 2��� ��� ������ ���������

�**3 �##!@�!@A!0#"1##"""�!

)))������������-������-�=�

� 5����� ������ ������ ����3�"�C":�A?D�:<A:4 ��&3�"�C":�A?D�<!<#�

�-���� �������2 ��������E��������� 0�� ��������1�

Page 2: Biological Interference Using Biom Sensors-MEMS

��� �������� �� ��������� ���������� ������������ ��� ������

��� �� ������� �$���������� ������ ��������� ��� ��=����

��� ������� ������ ������ ���� ����������� �&��������

���$�������� ���������� ���� � ��� ��&���$�

���� � ����� ����� �� ��� ��)� ���� �� ��� �5� �

���������� ���� '�� �� � �����$ ���� ���� �������� �� ��

�� ��� ��� ������� �� ��� ����������� ��� �5 ��������

����������$ �� � +���$ �����,� �������� ��� ������� ���

����������� �� � ����������� ����������� *� �������� ��(�

������� �������� ��� �������� )����3 ����)��� �� �� ��

����������$ �������� )���� ���� �� �� ��� ����� �������.�

��� ����� 8D;� 7�� ��� �� �� ��������������� ��������� )���

��� ����������� �� �$ �����$ $����� �$�����������$ ��������

���������� ��� �� ������� �� ������� �� ������� ������ ��

���$ ������ ��� �� ����� ������� �������� ����� ����� ��

����9���� ������

����������� ��� ����������� ��� ���� ����� �������

������������$ )��� ��� ���$ ������ 06��� !1� ��� ���

����� ������� �� ���������� �� ���� ���������� ��)

�)��� ��) ������� )������� ����������� ��� :F

������.����� ��������� )��� �������$ ����) ��� �����

��� �������$ �� �������� ������ �� �� ������ �� ���

����� ����� �� ��� ����� �� ���������������� �$ ���

����������� ������� �$�

��� ���� �� ������ �� ��� �����$���� �������$

���� ������ ���� )��� ����� ������� �� � �� �$��������

������ ��� �� �������� ��� ���������� �������$ 0���� ��

����� ��'�� �� !# ��� <## �.1� ����� )��� �� ��������

��� ���������� )��� ��� �$���������� ������ ����������

����� �������� ��� ���� ����������� �� $���� �������

���� � ������� �� ���� ������ 0����� ������� ������

���������1 ��� ����� 0)��� �������1 �$���������� ��������

7� ��� )�� ��� �� �)� ��������� � ������� �� ��(��� ���

����3 0�1 � ���������� ����� �� 5�� ����� �������� )��� ��

��� �� )�� )���� ���������� ��� ����$��� ��� ��� � ��

������ )��� ��������� �������� �� ����/�� /�)

����� �� ��� ����� �� �9��-�!-��4 0�1 � ����-��������

����� �� �� ������ �������� )��� �� ��� �� �������� ���

�5 0!# � ���� 1 �� ������ ����� /�� �� ��� ��� �����

����$���� ���� � ������� )��� �� ���������� )��� 3�-

������� � �������������

����� � ������� )���� ��� ��� '��� ���� ����) ���

������ ��� �� �� � ������ ������ ������� ������ ��

�&����� ���� ��� ���������� ������� �� ��) � ����� ���

��� ���$ ������� 5������� ��� ��� ������ �� ���� �������� ��

����/���� �� ���� ���)��� ���� �$���� ��� ���

��(� )���� �������� �������� �� ��� �5� 7� ������ ���

���� ��� ����������� ������ �� ���� ������(� ���������

�������� )��� ����) ������ ��� �� � ������ �������

������ )��� ��������� )��� ��� ��� ���$ � �������� ��

��� �� ���$ ������ ��� ����������� ���������$ )���

����� ��� ��� �� ������� �� )������ ��� ���� ���������

�� ��(� ���������� ��������� ��� ��� ���$ ������� )����

���������$ )��� �� �������� ��� ������'������ �� �������

�4 ������� �� ��4 5 �� ���� ���� � 6����� )) 7$%%$8 !$!9!$:"!!

6��� "� �)���$������� ���� ���'� �� ���� �� "<9!# ��$��� ��

�$������ ��&������ ����� ������� �� � �� �� ����&�

6��� !� �������� �� ���������� ���� ������ ����$� �� ��� ��� ���$� 6��� :� G����������-�������� ������� �� � �� )��� ��� ���� �� �������

Page 3: Biological Interference Using Biom Sensors-MEMS

0 �$���������� �����1 ��� ������� 0������� �����������1

06��� :1�

� ��������

�� ���������� �����$ � ����� �� ��(���� ��3 0�1

��������� ��� ������� ��� ������� ������$ �� ��� � ��9

���������� ���������� ���� ��� � ������ �������4 0�1

������ ������ ������(�� ��� �������� �� ������������$

������� �������� �$���������� ���������� ���� �� ����$

�� ����-���� ������ ������� ��� ����$��� ��������4 0�1

������ ����� �� ��������� ����/���� �� ����

���)��� ��� �5 ��� ���� ����� ����� ��� ������

�������$� ��� �������4 ��� 0�1 �� ���������� �� ��

���� ���� ������������� ��� )������� ���������� ��

����$.�� ��������� ��� ��������� ��� ��� ���� �� ��� � ��

�� ������ ���$ ����� �� � ������ ���������� ������

� ��� ���������

��� �5 �������� � ������$ �� �� ���������� ��������

��� �������� )���� 8D9@;� 7���� ��� ��� ��������� �����

���� ��� ��� �$� ��� ����������� ��� ����������� ����������

�������� ��� � ����� �� ������ �� ���� � ������ ����������

���� �������� ��� �� �������� � �������$ ��� ������������

+�������9������, ����/����������� �� ���� 06��� D1 ��

� ���� ��� ��������� �� �$���������� ����� ���� � �����

���� ������ � ����� 8?9A;� ��������� ��� �������� ����$

�� ��� ������� ���� ���� �������� � �������� ����$ �� �����

�� ��� � ������ )��� ��� ��� � ����� ���������

0"#9D# � ����1� ���� + ������� ����, ����$ ��� �� ���

�� �� �� ������� ���)��� ��� �&������ ���� ������ ���

���������� ����� ��� �$���������� ��������� �� ���������

�� ��� �������$� *� �������� �� ����������� ����������

���������� )� ��� �� ����.� �� ����$ �� ����������

� ���.��� ������� ����������� ��� 0������$1 ��������

� ����� ����� ����������� ������� <9"< � ��

������� �� ���� �������� �� �������� ���)��� :#9<# ��� ������� ����������� �� ��� �5 �$ ����� ������ ��������

)��� ���� �$������� /�� �� ���� �� ��� ��������� ����� �$

)�� ���� ������� ������ ��� �&�������� �� ����$��� ����

���� ���� ����� ����.���

� ��� ���� ����������

6��� < �����������$ ���)� ��� �� ���� �����$���

)��� ��� ��������� �� ������� *� ���� ��=���� ��� 5��

)�� ��������� 0�������� �� ������1� ���������� 8"#9"!;�

��������������� ��� ����� 8":;� /���� ���������� 8"D;

��� ������������ 8"<; ��� ����� ���������� ��� ��� ������

����� ��� ��$���� ���$ ��� ����� ���'���� �� ������

����������� �� ������� ��� ���������� � ��� ����

� ������ ��������� ��� ��� ����������.����� �� �����

��� � ��� 6��� )��� �� ������ �� ��� �$��� �$ ������.��

�������������� ��� ������� ��� ������� �� ���� ��

�������� ����� ��� ��� ����� ������ �� ��� ����� ������

���� ��� �$��� �� ������ ��������� ��������� ���� ��

�� ������� �� �� ��(������� )��� �� �$ ��� 5��

���� ��� ����$ ��� ��� /�) ���� )��� �� �������� �$ �

�4 ������� �� ��4 5 �� ���� ���� � 6����� )) 7$%%$8 !$!9!$: "!:

6��� D� ��� ������� ���������� 6��� <� �������� �� �� ���� ���� �$����

Page 4: Biological Interference Using Biom Sensors-MEMS

������� �� /�) ������ ��� �� /�) ������ ��� ������ ���

�� ��� �$ �� ������� �������� ��� �� ���� ���������� ��

�������� ���������

�.� �������� ������ �� ��� 5�� ��������� �� ����������

���� ��� ���� �� ������� ������(�� *� �� ������� �� ��

�������������� ���� ��� )��� �(��� �6 �������� )����

��� )���� �� ���������$ ������� 6��� @ �����������$ ���)�

��� ����������� ������� ��� 5�� �� �� ����������� ������

)��� � ����������� ������� )����� 0"9!1 ��� )���� ��

�&���.�� �� ��� �� �&��� ���� ���� �� !## �� ��� �&��� ��

��� ��� ���� �� ���� ��� 0:1 G� �������� )��� � ����� �����

�� ��&� ������� �� �� ����� �� ���� ������� )��� ��� ����

���������� ��� ����������$ �� ��� �� �� ������ ����� ��������

�� ���� ���� #�" �� �� 0D1 G�&� ��� ����� ���� ��

�� ������ �� ��� ��� ���� �� ��� )����� 0<1 ��� ���� ��

�������� ��� ������ �� ��� ��� ������ 0@1 ��� ����� ����

�� �������� ��� ��� ����������� 0?1 ���� ���������� ������� ��

���� ���� HI�� 0C1 ����� �� ������� �� ������� �� �� ���

�$��� �����������$ �� 6��� ?� 0A1 ��� ��������� �� ������

�)�$ ��� 0"#1 ��� ���� ��� �&���.��� 0""1 ��� ��� ����

�&��� �� ��� )���� �� ���� ������ ��� 0"!1 ��� ��� ����

������ �� ������ ������ ����� 0":1 ��� )���� �� ���� ��

�� ��� �&��� �� ������ 5�� �� ���

7� ���� ���������$ ���������� �������� ����� !9

"# � �������� �� �� )����� �� �� ��� ������� ����

!## � 8@�C;� ��� ��� ������� ��� ��� ���� ���� �� ���

���� ������� ��� ��������� �� ��(����� �� ����� � ��'�����

������ ��� � ��� ���� ��� ��������� �� �� �������� �$

�&���.��� ��� )���� ��� ����������$ ������� ��� �������

�)�$� 6��� C �� �� �&� �� �� � 5�� ������ )����� 7���

� ���� ��� ��� ����� �$ ������ �� ��� ���� �������

������ �� 5�� ����� ����� �&�������� �� ��� ��� �������

�� ��� 5�� ������ �������� ��� ����� �� ���)� �� 6��� A�

��� ���� ���� �� ��� �&��� 0" �1 ��������� ��� ���� ����

�4 ������� �� ��4 5 �� ���� ���� � 6����� )) 7$%%$8 !$!9!$:"!D

6��� @� �������� ����������� �� ��� ����������� ������ ��� � ��� ��� 5�� ����������

6��� ?� �������� �� ��� ��� ��� ���� ���� ������� �������� 6��� C� �������� � ���)� ��� ��� ���� ������ �$ 5���

Page 5: Biological Interference Using Biom Sensors-MEMS

�� ��� �� �����$ )����� ��� ���� ���� �� ��� ��� ���$ ��

��� �������� ��� ������ �� ����� ��� �$��� ����� �&��� ���

����� � �$��� ����� �� ������ ���� �� �� �� ������� ��

������� ��� ������� �� ��� �� ��� ��� ��� � �� ��� ���� �� ���

���������� ��� ���������� ;& �����������

���� ��� 7� ���� ���������$ ��� � ������ �� ��������

������� ��� � ���� ��� ��� ����������� 6��� "# ���)�

��� )���� ���) �� ��� ��� ������ )��� ���������� �����������

�� ��� /�) ����� ��� ����� �� ��� �� ���� �$��� ���

������ ���� ����� ���)�� ��� ������ ��� ����� ���������� ��

������ �������������� �������� 8"@; �� ���� ���� ������

������ �� ��� ����� �� ����� ��� ��� ���� ��� �� ��� ������

������ ��� ���������� �� �;& ������ ��

���������� /�) ������ ���� ������ ������ ��� �������

)��� ��� ���� ������ �� 8"?; ��� �� ���)� �� 6��� ""� ���

/�) ������ ����������$ �� ����� � ����� �$ ����������

���� �� � ��� � ���$ �� ������ �������� �� �������)

/�) ������

.��������� ����� ��� ��� ����� ������� 7� ����

�������$ ������ ���������� ���� �� ��� � ���

������ )��� �� ���������� �� ������� �� ���=������ )���

��� ���������� �$ ��� �� ��� ��� � ��� ������

�������� �� � ������ �� ������ �������� �� )�� �� � ��������

��(���� �� �� �� ������ ������ �� ��(�� ������ ��� ����

� ������� �� ���������

I� ������� ������ ��� ������ �� ��� ��������� ���

����������.����� �� ��� �� ���� ���������� ���� �����������

��� ���� 05�� �������1 )��� � ��� ��� ���$� ����$���

��� ����������.����� �� ��� � �� ���� ����� �������� �� �

����� ����� ��� ���� �� ������ ���� �� �������� ��� �������

8"C; ��� ��� � ���'� ����������� ��������� �� ��� ��=���

8"A;� I� � ����� ����)� ��� ����������� ��� ���� �������

����� ���� �� ����� ��� �� ������� ������ �� ���� �� ���

���������� ����/���� ��� ������ ������� ���� ����� ��

����������� )��� ��� � ��� )� ���� ��� �����& ������� ��

��� �����$ ���� ��(�� ������ ���)��� ��� ���� �������

������ ��� ��� � ��� ��� �� ������� �& ��������

������� ��� �����& ���� ��� ���� ��� ��������� �� ���

���� �� ��� � ��� �� �������� ��� ������� ��$�� �� ��� � ���

��� �5� �� �� ��� � ���� ������� ������$� �� ��� ����� ��� ���

�������� �� ��� ������� ��� � ���'� �������� �������

������ ��� ���� ���� ����� ��� ��� ������$ ���� ����)�� �

�� ���$ ��� ����������� �� ��� ���/��� ��� ����� )��� ���

���� ��� ����$� 6��� "!� �� ����������$ ���)� ��� �����&

0�� �������� � )���� ������ ����1� J����& �� � ��&��

����$ � "#K �� ��� � "#K ������� ��� C#K )���� �$

)������ ����� �������� ������� $ 06��� "!�1 ���)� ����

��� �����& �� ��� � �� �� �� �� '�� �� �������� ��� ��

������� �������� ���� ����)� �����& �� ������� �� � ����

/�� ������ ���� )��� ��(� /���/�) ��� �� ������

�� ������ ���������������� �$ �$ �������� � ���� '� ��

�����& ���)��� ��� ���� ������ ��� ��� � �� )���

����) �� �� ������� ��� �$��� ����� ������������ �� ���

��� ���$ �� ��� ������ )��� ��(�� 0)����1 �������� ���)���

��� ������ ��� ��� � �� ��������$ �� ��� �&������������$ ����

)���� ������� �� �����&� ��������� ���� ������� ��� ��

������� ���������� ���� ������ ��� � �� )��� ���

�������� ��� �������������� ����� ���� ������� ����������

8!#�!";�

���� 5�� ���� ���� ��� ������ �������� )��� ��� ���

������� �& ������� )��� �����&� ��� ���� ��� ����$ ���)�

�� 6��� C ����)� ����������� �� ���������� �� ����$ ��

���������� 8!!; ��� ��� �������� ��������� 8!:;�

��)����� �� �� ��� ���'������ � ���� �� ��������

������� $� ��� ������ �����$ ����$ ������� 06��� A1

)�� ������ �� ��� ���� ��� ������ �����$ ����$

���������� ��� ��� � �������� �� ��� ������� ��� �������

����$ �� ����� �� ��� ��������� �� ����� ��� ����/����

�������� �� ��� 5�� ���� )�� ����������.�� �$ ����������

��� �& ���������$ ���������� ��� ���� ������ �������

*� )�� ����������� ���� ��� ���� ������ ������ ��

��������� �$ ��� ������ ������� 0� ������1 ���� �� ���

�4 ������� �� ��4 5 �� ���� ���� � 6����� )) 7$%%$8 !$!9!$: "!<

6��� A� �������� � �� ������ �������� ��� ���� 5���

6��� "#� ����$ �� ��� � ���� ��� ������ )��� �����������

6��� ""� �������� � �� ��� ����/�) ������ ����� �� �������������

Page 6: Biological Interference Using Biom Sensors-MEMS

����$� ��� ������ ������ ���)��� ��� ����������� ��� �& ����

����� ����� ����� ��� ������ ������� �� ��� ������� ����

����� �� �� ���������� ����� ��������� �� ��� ��� ��.� 8!D;�

*������ ������ �� ���� �����& ��� �� ���� ��� ����

����� ��������� )��� 5�� ���� ���� ���� ���� ���$

����������� ��� ������� �� 06��� ":1 ���) ��� ������

�� ������� �& ������� ���� �����& �� � ���� '� �� ���

�� � ������ ����$ �� ������� ���&��� ������ ��������

�����)�� �$ ������ ��� �����&����� ������ �$ ��������

������� $�

���� �� �� � ������ �& ������� ��� ���� ��� �� ��� �$�

��)� ��� ������� ���&��� ������ �������� �� ��� �������$

��& ������ 7� � ������ ���� ��� ����� �� ����� ��

��� �����&� ���� � � ������ ������� �� ������� ��� �������

���&��� ������ �� ��� ���� ����� ��������� �� �$��� ������

��� ���� ��� )��� ���� ������ �� ��� �$��� ����� �������

������ �������� ��� ��)� �� ���� )��� �$��� �����

������� ������� ��������$ ��������� ��� ������� ��.$�

���� ���� �������� ��� ������ ��� ������ ������ ��� ��

���� ����� ��� ������ ��� ���� �� ��� ����� 7� �������

��� ����� ���� �� ����.� ��� � ������� �� ����� �� ���$

������ �� ����������� ��������� ��� ���������� ��� ��(��

������ ��������� ��� � ������� ���� ��������� ��

������� ��� ������� ���������� ������(�� �� ����$

��� ���� ������� '�� ������ � ���� ������ �� ��������

��� �������$ �� �� ������� �������

� ���������

���� � �� ��� ������� � ����� � ����� �� �����������

�������� �� �������$� ����������� �����$����� ��� ������

����� ���������$ �� ������ � ����������� ������

������ �� ��������� ��� ���������� �� ��� � ��� ���

�� ��&��$ ��� ��� ���������� ���� ���� �� �� ���������

�� � ��� �� ��� �$���� ���� ���� ����������� ��� ���

�������� ��� �� ��� ������ ��� �� ��� ���� �� ��

����� ��� ��� ���� ��������� ��� �� �� ��� �����$���

�4 ������� �� ��4 5 �� ���� ���� � 6����� )) 7$%%$8 !$!9!$:"!@

6��� "!� 0�1 I ����� ������� � �� �����& ������� ���)� ��� )���� ������ ����$ � �������� ����� �������� ������� $ 0�1 ���)� ���� �����& �� ��� � �� ��

�� �� '�� �� �������� ��� �� ������� ��������

6��� ":� 0�1 � ���� ����� �� �����& ������� 0��� ������� ������� �������� ��� ��� ����1 )�� ������� )��� G��� L�� �� ��������� �� ��� ��� � ���� �� ���

������ �� � ���� ���� ����$ �� ������� ���� ����� ��� ����9�����& ����$ )�� ����� ���� �������� ����� �������� ������� $� ��� ���� �� ��� ����

���)� ��� �������� ����������� ���� ������ 0����� ��� ����)�1 �������� �$ ��� ����� �������� �� �� ����&� 2�)�� ��� �� �� �� @�< � ��������� ���) ���

�$� ���� ��� ��)� ��� ����������� 0 ���� �1� M����) ����)� �� ������ ����������� �� ���� ������ ����� ������� �� ��� ���� �$ A#� 0 ���� 51 ���)� �

��$�� �� �����& ������� � ��&�����$ "!9"C � �� ���� ���� )��� �$� ���� ��� ��)� ��� ������������ ��� ��� ����� ���� ������ <# ��

Page 7: Biological Interference Using Biom Sensors-MEMS

Top Related