ebara-pm-emt390 jp 001...2017/02/21 · • ceマーキング、semi s2、nrtlに適合...
TRANSCRIPT
精密・電子事業カンパニー
精密・電子事業カンパニー
超高真空を作り出す荏原の磁気浮上式ターボ分子ポンプ
磁気軸受タイプEMT型/EMT-K型 (コントローラ一体型)
ドライ真空ポンプ
EMT390M (340 L/s)型
特長• 磁気浮上仕様• 340~3,300 L/sまでの幅広い製品ラインナップ• コントローラ一体型(EMT2200MK型、EMT3300MK型)• 空冷型と水冷型を選択可能(EMT2200MK型、EMT3300MK型を除く)• 高温仕様、耐食仕様を選択可能(オプション)• 様々な特殊仕様をラインナップ(反応生成物対応、極低振動型)• 取付姿勢自由• ネットワーク接続対応• CEマーキング、SEMI S2、NRTLに適合
◯◯◯型の表記は当社の機種記号です。
型式 EMT390M
排気速度
N2 340 L/s
N2 (保護金網付きの場合) 320 L/s
H2 290 L/s
到達圧力 < 1×10-6 Pa < 1×10-7 Pa
許容排気口圧力 400 Pa
最大ガス流量3) N2 2000 sccm
最大圧縮比N2 1×108
H2 4.5×103
吸気口フランジ ISO-B1001) CF100
排気口フランジ KF252)
軸受方式 磁気軸受
冷却方式 空冷/水冷
推奨補助ポンプ ≧160 L/min
質量 14 kg 17 kg
耐食仕様 選択可能(オプション)
仕様表
1) ISO1609 ボルテッドフランジ2) ISO2861/1 クランプタイプフランジ3) 補助ポンプ容量を320 L/minとした場合の許容最大流量4) オプションで大容量型コントローラを選択可能
精密・電子事業カンパニー
精密・電子事業カンパニー
外観寸法図
CF100 φ152 21 269ISO-B100 φ165 12 260
(単位:mm)
CF100 φ152 21 269ISO-B100 φ165 12 260
(単位:mm)
精密・電子事業カンパニー
精密・電子事業カンパニー
性能曲線
精密・電子事業カンパニー
精密・電子事業カンパニー
入力電圧 AC200 - 240 V ±10 %
相数 単相
周波数 50 / 60 Hz
所要電力 最大700 VA
定格出力周波数 680 Hz
使用周囲温度 0 - 40 ℃
湿度 35 - 85 %
質量 9 kg
コントローラ
推進情報 6 - tcchu-ja.or.jp · 研修会を開催し、JAの記帳代行担当者等1 2名が参加しました。 最初に、農業簿記記帳代行事業の概要や期中取引の仕訳について説明し、その後、記帳代行接
パルスヒートユニットシリーズ - 日本アビオニクスパルスヒートユニットシリーズ Pulse Heat Unit Series このカタログの記載内容は、2018年12月現在のものです。Overseas