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79
アナログ用MOSFET動作の基礎 ーダイナミックと小信号動作モデルの考え方ー 群馬大学 松田順一 2015321

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  • アナログ用MOSFET動作の基礎 ーダイナミックと小信号動作モデルの考え方ー

    群馬大学

    松田順一

    2015年3月2日

    1

  • 概要

    • MOSFETのダイナミック動作 – 準定常(QS:Quasi Static)モデル

    • MOSFETの小信号動作 – 低周波動作モデル

    • コンダクタンス

    – 中間周波動作モデル

    • 簡易版小信号等価回路

    – 高周波動作モデル

    • 完全QS小信号等価回路

    • NQS小信号等価回路 after Y. Tsividis

    (注)第59回 群馬大学アナログ集積回路研究会講演会(2007年2月2日)資料から作成

    2

  • MOSFETダイナミック動作 ーQSモデルー

    3

  • 変動端子電圧における電流と電荷の定義

    +-

    +-

    +-

    +-

    Gv

    + ++++++++++++ + +++++++++++++++++ ++ ++++++

    Bv

    Sv Dv

    Bi

    Di

    Gi

    Si

    BqIq

    Gq

    MOSFETの本質的な領域のみ考慮

    L

    4

  • QS状態 • QS状態の定義

    – 電荷の時間変化は、DCの場合と同じになる。

    – 電流の時間変化は、DCの場合と同じでない。

    印加時の端子電圧:   

    の場合と同じ):任意の関数(    

        

      

      

      

    DC , , ,

    DC , ,

    )( ,)( ,)( ,)(

    )(),(),(),()(

    )(),(),(),()(

    )(),(),(),()(

    SBGD

    BGI

    SSBBGGDD

    SBGDBB

    SBGDGG

    SBGDII

    VVVV

    fff

    VtvVtvVtvVtv

    tvtvtvtvftq

    tvtvtvtvftq

    tvtvtvtvftq

    5

  • QS状態時の端子電流と各電荷

    • ゲート電流(ゲート電荷の時間変化)

    • 基板電流(空乏層電荷の時間変化)

    • ドレイン+ソース電流(反転層電荷の時間変化)

    )リーク電流  (但し、ゲートの 0)( dt

    dqti GG

    )ーク電流  (但し、基板のリ 0)( dt

    dqti BB

    0 )()(:

    0 )()(:DC

    )()(

    dtdqtiti

    dtdqtiti

    dt

    dqtiti

    ISD

    ISD

    ISD

    合  電圧が変化する場

      の場合  

    6

  • 面積1 面積2 面積3

    面積1=面積2=面積3(反転層電荷の全変化量)

    -iS

    iD

    iT-iS

    iDiT

    t

    電流

    -iSiT

    iD

    VG(t),|qI|(t)

    t

    iDA

    iSA

    ゲート電圧変化に対応した電流変化

    SBGDTT VVtvVhI ,),(,

    7

  • 反転層電荷の成分(時間変化)

    • ドレイン/ソース電流の成分

    • 反転層電荷の時間変化

    • ドレイン/ソースに関連した電荷

    )()()(

    )()()(

    tititi

    tititi

    SATS

    DATD

    )()()(

    : ,)(

    :,)(

    tqtqtqdt

    dq

    dt

    dq

    dt

    dq

    qdt

    dqti

    qdt

    dqti

    ISDISD

    SS

    SA

    DD

    DA

          

    層電荷ソースに関連した反転 

    転層電荷ドレインに関連した反 

    dt

    dqtitititi ISADASD )()()()(

    8

  • QDとQSの表現

    • qDとqSの表現(電流連続の式から導出)

    • QS状態の場合:

    L

    IS

    L

    ID dxL

    xtxqWqdx

    L

    xtxqWq

    0

    '

    0

    ' 1, ,,

    L

    IS

    L

    ID dxL

    xtxQWQdx

    L

    xtxQWQ

    0

    '

    0

    ' 1, ,,  

    CBI

    DSSBDBSBDBTGS

    SBCBSBCBTGS

    dVQI

    Wdx

    VVVVVV

    VVVVVV

    Lx '

    2

    2

    ,

    2

    12

    1

    '' , , IISSDD QqQqQq

    9

  • 各電荷( QGとQB とQI )の表現

    • ゲート電荷 :

    • 空乏層電荷:

    • 反転層電荷:

     L

    GG dxQWQ0

    '

    L

    BB dxQWQ0

    '

     L

    II dxQWQ0

    '

    10

  • QS状態の各電荷の計算

    • 電流式:簡単化されたソース参照強反転モデル

    • 反転層電荷と空乏層電荷

    • 各電荷の関係:

    TGSDS

    DSDS

    DSDS

    DS

    DS

    SB

    TGSoxDS

    DSDS

    VVV

    VV

    VVV

    V

    V

    VVC

    L

    WI

    II

    '

    '

    '

    '

    0

    1

    2

    ''

    2'

    ,0

    ,1

    21

    2

    1

      

       

       

      

    SBCBSBoxBSBCBTSBGBoxI

    VVVCQ

    VVVVVCQ

    10''

    ''

    0 BIoG QQQQ 11

  • QS動作のQG,QB,QI(強反転)

    • ゲート電荷

    • 空乏層電荷

    • 反転層電荷

    oSBTGS

    oxG QVVV

    WLCQ

    0

    2'

    1

    1

    3

    21

    1

    1

    3

    21

    1 2

    0

    '

    TGSSBoxB VVVWLCQ

    1

    1

    3

    2 2'TGSoxI VVWLCQ

    12

  • QS動作のQD,QS(強反転)

    • ドレインに関連した反転層電荷

    • ソースに関連した反転層電荷

    2

    32'

    115

    61284

    TGSoxD VVWLCQ

    2

    32'

    115

    48126

    TGSoxS VVWLCQ

    13

  • 非飽和領域における電荷(強反転)

    • QG,QB,QI, QD,QSの表現

    2

    2'

    0

    '

    0

    '

    0

    0

    '

    0

    0

    '

    0

    TGSoxVS

    TGSoxVD

    TGSoxVI

    SBoxVB

    oSBTGSoxVG

    VVWLCQ

    VVWLCQ

    VVWLCQ

    VWLCQ

    QVVVWLCQ

    DS

    DS

    DS

    DS

    DS

    0:1 DSV

    14

  • 飽和領域における電荷(強反転)

    • QG,QB,QI, QD,QSの表現

    TGSoxsatS

    TGSoxsatD

    TGSoxsatI

    TGSSBoxsatB

    oSBTGS

    oxsatG

    VVWLCQ

    VVWLCQ

    VVWLCQ

    VVVWLCQ

    QVVV

    WLCQ

    '

    ,

    '

    ,

    '

    ,

    0

    '

    ,

    0

    '

    ,

    5

    2

    15

    4

    3

    2

    3

    1

    3

    1

    ':0 DSDS VV

    15

  • 反転層電荷成分 のVDS依存性

    反転層全電荷成分

    ソースに関連した成分

    ドレインに関連した成分

    1

    1

    3

    2 2

    232

    115

    61284

    232

    115

    48126

    1

    2

    1

    0 'DSV

    DSV

    15

    4

    5

    2

    3

    2

    16

  • 各電荷のVDS依存性

    ゲート電荷 oBIG QQQQ

    SDI QQQ

    GQ

    BQ

    DQ

    SQ

    IQ

    DSV0

    反転層電荷 17

  • DC条件下での通過時間 ー強反転ー

    • 強反転非飽和(VDS:小)

    • 強反転飽和

    DSDSTGSox

    TGSox

    DS

    I

    V

    L

    VVVLWC

    VVWLC

    I

    Q

    2

    '

    '

         但し、

     

    TGS

    TGSox

    TGSox

    DS

    I

    VV

    L

    VVLWC

    VVWLC

    I

    Q

    2

    0

    02'

    '

    3

    4

    2

    13

    2

    18

  • DC条件下での通過時間 ー弱反転、速度飽和ー

    • 弱反転

    • 速度飽和

    tDSVItDS

    tIt

    ILI

    DS

    I

    eQL

    WI

    L

    QLW

    QQWL

    I

    Q

    1

    2

    2

    '

    0

    2

    '

    0

    ''

    0

      弱反転電流:

    )(但し、 tDSV 5

    maxdv

    L

    19

  • 通過時間とVGSとの関係

    t

    L

    2

    2

    maxdv

    L

    TGS VV

    L

    234速度飽和

    弱反転

    GSV0 20

  • ゲート印加電圧と回路

    )(tvG

    0

    TV

    t1t 3t

    )(tvGDDV

    )(tiD

    21

  • ドレイン電流(成分)の時間変化

    '

    15

    4

    ox

    G

    D

    G

    G

    DDA

    WLCv

    q

    dt

    dv

    v

    qi

    ・飽和領域t

    t

    t

    t

    1t 3t

    1t

    3t

    1t

    3t

    1t 3t

    0

    0

    0

    0

    )(tiT

    )(tiDA

    )()( titi DAT

    )(tiD(measured)

    2t22

  • QSモデルの限界

    • QSモデルの成立(荒いルール)

    – 但し、速度飽和が起こらない場合

      

    波形の上昇時間 

    TGS

    R

    R

    VV

    L

    t

    t

    2

    0

    0

    :

    20

    23

  • MOSFETの小信号動作 ー低周波動作モデルー

    24

  • MOSFETの電流のパス

    チャネルパス

    ドレイン-基板パス

    GV

    BV

    SV

    DV

    DSI DI

    DBI

    0

    G

    DBDSD

    I

    III  

    ),,(

    ),,(

    DBSBGBDB

    DSBSGSDS

    VVVI

    VVVI

    25

  • VGS ,VBS ,VDSの小信号変化

    0DSV

    0SBV

    0GSV

    DSV

    BSV

    GSV

    DSDS II 0

    ソース(S)

    ゲート(G)

    ドレイン(D)

    基板(B)

    26

  • 小信号変化による電流:ΔIDS • VGS ,VBS ,VDSの小信号変化による電流

    DSsdBSmbGSm

    DS

    VVDS

    DSBS

    VVBS

    DSGS

    VVGS

    DSDS

    VgVgVg

    VV

    IV

    V

    IV

    V

    II

    BSGSDSGSDSBS

        

     ,,,

    DSI

    sdg

    GSm Vg

    BSmb Vg

    GSV

    BSV DSV

    (D) (S)

    (B)

    (G)

    27

  • VSBの小信号変化

    sdmbm

    VVSB

    DSsd

    SB

    BSmb

    SB

    GSm

    VVSB

    DS

    DS

    DS

    SB

    BS

    BS

    DS

    SB

    GS

    GS

    DS

    VVSB

    DS

    VVSB

    Sss

    ggg

    V

    Vg

    V

    Vg

    V

    Vg

    V

    V

    V

    I

    V

    V

    V

    I

    V

    V

    V

    I

    V

    I

    V

    Ig

    DBGB

    DBGBDBGBDBGB

      

      

    ,

    ,,,

    0GBV

    0SBV0DBV

    SS II 0

    SBV

    (G)

    (S) (D)

    (B)

    28

  • VGB,VSB ,VDBの小信号変化

    0GBV

    0SBV 0DBV

    GBV

    SBV DBVDBDB II 0

    ドレイン(D)

    ソース(S)

    基板(B)

    ゲート(G)

    29

  • 小信号変化による電流:ΔIDB • VGB ,VSB ,VDBの小信号変化による電流

    DBbdSBbsGBbg

    DB

    VVDB

    DBSB

    VVSB

    DBGB

    VVGB

    DBDB

    VgVgVg

    VV

    IV

    V

    IV

    V

    II

    BSGSDSGSDSBS

        

     ,,,

    DBIbdg

    GBbg Vg

    SBbs Vg

    GBV

    SBV

    DBV

    (D) (S)

    (B)

    (G)

    30

  • 低周波小信号等価回路 ーチャネル電流と基板電流ー

    GSm Vg

    sdg

    BSmb Vg

    GBbg Vg

    bdg

    SBbs Vg

    DSI DI

    DBI

    (G)

    (S) (D)

    (B) 31

  • ゲートと基板コンダクタンス(gm, gmb) • ゲート・トランス・コンダクタンス

    • 基板トランス・コンダクタンス

    ''

    ''

    : ,

    : ,

    DSDSTGSox

    TGSDSDSDSoxm

    VVVVC

    L

    W

    VVVVVC

    L

    Wg

     飽和領域    

     非飽和領域     

    '

    00

    '

    '

    00

    ,

    ,

    DSDSm

    SBSBDS

    DSDSm

    SBSBDS

    mb

    VVgVVV

    VVgVVV

    g

      

       

    32

  • 飽和領域のgmとgmbの関係

    • VDS,VGSが小さい場合( も小)

    '

    '

    1

    0

    112 ox

    b

    SB

    T

    SBm

    mb

    C

    Cn

    dV

    dV

    Vg

    g

    g m

    g mb

    ゲート

    ソース ドレイン

    空乏層

    基板

    I DS

    V S V D

    V G

    V B

    C' ox

    C' b

    '

    DSV

    F

    tF

    n

    2 :

    62:

    0

    01

    33

  • ソース・ドレイン・コンダクタンス(gsd) ー非飽和領域: ー

    • 完全対称強反転モデルの場合

    • 簡単化されたソース参照強反転モデルの場合

    DSTGSoxsd VVVCL

    Wg '

     00' SBDSFBDSGSoxsd VVVVVCL

    Wg

    '

    DSDS VV

    VDS=0で上記gsdは等しくなる。

    34

  • ソース・ドレイン・コンダクタンス(gsd) ー飽和領域: ー

    • チャネル長変調の場合(2次元解析)

    • DIBLの場合

    '

    DSDS VV

    joxjox

    ox

    sa

    E

    DSDSap

    DSDSE

    DSa

    DS

    p

    DSsd

    dtdtlV

    VVll

    VVV

    I

    L

    l

    V

    l

    LIg

    3 ,1ln

    1

    '

    '

    ''

      

       

    DS

    Tm

    DS

    TDSTGS

    oxsd

    V

    Vg

    V

    VVVV

    C

    L

    Wg

    '

    25.0,1

    2 ,

    21

    201

     但し、

        DSSBox

    ox

    sTLTLTT VV

    L

    tVVVV

    35

  • 飽和領域のgmとgsdの関係

    • DIBLの場合

    g m

    g sd

    ゲート

    ソース ドレイン

    空乏層

    基板

    I DS

    V S V D

    V G

    V B

    (DIBL)

    L

    t

    V

    V

    g

    g ox

    ox

    s

    DS

    T

    m

    sd

    5.0

     

    36

  • 基板~ドレインコンダクタンス

    • gbg:通常動作 ⇒ 無視(gmよりかなり小)

    • gbs:通常動作 ⇒ 無視

    • gbd:

    3010,31

    exp'

    '

    ~ ~

    ii

    DSDS

    iDSDSiDSDB

    VK

    VV

    VVVKII

    2', DSDSiDB

    VVDB

    DBbd

    VV

    VI

    V

    Ig

    SBGB

    IDB

    VGS 0

    VDS増大

    37

  • 出力コンダクタンス

    • 出力コンダクタンスg0

    • 基板抵抗 がある場合

    bdsd

    VVDS

    Do

    gg

    V

    Ig

    SBGS

      

    ,

    sdbe

    bdbdbembsdo

    gR

    ggRggg

    1 ≪但し、

    beR

    38

  • 出力コンダクタンスgo vs. VDS

    VDS

    Channel Length

    Modulation

    and DIBL

    Impact

    Ionization

    Non-

    saturation

    VDS

    ID

    (log

    sca

    le)

    go

    39

  • 出力コンダクタンス ー短/長チャネルデバイスでの違いー

    by R. M. D. A.velghe, D. B. M. Klaassen, and F. M. Klaassen

    (a) short-channel device

    (W=10μm, L=0.35 μm, tox=100Å)

    (b) long-channel device (W=1.2μm, L=10 μm, tox=150Å)

    1993 by IEEE 40

  • gm, gmb, gsd vs. VDS

       mSBSBDS

    gVVV

    00'

    gm

    gmb

    gsd

    gm, gmb, gsd

    倍11

    TGSox VV

    L

    WC

    ' TGSox VV

    L

    WC

    '

    VDS 'DSV0 41

  • MOSFETの小信号動作 ー中間周波動作モデルー

    42

  • 小信号による容量モデル ーソース側: Cgs, Cbsー

    + ++++++++++++ + +++++++++++++++++ ++ ++++++

    +-

    +-

    +-

    +-

    +-

    BB QQ 0

    GG QQ 0

    0SV 0BV

    0DV

    0GV

    (D) (S)

    (B)

    (G)

    SV

    S

    Bbs

    S

    Ggs

    V

    QC

    V

    QC

    43

  • 小信号による容量モデル ードレイン側: Cgd, Cbdー

    + ++++++++++++ + +++++++++++++++++ ++ ++++++

    +-

    +-

    +-

    +-

    +-

    BB QQ 0

    GG QQ 0

    0SV

    0DV

    0GV

    (D) (S)

    (B)

    (G)

    DV

    0BVD

    Bbd

    D

    Ggd

    V

    QC

    V

    QC

    44

  • 小信号による容量モデル ー基板側: Cgbー

    B

    Ggb

    V

    QC

    + ++++++++++++ + +++++++++++++++++ ++ ++++++

    +-

    +-

    +-

    +-

    +-

    GG QQ 0

    0SV 0DV

    0GV

    (D) (S)

    (B)

    (G)

    BV

    0BV 45

  • MOSトランジスタ小信号等価回路 ー簡易版ー

    gsC gdC

    bsC bdC

    gbC

    gsmvg

    bsmbvg

    sdg

    (G)

    (D)

    (B)

    (S)

    46

  • 強反転に於ける各容量計算 • 強反転電流式:簡単化されたソース参照モデル

    – QBとQGの表現

    – 仮定1:

    – 仮定2:

    SB

    T

    SBdV

    dV

    V

    1

    21

    0

    1

     

    oSBTGS

    oxG

    TGSSBoxB

    QVVV

    WLCQ

    VVVWLCQ

    0

    2'

    2

    0

    '

    1

    1

    3

    21

    1

    1

    3

    21

    1

     

     

    が小さい場合成立が大きく、 

    :定数)の微分は無視(との

    DSSB

    BS

    VV

    VV

    11

    47

  • 強反転領域での容量

    2

    1

    1

    ,,

    12

    2

    1

    ,,

    2

    2

    ,,

    121

    ,,

    2

    ,,

    1

    1

    3

    1

    113

    221

    13

    22

    113

    2121

    13

    212

    ox

    VVVB

    Ggb

    gdox

    VVVD

    Bbd

    ox

    VVVD

    Ggd

    gsox

    VVVS

    Bbs

    ox

    VVVS

    Ggs

    CV

    QC

    CCV

    QC

    CV

    QC

    CCV

    QC

    CV

    QC

    DSG

    BSG

    BSG

    BDG

    BDG

     

     

     

     

     

    ソース側容量

    ドレイン側容量

    ゲート~基板間容量

    48

  • 強反転領域での各容量の関係

    • VDSまたはVGSが小さい場合

    111'

    '

    ndV

    dV

    g

    g

    C

    VC

    C

    C

    C

    C

    SB

    T

    m

    mb

    ox

    SBbc

    gd

    bd

    gs

    bs

    V S

    V B

    V G

    V D

    N+ N+

    ゲート

    P型基板

    空乏層

    C gs

    C' bc

    C' ox

    C bdC bs

    C gdg m

    g mb

    ≒(α 1-1)倍

    49

  • 非飽和及び飽和領域での各容量

    • 非飽和領域での容量:

    • 飽和領域での容量:

    0 ,1 DSV

    ' ,0 DSDS VV

    0

    )(2

    1

    21

    2

    '

    1

    gb

    SBbcox

    bdbs

    oxgdgs

    C

    WLVCC

    CC

    CCC

    oxgb

    bdgd

    oxbs

    oxgs

    CC

    CC

    CC

    CC

    1

    1

    1

    3

    1

    0

    13

    2

    3

    2

    (反転層のシールドによる)

    ゲート側容量

    基板側容量

    ゲート~基板間容量

    ソース側容量

    ドレイン側容量

    ゲート~基板間容量 50

  • 小信号容量 vs. VDS (VSB=0)

    Cgs

    Cgd

    Cbs

    Cgb Cbd

    倍11 倍11

    飽和領域 非飽和領域

    VDS(V)

    0.5Cox

    51

  • ゲートへの小信号印加等価回路

    Cgs Cgb

    gmvgs

    tCCdt

    tdCC

    gbgs

    gbgs

    cos

    sin

    t sin

    tgm sin

    t sin

    (G)

    (G)

    (B)

    (S) (D)

    (B) (S) (D)

    飽和領域で動作 52

  • 真性トランジション周波数

    • 短絡回路電流利得

    – |小信号ドレイン電流|/|小信号ゲート電流|

    • 真性トランジション周波数(カットオフ周波数):

    )( gbgs

    mi

    CC

    ga

    02 2

    3

    2

    3

    L

    VV

    C

    g

    CC

    g

    TGS

    gs

    m

    gbgs

    mTi

      

    1ia

    飽和領域(強反転):速度飽和のない場合

    53

  • MOSFETの小信号動作 ー高周波動作モデルー

    54

  • 印加電圧の定義 ーバイアス(DC)と小信号の電圧/電流成分ー

    )(tiI dD )(tiI sS

    )(tig)(tvg

    )(tib

    )(tvd)(tvb)(tvs

    DVBVSV

    GV

    (D)

    (B)

    (S)

    (G)

    55

  • 小信号チャージング電流

    • 小信号チャージング電流の表現

    – 但し、

    dt

    dvC

    dt

    dvC

    dt

    dvC

    dt

    dvCti

    dt

    dvC

    dt

    dvC

    dt

    dvC

    dt

    dvCti

    dt

    dvC

    dt

    dvC

    dt

    dvC

    dt

    dvCti

    dt

    dvC

    dt

    dvC

    dt

    dvC

    dt

    dvCti

    sss

    bsb

    g

    sgd

    sdsa

    sbs

    bbb

    g

    bgd

    bdb

    sgs

    bgb

    g

    ggd

    gdg

    sds

    bdb

    g

    dgd

    ddda

    )(

    )(

    )(

    )(

     

     

     

     

    lkkl

    ol

    Kkl

    oK

    Kkk CCkl

    v

    qC

    v

    qC

     一般に、  , ,

    56

  • • 簡易版から追加

    完全QS小信号 等価回路

    gsC gdC

    bsC bdC

    gbC

    dt

    dvC

    gs

    m

    dt

    dvC bsmb

    gsmvg

    sdg

    sdC

    dt

    dvC

    gb

    mx

    bsmbvg

    gi

    disi

    bi

    (G)

    (B)

    gbbgmx

    bddbmb

    gddgm

    CCC

    CCC

    CCC

    57

  • ドレインへの小信号印加等価回路

    dt

    dvC dgd

    gdC

    sdC

    bdC

    sdg

    )(tvd

    )(tvd

    )(tig

    (D)

    (B)

    (S)

    (G)

    (D)

    (B)

    (S)

    (G)

    58

  • ゲートへの小信号印加等価回路

    dt

    dvCCtvg

    g

    mgdgm )(

    )(tvg

    )(tvggdCgsC

    gbC

    dt

    dvC

    gs

    m

    gsmvg

    dt

    dvC

    gb

    mx

    )(tid

    (D) (B)

    (S)

    (G)

    (D)

    (B)

    (S)

    (G)

    59

  • 非飽和領域での各容量

    ゲート側容量

    基板側容量

    ゲート~基板間容量

    ドレイン~ソース間容量

    ドレイン/ソース容量

    lkklDS

    lkklDS

    CCV

    CCV

    の場合、一般に、

    の場合、

    0

    0

    0

    6

    3

    0

    2

    1

    2

    10

    1

    1

    '

    1

    '

    mxmbm

    oxsdds

    oxssdd

    bggb

    bbsbbsbddb

    SBbcggbb

    gg

    sggsgddg

    oxoxgg

    DS

    CCC

    CCC

    CCC

    CC

    CCCCC

    WLVCCC

    CCCCC

    WLCCC

    V

     

     

     

     

     

     

     

     

    での容量

    60

  • 飽和領域での各容量

    oxbggb

    SBbcgsbs

    SBbcsgsb

    oxgs

    oxsg

    bd

    SBbcdgdb

    gd

    oxdg

    DSDS

    CCC

    WLVCCC

    WLVCCC

    CC

    CC

    C

    WLVCCC

    C

    CC

    VV

    1

    1

    '

    1

    '

    1

    '

    1

    '

    3

    1

    3

    21

    5

    21

    3

    2

    5

    2

    0

    15

    41

    0

    15

    4

    0

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    る。での容量は、以下とな

    0

    15

    41

    15

    4

    5

    2

    0

    3

    11

    3

    2

    3

    1

    3

    2

    0

    15

    4

    '

    1

    1

    1

    11

    1

    1

    1

    mx

    SBbcmmb

    oxm

    oxss

    dd

    oxbb

    oxgg

    sd

    oxds

    C

    WLVCCC

    CC

    CC

    C

    CC

    CC

    C

    CC

    ドレイン側容量

    ソース側容量

    ゲート~ 基板 間容量

    ドレイン~ ソース間容量

    61

  • Cdg,Cdb,Cbg,Csd vs. VDS(VSB=0)

    Cdg

    Cdb Cbg

    Csd

    倍11

    飽和領域 非飽和領域

    VDS (V)

    V 2 with V, 9.0,V 6.0 ,V 5.0 05.0

    0 GST VV

    oxC5.0

    oxC2.0

    62

  • Cm,Cmb,Cmx vs. VDS(VSB=0)

    Cm

    Cmb

    Cmx

    gbbgmx

    bddbmb

    gddgm

    CCC

    CCC

    CCC

    倍11

    飽和領域 非飽和領域

    V 2 with V, 9.0,V 6.0 ,V 5.0 05.0

    0 GST VV

    VDS (V)

    oxC4.0

    oxC2.0

    63

  • 小信号等価回路

    yパラメータモデル ー電流・電圧表現(小信号)ー

    vgvgg tMtv cos)(

    vgj

    vgg eMV

    Is Id

    Ig

    Ib

    Vd

    Vg

    Vs Vb ss

    bb

    gg

    dd

    Iti

    Iti

    Iti

    Iti

    )(

    )(

    )(

    )(

    ss

    bb

    gg

    dd

    Vtv

    Vtv

    Vtv

    Vtv

    )(

    )(

    )(

    )(

    64

  • yパラメータを用いた電流表現

    • 小信号等価回路が線形近似できる場合のId

    – 同様にIg, Ib, Isの表現

    sdsbdbgdgddd

    VVVdVVVdVVVdVVVdd

    VyVyVyVy

    IIIIIbgdsgdsbdsbg

      

    0,,0,,0,,0,,

    sssbsbgsgdsds

    sbsbbbgbgdbdb

    sgsbgbgggdgdg

    VyVyVyVyI

    VyVyVyVyI

    VyVyVyVyI

    lnVl

    k

    kl

    n

    V

    Iy

    ,0

     

    65

  • 一般的なyパラメータモデル

    -ygd

    Ig

    Id

    Ib

    -ybd -ygb

    ymVgs

    ymbVbs

    -ysd

    -ygs

    -ybs ymxVgb

    mxmx

    mbmbmb

    mmm

    sdsdsd

    gbgb

    bsbs

    bdbd

    gsgs

    gdgd

    Cjy

    Cjgy

    Cjgy

    Cjgy

    Cjy

    Cjy

    Cjy

    Cjy

    Cjy

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    小信号の場合完全QS

    66

  • NQSの場合のyパラメータ

    5432

    0

    4

    2

    2

    0

    3

    2

    2

    0

    2

    3

    2

    0

    1

    1

    213301321

    15

    2

    21

    2851

    15

    1

    211

    5821

    15

    1

    1

    311

    15

    4

    20 L

    VV TGS

    1

    1

    4,

    2

    1

    3

    1

    3

    1

    2

    1

    2

    1

    1

    1

    1

    1

    1

    1

    1

    1

    1

    j

    gy

    j

    CjCjy

    j

    jCjy

    j

    jCjy

    j

    jCjy

    j

    jCjy

    sdsd

    satgb

    gbgb

    bdbd

    gdgd

    bsbs

    gsgs

    0

    1

    1

    1

    1

    mx

    mbmb

    mm

    y

    j

    gy

    j

    gy

     

     

     

    ソース側のy

    ドレイン側のy

    67

  • NQSの場合のyパラメータの近似

    近似方法

    1222 111

    jj がの≪

    さい。パラメータに比べて小はいずれにしても他のであるが、

    の中では主モードは小では、非飽和領域且つ

    飽和領域では、

    但し、

        

    ≪   

    ≪   

    ≪   

    ≪   

    gb

    gbaDS

    a

    satgb

    a

    agbgb

    bdbd

    gd

    gd

    bsbs

    gs

    gs

    y

    yyV

    y

    j

    Cjy

    yCjy

    j

    Cjy

    j

    Cjy

    j

    Cjy

    j

    Cjy

    0

    1

    1,1

    1,1

    1,1

    1,1

    1

    4,

    2

    3

    31

    3

    31

    2

    21

    2

    21

    0

    1,1

    1,1

    1,1

    1

    1

    1

    1

    1

    1

    mx

    mbmb

    mm

    sdsd

    y

    j

    gy

    j

    gy

    j

    gy

     

     ≪  

     ≪  

     ≪  

    ソース側のy

    ドレイン側のy

    68

  • yパラメータの等価回路

    bdgdbsgs yyyy     ,,, sdy

    j

    Cjy

    1 j

    gy

    1

    g

    g

    1

    C

    C

    69

  • NQS小信号等価回路

    • 時定数の関係

    • 抵抗の関係

    gsR

    gsC gdC

    gdR

    bsC

    bsR

    bdC

    bdR

    sdg1 sdL

    gI

    dI

    bI

    gsm Vj

    g

    11

    bsmb Vj

    g

    11

    gbC ay

    1

    31

    21

    sdsd

    bdbdgdgd

    bsbsgsgs

    gL

    CRCR

    CRCR

    TGSox

    oxkl

    VVCW

    L

    CR

    '

    1

    0

    70

  • Rgs, Rgd, Rbs, RbdとLsdのVds依存性

    Lsd

    Rgs

    Rgd

    Rbs

    Rbd

    VDS’ VDS’ VDS VDS

    0 0 71

  • インダクタンス成分の解釈

    sdg2

    1

    sdg2

    1

    sdg

    1

    sdL

    iV

    iV

    C

    oI

    oI

    oi

    iv(D) (B)

    (G)

    (S)

    (D) (S)

    (D) (S)

    isd

    o Vj

    gI

    1

    sdgC 4

    sdsd gL

    72

  • 複素数係数を用いない等価回路

    gsR

    gsC gdC

    gdR

    bsC

    bsR

    bdC

    bdR

    sdg1 sdL

    gI

    dI

    bI

    1Vgm

    2Vgmb

    gbC ay

    1R

    1C

    2R

    2C +

    2

    122

    1

    111

    22111

    1

    2

    1

    1

    2

    1

    1

    1

    ,001.0

    ,001.0

    1

    1

    1

    1

    1

    1

    CRCC

    CRCC

    CRCR

    Vj

    V

    Vj

    V

    VgVj

    g

    VgVj

    g

    bs

    gs

    bs

    gs

    mbbsmb

    mgsm

     

     

     

     

     

    1V

    2V

    73

  • ymの規格化された大きさと位相 vs. ω

    20 L

    VV TGS

    a

    b

    c

    d

    01.0

    01.0

    010m

    m

    g

    y

    my

    0

    010a

    b,c

    d

    axis) (log

    axis) (log

    74

    a:低/中間周波モデル~ω0/10 b:完全QSモデル~ω0/3 c:NQS(高周波) モデル~ ω0 d:高次項含むモデル~10ω0

  • 完全トランジスタの小信号モデル ー実用的ー

    NQS小信号等価回路(真性トランジスタ部分)

    Rge

    Rde

    Rbe

    Cbb’

    Rse

    Cgde Cgse

    Cbse Cbde Cgbe

    (G)

    (S)

    (B)

    (D)

    (G’)

    (D’)

    (B’)

    (S’)

    75

  • トランジション周波数評価回路

    • 出力電流 Rge

    Ii

    Io

    Cgd Cgb Cgs

    Cbd

    Ii

    gmVg’s

    1/gsd

    (G)

    (S) (D)

    g’

    s

    無視  を流れる電流

     (2)

    真性+外部容量    

    (1)

    sdbdgd

    gdgbgsg

    g

    im

    sgmo

    gCC

    CCCC

    Cj

    IgVgI

    /1 , ,

    '

    76

  • トランジション周波数

    • トランジション周波数:

    – 速度飽和がない場合:

    – 速度飽和がある場合

    g

    mT

    C

    g

     

       WLCCVVC

    L

    Wg

    L

    VV

    oxgTGSox

    m

    TGST

    ''

    02

    ,

    max

    '

    max

    doxm

    d

    T

    vWCg

    L

    v

      

    1 ioi IIa

    '

    DSDS VV  但し、

    77

  • ゲート抵抗の分布

    • 片側コンタクトの場合の実効ゲート抵抗

    • 両側コンタクトの場合の実効ゲート抵抗

    □RL

    WR effge

    3

    1,

    □RL

    WR effge

    12

    1,

    (G)

    (D)

    (S)

    mW

    mRge

    mW

    mRge

    mW

    mRge

    mW

    mRge

    mW

    mRge

    drain

    source

    gate metal

    78

  • 最大周波数

    • 一方向のパワー利得(フィードバック無)

    • 最大周波数:

    – を増大⇒ :大、 :小

    • :小 – シリサイドゲート、メタルゲート

    – マルチコンタクト

    – デバイスの分割(寄生容量に注意)

    gdTsdgeTp CgRa 22 4

    effgegegesegdTsdeffge

    T RRRRCgR

    ,

    ,

    max ,,4

    ≪ 

    1max

    pa

    effgeR ,max T

    effgeR ,

    79