intégration 3d de nanofils si-sige pour la réalisation de
TRANSCRIPT
HAL Id: tel-00981971https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00981971
Submitted on 23 Apr 2014
HAL is a multi-disciplinary open accessarchive for the deposit and dissemination of sci-entific research documents, whether they are pub-lished or not. The documents may come fromteaching and research institutions in France orabroad, or from public or private research centers.
L’archive ouverte pluridisciplinaire HAL, estdestinée au dépôt et à la diffusion de documentsscientifiques de niveau recherche, publiés ou non,émanant des établissements d’enseignement et derecherche français ou étrangers, des laboratoirespublics ou privés.
Intégration 3D de nanofils Si-SiGe pour la réalisation detransistors verticaux 3D à canal nanofil
Guillaume Rosaz
To cite this version:Guillaume Rosaz. Intégration 3D de nanofils Si-SiGe pour la réalisation de transistors verticaux 3D àcanal nanofil. Autre. Université de Grenoble, 2012. Français. NNT : 2012GRENT108. tel-00981971
THÈSE Pour obtenir le grade de
DOCTEUR DE L’UNIVERSITÉ DE GRENOBLE Spécialité : NANO ELECTRONIQUE ET NANO TECHNOLOGIES
Arrêté ministériel : 7 août 2006
Présentée par
Guillaume ROSAZ Thèse dirigée par Thierry BARON coencadrée par Bassem SALEM et Nicolas PAUC préparée au sein du Laboratoire des Technologies de la Microélectronique (CNRS) et du Laboratoire Silicium, Nanoélectronique, Photonique et Structures (CEA-INAC-SP2M) dans l'École Doctorale EEATS
Intégration 3D de nanofils Si et SiGe pour la réalisation de transistors verticaux à canal nanofil. Thèse soutenue publiquement le 11 décembre 2012 devant le jury composé de :
Dr, Gérard, GHIBAUDO Directeur de recherche, IMEP/LAHC, Grenoble, Président
Pr, Jean-Luc, AUTRAN Professeur, IM2NP, Marseille, Rapporteur
Dr, Emmanuel, DUBOIS Directeur de recherche, IEMN, Villeneuve d’Ascq, Rapporteur
Dr, Guilhem, LARRIEU Chargé de recherche, LAAS, Toulouse, Examinateur
Dr, Jean-Louis, LECLERCQ Chargé de recherche, Ecole centrale de Lyon, Examinateur
Dr, Thierry, BARON Directeur de recherche, LTM, Grenoble, Directeur de thèse
Dr, Bassem, SALEM Chargé de recherche, LTM, Grenoble, Encadrant de thèse
Dr, Nicolas, PAUC Ingénieur CEA, INAC/SiNaPS, Grenoble, Co-encadrant de thèse
À mes parents et grands-parents,
« Anything that can go wrong, will go wrong »
Edward A. Murphy Jr.
♠r♠♥ts
❱♦ ♥ tr♦s ♥♥és ♠é♠♦rs ♣ssés s♥ t P ♠♦♥ r♥♦♥tré ♥
tr♦s ♥s ♦s s③ s qqs ♥s ♦s ♥ ts rt♥♠♥t ♣rt ♥ ♠①s ♣rès
s t ① q rs ♣ ♦r ♥s ♣tt t
st ♥t t♦t qtr ♣rs♦♥♥s q s♦trs r♠rr ♣♦r ♠♦r ♦♠♣♥é r♥t tr
râ à ① ♠ tès s sr ér♦é ♥s s ♦♥t♦♥s q ♦♥ ♣t qr ♦♣t♠s
rr② étt ♣r♦té ♦r ♥ rtr tès ss ♠ ♦ ♥t t q ♣s
st ♦r♥r ♥ ♦s♥ s été ♥ ♥r♦② rtr tès t♦♦rs ♣rés♥t t ss
r♥♠♥t ♣♣réé t r♥s t♦♥ ♦♥♥êtté t t rr s♥tq s très s♦♥t ♠s ♠♥
à ♣ât ♣♦r ♣ré♣rt♦♥ ♠s é♥t♦♥s ♣r♦s à s ♦rrs ♣s q ♠t♥① t ♣♦r
t r♠r ♥♥♠♥t s s t r♥r s♣♦♥ ♠ré t♦♥ ♠♣♦ t♠♣s ♣s q ré t
été ♥ ért ♣sr ♣♦♦r trr ♥s♠ ♦♥♥ ♦♥t♥t♦♥ ♣♦r s trs té♠tqs
rr t ♥♦r ♠r
♦s P❯ ❯♥ ♥r♥t tès ①♣t♦♥♥ st rr ♣♦♦r trr s ♥s ②♥t ♥
rr t ♥ ♥ s♥tq ♦♠♠ s t♥s ♠s t♦♦rs s♦t♥ ♥s ♠s ♥tts t ♣♦ssé à
♦t♥r ♠r ♠♦♠ê♠ t r♠r ♦r t♦♦rs r ♥ ♠♦ ♥♦t♠♠♥t ♠♦r s♦t♥
♠ré s éts s t ♦♠♣①té té♠tq r ♣♦r t♦t t ♦♥♥ ♦♥t♥t♦♥
♥ s♣ér♥t ♣♦♦r ♦♦rr t♦ ♥s tr ♦♥ ♥ st ♠s
ss♠ st ♦ t♦♥ ♣r♠r tésr ♥ ss ♦♥ ♣ ① s♥ts rs
♣ssé tr♦s ①♥ts ♥♥és s♦s t s♣rs♦♥ s été ♥ ♥r♥t ♦rs♣r ♣rs é♥♦r♠é♠♥t
♣sr à trr t♦ s t♦♦rs t♦t t ♣♦r q ♣ss ♦r ès ♠tér ♥éssr
♦♥ ér♦♠♥t ♣r♦t t ♣♦rté ss rts ♥ ♦♠♣t ♣s t♠♣s q ♥♦s ♦♥s ♣ssé à
P ♣♦r é♦♣♣r ♥♦tr ♣r♦éé ♥tért♦♥ ♥♥♦s ât ♣♦♦r r♣r♥r ♥ ♥♦s
sss♦♥s t♦r ♥ ss à t r♥♦ à rr ♠♦♥ ♠s é♠♥t à str ♥♦s rrs
r♠♥t ♣♣réé t q t ♠s t♦♦rs ♣♦ssé rs ♥t ♥♦t♠♠♥t ♥ q ♦♥r♥
♣t♦♥ rts ♣ss ♦♥ ♦r à ❱r♥ ♣rss♦♥ êtr ♦rt ré t♠♣s
♥éssr à ♦t♥t♦♥ s ♣r♠rs réstts sr t ♥s ♠s éss♣éré t t ♠s t♦♦rs t
♦♥♥ t s♦t♥ ♥s ♠s ♣r♦♣♦st♦♥s ♠é♦rt♦♥ s ♣r♦éés rt♦♥ r ♣♦r t♦t ♥
s♣ér♥t ♣♦♦r rtrr ♥s♠ ♥s tr
Ps s ♥st ♦♣ t♠♣s ♥s ♣rt♦♥♥♠♥t s rtts r♦ss♥
♥♥♦s rt① ♠ré s ♥♦♠r① trs ♣r♦ts ①qs t éts é râ à t♦ ♣ s♣♦sr ♥
s s♦ ♣♦r é♦rr ♠s tr♥sst♦rs t♥s ért♠♥t à t r♠rr ♣♦r ♦r ♥st t♥t
é♥r ♥s ♣r♦t ♦♠♣① t ♦r ♣r♠s ♥ r ♥ résst
r♠r é♠♥t ♠♥t t♦s s ♠♠rs r② érr ❯ ♥ ❯ ♠♠
♥ ❯ ♠ ❯ t ♥♦s q ♦♥t ♣té ♣r♥r ♣rt à ét♦♥
tr tès r à ① ♣♦r rs ♦♠♠♥trs ♦♥strts t ♣♦r t♠♣s ♣ssé à tr
♠♥sr♣t
② é♠♥t s tésrs s♥s q tr ♥rt ♠s ♣ ♦tr ♣♥s ♥ ♣rtr à ①s
P Pr②♥ P❲ ♦ ❯P r ♦r♥ ❯ ♦r♥ t r
♦♥t é♣♦sséré ♣r♦é♠tq r♦ss♥ s ♥♥♦s ①s ♦ t Pr②♥ ♦♥t été
♠s ♦r♥ssrs ♦s ♥♥♦s t s♥s ① ♥rs ♠s ♣ ♠♥r à ♥ ♣r♦t r à ♦s
♣♦r ♦r résé t♦t tr ♠♦♥t ♥s♣♥s à ♦tss♠♥t tt tès ♦s s♦t ♥
é♠♠♥t ♣♦r ① q ♦♥t ♥♦r ♥ ♣ ♠♥ à r ♥t s♦t♥♥ ♦s é♣♥♦r r♥t
♥ ♦tr tès
♥♦ ♣s ♥♦♥ ♣s ♣rs♦♥♥ P s♥s q ♥rs ♠s ♣ résr tr ♣♥s
♣rtèr♠♥t à ♥ t rè♥ r
P rst♦♣ ♣♥ Prr♥ ❯❳ ♥ t♦s
♣s ♠s t rs r♦t à qqs ♥s ♥ ♣ ♣s ♦♥ ♦s t♦s ♥ r♥ ♠r
❯♥ r♥ ♠r é♠♥t à ♦ ②♥ té♣♥ t PP ♣♦r ♦r éré
t♦s s s♣ts ♠♥strts ♦♠♠♥s t trs ♣r♦érs ♦♥t ♦r ♠é♥q ♠é♣♣ ♥♦r
❱♦s t③ s tésrs t t♦s s trs ♠♠rs ♥ r♠rq té
♥♦r ♠r
t♥s é♠♥t à r♠rr ♥♣tst ♥ r♠rr ♠s ss③ ♦r t♦♦rs t♦t
♠s ♥ ÷r ♣♦r ♠♥t♥r tt ♥ étt ♠r ① q ♦♥♥ss♥t êt s♥t q st ♥
r tâ r été ♥ r♥ ♣sr str ♣r♦ss t ♣rtr é à P t s♦t
♠r ♣♦r st t rrèr
r ss à r q tr♦♥t s♥s ss s és ♦r♥s ♣♦r ♠é♦rr s éq
♣♠♥ts tr ♥s s tésrs P
s♦t ss rssr ♠s r♠r♠♥ts à ②♥ ❱ t r♥ ❯ ♣♦r ♦r
résé s ♦♣s t ♦srt♦♥s sr ♠s é♥t♦♥s s ♠♥♣s très ♦rs t♥q♠♥t
♠r♦♥t ♣r♠s ♦r ès à s ♥♦r♠t♦♥s ♠♥♥t à ♥ ♠r ♦♠♣ré♥s♦♥ ♠s s♣♦sts
r ♦♣ à ♦s ①
❯♥ r♥ ♠r à ♥t♥ ♥♦ît à ♠ ♣♦r s ♥t♠s ♣♦r ♠♦r t é♦rr
s♣r ♦ qst ♥r t ♠♦r ♥s ♣r♠s ♠r♥r tt ♦rrr ♣♦r♣♦♥t ♠r
é♠♥t à t♦ ♣♦r t ♦♥st♥t ♦♥♥ ♠r ♦♥ ♦r ♣♦r ♥ tès t à très ♥tôt s♣èr
♣♦r ♣♦♦r éstr à ♥♦ ts èrs ♠s♦♥
♥s ♦t t♦ ♠t ❨♦r s ♦t s rt♦♥ ♥ rtr③t♦♥ r r②
s t♦ ♠ s ②♦ t st ♦r ②♦r rr
r♠r ♥ é♠♠♥t r ❯ t ♠♠♥ ♣♦r ♠♦r s♥ rs
♦rt♦rs ♥ résr tt tès
t♥s é♠♠♥t à r♠rr ♥s♠ t P ♦t ♦r s tésrs
❯ ér ❯♦♠é érès Prr ❳ ♠t
♦♠♥ ❯ r ❱ ♦♥ P r♥t ❩❯ é
st♥ ❱ ♦♠s ❯ ♠♠♥ ❯❱ P ♦♠ ♠s
é♠♥t s ♣r♠♥♥ts ♣♦st♦s t trs q ♦ rt♥ ❩ r ❩
r♥ P s ❯ ♠♠♥ P ♥s ❯ t t♦s ① q ♣ r♦sr
s♥ s ① ♦rt♦rs ♣♥♥t s ① ♥♥és
♥♥ st s ♣rs♦♥♥s q ♥ srs ♦r ♦t ♦r ♠s ♣r♥ts s t ① ♥s ♦s ♥
é♠♠♥t r♥ t♦t ♥rt été ♣♦ss ❱♦s ♠③ s♦t♥ t♦t ♦♥ ♠s éts t♥t ♥s
s ♦♥s q s ♠s ♠♦♠♥ts ♦s sr t♦♦rs r♦♥♥ss♥t
s ① r♥s ♣♦ts r♥♥s ❨♥♥ t ♥♣tst r à ♦s ① ♠♦r é♠♥t
s♦t♥ t s♣♣♦rté r ss ♠♦r ♥é s és râ à ♥♦s s♦rts r♠♣ s t r♥♦
♥♥ ♥ r♥ ♠r à r♥ q ♠r ♣♣♦rté s♦♥ s♦t♥ ♣♥♥t s ① r♥èrs ♥♥és tès
r à t♦ ♣♦r t ♣t♥ t ss q ♥r ♣s t♦♦rs été r é♠♥t ♠♦r
s♣♣♦rté t é ♦rsq strss étt ♠①♠♠ ♣♥♥t s ♦♥s ♦ ♠ê♠ s♦t♥♥
♥tr♦t♦♥ é♥ér
♠♥trst♦♥ s tr♥sst♦rs ♣r♠s ♣s ♣s ♥q♥t ♥s ♠♥tr ♦♥sér♠♥t s
♣r♦r♠♥s s rts ♥térés ♥ ♥tér♥t ♣s ♥ ♣s tr♥sst♦rs s♥ ♥ ♠ê♠ ♣ s
à r t à s ♣r♦r♠♥s r♥ ♣ s ♠♥s très s♣éqs q s s♦♥t
rééés ♠ré s s♠rt♣♦♥s ♥s s ♥ts ♥t ♣♦♦r s♣♦sr ♥ ♣♣r ♣♦rt
♣r♠tt♥t téé♣♦♥r ♥rstrr é♦ ♣r♥r s ♣♦t♦s ♦ ♠ê♠ tr♥s♠ttr s ♦♥♥és
s rés① s♥s s tt♥r ♥ t ♥ ♦♥t♦♥♥tés ♥ s ♣♣r ♥ été r♥ ♣♦ss
q è♥♠♥t s ②stè♠ssrPs ♦ s ♦ s♦♥t ♥ t s ♠r♦♣s rss♠♥t ♥
très r♥ rété ♦♠♣♦s♥ts t q ♥♠érq ♥♦q t ♠ê♠ s ♣trs
P♦r résr s ♣s q s♦s ♣rt st résé ♥é♣♥♠♠♥t ♣s t♦t st ss♠é ♣r ♦
t ♥tr♦♥♥té ♣♦r s♠♣ rs♦♥ q st à r t ♠♣♦ss résr rt♠♥t
s ét♣s t♥♦♦qs sr ♠ê♠ ♣ ♥ t rt♦♥ s rts ♦♠♠♥ ♣r r♦♥t♥
ré♦♥ q ♦♥t♥t s tr♥sst♦rs t ♣r♦r♠♥ s tr♥sst♦rs s♦♥t résés sr ♥ sstrt
rst♥ s♠ ♥ ♦r s ♣r♦♣rétés étr♦♥qs ♠①♠s ♥st ♥t ♥ ♥
q ♦♥sst ♥ ♥ ♠♣♠♥t ♥s ♠étqs st♥és à ♥tr♦♥♥tr t♦s s tr♥sst♦rs s ét♣s
♥ ♥ ♦♥t ♥ ♥ s ♥r ♦♥t♦♥♥♠♥t s tr♥sst♦rs r♦♥t♥ t ♣♦r ♥ ♠t
tr♠q ♣♣é t tr♠q été ①é à t♠♣értr à q s ♠ét① tsés
♣♦r s ♦♥tts s tr♥sst♦rs rsq♥t sr t ♥s ♠♦r r ♦♠♣♦rt♠♥t ♦t♥t♦♥ ♥
rst s♠ ♥ét♥t ♣s ♣♦ss ♥ ss♦s ♠♣♠♥t ♦♠♣♦s♥t ♥ésst ♦♥
rqr ♣srs ♣s à ♣rt t ♥st à s ss♠r
♦s ♣r♦♣♦s♦♥s ♥s tt tès tsr ♥ ♣♣r♦ t r♦ss♥ ❱♣rq♦ ❱ ♣r
♠tt♥t s②♥tétsr ♥ ♠♦♥♦rst à ♣rtr ♥ t②sr ♠étq t à ss t♠♣értr
tt r♦ss♥ ♣r♠t rqr s strtrs tr♠♥s♦♥♥s ♣♣és ♥♥♦s ♦♥t ♠ètr st
♥érr à ♥♠ t ♦♥r ♣♦♥t tt♥r ♣srs ♥t♥s ♠r♦♠ètrs é st
é♠♦♥trr q st ♣♦ss tsr s ♥♥♦s ♦♠♠ ♥① ♦♥t♦♥ ♥s s tr♥sst♦rs à t
♠♣ t♦t ♥ rs♣t♥t t tr♠q ♠♣♦sé ♥s ♥ ♣r♠ttrt ♦♥ à tr♠
♣♦♦r rt♠♥t résr s ♦♠♣♦s♥ts ts ♥s s ét♣s ♥ s♥s ♦r à ♣r♦ér à s
ét♣s ♦ ♣s
strt
♦r t st t② ②rs t ♥trt rts s ♣r♦r♠♥s ♥ ♥rs t♥s t♦ t tr♥sst♦rs
s③ ♠♥tr③t♦♥ ♥ t♦ r ♥st② ♦ ts ♦♠♣♦♥♥ts ♦♥ r② s♥ ♣ ♦②s t
st♦♠rs s♣ qrs ②♦♥ t ♣r♦r♠♥s ♥ r t t s♠rt♣♦♥s
♠rt ② ♥t ♣♦♥ ♦♥ ♦♠♠♥t♦♥s r♦r♥ ♦s ♥ ♠r ♥ ♥
t♦ tr♥s♠t ts tr♦ rss ♥t♦rs ♥ s ♦ ♥t♦♥♥ts ♥ s♥
s ♦♥② ♥ ♣♦ss t t ♦♣♣♠♥t ♦ t ②st♠s♦♥♣ ♦ s ♦ r ♠r♦♣
♦♥♥trt rt② ♦ ♦♠♣♦♥♥ts s s t ♥♦ ♥ ♥ s♥s♦rs ♥ ♦rr
t♦ rt ts ♣s r② ♥r ♣rts r t ♥♣♥♥t② ♥ t♥ ss♠ ② ♦♥♥ ♥
♥tr♦♥♥t rs♦♥ ♦ s ♦♠♣t ② ♦ rt♦♥ s t t s ♠♣♦ss t♦ rt②
t t♥♦♦ st♣s ♦♥ t s♠ ♣ ♥ s rt♦♥ strts t t r♦♥t♥ ♣rt
♦♥t♥s t ♣r♦r♠♥ tr♥sst♦rs s tr♥sst♦rs r ♦rt ♦♥ rst♥ s♦♥ sstrt
♥ ♦rr t♦ ♦♣t♠♠ tr ♣r♦♣rts ♥ ♦♠s t ♥ s ♠ ♦ st ♦
♠t♣ ♠t ♥ t t♦ t tr♥sst♦rs ♥tr♦♥♥t♦♥s ♥ st♣s t♦ ♣rsr t
tr ♣r♦♣rts ♦ r♦♥t♥ tr♥sst♦rs ♥ ♦r ts tr♠ ♠t ♥ s tr♠ t s
♥ st t♦ ♦ ts t♠♣rtr t ♠ts s t♦ r③ t tr♥sst♦rs ♦♥tts ♠② s
♥ ♠♦② tr ♦r s②♥tss ♦ s♦♥ rst ♥ ♠♣♦ss ♦ t ♦♠♣♦♥♥ts
st♥ rqrs t♦ ♠t♣ ②s ♥ t♦ ss♠ t♠ t♦tr ♥ ♥ st♣
❲ ♣r♦♣♦s ♥ ts tss t♦ s ♥ ♣♣r♦ t ❱♣♦rq♦ ❱ ♠♥s♠ ♦♥ t♦
s②♥ts③ ♠♦♥♦rst s♥ ♠t t②st t ♦ t♠♣rtr s ♣r♦ss ♦s t♦ r♦
tr♠♥s♦♥♥ ♥♥♦strtrs ♥♥♦rs ♦s ♠tr s ♦ ♥♠ ♥ ♥t ♥ r
♥r ♦ ♠r♦♠trs s t♦ ♠♦♥strt t ♣♦sst② t♦ s ts ♥♥♦rs s ♦♥t♦♥
♥♥ ♥ t tr♥sst♦rs rs♣t♥ t ♥ tr♠ t s ♦ t♦ rt
rt♦♥ ♦ t ♦♠♣♦♥♥ts ♥ t ♥ st♣s t♦t ♥② ♦♥♥ rqr♠♥t
s ♠tèrs
① ♥♥♦s
♥tr♦t♦♥
tr♥sst♦r à t ♠♣
st♦rq
trtr ♥ tr♥sst♦r à t ♠♣
♣té é
♣té ré
rttr ♥ rt ♥téré
r♦♥t ♥ ③♦♥ t
♥ ③♦♥ r♦
r♦ss♠♥t s ♣r♦r♠♥s s s
♣♣r♦ ♦r ♦♦r
♣♣r♦ ♦r♥♦♦r
♦
é♦rt♦♥ rt
❯♥ tr♥sst♦r ♥s ♥ ♦tt② rrr t tr♥sst♦r
rrèr ♦tt② étr♦sttq
é♥s♠s tr♥s♣♦rt ♥s ♥ ♦♥tt ét♠♦♥tr
♠ss♦♥ tr♠♦♦♥q
é♦r s♦♥
é♦r é♠ss♦♥ tr♠♦♦♥qs♦♥
♠ss♦♥ ♣r t ♠♣ t é♠ss♦♥ tr♠♦♦♥q sssté ♣r ♠♣
♥térêt
s ♥♥♦s s♠♦♥trs
é♥t♦♥
♦rt♦♥
♣♣r♦ s♥♥t
♣♣r♦ s♥♥t
é♣t① ♣r ts ♠♦érs
é♣ôt ♠q ♥ ♣s ♣r
s♣♦sts à ♥♥♦s
r♥sst♦rs ♣♥rs
r♥sst♦rs rt①
rt♦♥ s ♦♥tts
tt rt srt♦♥ s ♥♥♦s s♠
SixGe1−x
Pr♦♣rétés t ♥térêt
tt rt
ts tès
ts ♣r♥♣①
t♦♥ s ♣r♦r♠♥s s ♥♥♦s
♦① ♠ét ♦♥tt
♦① étrq r
♥tért♦♥
♦♥s♦♥
Pr♦♣rétés étrqs s ♥♥♦s
♥tr♦t♦♥
♦rt♦♥ s ♥♥♦s
rétr
strts t t②sr
t②sr ♦♦
t②sr ♦ ♠♥
r♦ss♥
♥♦s
♥♦s
♠rqs
ést♦♥ tr♥sst♦rs à ♥♥♦s
s♣♦sts ♣♥rs à r rrèr
s♣rs♦♥ s s
ést♦♥ s ♦♥tts ♦rr♥
s♣♦sts ♣♥rs à ♦ r
r ♥t ♥♦♥ ♥r♦♥t
r ♥t ♥r♦♥t
①trt♦♥ s ♣r♠ètrs
♣♣♦rt s ♦r♥ts
ét♦ s♠♣
ét♦ ssq
ét♦ ❬❪
♦r♠st♦♥ s ♦r♥ts
♣té r
♦è ♣té ②♥rq
♦è ②♥rsr♣♥
♥s♦♥
P♥t s♦s s
♦té s ♣♦rtrs
qs
st♠t♦♥ s ♠♦tés ♥s s ♥♥♦s
♦♥s♦♥
r♥sst♦rs ♣♥rs à r rrèr à ♥♥♦s
♥tr♦t♦♥
♥♦s ♠ rts r♦ss♥
ésst♥s ès t ♦♣ rés
♥étq srt♦♥
♠♣t srt♦♥ sr s ♣r♦r♠♥s étrqs s tr♥sst♦rs à
♥♥♦
tr rrèr s ♦♥tts
r♥rs rtérstqs s tr♥sst♦rs à ♥♥♦s
♦♠♣♦rt♠♥t ②stérétq s ♥♥♦s
♥♦s ♦①②és
♥tr♦t♦♥
♦♠♣♦rt♠♥t s♦s ♠♣
♥rs♦♥ ♦♣
♥♥ t♠♦s♣èr rt
r♥sst♦rs ♣♥rs à ♦ r à ♥♥♦
♦♥s♦♥
Pr♦♣rétés étrqs s ♥♥♦s Si0,7Ge0,3
♥tr♦t♦♥
r♥sst♦rs ♣♥rs à r rrèr à ♥♥♦
♥♦s Si0.7Ge0.3 rts r♦ss♥
♦♣ rés
rt♦♥ ♥étq
rt♦♥ ♠♣t sr s ♣r♦r♠♥s étrqs
♥♦s Si0.7Ge0.3 ♦①②és
rtérst♦♥ étrq
rt♦♥ ♥étq
rt♦♥ ♠♣t sr s ♣r♦r♠♥s étrqs
r♥sst♦rs ♣♥rs à ♦ r
♦ ♦♥t♦♥♥♠♥t s tr♥sst♦rs à ♥♥♦s
♦♥s♦♥
♦♥s♦♥ é♥ér sr ♥tért♦♥ ♣♥r
Pr♦éé rt♦♥ t rtérst♦♥ étrq tr♥sst♦rs rt①
♥tr♦t♦♥
Pr♦éé rt♦♥
s♥ s ♠sqs
♦st♦♥ t②sr
t♦r♣ ♦♣tq
t♦r♣ étr♦♥q
r♦ss♥
trt t②sr
①② r
♦①②t♦♥ tr♠q
①②s é♣♦sés
é♣ôt ♠ét r
é♥t♦♥ ♣ t ♦♥trô tr r
s♦t♦♥ rr♥
♣rs ♦♥tts
r♥
r
rtérst♦♥ étrq s tr♥sst♦rs à ♥♥♦s rt①
♥tr♦t♦♥
♥♦s
ts ♦st♦♥ t②sr
♦st♦♥ ♦♥trôé t ♣r♦♣rétés étrqs
♥ tr♥sst♦rs
♥♦s Si0,7Ge0,3
ré s s♣♦sts
♣r♦tté s ♣r♦éés
♥ tr♥sst♦rs
♦♥s♦♥ ♥tért♦♥ rt
♦♥s♦♥ é♥ér
Prs♣ts ♥tért♦♥ ♥
♥tr♦t♦♥
r♦ss♥ s ♥♥♦s
s♦t♦♥ s ♦♥tts r t r♥
é♣ôt étrq
P♦ss ♠é♥♦♠q
Prés♥tt♦♥ éq♣♠♥t
rt♦♥ s tsss rr
P♦ss ♥♥♦s
♣rs ♦♥tt ♣rès P
♥ ♣♥rst♦♥
❱rs ♦♠♣tté ♥
r♦ss♥ ♥♥♦s sr
r é♠♦é
r♦ss♥ ♦sé
rtérstqs étrqs s rs sr
♥ ♦♠♣tté ♥
♦♠♣tté t②sr
♥tr♦t♦♥
s tr♥ts à ♦r
Pt♥ ♣♠ ♦t t ♥
r
♥♥ ♦r sr ♦♠♣♦rt♠♥t étr♦♥q s ♥♥♦s
♦♥s♦♥
Prs♣ts é♥érs
♥tért♦♥ sr sstrt ♠étq
❱rs s tr♥sst♦rs à t t♥♥
♦♥s♦♥
♣tr
① ♥♥♦s
♥tr♦t♦♥
♦s ♦♥s ♥s ♣tr ♥tr♦r s ♥♦t♦♥s s ♥éssrs à ♦♠♣ré♥s♦♥ ♠♥srt
♥s ♥ ♣r♠r t♠♣s ♥♦s str♦♥s ♦♥t①t ét s♥ ♦♠♥ ♠r♦étr♦♥q
P♦r ♥♦s r♣♣r♦♥s ♣r♥♣ ♦♥t♦♥♥♠♥t ♥ tr♥sst♦r à t ♠♣ t étr♦♥s
strtr s rts ♥térés ts ♦s ♣rr♦♥s ♥st ♥térêt s ♥♥♦s s♠♦♥trs ♥s
♠r♦étr♦♥q t ①♣qr♦♥s s ér♥ts ♠ét♦s é♦rt♦♥ s ♦ts ♦s ♣rés♥tr♦♥s
♥ éts s ♦ts ♣r♦t ♥ tr♠ ♥tért♦♥ ♥♥♦strtrs
tr♥sst♦r à t ♠♣
st♦rq
tr♥sst♦r à t ♠♣ st éé♠♥t s s rts ♥térés t ♠r♦♣r♦ssrs ts ♦♥
♣r♥♣ ♦♥t♦♥♥♠♥t été ♣r♦♣♦sé ès s ♥♥és ♣r ♥ t ❬ ❪
r ♠s ①trts rt é♣♦sé ♣r ♥ ♥ ♦♥r♥♥t rést♦♥ ♥ s♣♦st♣♦r ♦♥trô ♥ ♦r♥t étrq
VG
VG
VG VG
VG VG VG
VG VG = VFB
VFB
VFB = Φm −Φs Φm = Φs Φm
Φs
r r♠♠s ♥s ♣tés t②♣ ♥ t t②♣ ♣ ré♠ ♠t♦♥ ré♠ ♥s ♣ts ré♠ ésrt♦♥ ré♠ ♥rs♦♥
♣té ré
♦s ♥♦♥s ♦r ♣r♥♣ ♦♥t♦♥♥♠♥t ♥ ♣té é ♥ rété ♦rsq♥ ♦①②
st ♦r♠é à sr s♠ ♣r ♦①②t♦♥ tr♠q ♥trr♣t♦♥ ♣ér♦té rés à
sr rst ♣rés♥ s♣ès ①tr♥sèqs s♠ ♠s é♠♥t ♣rés♥ étts s♦♥
♥♦♥ ♣rés♥ts ♥s ♠ss ♥s♥t s étts ♣ès à ♥tr SiO2 ♥s ♣ ♠ê♠ s♠
r s ♣ès été é♠♦♥tré ♣r ♦② t Prs♦♥ ❬❪ été ♠sré q ♥sté s
♣ès ♣t êtr très éé ❬❪ ♦rr ♥sté t♦♠s sr ≈ 1015atomes.cm−2 t q st
♣♦ss s ♥trsr à rts s♦s ②r♦è♥ à ss t♠♣értr ∼ 450 sqà tt♥r
♥ ♥sté ♥r♦♥ ♠ q ♦rrs♣♦♥ à ♥ ♣è ♣♦r t♦♠s sr s étts ♦r♠♥t
♥ ♦♥t♥♠ ♥s ♥ ♥trt s♠♦♥tr ♣♥t é♥r r♣♠♥t ♥ r
s♠♦♥tr s♦s♥t t s♦♥t ♣r ♥tr ♠♣♦tèr stàr qs ♣♥t ss ♥ ♣tr
qé♠ttr ♥ étr♦♥ s ♦♥t ♦♥ ♥ rô ♠♣♦rt♥t ♥s étt éqr s♠♦♥tr ♣♦r ♥
♦♣ ♦♥♥é t ♥ ♣♦rst♦♥ r ♦♥♥é ♥ rs♦♥ ♦rr ♥s ♥t ♣r tr♥srt
rs ♥ sr ♥tr ss s étts ♥s ♥tr qs ♥ r♠ t ♥ r♠
♠tér ♥tr♥sèq sr♦♥t ♣♣és ♣r s ♣♦rtrs ♠♦rtrs s♠♦♥tr ♦s ♦♥s ♦r
♥s st ♠♥srt ♦♠♠♥t s étts ♣ès ♥♥♥t ♦♠♣♦rt♠♥t s ♣tés
sr ♥ t ♠♣♦rt♥t ♣r♥r ♥ ♦♠♣t s ts ♦rs rtérst♦♥ tr♥sst♦rs
♦♠♠ s étts ♥tr s♦♥t strés t♦t ♦♥ ♣ r strt♦♥ s①♣r♠ ♦♠♠
Dit =1
q
dQit
dE
♦ù t r♣rés♥t ♥sté étt ♥tr ♣r ♥té sr t é♥r ♥ ♥trt q
r éé♠♥tr étr♦♥ t Qit r ♣éé à ♥tr ♥ ♦♦♠ ♣r ♥té sr r♥t
tt ét t♦ts s rtérstqs étrqs sr♦♥t résés ♥ sttq ss ♣té ♣t êtr
rés♠é ♣r rt éq♥t Cox r♣rés♥t ♣té ♦①② CD ♣té é♣ét♦♥ t
Cit ♣té é ① étts ♥tr
r rt éq♥t ♥ ♣té à ss réq♥ ♥ t♥♥t ♦♠♣t s ♣ès à♥tr SiO2
♦s rr♦♥s ♣r st ♦♠♠♥t s étts ♥tr ♠♣t♥t sr ♦♠♣♦rt♠♥t étrq s tr♥
sst♦rs ♠s ♥t t♦t ♥♦s ♦♥s étr strtr ♥ tr♥sst♦r à t ♠♣ t ①♣qr s♦♥
♠♦ ♦♥t♦♥♥♠♥t
♦ tr♥sst♦r à t ♠♣ t①♠♦♥t♦r t r♥sst♦r st ♦♥stté
tr♦s étr♦s ♣r♠èr st r st♥é à ♦♥trôr ♣♦t♥t à ♥tr ♠ét s♠♦♥tr
t ♦♥ t②♣ t ♥sté ♣♦rtrs s♠♦♥tr t ♦♥ ♥ ♥ rtr♦ ♥s strtr
♣rés♥té ♣réé♠♠♥t ♣té s♦t♥t ① ♦♥tts ♥♦♠♠és s♦r t r♥ ♣és
♣rt t tr ♣té st♥és à ♦r rô résr♦rs rs t ♥s à ♣r♠ttr ♣ss
♥ ♦r♥t ♦♥ t②♣ ♣♦rtrs tsés ♥s ♥ ♥♦s ♦♥s s♦t ♥ ♥ étr♦♥s
s♦t ♥ P ♥ tr♦s ♣s s tr♥sst♦rs ♣♥t êtr ♥s étt ♦rt ♦ r♠é ♣♦r ♥
♣♦rst♦♥ r ♥ s♦♥ qs ♦♥t♦♥♥♥t rs♣t♠♥t ♥ ♣♣rss♠♥t ♦ ♥rss♠♥t
♦♠♠ ♣rés♥té ♥ r
IDS−VDS
IDS − VDS
VDS
IDS =Z
LµnCox
(
VG − VT − VD
2
)
VD
VT
VT = VFB + 2ΨB +
√2εsqNA2ΨB
Cox
❩ rr ♥ tr♥sst♦r s ♦♥r µn ♠♦té s étr♦♥s Coxst ♣té
♦①② r VG t♥s♦♥ r VD t♥s♦♥ r♥ ΨB ért ♥tr ♥ r♠ ♥tr♥sèq
t ♥ r♠ s♦t |EF − Ei|/q εs st ♣r♠ttté rt s♠♦♥tr NA st ♥sté
tr♦s rs
♦s str♦♥s ♣s ♥ éts t♥s♦♥ s ♣r st ♦rsq r ♥rs♦♥ ♥t ♥
ôté r♥ ♦♥ ♣r ♦rs ♣♥♠♥t ♥ ♣♥♠♥t st û t q ér♥ ♣♦t♥t
♥tr r t s♠♦♥tr ♠♥ ♦rt♠♥t ♣♦r ♦rts ♣♦rst♦♥s s♦rr♥ ♦r♥t
t t♥s♦♥ r♥ ♥ ♣♦♥t ♦♥t♦♥♥♠♥t s♦♥t és♥és ♣r IDSSATt VDSSAT
rs♣t♠♥t
é♦♥ strt♦♥ à ♣♥♠♥t ♥ ♦r♥t st ♥é♣♥♥t VD t ♦♥ ♦t♥t
♥s ♥ strt♦♥ ♦r♥t strt♦♥ s①♣r♠ ♦rs ♦♠♠
IDSSAT=
Z
2(
1 +√εsqNA
2√ΨBCox
)
LµnCox (VG − VT )
2
♥♥ r♥èr ré♦♥ ♦♥t♦♥♥♠♥t q st ③♦♥ ♥tr♠ér ♥tr ♦♠♣♦rt♠♥t ♥ér t
strt♦♥ ré♦♥ ♥♦♥♥ér ♣t êtr ért ♦♠♠ st
é♦♥ ♥♦♥♥ér s st ♥tr s ① s ①trê♠s t ♣t êtr ért ♣r
IDS =Z
LµnCox
(
VG − VT − VD
2
(
1 +
√εsqNA
2√ΨBCox
))
VD
t ♥s♠ éqt♦♥s ♣r♠t érr ♦♠♣♦rt♠♥t s s ♥ ♠♥èr ♣♣r♦①♠é ♠s
rt♠♥t st ♦♠♠ ♥♦s ♦♥s ♣résé ♣réé♠♠♥t t♥s♦♥ s tr♥sst♦r st ♥ ♣r♠ètr
très ♠♣♦rt♥t ♦s ♦♥s ♦♥ ♦rr ♣♦♥t ♥ érr rt♦♥ q ①st ♥tr ♦r♥t
r♥ t t♥s♦♥ r
♥s♦♥ s ♦s ♦♥s ♥tr♦t ♥♦t♦♥ t♥s♦♥ s éqt♦♥ ♦s ♦♥s s♣♣♦sé
q tr s♦rt ♠ét t ♥ r♠ s♠♦♥tr ét♥t ♥és ♣r ♦♠♠♦té
♥trî♥♥t ♥s ♥ ♥♠♥t s ♥s ♣♦r ♥ t♥s♦♥ r ♥ ♥ ♣rtq ♥st q très
rr♠♥t s ♥ rs♦♥ ♥♦♥ s♠♥t ér♥ ♥tr φm t φs ♠s é♠♥t à s s rs
①s Qf ♣éés ♥s ♦①② ss éqt♦♥ ♥t
VT = VFB + 2ΨB +
√2εsqNA2ΨB
Cox
=
(
φms −Qf
Cox
)
+ 2ΨB +
√4εsqNAΨB
Cox
tt♠♥t VT st t♥s♦♥ r à étt ♥ ♣t q ♦♠♠♥ à ♥tr♦r ♥
♦ r ♥rs♦♥ t st ♦♥♥é ♣r s♦♠♠ s t♥s♦♥s à trrs s♠♦♥tr t ♦①②
r tr♠ ♥ r♥ st r t♦t ♦ é♣ét♦♥ ♣♦♥t ♥rs♦♥ ♦♠♠
t♥s♦♥ s r♣rés♥t t♥s♦♥ à q ♥ st ♦♥séré ♦♠♠ ♦rt st ①trê♠♠♥t
♠♣♦rt♥t ♦r ès à tt r
tt t♥s♦♥ st ♠sré ♥ trç♥t ♦r♥t r♥ ♥ ♦♥t♦♥ t♥s♦♥ r ♥ é ♥ér
❯♥ ①tr♣♦t♦♥ ré♦♥ ♥ér sr ① s ssss ♣r♠t étr♠♥r s r r
♠♦♥tr ♦r♥t r♥ tré ♥ é ♦rt♠q ♥ ♦♥t♦♥ t♥s♦♥ r ♥s tt
IDS − VGS
IDS VT IDS
VT
IDS =Zµn
L
(
kT
q
)2√
qεsNA
2Ψs
(
ni
NA
)
exp
(
qΨs
kT
)[
1− exp
(
−qVDS
kT
)]
VDS 3kT/q
VDS IDS VG
VG − VFB = Ψs +
√2εsΨsqNA
Cox
dVG
dΨs
= 1 +1
Cox
√
εsqNA
2Ψs=
Cox + CD
Cox
S ≡ (ln10)dVG
d(lnID)= (ln10)
dVG
d(
qΨs
kT
) = (ln10)
(
kT
q
)(
Cox + CD
Cox
)
CD = 0F
Si/SiO2
S = (ln10)
(
kT
q
)(
Cox + CD + Cit
Cox
)
Cit
Dit
♦♦r rr s♥s ss ♦t ♥♦s ♦♥t♦♥s
♦s ♦♥s ♠♥t♥♥t é♥r q ♣♣r♦ ♥s q s ♠ét♦s qs ♠♣♦♥t ♣♦r tt♥r rs
♦ts ♥s ♦♥t①t ♥♦s ♣♦sr♦♥s s ♠ts t r♦♥s ♥♦tr ré①♦♥ rs ♥♦s tr♥ts
♠é♦rt♦♥ s rts ♥térés
♣♣r♦ ♦r ♦♦r
♥ ♦r♦♥ ♦♦r q étt à é♣♦q ♥é♥r ③ rs s♠♦♥t♦r t q ♦♥ ♣s
tr ♥t ♦♥stt q ♥♦♠r tr♥sst♦rs sr ♥ ♣ ♦t q ♥♥é à ♦t ♦♥st♥t t
♣ré♦②t q tt ♠♥tt♦♥ ♦♥t♥ ♥ réé tt ♦♥tr t ♣rét q ♥♦♠r
tr♥sst♦rs sr ♥ ♣q s♠ ♦rt t♦s s ① ♥s à tt ♦ ♠♣rq sér
r♦t♠♥t ①t r ♥♦♠r ♦t t♠♥t t♦ts s ♥♥és tt ♦♥tr ♣rt
r♣♠♥t ♥♦♠ ♦ ♦♦r ♥ és♥ ♦♥ ♥s ♥ ♣♣r♦ ♦r ♦♦r t ♦♦r
♦r ♠①♠♠ tt ♦ t ♦♥ ♠♥tr ♥sté srq tr♥sst♦rs s♣♦♥s ♥s
r♦♥t♥ ♠r ç♦♥ ♣r♥r à t ♦t st t♦t s♠♣♠♥t ♠♥r s ♠♥s♦♥s s
tr♥sst♦rs st q ♦♥ ♣♣ s♥ tr♥sst♦r st ♠♥r s ♠♥s♦♥s é♥érs
q ♣rt s tr♥sst♦rs t♦t ♥ rs♣t♥t s ♦s ♠s à é ♥ étr rt♥ ésré♠♥ts
t♥♦♦qs ♥ t t♦t ♠♥t♦♥ t tr♥sst♦r ♥ ♦t ♣s êtr êtr ♦♠♠ t
♣résrr s ♣r♦♣rétés tr♥s♣♦rt ♦srés à é♥ért♦♥ ♣réé♥t s ♦♥ s♦t ♠♥r t
s s♣♦sts ♦♥ s♦t é♠♥t qs s ♦♠♣♦rt♥t ♦♠♠ r ♥ étt ♦♥ ❯♥ ♥ tr♦♣ ♦rt
♣r r♣♣♦rt ① ♦♥rs é♣ét♦♥ s♦r t r♥ ♣♦rrt ♥♥r t♦t rét♦♥ ♥
ss ②t s ♦s à rs♣tr q♥t ① ♣r♦♣♦rt♦♥s à ♦♣tr ♦♠♠ ré♣té ♥s t
s à é ♥ ❬❪Pr♠ètr ♠♣ ♦♥st♥t ♥s♦♥s ♦♥st♥t été ♠tt♦♥
1/κ 1/κ 1/κE 1/κ 1/κ′ > 1/κ t t♥♥ étsrj 1/κ > 1/κ > 1/κ ésst♥VT 1/κ ≫ 1/κ ♦r♥t VD 1/κ ≫ 1/κ ②stè♠ ♦ t VT
NA κ κ < κ q ♦♥t♦♥♥s s ♦♥t♦♥s és ♠♣ étrq ♦♥st♥t s ♣r♠ètrs s♦♥t ♠s à é ♠ê♠tr ♥ rété s trs ♠s à é s♦♥t ♠tés ♣r trs rs♦♥s t ♦♥ ssés ♥ 1 < κ′ < κ
s ♦♣t♠st♦♥s rsss ♥ s♦♥t ♣♦sss qà très ♦rs ♠♦②♥s t♥♦♦qs r
t ♣s ♣tt tr♥sst♦r rqé st ♣r s♦été ♥t t ♦rrs♣♦♥ ♥÷ ♥♠ r♥r
♥éssté é♦♣♣r ♥ ♥♦ strté q♥t à é♦♠étr ♠ê♠ s tr♥sst♦rs r ♥st ♣s
♣♥r ♠s ♥ ♦r♠ π ♦♠♠ ♣rés♥té sr s rs t
♥ t ♦♠♠ ♥st ♣s ♣♦ss é♣ssr st ♠♣♦ss ♥ ts♥t s ♠ét♦s trt♦♥
♥s é♣ôt s②♥tétsr ♥ ♠♦♥♦rst tst♦♥ ♥ ♣♦②rst ♦♥t ♦♥ à s ♣r♦♣rétés
étrqs érés t srt ♣♦♦r é♦rr ♥ ♠♦♥♦rst rs♣t s ♦♥t♦♥s tr
♠qs ♥ ♥ tsr ♠tér ♦♠♠ ♥ ♦♥t♦♥ ♥ tr♥sst♦r srt ♥s
♣♦ss é♦rr s s♥s ♣r♦éé ♦ t♦t ♥ r♥tss♥t ♦♥♥s ♣r♦r♠♥s s s♣♦
sts é♦rés à ss t♠♣értr
t②♣ tr♥sst♦rs ♣♦rrt ♦♥♥r ♣♦♥t s ♣r♦éés t♥♦♦qs s ét♣s
♥ ♣♦s ♥♦♠rss ♣r♦é♠tqs ♦♥t ♥ t s ♦♥tts s♦r t
r♥ s♦♥t s ♣♦s ♦♣ résés ♣r ♠♣♥tt♦♥ ♦♥q s rts à t t♠♣értr ♥
tr s ♦♣♥ts s ét♣s s♦♥t s♠♣♠♥t ♠♣♦sss à résr s♦s ♣♥ étrr s s♣♦sts
r♦♥t♥ ♥ ♣r à ♣r♦è♠ ♥ tr strtr st ♣r♦♣♦sé tr♥sst♦r à t ♠♣ à
rrèr ♦tt②
❯♥ tr♥sst♦r ♥s ♥ ♦tt② rrr
t tr♥sst♦r
♦ r♥sst♦r à t ♠♣ à rrèrs ♦tt② ♦tt② rrr t tr♥sst♦r
st ♥ é♦t♦♥ st♥r éé ♣r♥♣♠♥t ① ♣♣t♦♥s ss ♦♥s♦♠♠t♦♥
ér♥ ♥♦t rés ♥s ♥tr s ♦♥tts s♦r t r♥ ♥s ♥ ♦♥t♦♥ ♣♥
ts ♥ rrèr ♦tt② ♦♠♠ ♦♥tts s♦r t r♥ ♥t ①♣qr ♥térêt ♥
t strtr ♣♥♦♥s ♥♦s sr ♣②sq tr♥s♣♦rt étr♦♥q ♥ ♥ rrèr ♦tt②
rrèr ♦tt② étr♦sttq
♦♥sér♦♥s ♥ ♠ét t ♥ s♠♦♥tr ♠s ♥ s à s ♣♦ssé♥t ♣♦r ♣r♠r ♥ tr s♦rt
qΦM t ①è♠ ♥ ♥té étr♦♥q qχ ♥s s ♥ s♠♦♥tr ♦ ♥ s♦♥t ♥té
étr♦♥q r♣rés♥t tr à ♦r♥r à ♥ étr♦♥ sté ♥ ♦r ♥ ♦♥t♦♥ ♣♦r ①trr
♥s s♥s tss ♥t Pr ♦♥séq♥t t ét♥t ♦♥♥é q ΦM t χ s♦♥t é♥ér♠♥t ér♥ts
é♥ér♠♥t ΦM > χ ♣♦r s♠ t ♣♣rt s ♠ét① ♥ rrèr ♣♦t♥t sétt ♦rs
♠s ♥ ♦♥tt s ① ♠tér① s♦♣♣♦s♥t ♣ss s étr♦♥s ♠ét s♠♦♥tr
é♠♥t tr rrèr φiBn ♣t êtr étr♠♥é ♣r
qφiBn = q (ΦM − χ)
♥ r♠ s♠♦♥tr s♦é ♥ét♥t é♥ér♠♥t ♣s ♥é ♠ét s♦é ♥♦s
♣♦♦♥s é♥r ♣♦r s♠♦♥tr ♥ tr s♦rt ΦS ♦♠♠ ét♥t ér♥ é♥r ♥tr
♥ t ♥ r♠ tr♠♥t t s♦♠♠ ♥té étr♦♥q t ér♥
é♥r ♥tr ♥ ♦♥t♦♥ t ♥ r♠ ss ♠s ♥ ♦♥tt s ①
♠tér① éqr tr♠♦②♥♠q st tt♥t t ♦♥♥ à ♥♠♥t s ① ♥① r♠
♥s♥t ♥ tr♥srt rs ♥tr ♠ét t s♠♦♥tr ♣♦r ♦♥séq♥ ♦rr
s ♥s ♥ t ♦♥t♦♥ s♠♦♥tr à ♥tr ♥ t ♥sté étts
ét♥t ♦♥sér♠♥t ♣s r♥ ♥s ♠ét q ♥s s♠♦♥tr ss s ♣r♠èrs ♦s
t♦♠qs ♠ét sr♦♥t ♦♥r♥és ♣r rééqr s rs stss♥t à ♦♥t♦♥ éqr
♦♥trr♠♥t s♠♦♥tr q sr té sr s st♥s ♥ ♣s r♥s ♥♠♥t s
♥① r♠ r♣♦ss s ♣♦rtrs ♠♦rtrs s♠♦♥tr ♦♥ ♥tr q st
s ♣♦r ΦnS < ΦM ♦rs ♦♥tt st rrssr ♥ t ♥s tt ♦♥rt♦♥ s ♦rs ♥
♦♥t♦♥ sé♦♥♥t ♣s ♥ ♣s ♥ r♠ r t à ♠sr q ♦♥ s r♣♣r♦
♥tr ♥s♥t ♣r à♠ê♠ t sttstq ♦t③♠♥♥ ♥ ésrt♦♥ ♣r♦rss ♣♦rtrs
♠♦rtrs ♣♣♥t s étts ♦♥t♦♥ t rs♣♦♥ss tr♥s♣♦rt étr♦♥q ♦♥trr
♦rr ♥ à ♥tr ♦rs é♥rétq♠♥t ♣rés♥ s ♣♦rtrs ♠♦rtrs q st
s ♣♦r ΦnS > ΦM ♦rs ♦♥tt sr ♦♠q r ♠♦♥tr ①♠♣ ♥ s♠♦♥tr
t②♣ ♥ ♦r♠♥t ♥ ♦♥t♦♥ ♦tt② t②♣ rrssr
r é♠ ♥ ♦♥tt ♦tt② é ♠éts♠♦♥tr ♣♦r ♥ s♠♦♥tr t②♣♥
t ♣♦t♥t ΨiB ♥s s♠♦♥tr st ♦♥♥é ♣r
ΨiB = − | ΦM − ΦS |
ré♦♥ ♥s q strt♦♥ r st ♠♦é ♣r r♣♣♦rt s♠♦♥tr ♠ss
st ♣♣é ré♦♥ é♣ét♦♥ ♦ ③♦♥ r s♣ ♣r♦ ♣♦t♥t étrq ♣t êtr
é s♠♣♠♥t ♥ rés♦♥t éqt♦♥ P♦ss♦♥ à ♥ ♠♥s♦♥ ♣r♣♥r♠♥t à ♥tr
♦♥♥ss♥t strt♦♥ r t♦t
ρ = q (Nd −Na + p− n)
Nd t Na ♦♥♥trt♦♥s cm−3) s ♦♣♥ts ♦♥♥rs t ♣trs rs♣t♠♥t s♣♣♦sés t♦s
♦♥sés ♥s s♠♦♥tr ♠ss s♣♣♦sé t②♣ ♥ ♣ st ♦♥♥trt♦♥ tr♦s rs t ♥
♦♥♥trt♦♥ étr♦♥s rs ♥ ♣♣q♥t té♦rè♠ ss t ♥ ♦♥sér♥t Na t p ♦♠♠
♥és ♥♦s tr♦♦♥s q rr é♣ét♦♥ ❲ st é♥ ♦♠♠
WD =
√
2εSqNd
(
Ψbi −kT
q
)
♦rsq♥ t♥s♦♥ st ♣♣qé ♣♦t♥t t rr é♣ét♦♥ s♦♥t ♠♦és ♣♣qr ♥ t♥s♦♥
♣♦st ♥ét sr ♠ét ♠♥t ♥♦♠r ♣♦rtrs à sr s♠♦♥tr t ♥s
♠♥ ♥ r s♦ ♠♥t ♣♦t♥t étr♦sttq t ♦rr s ♥s
①♣ér♠♥t♠♥t s éqt♦♥s t ♥ ♣rés♥t ♣s ♦rrt♠♥t tr rrèr t
♦rr s ♥s s①♣q ♣r ♣rés♥ étts ♥trs rs♣♦♥ss ♠♦t♦♥
rrèr ♦♠♠ ①♣qé ♣♦r ♣r♠èr ♦s ♣r r♥ ♥ s étts sr ♥s♥t
♥ ♦ ré à ♥tr rs♣♦♥s ♥ rt♦♥ ♣♦t♥t sr s♠♦♥tr ♣r
r♣♣♦rt ♥ r♠ ♠ét ♠♦♥t ♣r à ♠ê♠ tr rrèr ♣r s étr♦♥s
ésr♥t trrsr ♥tr ♥sté rs ♥tr st r♥ ♦rs rrèr à r♥r ♣♦r
s étr♦♥s ♥t ♥é♣♥♥t tr s♦rt ♠ét t st ①é ♣r ♥sté rs ♣éés
♥ sr t ♣r t① ♦♣ s♠♦♥tr ♥s s ♦♥ ♣r r♠ ♣♥♥♥ ♦
ttér♠♥t r♦ ♥ r♠
♠♦è r♥ été ♣r♦♣♦sé ♥ ♦♥sér♥t ♣rés♥ ♥ ♦ ♥tr ♥tr ♠ét t
s♠♦♥tr t été ♣r st r ♥ ①♣qr s étts ♥tr s♥s tt ♦ ②
♣r♥♣♠♥t ① és ♣r♠tt♥t ①♣qr s étts ♥tr s étts ♥ts ♥s ♣ ♣r
♠ét ♦ ♣♦r ♠t ♥ ♣ stts t s éts ♥tr ♥s ♣r♠r s s étts
♥tr s♦♥t ♣r♦♦qés ♣r q ♦♥t♦♥ ♦♥ s étr♦♥s ♠ét q sét♥ trrs
♥tr ♥s s♦♥ s ♥trr♣t♦♥ ♣♦t♥t ♣ér♦q s ① ♠tér① ♦♥t à s
étts éts sét♥♥t trrs ♥tr ♠éts♠♦♥tr s ♠♦ès ♦♥t été stés ♥
éts ♣r ♦r ♥ q s réstts ①♣ér♠♥t① ♦♥♦r♥t s éqt♦♥s ♦r♥ s
étts ♥trs ♥st ♣s r♠♥t ♦♠♣rs ♥ ♥ ♣r♦♣♦s q r♠ ♣♥♥♥ étt û
① s♦♥s ♠qs ♥tr ♠ét t s♠♦♥tr❬❪
ré s tés à ♦r ♥ ♠♦è ♣②sq ♣rés q♥t à ♦r♥ ①t ♦r♠t♦♥ s étts
♥tr tr rrèr ♣t êtr étr♠♥é ①♣ér♠♥t♠♥t s♦♥ s ♠ét♦s q ♥♦s
♣rés♥tr♦♥s ♣r st ♦s st♥r♦♥s ♣r st s rrèrs s ♣r s étr♦♥s ♥ t ♣r s
tr♦s ♣ ss ♥♦s és♥r♦♥s ♣r φBn rrèr ss♦é ① étr♦♥s t ♣r φBp rrèr ss♦é ①
tr♦s é♠♥t s♦♠♠ s ① rrèrs st é ♣ s♠♦♥tr EG = φBn + φBp
é♥s♠s tr♥s♣♦rt ♥s ♥ ♦♥tt ét♠♦♥tr
t♠♣értr ♠♥t ♥ ♦ ♦tt② é ♥ ♦♠♣♦rt♠♥t rrssr û à ♥tr ②s♠étrq
é♠ss♦♥ ♣♦rtrs ♠♦rtrs à tr rrèr ♥tr s♠♦♥tr t ♠ét
tr♥s♣♦rt ♣t êtr ♦♠♥é s♦t ♣r é♠ss♦♥ tr♠♦♦♥q à ♥tr ♠éts♠♦♥tr s♦t ♣r
♥ ♣r♦éé érs♦♥ ♥s ③♦♥ r s♣ s ♠é♥s♠s ♣♥t êtr ♦♠♣rs ♥
♦♥sér♥t r tr♥s♣♦rt st à rrèr ♦♠♠ st s ♣♦r é♠ss♦♥ tr♠♦
♦♥q ♣♦t♥t t à ♥tr t résst♥ ♠t♥t st ① étr♦♥s ②♥t ss♠♠♥t
é♥r ♣♦r sr♠♦♥tr rrèr ♥ tr ôté ♣r♦éé érs♦♥ ♠t tr♥s♣♦rt
♣♦t♥t t sr ♦♥r ③♦♥ r s♣ t résst♥ ♦♠♥♥t st ①
étr♦♥s trrs♥t tt ré♦♥ Ps ♠♣♦rt♥ts s♦♥t tr rrèr t ♦rr ♥s t
♣s é♠ss♦♥ tr♠♦♦♥q ♦♠♥r ♦s ♦♥s ♣rés♥tr té♦r é♠ss♦♥ tr♠♦♦♥q t
♦r♠s♠ ♣r♠tt♥t t♥r ♦♠♣t à ♦s ♣é♥♦♠è♥ ♠s é♠♥t s ♣r♦éés ér t
s♦♥ ♥s ❩ ♥♥ ♥♦s ♣rés♥tr♦♥s s ① trs ♠é♥s♠s rést♥t t t♥♥ à
♦♥t♦♥ t ♣♦sr♦♥s ♥♦s ②♣♦tèss ♣♦r st ét
Js→m =´
∞
EF+qΦB
qvxdn
vx
Φibn
Js→m (V = 0)
J = Jsm − Jms = Nc
(
kT
2πm∗
)1
2
exp
−qφibn
kT
[
exp
qV
kT
− 1
]
Nc
I = SA∗T 2exp
[
−qφibn
kT
](
exp
[
qV
kT
]
− 1
)
A∗
A∗
A=
A∗Si
ASi
(1− x) +A∗
Ge
AGe
x
♦♥st♥t rs♦♥ q t ♠ s rs s ♦♥st♥ts ♣♦r s♠
t r♠♥♠ s♦♥t rés♠és ♥s t
❱rs A∗/A ♣♦r t ♣rès ③❬❪♠♦♥tr ♠ r♠♥♠
t②♣ ♣ t②♣ ♥ t②♣ ♥
♦r♠s♠ ♥st q ♣♦r s ♥ tr♥s♣♦rt ♦♠♥é ♥q♠♥t ♣r é♠ss♦♥ tr♠♦♦♥q
♦r ♦♠♠ ♥♦s ♦♥s ♣réé♠♠♥t s ♣é♥♦♠è♥s ér t s♦♥ s ♣♦rtrs ♥s
❩ ♣♥t ♠tr ♦♥trt♦♥ tt é♠ss♦♥ ♦s ♦♥s ♦♥ ♣rés♥tr rè♠♥t té♦r
s♦♥ ♥s ❩ t ♥♦s ♣rés♥tr♦♥s ♠♦è ♣r♠tt♥t t♥r ♦♠♣t à ♦s é♠ss♦♥
tr♠♦♦♥q t s♦♥ér s rs ♥s ❩
é♦r s♦♥
té♦r s♦♥ ♦tt② rést qtr ②♣♦tèss
tr rrèr à ♦♥t♦♥ ♠éts♠♦♥tr st r♥ ♥t é♥r tr♠q
s ts s ♦s♦♥s étr♦♥qs ♥s ❩ s♦♥t ♣rss ♥ ♦♠♣t
♦♥♥trt♦♥ s ♣♦rtrs à ① t ①❲ ♥ é♣♥ ♣s ♦r♥t
s♠♦♥tr ♥st ♣s éé♥éré
♦s ♥ ♣rés♥tr♦♥s ♣s t♦t é♠r ♣r♠tt♥t rrr réstt ♠s ♦♥s srt♦t ♥♦s ♦♥♥
trr sr ♦♠♥s♦♥ tt té♦r é♠ss♦♥ tr♠♦♦♥q ♣r♠tt♥t t♥r ♦♠♣t s
① ts té♦r s♦♥ ♣r♠t érr q ♥sté ♦r♥t à trrs ♦♥t♦♥ é♣♥
t♥s♦♥ s♥t ♦ s♥t
J ≈ qµnNcEmexp
(
−qφBn
kT
)[
exp
(
qV
kT
)
− 1
]
= JD
[
exp
(
qV
kT
)
− 1
]
tt ♦r♠ st très s♠r à é♠ss♦♥ tr♠♦♦♥q ♣♥♥t ♦r♥t strt♦♥ st
♠♦♥s s♥s à t♠♣értr ♥s s té♦r s t ♣s s♥s ♣♦t♥t ♣♣qé ♣r
r♣♣♦rt à ♣r é♠ss♦♥ tr♠♦♦♥q ❯♥ s②♥tès s s ① té♦rs été ♣r♦♣♦sé ♣r r♦ t
③❬❪ tt ♦♠♥s♦♥ ♦♥♥ té♦r é♠ss♦♥ tr♠♦♦♥qs♦♥
é♦r é♠ss♦♥ tr♠♦♦♥qs♦♥
❯♥ ♦s ♦♠♥és s ① ♣réé♥ts té♦rs ♦♥♥♥t ♥ ①♣rss♦♥ ♥ ♦r♥t à trrs
rrèr ♦r♠
J = A∗∗T 2exp
(
−qφBn
kT
)[
exp
(
qV
kT
)
− 1
]
E00
E00 =q
2
√
N
m∗εs
εs kT ≫ E00
kT ≪ E00 kT ≈ E00
é♠ss♦♥ tr♠♦♦♥q st ♥r♦♥ ♠♣q q ♥♦s ♣♦♦♥s ♦♥sérr ♦r♥t t♥♥
♦♠♠ ♥é ♦rsq r tr♥sst♦r ♥st ♣s ♣♦rsé
r ♣♣♦rt ♦r♥t t♥♥ sr ♦r♥t tr♠♦♦♥q ♥s ♥ ♦ ♣♦r ér♥tst♠♣értrs t ér♥ts ♥① ♦♣ s♠♦♥tr
♦rsq r st ♣♦rsé ♥sté ♣♦rtrs rs ♥s ♥♥♦ st ♦rt♠♥t ♠♦é ♥s♥t
♥s ♥ ♦rr s ♥s ♦s♥ s ♦♥t♦♥s ♦tt② ♣♦♥t ♥s rt♥s s ♦rsr
♦♥t♦♥ ♣r t t♥♥ ♦s rr♦♥s ♣♥♥t ♥s ♣tr s♥t q st ♣♦ss é♠♥t
s♦s rt♥s ♦♥t♦♥s ♥ér t t t♥♥
s ♠é♥s♠s tr♥s♣♦rt ♥s s rrèrs ♦tt② ♣r♠tt♥t ♦♥ résr ♥ ♥♦ s♣♦st
♦s ♦♥s ♦r ♥térêt ♥ t strtr
♥térêt
♥t ♥ ♦♥t♦♥ ♦tt② st q ♥tr ♠éts♠♦♥tr st r♣t ♥s st ♣s
r rs rést♦♥ tr♥sst♦rs ♣tts ♠♥s♦♥s ♥ ét♥t s ♣é♥♦♠è♥s ♥①
♦rts s♥ ét♣s ♠♣♥tt♦♥ t ♥s ♦♥ rts tt♦♥ à t t♠♣értr ♥ ♦♥t
♥ ♦♥ ♥t ♣♦r ♥tért♦♥ ♥ r t♦tté s ét♣s t♥♦♦qs rs♣t♥t t
tr♠q ♠♣♦sé ♥ ♣t é♠♥t ♣♥sr à ♥térr trs ♠tér① q s♠ ♣s s à
♦♣r ♦♠♠ ♦①② ③♥ ♣r ①♠♣ ♥ strtr ♥ t tr♥sst♦r st ♣rés♥té ♥s r
s rs à ♠♦♥tr♥t ♣r♥♣ ♦♥t♦♥♥♠♥t ♥ éqr tr♠q
VG = VD = 0V tr rrèr ♣r s tr♦s st qφBp ♥ t♥s♦♥ r st
sss s ♣r♠tt♥t ♥rs♦♥ sr t②♣ ♣ rs t②♣ ♥ tr rrèr ♥tr
s♦r t ♦ ♥rs♦♥ st qφBn ♦t♦♥s q s♦r st ♣♦rsé ♥ ♥rs ♥s s ♦♥t♦♥s
♦♥t♦♥♥♠♥t P♦r ♠♥tr ♥sté ♦r♥t ♠ét ♦t êtr ♦s ♣♦r ♦♥♥r ♥ tr
rrèr ♥rs s ♣♦rtrs ♠♦rtrs ♣s t ♣♦ss t s♦rt q rrèr ♣r s
♣♦rtrs ♠♥♦rtrs s♦t ♣s ♣tt ♣♦ss ♦r♥t s♣♣é♠♥tr û à t t♥♥ à rrèr
♣t r à ♠♥tt♦♥ ♥sté s ♣♦rtrs ♥s ♥
♦r♥t à étt r♠é tr♥sst♦r st très s râ à tr rrèr ♦tt② ♦r♥t à
étt ♣ss♥t é♣♥ ♦rt♠♥t s résst♥s ès P♦r ♥ ♦♥t♦♥♥♠♥t é r ♦t r♦rr
s srs ♥ r♥tr ♦♥t♥té ♠s ♣♦t♥t ♥rs♦♥ t♦t ♥ ♠s ♥♦s
rr♦♥s q ♥st ♣s t♦♦rs stsr tt ♦♥t♦♥
♣♣r♦ s♥♥t t♦♣♦♥ ♦♥sst à ♣rtr ♥ ♦t ♠ss ♣s à t♥qs
t♦r♣ t rr ssss à é♥r s s♦s♥s♠s ♠♥s♦♥s ♣s ♥ ♣s
♣tt st ①t♠♥t ♠ê♠ ♣r♥♣ q s♣tr
♣♣r♦ s♥♥t ♦tt♦♠♣ ♦♥sst à ♣rtr ♥ ♦t s é♠♥t ♣s
♣tt ♣♦ss ♣s à ss♠r t ♦t s♦t ss s♠s s♦t s ♦ts ér♥ts ♥
♦♥strt ♥s ♥ s②stè♠ ♣s ♥ ♣s ♦♠♣① st ♠ét♦ q ♦♥ ts ♣♦r ♦♥strr
s ât♠♥ts
♦s ♦♥s ♣rés♥tr ♦♠♠♥t s ♥♥♦strtrs ♣♥t êtr é♦rés s♦♥ s ① ♠ét♦s
♣♣r♦ s♥♥t
st ♠ét♦ trt♦♥♥ ♠r♦étr♦♥q st ♦t♥r s ♥♥♦strtrs ♥ r♥t ♥
♠tér ♠ss à trrs ♥ ♠sq rr tt ♠♥èr st ♣♦ss ♦t♥r s ♥♥♦s s♦t
rt① s♦t ♦r③♦♥t① ❯♥ rés♥ st tsé ♥ é♥r s ♠♦ts ♣r t♦r♣ s♦t ♦♣tq
s♦t étr♦♥q ♥st ♠sq r st ré ♣r ♦ sè ♣rès ♥ rtrt rés♥ ♠tér
♦♥stt♥t s ♥♥♦s st ré ♣r ♦ sè ♥t tt t♥q st ♣rt♠♥t ♦♥trôr
♠tér ♦♥stt♥t s ♥♥♦s t ♥♦t♠♠♥t ♥ ♦♣ tr ♥t tt ♠ét♦ st
♦♥trô t r♣r♦tté s s♣♦sts ♥♦t♠♠♥t ♣♦♥t ♠♥s♦♥♥ râ ① ♠ét♦s
♥és t♦r♣
r t ♥♥♦s rés tsés ♦♠♠ tr♥sst♦rs ♣♥rs à ♠♦♥♦ ♦ ♠t♥① ♥♦s rés rt① ♣rès ❬❪
❯♥ r♥t ♣♣r♦ s♥♥t st tsr ♥♦♥ ♣s ♥ rr sè ♣s♠ ♠s ♥ rr
♠ t②sé P♦r ♥ ♠ét st tsé ♦♠♠ t②sr rr s♠ s ♥♥♦s
♦t♥s s♦♥t très ♥ss ♠s r ♣♦st♦♥♥♠♥t rst à ♦♥trôr t s srs s ♥♥♦s s♦♥t
très s♦♥t rss❬❪
tst♦♥ ♥ ♥♥t tr st ♦♠♣① t ♦ts st résr s ♣r♦éés
♠r♦étr♦♥q à r♥ é ♥s ts ♣♣rs
tss é♣ôt ♥ ♣r♠t ♣s résr s s ♦♥r ♠♣♦rt♥t ♠ t
rést♦♥ s♣♦sts st ♦♥ ♦♠♣①é
♠ét tsé ♣♦r t②s rts ♦r s♦♥ rô ♥ ♣ré♥t r♦ss♥ ♥ rt♥s ♣♦♥ts
♠s é♣ôt rst ♠♣♦rt♥t t st ♦♥ ♣r♦é♠tq ♣♦r rést♦♥ s♣♦sts étrqs
s ♥♥♦s ♦t♥s ♣r r♦ss♥ t②sé ♥ é♣ôt s♦♥t ♣rés♥tés ♥s r ♥
r♠rq ♦ rst♥ s♠ ♣ s ♥♥♦s tss r♦ss♥ ♥s s ♦♥t♦♥s
st ♥r♦♥ ♥♠♠♥
r ♥♦s s♠ t②sés à ♣rtr ♥ ♠ ♦r é♠♦é ♥♠ t rûs ♥s ♥ ât à ♣♥♥t s s ♦♥t ♥ ♦♥r ♥r♦♥ ♥♠
♦s ♦♥s és♦r♠s ♥♦s ♥térssr ① é♣ôts ♠qs ♥ ♣s ♣r
é♣ôt ♠q ♥ ♣s ♣r
é♣ôt ❱ ♦♥sst à ♥♦②r ♥ ③ ♣rérsr à sr ♥ sstrt ♦ù s é♦♠♣♦sr ♥
♦r♠r ♠tér s♦té s♦s ♦r♠ s♦ t ♣r♦r s éts rét♦♥s s♦s ♦r♠ ③s
sstrt st é à ♥ s②stè♠ résst q ♣ss t ♥ qrt③ tsé ♦♠♠
♥♥t ♥ ♣r ♦rs rétr à ♠rs s ♣r ♦♣♣♦st♦♥ ① rétrs à ♠rs r♦s ts♥t ♥
♣r ♥t♦♥ ♠♥étq s ♣rss♦♥s ♣rts s♠ ♥s ♥ ♠r ❱ s♦♥t ♥tr
t ♦rr s♦t à ♦rrs r♥rs ♣s q s é♣ôts ♥ rést ♥s ♥ tss
r♦ss♥ ♦rr à ♥♠♠♥ ♦s ♦♥s ①♣♦sr s ♥ts t ♥♦♥é♥♥ts tt
♠ét♦
♥ts
❱tss r♦ss♥ éé ♣r r♣♣♦rt à
♦ût é♣ôt rét r ♣s tst♦♥ tr
②stè♠ éà r♠♥t tsé ♥s ♦♠♥ ♠r♦étr♦♥q
P♦ssté ♦♣r ♥ ssst♥ ♣s♠ ♥ ♠♥r t♠♣értr é♣ôt
P♦ssté ♦♣r s ♦s ♥ ♦t♥t s ③ ♦♣♥ts ♦♠♠ ♣♦s♣♥ ♦ ♦r♥
P♦ssté trtr s sstrts r♥s ♠♥s♦♥s
♦♥ ♦♥trô tss é♣ôt
é♣ôt ♦♥trôé ♣r s ♠s srs t ♦♥ r♥ sétté Ps é♣ôt ♥tr s ♥♥♦s
♥♦♥é♥♥ts
té résr s ♦♥t♦♥s ♠tér① ♦ ♦♣ r♣ts
Ps ♦♥trô ♥st s ♦s résés
s ♥ts ❱ ♠♣♦rt♥t sr s ♥♦♥é♥♥ts t tt ♠ét♦ ♦rrs♣♦♥ ♦♣ ♣s à ♥♦s
tt♥ts t à ♥♦s ♦ts ♦s ♦♣t♦♥s ♦♥ ♣♦r ♥ é♣ôt ❱ ♦♠♥é à ♥ r♦ss♥ t②sé Pr
ét ♥♦s ♦sr♦♥s ♦r ♦♠♠ t②sr t ♥♦s r♦♥s ♦s♦♥ str s ♣r♦é♠tqs q
♣t ♥♥rr à ♥ tt tès
r♦ss♥ t②sé s ♥♥♦s ♣r ❱ ♣r♠t ♥s ♦t♥r s ♥♥♦s ♦♥t s♣t st ♠♦♥tré
sr r
r ♥♦s s②♥tétsés ♣r ❱❱ à ♣rtr ♥ ♦ ♦r é♠♦é ♥♠ à♣rtr ♣♦ts ♦r ♦sés
t②♣ ♥♥♦strtrs t ♣rtèr♠♥t s ♠é♥s♠s ♥tr♥♥t ♥s r♦ss♥ ♦♥t été très
r♠♥t étés r♥t s r♥èrs ♥♥és ♦s ♥ ♥♦s ♣♥r♦♥s ♣s sr t s♣t r♥t tt ét
♠s ♥♦s ♥♦s ♥térssr♦♥s ♣s ♣rtèr♠♥t ① ♣r♦♣rétés étrqs s ♥♥♦s ♥♦♠rss
éq♣s ét♥t ♣s ♥ ♣tt ③♥ ♥♥és s s♣♦sts étrqs ts♥t s ♥♥♦s ♦s
♦♥s ①♣♦sr s ♣r♦♣rétés q ♦♥t q s ♥♥♦s s♠♦♥trs ♣♦rr♥t ♦r r ♣ ♥ t♥t
q s♣♦sts étr♦♥qs ♥s s ♣s ♠♥
s♣♦sts à ♥♥♦s
♦tr t ét♥t tsr s ♥♥♦s ♦♠♠ ♥① ♦♥t♦♥ ♥s s tr♥sst♦rs ♥♦s ♦♥s ♥♦s
♥térssr ① tr① q ♦♥t ♣ êtr ts ♥s ♦♠♥ P♦r ♥♦s st♥r♦♥s ① r♥s
♠s s tr♥sst♦rs ♣♥rs t s tr♥sst♦rs rt① s tr♥sst♦rs ♣♥rs ts♥t s ♥♥♦s
q ♦♥t été s♣rsés sr ♥ sstrt ôt ♣♣rt t♠♣s ♥ s♠♦♥tr éé♥éré ♦rt ♥
étrq ♥ tsr ♦♠♠ ♦①② r s tr♥sst♦rs rt① ♣s ♦♠♣①s ♦♥sr♥t s
s ♥s r ♣♦st♦♥ rt s♣♦st st ♦rs résé t♦r s ♥♥♦s ♥ ts♥t ♥♦♠rss
ét♣s t♥♦♦qs ♦s ♦♥s ♦♥ ①♣♦sr qqs tr① ♠rq♥ts ②♥t été s ♥♥♦s
r♥sst♦rs ♣♥rs
♥ r♦♣ rr r ♣ ♥ rt ❬❪ ♣rés♥t♥t rést♦♥ tr♥sst♦rs
♣♥rs à ♥♥♦s s♠ ♣rés♥t♥t très s ♣r♦r♠♥s étrqs s ♥♥♦s étés ♥t
♥ ♠ètr à ♥♠ t ét♥t ♦♥ttés ♥tr ① étr♦s ♣r t♦r♣ étr♦♥q
s tr① ♦♥t ♠♦♥tré ♣♦ssté ♦t♥r s ♠♦tés s ♣♦rtrs s♣érrs à s s♠
♠ss r♦♣ sst ♦sé sr ♠♦t♦♥ sr s ♥♥♦s t s♦♥ ♠♣t sr rs ♣r♦r
♠♥s ♣rès ♦r été trtés s♦t ♥tr♦♣♥② ♦t♦♥♦t s♦t r♦♠r ttrt②♠♠♦♥♠
IDS −VDS
IDS − VGS IDS VGS − VTH
IDS − VDS
IDS − VGS
IDS − VDS
IDS − VGS
IDS − VDS IDS − VGS
IDS −VDS
IDS − VGS VDS
SixMy
tr rrèr ér♥ts srs sr s♠ t②♣ ♥ P♦r q s②stè♠ tr rrèr ♦♥♥é ♦rrs♣♦♥ à ♣s ♦rt r r♣♣♦rté ♥s ttértr ♣rès ❬❪
r ΦBn❱ trtr ♠♣értr ♦r♠t♦♥ ♠♣értr s♦♥
♦ q ♦2 q r2 ①♦♥ ♥ q 2 rt♦r♦♠q rt♦r♦♠q 2 q P2 ①♦♥ Pt rt♦r♦♠q q 2 rt♦r♦♠q
♥s s ♥ tr♥sst♦r ♦tt② tst♦♥ ♥ ♣r♦éé srt♦♥ ♣♦r t
♠♥r résst♥ ♦♥tt ♥ ss♥t tr rrèr ♦tt②
r♣♦ssr ♥tr ♥t♦♥ s ♣♦rtrs ♥s ♥♥♦ ♣r♠tt♥t ♥s ♦♥trôr sr
♦♥tt q ♥ sr r♥ tr q st♦♥ ♥♥♦
srt♦♥ s ♥♥♦s s♠ é♠♥t été très été ♥s t ♦♣t♠sr s ♦♥tts
s rs ♠tér① ♦♥t été tsés ♦♠♠ ♣t♥ tt♥ r♠ ♦ ♥ ♦s ♦♥s
r♣♠♥t r ♥ étt s tr① résés ♥s ♦♠♥
tt rt srt♦♥ s ♥♥♦s s♠
① r♥s t②♣s tr① s st♥♥t ♥ é♥ér ♥ ♣rt ét ♥étq t rst♦r♣q
srt♦♥ s ♥♥♦s t②♣ ét st ♦♠♣① ♥ s♥s ♦ù ét♦♥ s ♣ss rst♥s
♣rés♥ts ♦rs srt♦♥ ♥ésst rqr s s♣♦sts sr ♠♠r♥ ♥ ♣♦♦r résr s
♠srs s♦s ♥ tr ♣rt s éts étrqs q s ♦♥♥tr♥t sr ♥ ♦♥t♦♥ srt♦♥
♦♥♥é ♦♣t♠ ♠s q ♥ét♥t ♣s ♥♥ s ♣r♠ètrs rt sr s ♣r♦r♠♥s étrqs
s s♣♦sts rès ♣ tr① s ♦♥♥tr♥t sr s ① s♣ts ♥ ♠ê♠ t♠♣s à s♦r ♥♥
♣r♦éé srt♦♥ sr s ♣r♦r♠♥s étrqs s s ss ♣♣rs ②♥t trté st
s♦♥t s ① s♥ts
♣♣♥③r t ❬❪ ♦♥t résé s tr♥sst♦rs ♣♥rs à ♦ r ♥ r rrèr t ♥ r
♥t ♦♥t s ♦♥tts ♦♥t été srés s ♠tt♥t t♦t ♦r ♥ ♥t ♥étq srt♦♥
t ♥ r♥t ♦♥r sr ♦r♠é ♠ètr ♥♥♦ s ♦♥stt♥t q
♦♥r sr ♦t♥ st ♥rs♠♥t ♣r♦♣♦rt♦♥♥ r②♦♥ tSi ♥♥♦ Ps ♠♣♦rt♥t
tt ♦♥r sr st é♠♥t ♦♥t♦♥ ♥rs r②♦♥ rré ♥♥♦ srt♦♥
st ♦♥ r♠♥t ♥ t ♦♠ t ♥♦♥ sr ♠♣t sr s ♣r♦r♠♥s étrqs s
s♣♦sts st é♠♥t été
Lsil
1/tsi 1/tsi2
IDS − VGS
IDS − VGS
IDS−VGS
ION/IOFF
SixGe1−x
GeH4
GeO2
ION/IOFF
IDS − VDS IDS − VGS VDS
ION/IOFF
IDS − VDS Si0.5Ge0.5IDS − VGS
ION/IOFF
IDS − VGS IDS − VDS
♣r♠tt♥t résr s tr♥sst♦rs à ♥ ♥♥♦ rt① s rstrt♦♥s ♠♣♦sés ♣r s ét♣s
♥ s rts ♥térés
ts ♣r♥♣①
t ①é st é♠♦♥trr ♣♦ssté tsr s ♥♥♦s s♠♦♥trs ♦♠♠ ♥① ♦♥
t♦♥ ♥s s tr♥sst♦rs rt① ♣♦r s ét♣s ♥ s rts ♥térés ♦s ♣♦♦♥s ♦♥ é♦♣r
t ♦t ♥ ♣srs ♣♦♥t ♣rés q s♦♥t
r t rtérsr s ♣r♦r♠♥s étrqs s ♥♥♦s s♠♦♥trs é♦rés s♥
♦rt♦r
ttr ♥ ♣ ♥ ♣r♦éé ♥tért♦♥ ♥♥♦s s♠♦♥trs ♣♦r rést♦♥ tr♥
sst♦rs rt①
rtérsr s tr♥sst♦rs rt① ♥ résr ♥ rétr♦t♦♥ sr ♣r♦éé rt♦♥ ♥
s♦♥ ♠é♦rt♦♥
é♠♦♥trr ♣♦ssté s②♥tétsr s ♥♥♦s s♠♦♥trs s rstrt♦♥s ♠♣♦sés ♣r
s ét♣s ♥
s qtr ♦ts ♠rs ♣♥t êtr résés ♥ ♣rè ①♣té ♣♦r s ♣♦♥ts t t ♣r♠ttr
♦♥ ♥ ♣s r♥ té ♦s ♦♥s ♣rés♥tr ♥♦tr strté ♥ tr♠s rést♦♥ s♣♦sts
t♦♥ s ♣r♦r♠♥s s ♥♥♦s
t ♣r♠r st ér s ♣r♦♣rétés tr♥s♣♦rt ♥s s ♥♥♦s q sr♦♥t s②♥tétsés r
♥♦t♠♠♥t st♠r s ♣r♦r♠♥s ①qs ♥♦s ♣♦rr♦♥s ♥♦s tt♥r ♥ tr♠ ♠♦té r♣♣♦rt
♦r♥ts ION/IOFF ♣♥t s♦s s t t♥s♦♥ s ♦♣t♠st♦♥ s ♣r♦r♠♥s étrqs
♣ssr ♣r ♠s ♥ ♣ ♥ ♣r♦éé srt♦♥ s ♦♥tts à ♥ ♦r rt r♣
à ♠♣s ♥rr♦s ♦s rr♦♥s s rs q ♥♦s ♣♦rr♦♥s ♥st ♦♠♣rr ① s♣♦sts
rt① résés ♦s ♦sss♦♥s résr t♦ts s ♠srs à tr♥sst♦rs ♣♥rs tt
♠ét♦ ♥tért♦♥ rt♠♥t s♠♣ ♥ésst ♣ ét♣s rt♦♥ t ♣r♠t é♠♥t
résr r♣♠♥t ♥ r♥ ♥♦♠r s♣♦sts st ♦♥ ♣té à s ♠srs s②sté♠tqs
♥♦s ♣r♠t é♠♥t êtr ♥é♣♥♥t ♣r♦éé ♥tért♦♥ ♦s rtr♦r♦♥s ♦♥ sé♠
s♥t ♥s ét s ♦♠♣♦rt♠♥ts étrqs s ♥♥♦s ♥ ♦♥rt♦♥ ♣♥r
t s s rts r♦ss♥
t srt♦♥ s ♥♥♦s s ♥ é♥ ♥étq srt♦♥ t ét
♠♣t sr s ♣r♦r♠♥s étrqs s s♣♦sts résés
t ♥♥ ♥ ♦①② tr♠q ♥r♦♥t s ♥♥♦s
ést♦♥ t rtérst♦♥ ♥♥♦s ♣♥rs ♣♦ssé♥t ♥ r ♥r♦♥t t ♦♥ ♦♠♣rs
s tr♥sst♦rs rt①
♦s ♦♥s q s ♥♥♦s ♣♦♥t êtr srés ♥ ♠♥r tr rrèr ♦tt② s
♦♥tts t ♦♥ ♦rsr ♥t♦♥ s ♣♦rtrs ♦s ♦♥s ♦rs t éà ♦sr ♠tér ♣s
♣té à rést♦♥ s ♦♥tts
♦① ♠ét ♦♥tt
♦s é♦♥s ♥♦s ♦r♥tr ♦ rs ♥ ♠tér ♦♠♣t ♦♠♥ ♠r♦étr♦♥q
P♦r ♠tér ♦t s ♣♦ss êtr éà tsé ♥s s ♣r♦éés ts t ♥ ♣s êtr érs♦♥♥
♠♥t tr♦♣ r ♥s ♣♠ ♣t♥ t r♦♠ s♦♥t ①s à s r ♣r① ♠♥♥ès
♥ét♥t ♣s ♦r♠♠♥t tsé t ♥♦♥ s♣♦♥ sr ♥♦s ♠♥s é♣ôt st ss à ①r tt♥
♣t é♠♥t êtr rtré ♦♠♣étt♦♥ ♥ rs♦♥ t♠♣értr éé ♦r♠t♦♥ s♦♥ sr
♦♠♠ ♣rés♥té sr t st♥t ♦rs r♦♠ ♦t t ♥ ♦① s♦r♥t sr
♥ q st ♥ ♠tér éà r♠♥t tsé ♥ ♠r♦étr♦♥q ♥ résr s ♦♥tts s♦r
t r♥ s s ♥s r♦♥t♥ ♠tér st ♠♥t ss ♥s ♥♦s ♠♥s t ♥
♣♦s ♣s ♣r♦è♠ ♦♥t♠♥t♦♥ trs éq♣s ♦♥t éà ♥sé s♦♥t ♣♣t♦♥ ♦♠♠ ♠ét
♦♥tt ♦s ♦♥s ♦♥ ♦r q ♣ s r ♥ tr♠ rrs sr srt♦♥ s ♥♥♦s
s♠ ♣r ♥
♣rès ♦① ♠ét ♦♥tt s ♣♦s ♣r♦é♠tq ♦①② r ① ♦♣t♦♥s s♦♥t ♦rs
s♣♦♥s ♥ ♦①② tr♠q ♦ ♥ ♦①② ♦t♥ ♣r é♣ôt ♠q ♥ ♣s ♣r
♦① étrq r
étrq r ♣t ♥s ♥♦tr s êtr ♦r♠é ♣r ① ♠ét♦s st♥ts s♦t ♥ ♦①②t♦♥
tr♠q s♦t ♥ é♣ôt ♣r ♦ t♦♠q ♣r♠èr ♠ét♦ ♥t ♦r♠r ♥ ♦①②
très ♦♥♥ qté étrq t éq♣♠♥t tsé ♣♦r résr q st ♥ ♦r rt r♣ ♣r♠t
tr tt ét♣ ♥ ♠♥ ①è♠ ♠ét♦ ♣r♠t é♣♦sr ♥ ♦①② ♦rt ♣r♠ttté
étrq ts q Al2O3 ♦ HfO2 ♦♠♠ s ① ♠♥s s♦♥t s♣♦♥s ♥♦s étr♦♥s s
① ♠ét♦s é♣ôt ♣♥♥t ♥ ér♥ ♥♦t st à ♣r♥r ♥ ♦♠♣t ♦①②t♦♥ tr♠q
♥ésst s t♠♣értrs ♠♦♥s ♦rs q é♣ôt ♥ é♣ss ♣s s ♥ ♥
♦♠♣tté tr s ét♣s ♥ ♠r♦étr♦♥q ♥♦s ♦♠♣r♥♦♥s ♥ q ♦①②
st s à ♣♦♦r êtr tsé ♥ rs♦♥ t tr♠q ré t♦t qté étrq
♥ ♦①② st ♦♠♣① à ♠îtrsr t s rtts t②♣ é♣ôt ♥ét♥t ♣s ♦♣t♠sés ♥♦s
tsr♦♥s ♦①② tr♠q ♥ ♣♦♦r rqr ♥ é♠♦♥strtr ♥s t r ♥♦tr sé♠
♥tért♦♥ rt ♦s ♦♥s rs ♠♥t♥♥t ♣rés♥tr s ♦ts ♦♥r♥♥t tt ♥tért♦♥
♥tért♦♥
s♦♥ ♦t ♦♥sst à é♦♣♣r ♥ ♣r♦éé ♥tért♦♥ s ♥♥♦s ♦♥ s♦t é♠♦♥trr
sté ♥tért♦♥ s ♥♥♦strtrs ♥s s ét♣s ♥ st ♥éssr ♦r ♥ ♣r♦éé
t♥♦♦q ♥♦s ♣r♠tt♥t s tsr ♦♠♠ tr♥sst♦rs ♦s é♦♥s ♦rs é♦♣r ①
s♣ts ♥ ♣rt ♥tért♦♥ t tr ♣rt ♦♠♣tté ♣r♦éé ♥ tt
♠♥èr é♦♣♣♠♥t ♣r♦éé ♥tért♦♥ ♥ sr ♣s é♣♥♥t résst ♦ ♥♦♥ ♠s
♥ ♣ ♥ ♠ét♦ é♦rt♦♥ s ♥♥♦s ♦♠♣t ♥ s tr♥sst♦rs rt① é♦rés
♥ rs♣tr♦♥t ♦♥ ♣s s ♦♥tr♥ts ♥ r ♥♦s tsr♦♥s s sstrts rst♥s sr sqs
r♦ss♥ s ♥♥♦s st ♥ ♠trsé t ♥♦s rtr♦♥s ♣r♠ètr r♦ss♥ ♦♠♠ ♥ ♦st
♣♦ss à rést♦♥ s s♣♦sts ♣s ♦♠♠ ♥♦s ♦♥s ①♣qé ♣♦r ♦① étrq
r s rs♦♥s ♣rtqs ♦♥t q ♥♦s ♦sr♦♥s ♣r ét ♥ ♦①② tr♠q é♠♥t ♥♦♠♣t
rs♣t t tr♠q ♥s ♥ ♥♥ ♥♦s t♥tr♦♥s ♠ttr ♥ ♣ ♥ strté
é♦rt♦♥ ♥♥♦s à ss t♠♣értr t sr sstrt ♥♦♥ rst♥
♦♥s♦♥
♦s ♦♥s ①♣qé ♥s ♣tr ♣r♥♣ ♦♥t♦♥♥♠♥t rq s qst tr♥sst♦r
à t ♠♣ ♦s ♦♥s é♠♥t ①♣♦sé ♠ét♦ rt♦♥ ♥ rt ♥téré s ①
①♣♦sés ♥♦s ♦♥s été s ♦s tsés ♥ ♠♥tr ♣ss♥ s rts ♥térés t s ♠
tt♦♥s ①qs ♠r♦étr♦♥q st ♦♥r♦♥té ♦s ♦♥s ♦♥ séré é♠♦♥trr ♣♦ssté
résr s s♣♦sts ts stàr s tr♥sst♦rs ♥s s ♥① ♥tr♦♥♥①♦♥s s rts
♥térés ♥ ♣♦♦r ♦tr s ♦♥t♦♥♥tés s♥s ♦r à r♦rr ① ♠ét♦s ♦♠♣①s ♦
♣s P♦r ét s é♦♣r ♥ tr♦s t♠♣s ♥ r♣rés♥té ♣r ♥ ♣tr q sr éé
♦s rtérsr♦♥s ♥s ♥ ♣r♠r t♠♣s s ♣r♦♣rétés étrqs s ♥♥♦s t ♥ ♦♥♥r
♥ ♦rr r♥r s rs t②♣qs q ♥♦s ♣♦♦♥s tt♥r s à ♥♥♦s P♦r ♥♦s
♣rés♥tr♦♥s rést♦♥ t rtérst♦♥ ♣♥rs à ♥♥♦s ♦s étr♦♥s ♠♣t
♦♣t♠st♦♥ s ♦♥tts à trrs ♥ ♣r♦éé srt♦♥ ♦s ♦♠♣rr♦♥s s réstts ♦t♥s à
① ♣rés♥tés ♣réé♠♠♥t ♥s ttértr s♥tq
♥s ♥ ①è♠ t♠♣s ♥♦s étr♦♥s é♦♣♣♠♥t ♣r♦éé ♥tért♦♥ ♥ tsr
s ♥♥♦s ♥ ♣♦st♦♥ rt ♦s ①♠♥r♦♥s s ♣♦♥ts ♦q♥ts t s s♦t♦♥s ♣♣♦rtés ♥
♣r à s ♣r♦è♠s ♥ tr é♦♣♣♠♥t ♥♦s tsr♦♥s s ♥♥♦s s②♥tétsés sr sstrt
rst♥ q r♥tr ♥ r♦ss♥ rt s ♥♥♦strtrs ♦s rtérsr♦♥s ♥st étr
q♠♥t s s♣♦sts résés t ♣rés♥tr♦♥s ♥tr trs s ♣r♠rs s♣♦sts résés à s ♥♥♦s
♥♥ r♥r ♣tr sr ♦♥sré à ♠s ♥ ♣ ♥ ♣r♦éé ♦♠♣t ♥ t♥t ♣♦♥t
r♦ss♥ à ss t♠♣értr q ♥tért♦♥ ♦s ♠♦♥trr♦♥s s ♣r♠rs s♣♦sts
résés ♥s q r rtérstqs étrqs ♦s ♠ttr♦♥s ♥ ♥t s rr♦s t♥♦♦qs à r
♣♦r r♥tr ♥ ♥tért♦♥ ♦♠♣t t
♣tr
Pr♦♣rétés étrqs s ♥♥♦s
♥tr♦t♦♥
♥t résr s tr♥sst♦rs rt① à ♥♥♦s st ♠♣♦rt♥t rtérsr s s ①♠ê♠s
rést♦♥ t♥♦♦q tr♥sst♦rs rt① ét♥t rt♠♥t ♦♠♣① t ♦ûts ♥ t♠♣s st
♣réér s♦r♥tr rs ♥ ♠ét♦ ♣r♠tt♥t résr s s♣♦sts à ♥♥♦s ♥ r♥ q♥tté
r♣♠♥t t ♣s s♠♣♠♥t ♣♦ss P♦r ♥♦s ♦♥s rqr t étr s tr♥sst♦rs à ♥♥♦s
♣♥rs ♦s ♦♥s ♣rés♥tr ♠ét♦ rt♦♥ s s♣♦sts ♣s ♦♠♣♦rt♠♥t étrq
s ♥♥♦s s tr♥sst♦rs s♦♥t éés à ①♣♦rr ♦♠♣♦rt♠♥t s ♥♥♦s ♦rsqs s♦♥t tsés ♦♠♠
♥① ♦♥t♦♥ ♥s s s ♥ st ♥ ♥ s rr à ♦t♥r s ♦♠♣♦rt♠♥ts
rs♥t s ♠rs s♣♦sts ts ♠s s♠♣♠♥t ér ♣♦t♥t ♥ tr♠ ♥tért♦♥
s ♥♥♦strtrs tt ét♦♥ s ♣r♦r♠♥s sr é♦♣é ♥ ♣srs ét♣s
♦s ♦♠♠♥r♦♥s ♣r étr ♦♠♣♦rt♠♥t étrq ♥♥♦s rts r♦ss♥ ♦s
ér♦♥s q♥tté ♠♣rtés ♦♣♥ts ♣rés♥ts ♥s s ♥♥♦s à ♠srs résstté
♥s ♦♣tq ♠é♦rt♦♥ s ♣r♦r♠♥s ♥♦s étr♦♥s ♣♦ssté srr s ♥♥♦s
♥ rés♥t ♥ trt♠♥t tr♠q s s♣♦sts ♣♦r t ssr tr rrèr
♦tt② q ♦♥tt ♦s ♥♦s ♥térssr♦♥s ♥♦t♠♠♥t à ♥étq srt♦♥ t à
r♣r♦tté ♣r♦éé
♦s ♣rés♥tr♦♥s s rtérstqs étrqs ♣♦♥t êtr ♦t♥s ♥s s ♦♥t♦♥s ♦♣t♠s
rt s ♦♥tts ♣r♠tt♥t ♥s ♦t♥r s ♣r♦r♠♥s à étt rt ♥tr♥t♦♥
♦s ♣♣r♦♦♥r♦♥s ♥st ét ♦♠♣♦rt♠♥t ②stérétq s ♥♥♦s ♦t♥ ♦rs ②
♥ t♥s♦♥ r ♦s ♣r♦♣♦sr♦♥s ♥ s♦t♦♥ ♣r♠tt♥t ♠♥r tt ②stéréss ♥ ♣r♦é♥t
à ♥ é♣ôt étrq sr s s♣♦sts
♦s étr♦♥s ♥st ♦♠♣♦rt♠♥t étrq ♥♥♦s ♦①②és tr♠q♠♥t rét♦♥
②stéréss ♦rs ② ♥ t♥s♦♥ r sr é♠♥t sté
❯♥ ♣é♥♦♠è♥ ♥rs♦♥ ♦♣ s ♥♥♦s sr ss ♠s ♥ é♥ t ♥ ét ♣♣r♦♦♥
♥♦s ♣r♠ttr étr♠♥r ♦r♥ ♣②sq ♣é♥♦♠è♥
♥s ♥ r♥r t♠♣s ♥♦s ①♣♦sr♦♥s s ♣r♦r♠♥s étrqs tr♥sst♦rs à ♦ r
st♥és à ér ♣s ♣résé♠♥t ♣♦t♥t s ♥♥♦s ♦rs r tst♦♥ ♥ ♦♥rt♦♥
r ♥r♦♥t
♦rt♦♥ s ♥♥♦s
rétr
s ♥♥♦s tsés ♥s tt ét ♦♥t été ♦t♥s ♣r r♦ss♥ ♥ s s♥t sr ♠é♥s♠ ❱
♣rés♥té ♥s ♣tr ♠♥ tsé ♣♦r r♦ss♥ st t②♣ P❱ Prssr
♠ ❱♣♦r ♣♦st♦♥ ♠rq s② ♦♠♠rsé ♣r rst♥♦ t ♣r♠t
♦t♥r ♥ r♦ss♥ sr s sstrts ♠♠ s ③ ♣rérsrs tsés ♣♦r é♦rt♦♥ s
♥♥♦s s♦♥t s♥ ♣♦r s♦r s♠ t r♠♥ ♣♦r r♠♥♠ ♥
♦♣r s ♥♥♦strtrs t éq♣♠♥t s♣♦s é♠♥t ♥s ♦r♥ ♣♦r ♦♣
t②♣ ♣ ♣tr t ♣♦s♣♥ P ♣♦r ♦♣ t②♣ ♥ ♦♥♥r ① trs ③ s♦♥t
é♠♥t s♣♦♥s à s♦r ②r♦è♥ tsé ♦♠♠ ③ ♣♦rtr t ♦rr ②r♦è♥
q ♣♦r rô ♥r s♦♥ ♦r à sr s ♥♥♦s❬ ❪ rétr st t à ♣r♦s
s r s②stè♠ résst ♥♦ ♥tèr♠♥t t qrt③ ♥s q st résé é♣ôt ♥s
♣♦rté♥t♦♥s ♥s q s ♣r♦s s♦♥t ♣♦rtés à t t♠♣értr st à ♦♣♣♦sr ① rétrs à
♣r♦s r♦s ♦ù s ♣♦rté♥t♦♥s st ♣♦rté ♥ t♠♣értr à ♣s s♦♥t ♥ s②stè♠
♥t♦♥ ♦s rr♦♥s ♥s ♣tr s♥t q t②♣ résst ♣t ♥tr♥r qqs
♣r♦è♠s q♥t à ♣rté s ♠tér① é♦rés
r P♦t♦ ♠♦è s②
strts t t②sr
♦♠♠ t ♣réé♠♠♥t rétr ♣t s sstrts t♦ts ts sq① ♣qs ♠♠
♠ètr s sstrts tsés r♥t tt ét ♥①è♥t ♣s s ♣♦s s♦t ♠ ♠ètr s
♣qs s♠ tsés r♥t tt ét s♦♥t ♠t♣s t éés ♥ à ♥ t ♥ ♣rés rs
♣r♦♣rétés t ♣♣t♦♥s s♦♥t rés♠és ♥s t
tr t ♣♣t♦♥s s sstrts tsés tér ♦♣ ♦♥♥trt♦♥ r♥tt♦♥ ♣♣t♦♥
①♠♠ ♠ ♥ ♠ ④⑥ r♥sst♦rs ♣♥rs ♣♦s ♠ ♥ ♠ ④⑥ r♥sst♦rs rt① ♣♦s ♠ ♣ ♠ ④⑥ r♥sst♦rs rt①
♦♠♠ r♦ss♥ st résé ♥ ts♥t ♠é♥s♠ ❱ ♥ t②sr ♠étq ♦t êtr é♣♦sé à
sr s sstrts ♥s ♥♦tr s st ♦r ♠tér éà été r♠♥t été ss ♥
s♣♦sts ♣♥rs à ♦ r
♦♥trr♠♥t ① tr♥sst♦rs à r ♥q rrèr ① ♣rés♥tés ss♦s ♦♠♥♥t ① rs ♥
r rrèr ♣♥r t ♥ r ♥t ♥r♦♥t s ♦♠♣♦s♥ts s♦♥t ♣s ♣tés à ét tr♥s♣♦rt
♥s s ♥♥♦s r st ♣♦ss ♠♦r à ♦s ♥sté s ♣♦rtrs rs ♥s ♥ tr♥sst♦r
♥é♣♥♠♠♥t tr rrèr s ♦♥tts ① rttrs s♦♥t réss ♦t ♦r
rést♦♥ ♥ r ♥♦♥ ♥r♦♥t ♠s ♥ ♦r♠ ♦♠é sé sr rétst♦♥ s ♣réé♥ts
s♣♦sts t ①è♠♠♥t rést♦♥ ♥ r ♥r♦♥t q ♥ésst q♥t à r♦r sé♠
♥tért♦♥ s ① ♠ét♦s s♦♥t ♣rés♥tés ss♦s
r ♥t ♥♦♥ ♥r♦♥t
s ♣r♠rs s♣♦sts à r ♥t résés ♦♥t été sr s ♥♥♦s ♣ré♠♥t ♦♥ttés ♦s r♣r
♥♦♥s ♥s sé♠ ♥tért♦♥ ♣♥r ♥ ② ♦t♥t s ét♣s t♥♦♦qs s♥ts
♥♥♦ étt éà ♦①②é st ♦r t rr ♥ rés♥ ♥ét t②♣ ♥s s
♠ê♠s ♦♥t♦♥s q ♣réé♠♠♥t ♦s ①♣♦s♦♥s ♥st rés♥ ♥ ♥♥t é♥t♦♥
♠sq r ♣rès é♦♣♣♠♥t t rr ♣s♠ ♥♦s ♣r♦é♦♥s à ♠étst♦♥ r
♣r é♣♦rt♦♥ ♥ sssr♥t q é♣ssr ♠ét é♣♦sé s♦t ♣s ♠♣♦rt♥t q r②♦♥
♥♥♦ ♥ r♥tr ♥ ♦♥t♥té étrq ♦♥ r ①ès ♠ét st rtré ♣r
t♦ ♥s ♥ ♥ ét♦♥ t é♥t♦♥ st r♥é à P ♣rès ♥ r♥èr rr ♣s♠
s♣♦st st ♣rêt
♥♥♦ ♥étt ♣s ♦①②é t ♥s ♥ ♣r♠r t♠♣s ♣r♦ér é♣ôt ♥ étrq r P♦r
♠ét♦ ♣s t ♣rtq st tst♦♥ ♥ ât é♣ôt ♣r ♦s t♦♠qs
♦s é♣♦s♦♥s s♦t ♦①② ♥♠ s♦t ♦①② ♠♥♠ ♦ ♠♥
❯♥ ♦s ♦①② é♣♦sé ♥♦s r♣r♥♦♥s ♣r♦éé ♣réé♥t ♣♦r résr r ♥♥
♦♠♠ ♦①② r r♦r ♥tèr♠♥t é♥t♦♥ t ♣♦♦r ér ① ♦♥tts
s♦r t r♥ ♣♦r résr rtérst♦♥ étrq P♦r ① s♦t♦♥s s♦r♥t à ♥♦s
♣s s♠♣ t ♠♦♥s r♦rs ♦♥sst s♠♣♠♥t à ♥r rttr sr s ♦♥tts ♥
♥ rtrr ♥ ♦①② ♣s ♦♠♣qé ♠s ♣s s♦♥é ♦♥sst à résr ♥ ét♣
t♦r♣ s♣♣é♠♥tr ♣♦r ♥r ♦rr ♥ ♥êtr sr q ♦♥tt t ♣r♦ér ♥st à
♥ rr ♦①② ♦s rr♦♥s ♦♣t♦♥ ♣s s♠♣ ♣♦r s rs♦♥s é♦♣♣♠♥t
♣r♦éé
r ♥t ♥r♦♥t
P♦r résr ♥r s♣♦sts ♥♦s ♣r♦é♦♥s ♦♠♠ ♣réé♠♠♥t rtrt ♦r s ♥♥♦s
♣r♦ér r♣rés♥té sr r Ps ♥♦s ♦①②♦♥s s ♥♥♦s ♥ ♦t♥r ♥ ♦①② r ♥♥
♥♦s é♣♦s♦♥s ♥♠ ♠♥♠ q sr ♠ét r ♣r ♣érst♦♥ t♦q ♥ ♦rr
♠♥èr ♦♥♦r♠ s ♥♥♦s ♦s ♣r♦é♦♥s ♥st à s♣rs♦♥ s ♥♥♦s sr ♥ sstrt ♥trré
ION IOFF
♣s ♠♣♦rt♥t ♣♦ss ♥ ♦t♥r ♥ st♥t♦♥ r ♥tr s ① étts ①st ♣♥♥t ♣srs
♠ét♦s ♣r♠tt♥t é♥r r s ① ♣r♠ètrs
ét♦ s♠♣
ç♦♥ ♣s s♠♣ t ♣s ré♣♥ tsé ♣♦r étr♠♥r s r ION t IOFF ♦♥sst
s♠♣♠♥t à ♣r♥r r ♠①♠♠ ♦r♥t sr ♥ r♣q IDS − VGS ♣♦r ION t s r
♠♥♠♠ ♣♦r IOFF t♦t ♥é♥ tt ♣♣r♦ st s r♣té t s r ♦rtr ♣
s t♥s♦♥s r ♦♠♠ ♥♦s ♦♥s ♦r ♣r st tt ♠ét♦ ♥st ♣s ♣s r♦rs ♠s
ét♥t r♠♥t ♠♣♦②é ♥s ttértr ♣r s r♦♣s rés♥t s tr♥sst♦rs à ♥♥♦s ♥♦s ♣rt
♥éssr s ♦♠♣rr ♥ ts♥t tt ♣♣r♦ P♦r ♣♣♦rtr ♣s ♣rés♦♥ ♥s ①trt♦♥
♦♥♥és ♥♦s ♦♥s é♠♥t ♦♥r♦♥tr ♥♦s ♠srs à ♥ ♠ét♦ rt♠♥t ré♥t ♣rés♥té ♥s
st s ♥t r♥trr ♣s ♥ éts s♠ ♠♣♦rt♥t r ♥ ♣tt r♣♣ sr ♠ét♦
ssq tsé ♣♦r rtérst♦♥ s t♠s
ét♦ ssq
♠♥èr st♦rq ①trt♦♥ s rs s ♦r♥ts ION t IOFF s t ♥ s♥t ♣r♦ér
s♥t t♥s♦♥ ♦♥t♦♥♥♠♥t VCC st ♣♣qé ♥tr s♦r t r♥ t♥s♦♥ r st
♥st s♥♥é ❱ à VCC ION st ♦t♥ ♣♦r VG = VDS = VCC t IOFF st ♦t♥ à VG = 0V t
VDS = VCC . tt ♠ét♦ st tsé ♣♦r s s♣♦sts ♦♣t♠sés s♥t ♥ r ♣rtèr t♥s♦♥
s ♣♥♥t ♣♦r s s♣♦sts ♥♥♦étr♦♥qs é♠r♥ts ♣♦r sqs r VT ♥st ♣s
♣rét t ♣♦r sqs s rtérstqs ❱ ♥ s♦♥t ♣s ♦♣t♠sés ①trt♦♥ s ① ♣r♠ètrs st
s♦♥t rr♦♥é ss ♣♦r ♣r à ♠♥q r♠♦♥st♦♥ t ❬❪ ♦♥t ♣r♦♣♦sé ♥ ♣♣r♦
♣r♠tt♥t ♦♠♣rr ç♦♥ ♣s r♦rs s rtérstqs étrqs s ♥♥♦s♣♦sts
ét♦ ❬❪
♥ t ♣r♦♣♦s♥t ♥ ♥♦ ♠ét♦♦♦ ①trt♦♥ s ♣r♠ètrs s s♣♦sts ♥♥♦é
tr♦♥qs st♥és ① ♣♣t♦♥s à ♦♥s♦♠♠t♦♥ s ♣r♦♣♦s♥t ♥♦t♠♠♥t ♥ ♥♦ ♠ét♦
①trt♦♥ s ♦r♥ts ION t IOFF st ♥s ♥ ♣r♠r t♠♣s ①trr r t♥s♦♥
s tr♥sst♦r ♦♥séré ♥ ♣♣q♥t ♠ét♦ tr♥s♦♥t♥ ♠①♠♠ rtérstq
IDSVGS st éré t ♦♥♥ ♥s ♦r gmVGS ♠①♠♠ tr♥s♦♥t♥ ♣♦r sss
VT ❯♥ ♦s r t♥s♦♥ s tr♦é s ♦r♥ts ION t IOFF s♦♥t ①trts ION = VT − 2
3VT
♣♦r s P t ION = VT + 2
3VT ♣♦r s t IOFF = VT + 1
3VT ♣♦r s P t IOFF = VT − 1
3VT
♣♦r s tt ♠ét♦ ♣r♠t ♦♠♣rr s s♣♦sts ♥ tr♠s ♣r♦r♠♥s ♦ ♥
♠r♥ tt ♣r♦ér st ♣♣qé ♣♦r s t♥s♦♥s VDSts ♦♥t♦♥♥♠♥t ♦ VCC ❯♥ ①♠♣
st ♦♥♥é ♥s r
r ♦r IDS −VGS ♦t♥ sr ♥ tr♥sst♦r à ♥♥♦t r♦♥ t♥s♦♥ ♦♥t♦♥♥♠♥t st ♣rs à r ♣s ♠♣♦rt♥t VDS t ♣rès ①trt♦♥ t♥s♦♥ s s ♦r♥ts t s♦♥t éts ♣r ♠ét♦ ♦r IDS − VDS ♥ tr♥sst♦r à ♥♥♦t r♦♥♣♦r ♣srs ♣♦rst♦♥s r s rs s ♦r♥ts t s♦♥t r♣♦rtés
♦r♠st♦♥ s ♦r♥ts
st s ♥s ♦♠♥ ♠r♦étr♦♥q ♥♦r♠sr s ♦r♥ts r♥t ♥s s tr♥sst♦rs
♥ r♥r tr s rtts rts ♣s s♠♣ ♣r♥♣ ♥ tr♥sst♦r ♣♥r trt♦♥♥
st ♦♥♥r s ♦r♥ts ♥ ♠♣èrs ♣r ♥té rr ♥ ♣♦r ♥ ♦♥r ♦♥♥é ♣r♠t
♥st ♣tr s ♠♥s♦♥s s tr♥sst♦rs ♥ ♦t♥r s rs ♦r♥t s♦tés ♦rsq
♦♥ ts s ♥♥♦s ♦♠♠ ♥① ♦♥t♦♥ r s ♦♠♣q ♥ ♣ ♥ t rr
♥ st ①é ♣r ♠ètr s s ss ♥ ♣♦♥t rtt ♣r♦è♠ rst ♠ê♠
♦♠♠ ♥♠♥t s tr♥sst♦rs s t ♥ sss rt s ♣r♠ètr q ♠♣♦rt st
♥♦♠r♠♥t tr♥sst♦r t ♦♥ rr ♦ ♠ètr ♣♥♥t ♥ ♣♦♥t ♣②sq
st ♣s ① ♥♦r♠sr ♦r♥t ♣r r♣♣♦rt à r♦♥ér♥ ♥♥♦ q ♦rrs♣♦♥ é♠♥t
♠ètr ♥érr r sr ♦♥ ♥éssr ♣r st ♥ st♥r s ♦r♥ts ♥♦r♠sés
♠ètr ♦ ♣ér♠ètr s ♥♥♦s
♣té r
♣té s②stè♠ ét①♠♦♥tr ♦r♠é ♣r ♥s♠ r♦① r♥♥♦
♦t êtr ♦♥♥ ♥ r♠♦♥tr à ♥♦♠r① trs ♣r♠ètrs ♦♠♠ ♠♦té P♦r
♥♦s ♦♥s s♦♥ ♠♦ès ♥♦s ♣r♠tt♥t r tt ♣té
♦è ♣té ②♥rq
♠♦è ♣s s♠♣ st ♦♥rt♦♥ ♥s q ♦①② ♥r♦ t♦t♠♥t ♥♥♦ st q
♠ét r ♥ t ♠ê♠ ♦①② ♣r♦è♠ s rés♠ ♦♥ s♠♣♠♥t à ♥ ♦♥rt♦♥
②♥rq ①♣r♠é ♦♠♠
Cox =2πε0εrL
ln(
r+tr
)
ε0 ♣r♠ttté εr ♣r♠ttté rt étrq ♦♥r r r r②♦♥
♥♥♦ t t é♣ssr ♦①② r s é ♥ s♣♣q q① s♣♦sts ♦tés ♥ r
♣rt♠♥t ♥r♦♥t ♥s s ♥ r ♣♥r ♥♦s ♦♥s ♣tr ♠♦è
♦è ②♥rsr♣♥
♠♦è st ♦r♠♠♥t tsé ❬ ❪ ♣♦r r r ♦♣ ♥tr ♥ ♥♥♦ t ♥ r
♣♥ t②♣q♠♥t ♥ r rrèr ♥s ♣té st ♦r♠é ♦♠♠ st
Cox =2πε0εrL
cosh−1(
r+tr
)
tt ①♣rss♦♥ ♥st q ♣♦r s s♣♦sts ♦♥t ♦ s ♥♥♦s ♥ s♦♥t ♣s ♦①②és P♦r ♣tr
♠♦è à ♥ ♦♥rt♦♥ ♦♠♣♦rt♥t ♥ ♦①② ♥r♦♥t ♥♥♦ ♥♦s ♣r♦é♦♥s ♦♠♠ st
♦rsq ♥♥♦ st ♦①②é t q t ♦①② r♦r ♥tèr♠♥t t ♦rs ♦♥sérr ♣rés♥
① ♣tés ♥ sér ♣r♠èr ♣té st r rrèr ①è♠ st ♥ s♠♣ ♣té
②♥rq P♦r s♠♣r ♥♦s ♦♥sér♦♥s q r st ré♣rt ♥♦r♠é♠♥t à sr ♦①②
♥r♦♥t ♥♥♦ ♥ ♦t♥t ♥s ①♣rss♦♥ s♥t
Cox =2πε0εr1εr2L
εr2cosh−1
(
r+t1+t2r+t2
)
+ εr1 ln(
r+t2r
)
ε0 ♣r♠ttté εr1 ♣r♠ttté rt étrq r rrèr εr2 ♣r♠ttté
rt étrq ♥r♦♥t ♥♥♦ ♦♥r r r r②♦♥ ♥♥♦ t1 é♣ssr
♦①② r rrèr t t2é♣ssr ♦①② ♥r♦♥t ♥♥♦
♥s♦♥
t♥s♦♥ s VT st t♥s♦♥ r à q ♦♠♠♥ à ♣♣rtr ♥ ♦ ♥rs♦♥
r t st ♦♥♥é ♣r ♦r♠
VT = VFB + 2ΨB +
√4εsqNAΨB
Cox
=
(
φms −Qf
Cox
)
+ 2ΨB +
√4εsqNAΨB
Cox
tt t♥s♦♥ st ♠sré ♥ trç♥t ♦r♥t r♥ ♥ ♦♥t♦♥ t♥s♦♥ r ♥ é ♥ér
❯♥ ①tr♣♦t♦♥ ré♦♥ ♥ér sr ① s ssss ♣r♠t étr♠♥r s r ♥ ♦♥stt
♥s ♦r♠ é♣♥♥ VT s rs ①s Qf ♣éés ♥s ♦①② ♦s ♣♦rr♦♥s ♦♥
tsr tt é♣♥♥ ♥ ♦t♥r ♥ st♠t♦♥ ♥sté rs ①s ♥s ♥♦s tr♥sst♦rs
IDS − VGS
IDS VT IDS
IDS − VGS VGS VT VT
VGS
IDS
SS = (ln10)
(
kT
q
)(
Cox + CD
Cox
)
Cox CD
Dit cm−2.eV −1) Cit(= qDit
CD
SS = (ln10)
(
kT
q
)(
Cox + CD + Cit
Cox
)
vd =
s ♠♦tés s ér♥ts ♣♦rtrs ♥s s ♠tér① ♠sss s♦♥t ♠♥t ♠srs ♥ st t♦t
tr ♦s ♥s s ♥♥♦s ♦s ♦♥s ♦r ♦♠♠♥t ♠♦té s ♣♦rtrs ♣t êtr st♠é ♥s s
tr♥sst♦rs à rrèr ♦tt② ts♥t s ♥♥♦s ♦♠♠ ♥① ♦♥t♦♥
st♠t♦♥ s ♠♦tés ♥s s ♥♥♦s
♣r♠èr ♣♣r♦ ♦♥sst à st♠r ♠♦té ♣rès rt♦♥ s♥t
µ =dIDS
dVGS
L2
Cox
1
VDS
dIDS
dVGS= gm tr♥s♦♥t♥ ♥ ♠♥s ♦♥r r ♥ ♠ Cox ♣té ♦①②
r ♥ r t VDS t♥s♦♥ s♦rr♥ ♥ ♦ts tt ♣♣r♦ ①trê♠♠♥t s♠♣ ♦♥♥ ♥ r
ss ♠♦té s ♣♦rtrs r ♥ t♥t ♣s ♦♠♣t s résst♥s ès ss ♥ ♣♦♦♥s ♥♦s
♣rr q ♠♦té ♣♣r♥t t ♥♦♥ ♣s t tt ♠ét♦ ét♥t ♣♥♥t ♣s ♦♠♠♥é♠♥t
tsé ♥♦s r ♦♠♣rr ♥♦s réstts à ① ttértr ♠ê♠ ♠♥èr
♦♥s♦♥
♦s ♥♦♥s ♣rés♥tr s ♣r♦éés t♥♦♦qs tsés ♣♦r rt♦♥ tr♥sst♦rs ♣♥rs
à r rrèr t♦ ♥t ♥r♦♥t ♦ ♥♦♥ s ét♣s ♣ ♦♠♣①s s♦♥t réss r♣♠♥t t
♣r♠tt♥t ♥s rqr ♥ r♥ ♥♦♠r s♣♦sts ♥ ♥ t♠♣s rét s é♥t♦♥s tsés
ét♥t é♠♥t ♣tts ♠♥s♦♥s ① ♠♠ ♦♥s♦♠♠t♦♥ sstrts st ♦s ♦♥s
é♠♥t ♣rés♥té s ♣r♠ètrs és ♣r♠tt♥t rtérsr s tr♥sst♦rs ♥s q rs ♠ét♦s
①trt♦♥ ♦s ♦♥s és♦r♠s ♣♦♦r ♥♦s ♥térssr à rtérst♦♥ étrq s tr♥sst♦rs à
♥♥♦s
r♥sst♦rs ♣♥rs à r rrèr à ♥♥♦s
♥tr♦t♦♥
♦♥rt♦♥ ♣♥r ♣s s♠♣ st à r rrèr ♥s t②♣ s♣♦sts r s rés♠
à ♥ sstrt s♠ éé♥éré s♥t ♦ étr♦ sr q ♥ ♦ ♥trr ♥♠ été
é♣♦sé ♥s t êtr tsé ♦♠♠ ♦①② r ♦s ♦♥s étr ♦♠♣♦rt♠♥t ♥♥♦s
rts r♦ss♥ ♥s t②♣ s♣♦sts ♦s ér♦♥s ♥s ♣r♠r t♠♣s ♦♣ ♥♦♥ ♥t♥t♦♥♥
s ♥♥♦s Ps ♥♦s ♥♦s ♥térssr♦♥s à ♣♦ssté ♠♦r tr rrèr ♦tt② s
♦♥tts ♥ sr♥t s ♥♥♦s à ♥ rt tr♠q ♥étq tt srt♦♥ sr
é♠♥t ♦ré ♦s ①♣♦sr♦♥s s ♣r♦r♠♥s ♣♦♥t êtr ♦t♥s ♥s s ♦♥t♦♥s ♦♣t♠s
srt♦♥ ♥♥ ♥♦s ♦rr♦♥s s ss ♣②sqs à ♦r♥ ♦♠♣♦rt♠♥t ②stérétq s
♥♥♦s ♦rsq t♥s♦♥ r st ②é
♥♦s ♠ rts r♦ss♥
tr♠ rt r♦ss♥ ♥♦s ♣r♠t és♥r s ♥♥♦s ♥②♥t s ♥ trt♠♥t ♣♦st
r♦ss♥ ♣r s ♥ tr♠ és♥r é♠♥t s ♥♥♦s ♦♥t t②sr r été ré
IDS − VDS
IDS − VDS
RTOT = RS +RNF +RD
RTOT RS RNF
RD RS
RD RNF
IDS − VDS
IDS − VDS
IDS
R =ρL
S
ρ Ω
ρ ≈ 6.5 Ω.cm
Ω
Ω
RTOT ≈ RS + RD
IDS
IDS−VGS
NiXSiY
N2
NiSi2
NiSi2
NiSi2
IDS − VDS
IDS − VDS
r rtérstqs IDS−VGS ♥ s♣♦st ♥t t ♣rès rt ♣rés♥tés ♥ é ♥ért ♥ é ♦rt♠q ♠ètr st ♥♠ t ♦♥r r ♠
tr rrèr s ♦♥tts
r ♥♦s ♣r♠t ①trr s rs rrèr ♥ s♥t ②♣♦tès qà VG = 0V ♦r♥t
♠sré ♥s ♥♥♦ rést ♠♦rtr♠♥t é♠ss♦♥ tr♠♦♦♥q r ♦♣ ♠sré ♥s s
s st ss♠♠♥t ⑦ ♠ ♥ r♦t♥ t♠t ♥♦s ♣♦♦♥s ♥s trr
r tr rrèr ♥ ♦♥t♦♥ t♥s♦♥ VDS ♣♣qé ♦♠♠ ♣rés♥té ♥s r
r ♦r IDS − VDS rtérstq ♥ tr♥sst♦r à ♥♥♦ ♣♦r ér♥ts t♥s♦♥s r rrèr tr rrèr é à ♣rtt s ♦rs IDS − VDS ♥ s♣♣♦s♥t ♠é♥s♠ tr♥s♣♦rt ♦♠♠ ét♥t ♣r♠♥t tr♠♦♦♥q tt ♦r ♠t ♥ é♥ à ♦s ss♠♥t rrèr ♥t ♣r r ♠s é♠♥t ♣r t♥s♦♥ r♥
♦s ♦♥stt♦♥s q tt tr rrèr ♥st ♣s ♦♥st♥t t q ♠♥ t♥s♦♥
♣é♥♦♠è♥ st ♦♥♥ s♦s ♥♦♠ ♦tt②rrr♦r♥ ♦ ♥ r♥çs ss♠♥t
tr rrèr ♦tt② ♥♦s ♦♥sér♦♥s ♥ s②stè♠ ♠ét ♥s ♥ ♣r♠r t♠♣s ♥♦s
♣♦♦♥s r q é♥r ♥éssr à ♥ étr♦♥ ♣♦r sé♣♣r ♥ ♣s ♥
r♠ ♠ét st qφm ♥ t étr♦♥ s tr♦ à ♥ st♥ ① ♠ét ♥ r ♣♦st t
r ♠ st ♥t à sr ♠ét ♦r ttrt♦♥ ♥tr étr♦♥ t r ♣♦st st
éq♥t à ♦r q ①strt ♥tr ♠ê♠ étr♦♥ t ♥ r é ♣♦st sté ♥ ① ♦r
♠ ♣t ♥s êtr ért ♦♠♠
F =−q2
4πε0(2x)2=
−q2
16πε0x2
ε0 ♣r♠ttté é♥r ♣♦t♥t ♥ étr♦♥ sté à ♥ st♥ ① ♠ét st ♦♥
é à ♥tér tt ♦r ♥tr ♥♥ t ♣♦♥t sss ① q ♦rrs♣♦♥ ♥ t tr q
♦t ♦r♥r ♥tr s ① ♣♦♥ts s♦t
E(x) =−q2
16πε0x
♦rsq♥ ♠♣ étrq ①tr♥ st ♣♣qé é♥r ♣♦t♥t t♦t ETOT (x) st ♦♥♥é ♣r
s♦♠♠
ETOT (x) =−q2
16πε0x− q|E |x
tt éqt♦♥ ♠t ♥ ♠①♠♠ ss♠♥t rrèr ∆φ t ♦st♦♥ ss♠♥t xm s♦♥t
♦♥♥és ♣r ♦♥t♦♥ dETOT
dx= 0 s♦t
xm =
√
q
16πε0|E |
∆φ =
√
q|E |4πε0
= 2|E |xm
s réstts ♣♥t êtr tr♥s♣♦sés à ♥ s②stè♠ ♠éts♠♦♥tr ♣♥♥t ♠♣ ♦t êtr
r♠♣é ♣r ♣rés♥t à ♥tr t ♣r♠ttté ♣r s♠♦♥tr t s♦rt
q
∆φ =
√
qEm
4πεs
VGS
IDS − VDS
VDS
IDS − VDS
EG E m
∆φ =
√
qE m
4πεs+ αE m + βEG
E m EG
E m
EG
E m
E m =
√
2qN |Ψs|εs
,
N Ψs
|Ψs| = φBn0 − φn + VR
φBn0 φn
(EC − EF )/q VR
r♥rs rtérstqs s tr♥sst♦rs à ♥♥♦s
t♦ ION/IOFF
①st ♣srs ♠ét♦s ♣r♠tt♥t ①trr r♣♣♦rt ION/IOFF s♦♥ tr s ♦r♥ts tsé
t s♥t ♦♥♥ s rs r♣♣♦rt ♥ ♦♥t♦♥ ♠ét♦ tsé
♦♠♣rs♦♥ ♥tr s ♦r♥ts à étt ♦rt t r♠é ①trts s♦♥ ① ♠ét♦s
ét♦ ❯tsé♥t t ♣rès t
ION IOFF ION IOFF ét♦ ♠♣ ♥ ♣ ♣ ét♦ ♣ ♣ ♥ ♥
♦♠♠ tt♥ s rs ①trts ♠ét♦ èr♥t ♥ à ① ♦rrs r♥rs
♠ét♦ s♠♣ ♣♥♥t q q s♦t ♠ét♦ tsé ♠é♦rt♦♥ ♣♣♦rté ♣r ét♣ rt
s ♦♥tts rst ♥st ♣♥♥t ♥ s ♦♥♦r♠r ♦r♠s♠ ♠r♦étr♦♥q ♥♦s
♦♥s ♣rés♥tr s rs ♥ ♥♦r♠s♥t s ♦r♥t ♣r r♣♣♦rt ① ♠♥s♦♥s ♥♥♦ st ♣♦ss
♥♦r♠sr ♣r r♣♣♦rt à r♦♥ér♥ ♥♥♦ ♠s é♠♥t ♣r r♣♣♦rt à s♦♥ ♠ètr ♥ ♣t
♦♠♣r♥r q réstt ♥ sr ♣s ♠ê♠ ♥s s ① s r ♥♦r♠st♦♥ à r♦♥ér♥
st ♣②sq♠♥t ♠r t♥t ♦♠♣t ért ♠♥s♦♥ ♥♥♦ ♥♦r♠st♦♥
♠ètr r♥t à ♦♥sérr ♣r♦t♦♥ ♥ ♥♥♦ tt r♥èr st ss ♣②sq♠♥t ♠s st
♣s ♣té ♥ tr♠ s♥ ♥ t ss♥ s rt ♥térés s t t♦♦rs ♥
♦r♠st♦♥ s ♦r♥ts à étt ♦rt t r♠é ♥ tr♥sst♦r à ♥♥♦ s♦♥ ① ♠ét♦sst♥rs s ♦r♥ts s♦♥t ①♣r♠és ♥ ♠
①trt♦♥ s ♦r♥ts ♦r♠st♦♥♥t t ♣rès tION IOFF ION IOFF
ét♦ ♠♣♠ètr
r♦♥ér♥
ét♦ ♠ètr
r♦♥ér♥
♦s ♦♥stt♦♥s q♣rès rt t q q s♦t ♠ét♦ ①trt♦♥ ♦ ♥♦r♠st♦♥ tsé s
♦r♥ts ♥s étt ♦rt s♦♥t ♦rr ♠ t s ♦r♥ts ♥s étt r♠é s♦♥t ♥érrs à
♠ ♥♦s ♦♠♣r♦♥s ♥♦s réstts ① st♥rs ①és ♣r q s♦♥t s ♣s r♦♥♥s
♣♦sss ♦♥r♥♥t s s♣♦sts P ♦ ♣rt♥ P♦r ♦ Pss♥ ♦♥t♦♥♥♠♥t s
♣r♦r♠♥s ésrés ♥s r♣♣♦rt s♦♥t ♦rr ♠ à étt ♣ss♥t t ♥♠ à étt
♦qé ♥ q ♥♦s s♣♦sts s♦♥t ♣rt♠♥t ♥ ♦r s s♦♥s ♥ tr♠ ♦r♥t t
♥s étt ♦qé s r♥rs s♦♥t ♠rs♠♥t ♥♦r ♦♥ stsr ① s♦♥s ♦r♥t à étt
♣ss♥t st ♣r♥♣♠♥t û à t♥♦♦ ♠♣♦②é ♦♠♠ ♥♦s ♦♥s éà ①♣qé
r ♠♣ért♠♥t ♠♦r r tr rrèr ♦tt② ♥ ♠♥tr ♦r♥t à
étt ♣ss♥t P♦r ♦♣ s ♥♥♦s ♣♦rr êtr ♥sé é♠♠♥t s ♦♥tr♥ts q
♠♣q ♥ tr♠ r♣té ♦♥t♦♥
♥sté ♦r♥t
❯♥ tr ♣r♠ètr ♦r♠♠♥t tsé ♥s ♦♠♥ tr♥s♣♦rt ♥s s ♥♥♦s st ♥sté
♦r♥t ♣ss♥t ♥s s r♥rs ♦♥trr♠♥t ① ♦r♥ts ♥♦r♠sés s ♣réé♠♠♥t tt r st
♦♣ ♣s ♣♣ré r ♣s ①♣t t ss à t♦t ♣rs♦♥♥ ♥ét♥t ♣s s♣ést ♦♠♥
♣r♠t ♥s ♥ ♦♠♣rs♦♥ r♣ t étt rt P♦r r ♥♦s ♣r♥♦♥s tt
♦s r ♠①♠♠ ♦r♥t trrs♥t ♥♥♦ ♥s s♦♥ étt ♦rt ♣s s♦♥s ♣r st♦♥
♥♥♦ ♥s ♥t rt s ♦♥tts ♥sté ♦r♥t ♠sré st ♦rr ♠ t tt♥t
♠ ♣rès rt rt♥s s♣♦sts tt♥♥t ♥ ♠①♠♠ ♠ s ♥stés ♦r♥t
s♦♥t ♦♠♣rs à s ♦t♥s ♥s ttértr ❬❬ ❪❪
♦té s ♣♦rtrs
♦♠♠ été ♣résé ♥s ♣tr ♣réé♥t ét♦♥ ♠♦té s ♣♦rtrs ♥s s tr♥sst♦rs
à ♥♥♦ à rrèr ♦tt② st rt♠♥t ♦♠♣① ♥s ♥ ♣r♠r t♠♣s t ♥ s ♣♦st♦♥♥r ♣r
r♣♣♦rt ① ♣réé♥ts tr① ♥♦s ♦♥s ♠♦té ♣♣r♥t ♣r♠èr ét♣ ♦♥sst à r
r ♣té ♦♣ ♥tr r t ♥♥♦ ♠♦è ②♥rsr♣♥ ♣r♠t ♦r
♥ ♦♥♥ st♠t♦♥ tt ♣té à ♦r♠ s♥t
Cox =2πε0εrL
cosh−1(
r+toxr
)
ε0 ♣r♠ttté εr ♣r♠ttté rt ♦①② r ♦♥séré ♦♥r
r r r②♦♥ ♥♥♦ t tox é♣ssr ♦①② r ♦s ts♦♥s tt ①♣rss♦♥ ♣té
♣♦r ré♥tr ♥s ♠♦té ♣♣r♥t
µ =dIDS
dVGS
L2
Cox
1
VDS
P♦r s ♠rs s♣♦sts résés t ♦♥t s rtérstqs s♦♥t ♣rés♥tés ♥ r s ♠♦tés
♣♣r♥ts s tr♦s tt♥♥t s rs ♦rr ♠❱s tt r st ♦♥♦r♠ à s
r♣♣♦rtés ♣réé♠♠♥t ♥s ttértr ❬❪ rst ♠ré t♦t ♥érr à s♠ ♠ss
t ♣♥♥t rr à s♣rt q s ♥♥♦s s♦♥t ♥s ♥♦tr s ♥♦♥♦①②és t ①♣♦sés à t♠♦s♣èr
♠♥t ♦rs s rtérst♦♥s t s♦♥t ♥s s♥ss ① rt♦♥s étr♦sttqs r ♥r♦♥♥♠♥t
♥♦s ♦♥s ♦r à q ♣♦♥t sr s s ♦ ♥ rô ♣r♠♦r ♥s r ♦♠♣♦rt♠♥t étrq
♥s ♣rt s♥t
r ♠ ♥ s♣♦st à ♥♥♦ rtérstq IDS − VGS s♣♦st ♣rés♥té♥ ♣♦r ♥ t♥s♦♥ r♥ ❱ rtérstq IDS − VDS à ér♥ts t♥s♦♥s r rrèr s♣♦st ♠♦té ♣♣r♥t ①trt ♦r ♥ s s♥t sr éqt♦♥
r ♠♦té ♥s é ♦t êtr ♦♥séré ♦♠♠ ♥ r ♠t ss r ♥ t♥t ♥
♥ s ♦♠♣t s résst♥s ès st ♥ t ♥s tt ♦♥rt♦♥ ♥r s ts
s résst♥s r s é♦♥t ♥ ♠ê♠ t♠♣s q ♣♦rst♦♥ r rrèr ❯♥ ♠ét♦ ♣♦r
①trr ♠♦té s ♣♦rtrs t②♣ strtr srt ♥ ♠sr ♣r t rést♦♥ ♥
r♦① sr s ♥♥♦s ♥st ♣♥♥t ♣s ♥s t s s ♠♥s♦♥s s strtrs
à rtérsr ♦s ♣rr♦♥s ♥s ♥s ♣♣rt s s r ♠♦té ♣♣r♥t s ♣♦rtrs
♦s ♦sr♦♥s sr r q♥ r t rt♦r ♥ t♥s♦♥ r ♥ ♣r♠t ♣s s♣r♣♦sr s
♦r♥ts ♠srés ♣é♥♦♠è♥ ②stéréss q ♣♣rît ♥s t♦s ♥♦s s♣♦sts ♠ért q ♦♥ ①♣q
s♦♥ ♦r♥ ♣②sq
♦♠♣♦rt♠♥t ②stérétq s ♥♥♦s
s rtérstqsIDS − VGS résés ♥ s♥♥♥t t♥s♦♥ VGS ♠tt♥t ♥ ♠èr ♥ ♣é♥♦♠è♥ à
♣r♦r ♣ré ♦♥r♥♥t tst♦♥ ♥♥♦s ♦♠♠ tr♥sst♦rs ♦rsq ♣♦rst♦♥ r
r s t♥s♦♥s ♣♦sts rs s t♥s♦♥s ♥éts ♦r ♥s ♦t♥ ♥ s s♣r♣♦s ♣s à
♥rstré ♣♦r s t♥s♦♥s r r♦ss♥ts t t ②stéréss st ♦sré ♥s t♦s s s♣♦sts
à ♥♥♦s à r rrèr ♦♠♠ ♥♦s ♣♦♦♥s ♦r sr r ♦♠♣♦rt♠♥t ②stérétq
♣t sét♥r sr s ♠♠s ♣srs ③♥s ♦ts t♥s♦♥ r ② ♥ t♥s♦♥
r ét♥t rt♠♥t ♥t ♦rr ♥t♥ ♠❱s s ♣ès rs♣♦♥ss ♣é♥♦♠è♥ s♦♥t
♦t♦r♠♥t s ♣ès ♥ts ♣é♥♦♠è♥ st ♦♥ rt♠♥t é r♠♣ss ♣ès ♥ sr
♥♥♦ rt♥♠♥t ♦sés ♥s ♦①② ♥t ♦♠♠ ♥♦s ♦♥s ♣rés♥tr ♣r st ♥q
r♠♥t q à ♥♥ rrèr ♦tt② sr ♦♠♣♦rt♠♥t étrq s ♥♥♦s r
IDS − VGS ∆VGS
∆VGS VGS
∆VGS
IDS − VGS
SiO2
IDS − VGS ∆VGS
IDS −VGS ∆VGS
SiO2
∆VTH
∆VTHCox = qnfSNF
Cox nf SNF
r é♥t♦♥ s ér♥ts t②♣s rs ss♦és à ♥ ♦①② s♠ tr♠q ♣rès❬❪
ré♣♦♥s s ♣ès à ♥ t♥s♦♥ r ♣t êtr ①trê♠♠♥t ♦♥ r ♠♦♥tr
é♦t♦♥ ♦r♥t r♥ ♥s t♠♣s ♥ ré♣♦♥s à ♥ é♦♥ t♥s♦♥ r ♦s ♦♥stt♦♥s
q ♦r♥t sétt s♦♥ ♥ ♦ ♦♥♥é ♣r rt♦♥
I = I∞ + (I0 − I∞)exp
(−t
τ
)α
♦r♥t r♥ à ♥ ♥st♥t t I0 t I∞ s ♦r♥ts r♥ ♥t t ♥ t t♠♣s τ st
♦♥st♥t t♠♣s ♣é t é♣é s étts sr t α (0 < α < 1) st ♦♥st♥t
r①t♦♥ ért ♥s ❬❪ r 1−α r♣rés♥t ♥t♥sté ♦r ♠♦tr q étr♠♥ rt♦♥
r♦ss♥ ♦ ér♦ss♥ ♦r♥t ♥s t♠♣s tt ♦r ♥ ♥s t♠♣s à s
♣é t é♣é s rs q t t① r♦ss♥ t ér♦ss♥ ♦r♥t t①
q st ♣r♦♣♦rt♦♥♥ à tα−1 s①♣r♠ ♦♠♠
k(t) = − dI
I(t)dt
r α tr♦é é à ①♣r♠ ♦♥ ♥ ♥♠♥t très ♥t t① r♦ss♥ q s trt
♣r ♥ ♦♥st♥t é♣é très ♦♥ ♦rr s ♦♠♣♦rt♠♥t trt ♥ rétté
s ♥♥♦s ♠♣ r ♣♣qé t ♦♥ ♥ ♦♠♣t♦♥ ♣♦r r ♣♦ss ♥tért♦♥ ♥ t♥t q
♦♠♣♦s♥ts ts ts qtsés ♦♠♣♦rt♠♥t st ♣ré à tst♦♥ s ♥♥♦s ♦♠♠
tr♥sst♦rs r ♠♣ê ♦r ♥ r♣r♦tté ♦♠♣♦rt♠♥t s s♣♦sts ♦rs ② ♥
t♥s♦♥ r srt ♦♥ ♥térss♥t tr♦r ♥ ♠ét♦ ♣r♠tt♥t rér ②stéréss
Al2O3
IDS −VGS
♥r♦♥ ♠ à ♠ ♥ q r ♣rès é♣ôt ♠♥ ♠r éé é♠♦♥tr
té ♥ t ♦
♦s ♥♦♥s ♦r q ♣é♥♦♠è♥ ②stéréss ♦rs rt♦♥ t♥s♦♥ r ♣♦t êtr
tté♥é ♥ é♣♦s♥t ♥ ♦①② t♦r s ♥♥♦s tst♦♥ ♥ t ♦①② ss ♣♥sr q srt
♦♥ é♠♥t ♣♦ss tsr ♦①② ♥tr s♠ ♦♠♠ ♦ ♣sst♦♥ sr ❯♥
é♣ôt ♥ésst ♣♥♥t ♥ ♠♣♦rt♥t é♦♣♣♠♥t ♥ tr♠ ♣r♦éé ♥ ♥ ♠é♦rr q
té étrq q ♥st ♣s ♦t tt tès ♥ ♣r♦ér à rést♦♥ ♥ é♠♦♥strtr
♥♦s r ♦♥ tsr ♥ ♣r♦éé ♣s r♣r♦t t qté r♥t t q ♦①②t♦♥ tr
♠q ♦s ♦♥s ♦♥ étr t ♥ ♦q ♦①② tr♠q sr ♦♠♣♦rt♠♥t étrq s
tr♥sst♦rs à ♥♥♦s ♥♦s ♣r♠ttr ♥st ♦♠♣r♥r ♦♠♣♦rt♠♥t s tr♥sst♦rs rt①
②♥t ♥ ♦①② tr♠q ♦♠♠ étrq r
♥♦s ♦①②és
♥tr♦t♦♥
♦①② ♥tr s♠ été ♦♥t♠♣s tsé ♦♠♠ ♦①② r ♥s t♥♦♦ ♥t
êtr r♠♣é ♣r ♦①② ♥♠ s ♣r♦éés é♣ôt ♠♥ ♥ét♥t ♣s ♦♣t♠sés sr
♥♦tr ♠♥ ♣♦r ♦t♥r ♠r ♦ étrq q s♦t ♥♦s é♦♥s étr ♠♣t ♥
♦①② tr♠q sr ♦♠♣♦rt♠♥t étrq s ♥♥♦s ♦s tsr♦♥s t ♦①② ♣♦r résr ♥
é♠♦♥strtr tr♥sst♦r rt ss st ♠♣♦rt♥t ♦♠♣r♥r ♥♥ q♥ t ♦
s♦♥t ♣t ♦r sr ♦♠♣♦rt♠♥t s tr♥sst♦rs
♦♠♣♦rt♠♥t s♦s ♠♣
♥t t♦t trt♠♥t tr♠q ♥♦s ♣r♦é♦♥s à ♥ rr ♦r ②♥t sr à t②sr rét♦♥ ❱
r r♥r ♣♦rrt t②sr ♦♠♥t ♦①②t♦♥ t ♦♥ ♥r à s♦♥ ♦♥trô tt t②s été ♠s
♥ ♥t ♥s trs tr① ❬ ❪ ♣♦r s t♠♣értrs ♦①②t♦♥ s♦s t♠♦s♣èr sè ♥t
à ♥s ♥♦tr s ♦①②t♦♥ st té à ♣♥♥t ♠♥ts ♥s ♥ ♦r P
à ♣rss♦♥ t♠♦s♣érq s♦s ♥ ét s♠ ♦①②è♥ s ♠srs ♣s♦♠étrqs sr sstrt
♥♦s ♣r♠tt♥t ♦t♥r ♥ ♦ ♥r♦♥ ♥♠ ♦①② t♦r s s q st ♦♥r♠é
♣r s ♠s ♦s rés♦♥s ♦rs s ♠ê♠s s♣♦sts q ♣réé♠♠♥t s♣♦st ♣rés♥t ♥
♦♠♣♦rt♠♥t très ♦rt♠♥t rrssr q st rtérstq s②♠étr s ♦♥tts r
IDS −VGS
IDS − VGS
SiO2
IDS − VGS
IDS − VGS VDS
VGS
VGS
VGS
VGS
IDS−VGS
IDS − VGS IDS − VDS
VDS
IDS − VDS VGS
IDS−VGS
VDS
EV EC
IDS − VDS VGS
IDS − VGS VDS
IDS − VDS VGS
IDS − VGS VDS
IDS−VGS VDS IDS−VDS VGS = 0VIDS − VGS
VDS IDS − VDS VGS = 0V
♦s r♠rq♦♥s ♥ t q ♦rsq rt st té s♦s ③♦t ♦♣ s ♥♥♦s st t♦t♠♥t
♥rsé ♥ t ♥♦s ♥♦sr♦♥s ♥ ♦♠♣♦rt♠♥t ♠♣♦r ♠♣q é♠♥t q tr
rrèr ♣r s tr♦s st tr♦♣ ♠♣♦rt♥t ♣♦r êtr r♥ t s tr♥sst♦rs s♦♥t ♣rt♠♥t
♥♣♦rs t②♣ ♥ Pr ♦♥tr ♦rsq rt st té s♦s ♦①②è♥ s ♠♣rtés ♦♥♥ss s♦♥t rts
tés ♠s r♥ ♣ rst s sr s rtérstqs IDS − VGS s♦♠♣♥
é♠♥t ♥ ♠♥t♦♥ s ♥① ♦r♥ts q ♣t êtr ♠♥t ①♣qé ♣r ♦♠♣♥st♦♥
♠t s ♦♣♥ts ♦♠♠♥t ①♣qr ès ♦rs q ♣rés♥ ♦①②è♥ ♦♥tr à ♣rés♥ s
♠♣rtés ♣tss ♦s ♣♦♦♥s ♦r ♣é♥♦♠è♥ ♦♠♠ st
♦rs rt s♦s ③♦t s ♠♣rtés ♣tss s♥t r♣♠♥t rs sr ♥t
sqà s s♦sr ♥s ♦q ♦①② ♥t ♦ù s s ést♥t ♦♠♠ ♠♦♥tré ♣r t
t ❬❪ ♣♥♥t q s ♠♣rtés ♦♥♥ss s♦♥t tés tr♠q♠♥t ÷r tt
♠♥èr s s ♦♣t♥t ♥ ♦♠♣♦rt♠♥t ♣r♠♥t t②♣ ♥ s♥s ♣rés♥ r♥ ♣
♦rs rt s♦s ♦①②è♥ s♦①② tr♠q♠♥t ♥ sr s ♠♣rtés ♣tss s♥t
r♣♠♥t rs sr ♥♥♦ ♠s s♥t ♣s ♠♥t ♥s ♦①② tr♠q q ♥s
♥t ♥♦t♠♠♥t à s s ♥sté ♣s ♠♣♦rt♥t ♥s s ♠♣rtés ♣tss ♠r♥t
tés ①♣q♥t ♣rés♥ ♥ r♥ ♣ t ♠♥t♦♥ ♦♥trt♦♥ r♥ ♥ ♣r
t ♦♠♣♥st♦♥
♦♥ts s♦♥ ♦r t P♦s♣♦r ♥s s♠ rst♥ t ♦①② s♠♣rès
♠♣rtés DSi DSiO2
♦r ♠s❬ ❪ ♠s❬❪P♦s♣♦r P ❬ ❪ ♠s ♠s❬❪
ré♥ts ♠srs ❬❪ ♦♥t é♠♥t é♠♦♥tré q ♣♦s♣♦r ♦rs ♥ ♦①②t♦♥ t t♥♥ à
♠rr s♥ ♥♥♦ ♦rs q ♦r t♥t ♣tôt à sr rs ♦①② sqà s s♦sr
♦♠♣♦rt♠♥t é♠♥t été été sr s sstrts ♠sss s♠ t ♠ê♠ ♦♥s♦♥ ♥ été
tré❬❪
♣rès q ♥♦s ♥♦♥s ①♣qr t♦s s s ♦①②és tr♠q♠♥t ♦♥t ♦♥ ♦r ♥ ♦♠♣♦rt
♠♥t ♠♣♦r ♥st ♣♥♥t ♣s s ♣♦r tr♥sst♦r ♣rés♥té ♥ r st s♠♣♠♥t
t q été ♦①②é ♣♥♥t ♥ ré ♦♣ ♣s ♠♣♦rt♥t ♣r♠tt♥t ♥s à ♥ r♥
♥♦♠r ♠♣rtés t②♣ ♣ ♠rr ♥s ♦①② t s éstr
s♦ q♥ t ♣é♥♦♠è♥ st ♣ré ♣♦r rt♦♥ s♣♦sts à ♥♥♦s ♣♥♥t s
s♦t♦♥s ♣♥t t♥r à é♠♥r ♣é♥♦♠è♥ ♥♦r♣♦rt♦♥ ♠♣rtés s s ♠srs éqts s♦♥t
♣rss ♦rs r♦ss♥ ♦♠♠
tst♦♥ ét♣s ♥tt♦② ♣r♠tt♥t rr é♣ôt t t ét♣s é♣ôt ♣♦r
r♦♥t♦♥♥r ♠♥ tt é ss③ ttrt ♣♦s ♣r♦è♠ ré s ♣r♦éés
tst♦♥ ♥ ♥t ♥ résst ♣r♠tt♥t ♦sr ③♦♥
♣r♦éé ♣♦rt é♥t♦♥ ♠t s ♣é♥♦♠è♥s é♣ôts sr s ♣r♦s t t ♦♥
♦♥sttt♦♥ ♥ résr♦r ♠♣rtés ♦♣♥ts q sr♥t rrés ♦rs s ♣r♦éés térrs
t q s ♣r♦♣♦st♦♥s ♥ s♦♥t ♣s ♣♣s ♥s ♥♦tr s ♣♦r s rs♦♥s s♣♦♥té
♠♥ t ♦ût r q s ♥♥♦s s♠ é♦rés à ♣rés♥tr♦♥s t♦♦rs ♣é♥♦♠è♥
♥rs♦♥ ♥ s trt♠♥t tr♠q
VBG VTG
r rtérstqs étrqs tr♥sst♦rs ♣♥rs à ♦ r IDS − VBG ♣♦rér♥ts t♥s♦♥s r ♥t t à VDS ❱ IDS − VDS ♣♦r ér♥ts t♥s♦♥s r rrèrà t♥s♦♥ r ♥t ♥ IDS − VTG ♣♦r ér♥ts t♥s♦♥s r rrèr t à VDS ❱ IDS − VDS ♣♦r ér♥ts t♥s♦♥s r ♥t à t♥s♦♥ r rrèr ♥
♦s ♦♥stt♦♥s t♦t ♦r q ♥♥♦ s ♦♠♣♦rt ♥ ♦♠♠ ♥ s♠♦♥tr t②♣ ♥ ét♥t
♦♥♥é tst♦♥ ♥ ♦①② tr♠q ♦♠♠ sté ♣rr♣ ♣réé♥t ♦s r♠rq♦♥s é
♠♥t sr s rs t q ♦r♥t à étt ♦rt st ♥r♦♥ ① ♦s s♣érr ♦rsq
r tsé ♣♦r ♦♥trôr ♥ st r rrèr ♦♥r♠ q tt r♥èr ♠♦ ♥sté
♣♦rtrs ♥s s ré♦♥s ♥♦♥ ♦rts ♣r r ♥t ♠s é♠♥t résst♥ s ♦♥tts
♥ ♣t ♦♥sttr sr ♦r q ♠ré ♥ ♣♦rst♦♥ r ♥t r rrèr rst
q ♦♥trô ♥t♦♥ s ♣♦rtrs ♥s ♠ê♠ ♥s ♥ étt ♣ss♥t ♣♦r r ♥t ❱ ♣r
①♠♣ r rrèr ♣t êtr ♣r♦r♠♠é ♣♦r ♦qr ♥t♦♥ VBG ❱ ♣♥♥t r
♥t ♠ré s♦♥ ♠r ♦♣ étr♦sttq ♥ ♥st ♣s à ♠ê♠ t♦t♠♥t ♦qr
♥ ♥ ♦t sr r q r rrèr rst ♥♦r r ♦♠♥♥t ♥ r♥ r
♥t ♣♦r t ♠♦r t♥s♦♥ s ç♦♥ ♥♦t ♣r r♣♣♦rt à t♥s♦♥ r rrèr
q ♥ ♠♦ q qqs ♠❱ t ♠♣t ♠♥èr ♣s ♠♣♦rt♥t ♦r♥t t♦t r♥t ♥s
♥♥♦ r st r ♥s♥♠♥ts
♦s ♦②♦♥s très r♠♥t rr ♣♥t s♦s s rt à ♣rt à r ♥r♦♥t ♣♦r ér♥ts
t♥s♦♥s r rrèr ♠s é♠♥t ♥ strt♦♥ ♦r♥t r♥ à s q q s♦t
VBG ♥ ré♠ é♣été s♦s s t s résst♥ ♥ é♣été st ♥ s♣érr ① résst♥s
ès ♦rs tr♥s♦♥t♥ ♦ s♣♦st st ♣♦té ♥q♠♥t ♣r t♥s♦♥ r ♥t
t ♥ é♣♥ ♣s r rrèr ♥ r♥ s résst♥ ♥ ♦rt ♣r r ♥t st
♦rr r♥r ♦ ♥érr à résst♥ ès ♦♥stté ♣r s ♣rts ♥♦♥ ♦rts ♣r
r ♥t ♦rs ♣♥t s♦s s sr ♠♥é ♦r ♣r♦ ③ér♦ ♦♠♠ ♥♦s ♣♦♦♥s ♦r ♣♦r
VBG ❱ ♦♥rt♦♥ ♣♦r q s ♦♥tts ♦tt② s♦♥t ♣s ♦qés
P♦r ♥ t♥s♦♥ r rrèr ♥ q ♣♦rrt ♦♥sttr ♥ ♣♦♥t ♦♠♣rs♦♥ ♣rt♥♥t ♣♦r
s♠r ♥ s♣♦st rt à r ♥r♦♥t t ♦♥♥té ♣r t tr ♣r s ♦♥tts ♠étqs
♥♦s ♦♥stt♦♥s q ♥♦s rr♦♥s à ♠♦r t♦t ♠ê♠ ♦♥t♥ s♣♦st ♦ ♦t♦s
q q s♦t ♦♣ t♥s♦♥ r ♥tt♥s♦♥ r rrèr s♠ q ♥♦s ♥rr♦♥s ♠s
à ♦srr ré♠ ♥ér ♦ù ♣ssé s ♦r♥t r♥ r ♥ér♠♥t t♥s♦♥ r
♥t ♣é♥♦♠è♥ s①♣q ♥ ♦s ♥♦r ♣r ♣ré♦♠♥♥ résst♥ ès s ♦♥tts
♦tt② q ♠ê♠ ♣ré♣rés ♥s ♥ étt ♣s ♣ss♥t ♣♦ss s♥t ♥ strt♦♥ ♦r♥t
r♥ t ♦♥ ♠t♥t ♠♦té ♣♣r♥t s♣♦st ♦♠♠ ♣rés♥té ♣réé♠♠♥t ♥ ♦t♥r s
♠rs ②♥♠qs ♣♦sss ♥♦s ♦r♥tr♦♥s ♦♥ ♥♦tr ♦① rttr rt rs rést♦♥
♥ tr♥sst♦r à r ♥r♦♥t ♣♦ssé♥t ♠♦♥s ♥ ♦♥tt ♦♠q q sr résé ♥s ♣rtq
♣r r♦ss♥ ♥ ♥♥♦ sr ♥ sstrt ♠ê♠ t②♣ ♦♣ tt ♦♥rt♦♥ sr ♣rééré à
q srt ♣♦ss résr ♦ù ① ♦♥tts ♠étqs sr♥t é♣♦sés ♣r t tr
r ♥r♦♥t sr ♥ rt
s rs ♣♥t s♦s s ♦t♥s ♥♦s ♣r♠tt♥t st♠r ♥ ♥sté ♣ès à ♥tr
♦①②♥♥♦ ♦rr ♠ q ①♣q q s rtérstqs ♥ s♦♥t ♣s ♦♣t♠s
♥q é♠♥t q qté ♦①② tr♠q ♣t ♥♦r êtr ♠é♦ré ♣r s rts s♦s
②r♦è♥ ♣r ①♠♣ ♥ ♣ssr s s♦♥s ♣♥♥ts ♣s s ré♦♥s és♦①②és ♣r♦s s
♦♥tts s♦♥t ♥♦r ♠♣♦rt♥ts t ♣♥t êtr s♦r ♥ ♣é rs ♣s ♠♣♦rt♥t
s s♣♦sts à r ♥r♦♥t ♣rés♥tés ♥♦♥t ♣s s rt srt♦♥ ❯♥ t♥tt
♠rs♠♥t ♦♥t à strt♦♥ s s♣♦sts ♣r♦è♠ ②s♦♥t♦♥♥♠♥t r♦♥t q
été t ♦♥r♥♥t srt♦♥ s s
♦♥s♦♥
♠s ♥ ♣ ♠srs qtr ♣♦♥ts ♥♦s ♦♥t ♣r♠s ♥s ♥ ♣r♠r t♠♣s rtérsr s ♥♥♦s
t ♥♦t♠♠♥t r r ♦♣ ♥tr♥sèq st♠é à 15♠−3 rtérst♦♥ s ♥♥♦s ♥
♦♥rt♦♥ tr♥sst♦r é♠♥t ♣r♠t étr♠♥r q s ♦♣♥ts s♦♥t t②♣ ♣tr
♦s ♦♥s été ♥ ét s ♣r♦♣rétés étrqs s ♥♥♦s t♥t ♥ ♦♥rt♦♥ ♣♥r à s♠♣
r ♥s qà r ♦ ♦s ♦♥s ♣ ♦t♥r s ♠♦tés ♣♦rtrs ♣♦r s s à ♥♥♦s
♦♠♣rs à étt rt s rs ♣r♦s ♠2❱−1s−1 ♦s ♦♥s é♠♥t ♠s ♥
♥t t ②stéréss q ♣♣rt ♦rsq t♥s♦♥ r rrèr st ②é ♦s ♦♥s ♠♦♥tré q
♦♥ ♣♦t ttrr ♣é♥♦♠è♥ à ♥trt♦♥ sr ♥♥♦ s♦♥ ♥r♦♥♥♠♥t ♣r♦
t q étt é♠♥t ♣♦ss ♠îtrsr ♥ é♣♦s♥t ♥ ♦①② t♦r ♥♥♦ é♣ôt ♣r♠t
♥s ♠♥r ♥sté éts ♥ ♣ss♥t 13 ♠−2 à 12 ♠−2 ♦s ♦♥s é♠♥t
♠s ♥ é♥ ♣♦ssté ♠♦r tr rrèr ♦tt② râ à srt♦♥ s ♥♥♦s
♦♥t ♥♦s ♦♥s été ♥étq ♠♦♥tr♥t é♠♥t ♥ ♣é♥♦♠è♥ t♦♠tt♦♥
♥ ♣r♦ér à r ♥tért♦♥ rt ♥♦s ♦♥s ♦st étr ♠♣t ♥ ♦①②t♦♥ tr♠q
sr s rtérstqs étrqs s ♥♥♦s r r♥r ♠r ♠r qté étrq ♥
♦①② ♥sté ♣ès st ♠ê♠ ♦rr r♥r q ♦rsq ♦♥ ts ♥ é♣ôt
s♦t 12♠−2 ♣♥♥t ♥ ♠♣♦rt♥t t ♥rs♦♥ ♦♣ été ♠s ♥ é♥ ♥ t s
♥♥♦s q ♥t♠♥t ss♥t ♦♠♠ s s♠♦♥trs t②♣ P ♦♥t r ♦♠♣♦rt♠♥t ♥rsé ♥
s♠♦♥tr t②♣ ♣rès ♦①②t♦♥ ♦s ♦♥s été ♣é♥♦♠è♥ t ♠♦♥tré q tt ♥rs♦♥
♦♣ ♣♣r♥t ♣♦t êtr ♠♣té à ♣rés♥ ♠♣rtés ♦♣♥ts t②♣ tés ♦rs rts
tr♠q ♣r♠t ♦♥ é♠♥t ♦r♥r ♥ ①♣t♦♥ s♣♣é♠♥tr à ♠♦té s
♣♦rtrs ♦sré ♥s s ♥♥♦s
♦s ♦♥s ♥♥ résé s s♣♦sts à ♦ r ♠♦♥tr♥t ♥s t ♥ r ♥ss♥t ♣s sr
tr rrèr ♣r t ♠♣ ♦s ♦♥s ♥ tr ♠♦♥tré q s ♦♥tts ♦♥t ♥ rô
♣ré♦♠♥♥t sr ♦r♥t strt♦♥ tr♥sst♦r
♦s ♦♥s ♥s ♣r♦♥ ♣tr ♥♦s ♥térssr à s ♥♥♦s ♦♥sttés ♥ ♥ ♠ttr
à ♣r♦t s rtérstqs r♠♥♠ ♥s ♥♦s tr♥sst♦rs
♣tr
Pr♦♣rétés étrqs s ♥♥♦s
Si0,7Ge0,3
♥tr♦t♦♥
st ♥ ♠tér ♣r♦♠ttr ♣♦r rést♦♥ s♣♦sts ♠r♦étr♦♥qs ♥ rs♦♥
♣s r♥ ♠♦té s ♣♦rtrs ♥s r♠♥♠ q ♥s s♠ ♣♥♥t r♠♥♠ ♣r
st ♦♠♣qé à tsr ♥ rs♦♥ s♦♥ ♦①② ♥t ♣ètr qté étrq t ♠♥t s♦ ♥s
♥térêt rés ♦♥ ♥s stté ♠q s♠ t ♥s s ♣r♦r♠♥s étrqs
r♠♥♠ ♦♠♥és ♦s ♦♥s ♦♥ ♦♠♠ ♥♦s ♦♥s t s ♥♥♦s s♠ ér
♣♦t♥t s ♥♥♦s ♣♦r ♥ tst♦♥ ♥s s tr♥sst♦rs à rrèr ♦tt② P♦r ♥♦s
♦♥s r♣r♥r ♠ê♠ sé♠ ét à s♦r
ér ♥ ♦♣ rés ♥s s ♥♥♦s
étr ♥étq t ♠♣t sr s ♣r♦r♠♥s étrqs srt♦♥ ♥♥♦s rts
r♦ss♥
étr ♥étq t ♠♣t sr s ♣r♦r♠♥s étrqs srt♦♥ ♥♥♦s ♦①②és
tr♠q
étr s ♥♥♦s ♥s ♥ ♦♥rt♦♥ à ♦ r ♥ ♥ ér ♣♦t♥t ♣♦r ♥tért♦♥
♦s ♦♥s ♦♥ ♥s ♥ ♣r♠r t♠♣s ♥♦s ♦♥♥trr sr s tr♥sst♦rs à r rrèr
r♥sst♦rs ♣♥rs à r rrèr à ♥♥♦
♥♦s Si0.7Ge0.3 rts r♦ss♥
♦♣ rés
♠ê♠ ♠♥èr q ♣♦r s s s♠ s strtrs ♠srs qtr ♣♦♥ts ♦♥t été résés
♥ ♠srr ♣résé♠♥t ♦♣ rés ♥s s ♥♥♦s ♥♦♥ ♥t♥t♦♥♥♠♥t ♦♣és ♥
s s♥t sr éqt♦♥ t ♥ ts♥t s rs r♣♦rtés sr r ♥♦s tr♦♦♥s ♥
Ω
Iapp −∆V
IDS − VDS VGS
IDS − VGS VDS
Si0.7Ge0.3
IDS
IDS −VDS VGS = 0V
ION/IOFF
ION/IOFF
ION/IOFF
ION/IOFF
ION/IOFF
ION/IOFF
Si0.7Ge0.3
ION/IOFF
ION/IOFF
IDS − VDS VGS
IDS − VGS VDS
ION/IOFF
ION/IOFF
IDS − VDS
IDS − VGS
Si0.7Ge0.3IDS −VBG VDS IDS −VDS
IDS − VTG VDS
IDS − VDS
VTG
VBG IDS VTG
Ge+O2 → GeO2
Si+O2 → SiO2
∆GGeO2= −732kJ.mol−1 ∆GSiO2
= −376kJ.mol−1
GeO2
1, 6.104atomes.cm−3
♦①② tr♠q ♦r♠é r s t♦♠s s♦♥t r♣♦ssés ♠ê♠ ♦①② t s♠♥t à ♥tr
SiGe/SiO2 q s ♠srs ❳ ♣réé♥ts s♠♥t ♦♥r♠r
r r♠♠ ♣s tr♥r s②stè♠ à t r ♥ r♥t SiO2
t ♥q q SiO2 st st ♥ ♣rés♥ ♦♥trr♠♥t GeO2 ♣r r♣♣♦rt ♣rès❬❪
♣♣rît ♦rs t st♠r ♣r♦ r s ♦rs ♥ ♥s tt strtr ♦♥♥trq ♥t ♣r
♥♠♥t ♦♠♣♦st♦♥ ♦sré ♦rs ♦①②t♦♥ ♥t s rs ♥té étr♦♥q
♥ ♥trt t ♥ r♠ st♠és ♥s s ③♦♥s rs t ♣rs ♥ r♠♥♠ t tés
♥s t ♥♦s ♣♦♦♥s ♦♥♥r ♥ sé♠tq r♠♠ ♥ tt♥ ♥s ♥
♦①②é ♦♥♥é ♥ ♦s ♦♥stt♦♥s q ♣r♦ r ♣rs ♣r s ♦rs ♥
♥ t ♦♥t♦♥ ♦rs ♥ ♦st♦♥ s tr♦s à ♥tr ♥tr s ① ③♦♥s rs t ♣rs
♥ r♠♥♠ t ♦♥ ♥st ♣s ♦r à ♥ ♦♥♥♠♥t s tr♦s ♥tr s ♦rts rs
Dit ♦srés ♥s s s s ♥ ♣♥t s①♣qr ♥ ♣rt ♣r rtèr ♣s s♣r ♣rs
♣r strt♦♥ tr♦s ♣r r♣♣♦rt s ♣réé♥t
Pr♦♣rétés étr♦♥qs s s Si0.75Ge0.25 t Si0.5Ge0.5 à t ♣♦r NA ♠♣rès ❬ ❪
Si0.75Ge0.25 Si0.5Ge0.5
♣ Eg❱ ♥té étr♦♥q χ ❱
♥sté étts ♥s ♥ ♦♥t♦♥ NC ♠
♥sté étts ♥s ♥ ♥ NV ♠
EF − EV ❱
r r♠♠ ♥ té♦rq ♥ ♥♥♦ ♦①②é ♣rés♥t♥t ♥ ♦r♦♥♥ ♦rt♠♥t♦♥♥tré ♥ r♠♥♠ û à sérét♦♥ r♠♥♠ r♥t ét♣ ♦①②t♦♥ tr♠q
♦♥♥ss♥t és♦r♠s ♦♠♣♦st♦♥ ♥♥♦ ♥♦s ♣♦♦♥s t♥tr st♠r tr rrèr
♥ s ♦♥tts ♥ ts♥t ♥♦tr r♦t♥ ♦s ♦♥sér♦♥s ♥s s q ♥t♦♥ s ♣♦rtrs s
t ♥s ♦ ♥r ♥ r♠♥♠ t ♠♦♦♥s ♦♥ s rs s ♦♥st♥ts rs♦♥ t
sr ♥ ♦r tt t♥r s rs ♥s ♦t♥s ①tr♣♦és à VDS = 0V ♦♥♥♥t ♥
tr rrèr ♦rr ❱ à t♥s♦♥ r rrèr ♥ q st ♥ ♦r s rs
♣réé♠♠♥t r♣♣♦rtés ♥s ttértr
r trs rrèr és ♥ s♣♣♦s♥t é♠ss♦♥ tr♠♦♦♥q ♦♠♠ ♠é♥s♠♣r♥♣ tr♥s♣♦rt ♣♦r ér♥ts VDS t VBG à VTG ❱ tr rrèr ①tr♣♦é à VDS ❱ ♣♦r ér♥ts VBG t VTG ❱
s ♥♥♦s ♦①②és ♦♥t ♦♥ ♥ t♥♥ à ♣ér s ♣♦rtrs ♥s ♦r♦♥♥ ①térr ÷r
♥♥♦ q st ♠ê♠ ♥ ♦♥tt ♦①② r tt stt♦♥ r♥ s ♣♦rtrs ♦♣ ♣s
s♥ss ① ♣ès à ♥tr ♦①② t ♣t ♥s ①♣qr ♦rt r ♣♥t s♦s s
♥s q ♦rt ②stéréss ♦srés
♦s ♦♥s és♦r♠s ♥♦s ♥térssr à ♥ ♣♦♥t ♣rtr ♦♥t ♥♦s ♥♦♥s ♣s trté t q ♦♥r♥
t♥t s s q st ♥ t t♥tr ♦♥♥r ♥ ①♣t♦♥ à r t♥s♦♥
r ♥éssr ♣♦r ♦rr ♦ r♠r ♥ ♦♥t♦♥ s tr♥sst♦rs
♦ ♦♥t♦♥♥♠♥t s tr♥sst♦rs à ♥♥♦s
❯♥ ♣♦♥t ♥ ♦♦♥tr♠♥t ♣s été ♦ré sqà ♠♥t♥♥t st ♠♦ ♦♥t♦♥♥♠♥t s
tr♥sst♦rs à ♥♥♦s ♥ t ♣r ♥♦ sst♦♥ ♦♣té ♣♦r rs ♦s♥s ♥ ♦ ♣
à ♦♥tt s♦rr♥ ♥ s♠ ① ré♠s ♦♥t♦♥♥♠♥t ♣♥t êtr éés ♥♦s éts s♥t
♦r♠ ♦♣té ♣r ♦r IDS−VGS à s♦r s tr♥sst♦rs à ♥rss♠♥t ♦ à ♣♣rss♠♥t Pr
é♥t♦♥ ♥ tr♥sst♦r à ♥rss♠♥t st ♦qé ♣♦r ♥ t♥s♦♥ r ♥ ♦rs q♥ tr♥sst♦r à
♣♣rss♠♥t st ♦rt à t♥s♦♥ r ♥ rt♦♥♥♠♥t ♥s s ♣♥rs ♠♦
♦♥t♦♥♥♠♥t s tr♥sst♦rs st ♠♦é ♥ ♦♣♥t ♦ ♥♦♥ ♥ ♦♥t♦♥ ♣♥♥t ♥s ♥♦s
strtrs tt rtérstq st ♥tr♥sèq ① ♥♥♦s ss ♥♦s ♣♦♦♥s ♦♥sttr ♦s s♥t
s ♥♥♦s ♠ rts r♦ss♥ s ♦♠♣♦rt♥t ♦♠♠ s tr♥sst♦rs ♣ à ♥rss♠♥t
s ♥♥♦s ♠ ♦①②és s ♦♠♣♦rt♥t ♦♠♠ s tr♥sst♦rs ♥ à ♣♣rss♠♥t
s ♥♥♦s rts r♦ss♥ t ♦①②és s ♦♠♣♦rt♥t ♦♠♠ s tr♥sst♦rs ♣ à ♣♣
rss♠♥t
♦s ♣r♦♣♦s♦♥s ♥s tt ♦rt st♦♥ qqs ②♣♦tèss ♣r♠tt♥t ①♣qr s ér♥s ♦♠
♣♦rt♠♥t ♦s s♦♥s és♦r♠s q s ♥♥♦s s♠ rts r♦ss♥ ♦♥t♥♥♥t s ♠♣rtés
♦♥♥ss t ♣tss ♦s ♦♥s r♠rqé q s ♥♥♦s ♥t rt ♦♥t♦♥♥♥t ♦♠♠ s tr♥
sst♦rs à ♥rss♠♥t ♠s q♥ ♦s rts s s♥t sr ♥ ♦♥t♦♥♥♠♥t à ♣♣rss♠♥t ❯♥
♣♦ssté ①♣t♦♥ st s♥t r♥t r♦ss♥ s ♠♣rtés t②♣ ♣ s♦♥t tés t ♥
q♥tté ♠♣rtés t②♣ ♥ st♥t é♠♥t ♦rsq♥ t♥s♦♥ r st ♣♣qé
♦♣ tr rrèr③♦♥ é♣été st ♠♣♦rt♥t t ♠t ♦r♥t ♣♦rtrs ♠♦rtrs ♦rsq
t♥s♦♥ r rrèr ♣r♥ ♦rts rs ♥éts ♥ s♥rt ♣r♦rss♠♥t ♥ tr♦s
q ♣♦r t ♠♥r rr ③♦♥ é♣été ♥ ♦♥t♦♥ ♣♦rsé ♥ ♥rs t
♠♥tr ♥s ♥sté ♦r♥t trrs♥t ♣r t t♥♥ ♥s rt♥s s ♦ù tr
rrèr st s♥s♠♥t ♠ê♠ ♣♦r s étr♦♥s t s tr♦s ♥ ♣♦rst♦♥ ♣♦st ♣r♠t ① ♣♦rtrs
♠♥♦rtrs r♥r rrèr ♦tt② ♥s♥t ♥ ♦♠♣♦rt♠♥t ♠♣♦r tt ♠♥èr s
s ♦♥t♦♥♥♥t ♥ ré♠ ♥rss♠♥t
♣rès rt s ♠♣rtés ♥ tés ♥♥♥t ♦♠♥♥ts t s s♣ès ♣tss s♦♥t éstés ♥
sr s ♥♥♦s ♦rsq♥ t♥s♦♥ r ♥st ♣♣qé r♥ ♥sté ♠♣rtés ♦♥♥ss
♥s q r rrèr ss♥t à rér ♥ ♥ ♦♥t♦♥ ❯♥ ♣♦rst♦♥ ♥ét
r ♣r♠t ♦t♥r ♦rs ♥ ré♠ ésrt♦♥ r♠♥t ♥s ♥ ♦♥t♦♥ s ♥♥♦s
♦♥t♦♥♥♥t ♦rs ♥ ♣♣rss♠♥t
♦♥r♥♥t s ♥♥♦s très ♥♦r♣♦rt♦♥ ♠♣rtés t②♣ ♥ ♦♥r♠é ♣r s♥
♥rs♦♥ ♦♣ ♣rès rt ♥t ♥ ♥ r♠ ss♠♠♥t ♣r♦ ♥ ♥
q ♠ê♠ ç♦♥ q ♣♦r s s rts ss ♣ssr s ♣♦rtrs ♠♦rtrs à t♥s♦♥ r
♥ ❯♥ ♣♦rst♦♥ ♣♦st ♣r♠t ♥r ♥ ré♠ ésrt♦♥ t ♦♥ r♠r ♥
♦♥s♦♥
♦s ♥♦♥s ♠♦♥trr ♣♦ssté tsr s ♥♥♦s ♦♠♠ ♥① ♦♥t♦♥ ♥s s
tr♥sst♦rs ♣♥rs à rrèrs ♦tt② ♦s ♥♦s s♦♠♠s ♥térssé ♥s ♥ ♣r♠r t♠♣s ① ♥♥♦s
rts r♦ss♥ t ♥♦t♠♠♥t à r srt♦♥ tt r♥èr ♣rés♥t ♥ ♥étq rt♠♥t
é ♠ètr s ♥♥♦s ♠♦♥tr ♦♥ ♥♦r ♥ ♦s ♠♣♦rt♥ ♠îtrsr ♠ètr s
s ♥ ♦♥trôr ♣r♦♣t♦♥ sr s rrèr ♦tt② ♦t♥s s♦♥t ♣s s q ♣♦r
s s s♠ t s①♣q ♣r r ♣s ♥ ♥trt ♣r r♣♣♦rt
srt♦♥ ♣rés♥t é♠♥t ♥ ♣é♥♦♠è♥ sérét♦♥ r♠♥♠ q st r♣♦ssé
♦♥tt ♥ rs♦♥ ér♥ é♥r ♦r♠t♦♥ ♥tr sr t r♠♥r ♥ ♣s tt
sérét♦♥ ♥ ♣é♥♦♠è♥ r♣tr s ♥♥♦s st ♦sré q ♦♥t à s♥ ♦♥t♦♥
♥s rt♥s s♣♦sts résés ♦s ♦♥s é♠♥t rqé s s♣♦sts ♥ ts♥t s ♥♥♦s
♦①②és tr♠q♠♥t t ♣rés♥t♥t s rtérstqs ♣r♦s s ♥♥♦s rts r♦ss♥
ér♥ ♣♣rt très r♠♥t ♣rès srt♦♥ s ♣r♦r♠♥s ♣s ♠♣♦rt♥ts t ♥♦t♠♠♥t
s ♠♦tés ♦s♥♥t s ♠❱s s tr♥sst♦rs à ♦ r ♦♥t é♠♥t été ♦t♥s
♦rt ♥ ♣ès st♠é à ♣rtr s ♣♥ts s♦s s ♥♦s ♦♥t ♦♥t à résr s é♦♣s s
é♥t♦♥s ♦s ♦♥s ♥s ♦♥stté ♥ ♣é♥♦♠è♥ sérét♦♥ r♠♥♠ ②♥t ♠♦♠♥t
♦①②t♦♥ tr♠q s ♥♥♦s ♠♥èr é♥ér s ♣r♦r♠♥s ♦t♥s s♦♥t à étt rt
♥tr♥t♦♥ t ♥♦s ♣r♠tt♥t ♥sr tst♦♥ s strtrs ♥s s rttrs rts
♦s ♦♥s és♦r♠s ♦♥r ♠♥èr é♥ér sr ♥tért♦♥ ♣♥r ♣♦r s s t
♦♥s♦♥ é♥ér sr ♥tért♦♥ ♣♥r
s ♥♥♦s t ♣r♦♠tt♥t s ♦♠♣♦rt♠♥ts ♦♥♥ qté s ♠♦tés rs♣ts
♥ qé♦♥és s rs s ♠tér① ♠sss s rs ♦t♥s r♥t ♥♦s ①♣ér♥s rst♥t
♥ ♦r s r♣♣♦rtés ♥s ttértr t rst♥t ♣r♦♠ttss ♣♦r r ♥tért♦♥ rt
s ♠①♠♠s ♠♦té s tr♦s ♥s s s t ♦♥t été ♠srés rs♣t♠♥t à t
♠❱s ♦rt ②stéréss ♣rés♥t ♦rs s rt♦♥s t♥s♦♥s r été ♦rréé à étt sr
s ♥♥♦s t r ♥r♦ ♥s ♥ ♦ étrq ♣r♠s rér ♣é♥♦♠è♥ ♦①②t♦♥ s
♥♥♦s é♠♥t ♠♦♥tré ♣♦ssté rér ♣é♥♦♠è♥ ♠s ♣r♦éé rt♦♥ ts♥t
♥ rr ♠ ♦①② ♦♥t à ♠s à ♥ ♥ ♣♦rt♦♥ s s t ♦♥ à ré♠♥tt♦♥
②stéréss
s ♥étqs srt♦♥ s ♥♥♦s ♦♥t é♠♥t été ♦rés t ♣♦♥t rss♦rt♥t tt
ét st ♦rt é♣♥♥ ♥tr ♦♥r sr ♦r♠é t ♠ètr s ♥♥♦s srés
♣é♥♦♠è♥ ♣♣rt t♥t ♣♦r s♠ q ♣♦r ♥s r♥r s ① trs ts
♦♥t été ♠s ♥ é♥ ♥ ♣rt sérét♦♥ r♠♥♠ q t♥ à sr ♥ ♦rs sr
t tr ♣rt s♦♥ ♥ ♦♥s♥t à r♣tr ♦♥tt étrq
♦s ♦♥s é♠♥t q s s♣♦sts ♣♥rs à ♦ r ♣r♠tt♥t é♦♣r ♠♥t s
ts ♥ r rrèr q ♠♦ ss♥t♠♥t s résst♥s ès ① ♦♥tts t ♥ r ♥t
♥r♦♥t q ♦♥trô ♥sté ♣♦rtrs rs s♣♦♥s ♣♦r ♦♥t♦♥ s♥ ♠ê♠ ♥♥♦
tt ♠ê♠ ♦①②t♦♥ ♣♦r t ♥s s tst♦♥ ♥♥♦s ♥r ♥ sérét♦♥
r♠♥♠ ♦♥t ♦♥ à ♦r♠t♦♥ ♥ étér♦strtr s♥ ♠ê♠ ÷r ♥♥♦
♦rs♥t ♦♥♥♠♥t s ♣♦rtrs à ♥tr ♥♥♦♦①② tr♠q ♦♥♥♠♥t ér s
♣r♦♣rétés étrqs s s♣♦sts ♦♠♠ ét s tr♥sst♦rs à ♦ r ♠♦♥tré
s♣rs♦♥ s ♦♠♣♦rt♠♥ts s s ss ♣♥sr q sr t♦t ç♦♥ ♦♠♣qé résr s
s♣♦sts ♣rés♥t♥t s rtérstqs ♦♠♦è♥s ♥ ts♥t s ♥♥♦s ♥qs ss ♥tért♦♥
rt s strtrs r s r sr s ss♠és s ♥ ♠♦②♥♥r s ♦♠♣♦rt♠♥ts t
t♥r rs ♥♦r♠st♦♥ s rtérstqs
♣tr
Pr♦éé rt♦♥ t rtérst♦♥
étrq tr♥sst♦rs rt①
♥tr♦t♦♥
♥tért♦♥ ♥♥♦s rt① ♣rés♥t ♥ r♥ ♥ t♥♦♦q ♠s ♥ ÷r ♦♠♣①
♠ét♦s ♥♠♥t ♥♥♦s ♣♥rs ♣♦ss s s♥tq à rr s ♠ét♦s ♦st♦♥
rts s ♥♥♦strtrs ♦ q ♥♦s ♣r♦♣♦s♦♥s ①♣♦rr st ♦sr t②sr ♠étq
t ♦t♥r ♥ r♦ss♥ s ♥♥♦s ♣s rt ♣♦ss tt ♦♥rt♦♥ ♣r♠t ♠♥r
♥♦♠r♠♥t s s♣♦sts râ à tst♦♥ ♥ r ♥r♦♥t ♥ t ♣r♦t♦♥ é♦♠étrq
s tr♥sst♦rs s rés♠r à ♥ sq ♠ètr ♥♥♦ ♦rs q♥ s♣♦st ♣♥r rt ♥
♣r♦t♦♥ rt♥r ♦♥r t rr é à s♦♥ ♠ètr ♥ ♥♦♠r♠♥t
st ♦♥ ♥r♦♥ tt r ♥r♦♥t ♣rés♥t é♠♥t t♦t ♦♥érr ♥ ♠r ♦♥trô
étr♦sttq ♥ tr♥sst♦r ♥ ♦♠♣rs♦♥ s rs ♣♥rs ss
♠ét♦ r♦ss♥ ❱ ss é♠♥t ♥sr ♣♦ssté r r♦tr s s sr ♥ sstrt
♠♦r♣ à ss t♠♣értr q ♣r♠ttrt résr s ♦♠♣♦s♥ts à ♥ rst♥ ♥s s ③♦♥s
r♦s s rts ♥térés ♠t♥t ♥s r♦rs à tst♦♥ ♦ ♣s
♥s ♣tr ♥♦s ♦♥s ♣rés♥tr s ér♥ts ét♣s t♥♦♦qs ♠♣qés ♥s rést♦♥
tr♥sst♦rs rt① à ♥ ♥♥♦ ♦s ♦♥s ♥tèr♠♥t érr s ét♣s t ♠ttr ♥t ♣r
tèr♠♥t sr s ♣♦♥ts rtqs t s ♣r♦è♠s r♥♦♥trés ♦s ♦♠♠♥r♦♥s ♣r ♣rés♥tt♦♥
strtr é♥ér trrs ss♥ s ♠sqs t♦r♣ ♣s ♥♦s ♣rés♥tr♦♥s ér♥ts
♠ét♦s ♣♦r ♦sr s t②srs r♦ss♥ ♥ rs ♥ts t ♥♦♥é♥♥ts ♦s
str♦♥s ♥st rést♦♥ ♠♣♠♥t r ♥ ♣ss♥t ♣r ♦①② r ♣s ♣r
rést♦♥ ♥ r ♠étq ♥r♦♥t ♥♥ ♥♦s ♦rr♦♥s ♣♦♥t s♦t♦♥ étrq
r t ♦♥tt s♣érr ♥ sttr♥t sr ♦① s ♠tér① ♥♥ ♥♦s érr♦♥s rést♦♥
♦♥tt s♣érr ♥s q r♣rs ♦♥tt ♥trré r
♥s ♥ s♦♥ t♠♣s ♥♦s ♣rés♥tr♦♥s s réstts étrqs ♦t♥s sr s s♣♦sts résés ♦t
♦r ♥♦s ♥♦s ♥térssr♦♥s ♦♠♣♦rt♠♥t s s♣♦sts à s ♥♥♦s ♣s ♥s ♥ ①è♠
t♠♣s ♥♦s ♥♦s ♦sr♦♥s sr s s P♦r q s ét ♥♦s ♠ttr♦♥s ♥ ♥t s ♣r♦r
♠♥s ♦t♥s ♦s ♦♠♣rr♦♥s s réstts ① éts ♣réé♥ts ①♣♦sés ♥s ttértr
♦s ♠ttr♦♥s é♠♥t ♥ ♠èr s ♣r♦è♠s r♥♦♥trés ②♥t ♥ ♠♣t rt sr s ♣r♦r♠♥s
étrqs ♣s str♦♥s s ♣♦sss ♠é♦rt♦♥s à ♣♣♦rtr
Pr♦éé rt♦♥
t tt tès st ♥térr rt♠♥t s ♥♥♦s ♥ s tsr ♦♠♠ ♥① ♦♥t♦♥
♥s s tr♥sst♦rs tt rttr ♠♥ é♦♣♣♠♥t ♥ ♣r♦éé ♥tért♦♥ ♥ ♣rt
r ♣rés♥t ♥s tt st♦♥ ♥ ♠ét♦ é♥érq ♣♦r rést♦♥ tr♥sst♦rs s ♣♦sss
r♥ts sr♦♥t stés ♥s ♥ ♣r♦♥ ♣tr
s♥ s ♠sqs
♣r♠èr ét♣ ♦♥ssté à ♠♥s♦♥♥r t ss♥r s ♠sqs t♦r♣ q ♥♦s ♣r♠ttr♦♥t
résr ♣♦st♦♥♥♠♥t s ♥♥♦s sr s ♣qs ♥s q r ♦♥♥①♦♥ s♥ st résé à
♦ ❲r ②♦t ♦s ♦♥s ♦s tsr sstrt ♦rt♠♥t ♦♣é ♦♠♠ ♥ étr♦ à
♣rt ♥tèr s tr♥sst♦rs ♦s és♥r♦♥s ♦♠♠ ét♥t s♦r ♥s s tr♥sst♦rs rt① r♦♥t
tt ♠♥èr ♥ s♦r ♦♠♠♥ ♠sq st ♣ré ♣♦r s ts ♣qs ♠♠ st
♦♠♣♦sé ♣srs ♣s ① ♠♠ ♥
♣r♠r ♥ ♠sq st éé à ♦st♦♥ t②sr t ♦♥ s ♥♥♦s t ét♥t ♦r
♥ s♣rs♦♥ ♥ ♠ètr s ♥♥♦s ♣s ♣tt ♣♦ss tst♦♥ ♦♦ïs ♦♠♠ t②sr
été ♦♣t♦♥ rt♥ ♣r♠r ♥ srr ♦♥ à é♥r s ③♦♥s ♥ ♣réss ♦♥t♥♥t t②sr
P♦r ♣♦♦r étr ♥♥ ♥♦♠r s sr ♦♠♣♦rt♠♥t étrq s s♣♦sts ♣srs
ts ③♦♥ r♦ss♥ ♦♥t été ♦ss ① ♠ ① ♠ ① ♠ ① ♠ t ① ♠
❯♥ ♠ ♣ st ♦♥stté s ♥q ③♦♥s s♣♦sés sr ♥ ♠ê♠ ♥ q st ♠ê♠ ré♣été sr
♦♦♥♥s ♥s ♥ ♣ ♦♥t♥t ③♦♥s r♦ss♥s t♦t
①è♠ ♥ ♠sq st éé à rést♦♥ r ♣rt ♦r♥t ③♦♥ r♦ss♥
st éèr♠♥t ♣s r♥ q tt r♥èr ♥ sssrr ♦r ♥ r sr q ♥♥♦ ❯♥ ♦♥tt
① ♠ st é♣♦rté ♥ ♣♦♦r résr s tsts s♦s ♣♦♥ts
tr♦sè♠ ♥ q srt à é♥r r♥ st q♥t à s♠ à r ♦♥tt st
♣é à ♦♣♣♦sé r ♣r r♣♣♦rt à ③♦♥ r♦ss♥ ♣♦r ♣s s♥ ♦rs s tsts s♦s
♣♦♥ts
♦s ♣rés♥t♦♥s ♥s r strtr ♥ s♦té ♥s q s ♠sqs ss♥és ♥s t
strtr s tr♥sst♦r rt st très ♦rt♠♥t ♥s♣ré ♣réé♥ts tr① r♣♣♦rt♥t
rt♦♥ tr♥sst♦rs rt① ❬ ❪
.
I2 : KI
.
I2 : KI
SiO .
♥sé ♣♦r s té é♣ôt t ss ♦♥♥s ♣r♦♣rétés étrqs été s♣♥♦♥ss t♦t
♠r étrq st s♦♥ ♠♦ é♣ôt ♣r t♦r♥ ♠ét②s♦①♥ s ♣rés♥t s♦s ♦r♠
q t s é♣♦s ♥s à ♠♥èr ♥ rés♥ s rts ♣♦st é♣ôt ♣r♠tt♥t é♣♦rt♦♥ s
s♦♥ts t s♦♥ rss♠♥t ❯♥ s♦♥ t♦t st s ♦rt ♣té à ♣♥rsr s srs ♣rés♥t♥t
♥♦♠r① rs t ♣♦r tr♦ ss ♣r♥♣s ♣♣t♦♥s ♥s s ét♣s ♥ s rts ❯♥
♣r♠r ♣r♦è♠ ♦♥r♥♥t s♦♥ tst♦♥ sst rééé ♦rs é♣ôt ♥♦♥é♥♥t ♠r s♣♥♦♥
ss st s résst♥ ① ♦♥tr♥ts tr♠qs ss s ét♣s rt ♦♥t êtr rs♣tés
♠♥èr sr♣s tt résst♥ st r ♦rsq ♦♥ s♦t ♠♥tr é♣ssr t♦t
é♣♦sé t q ♦♥ ♣r♦è à s é♣ôts ssss s ♦♥tr♥ts s♦♥t ts q st réq♥t ♦r
♣♣rtr rs rsss ♦♠♠ ♣rés♥té ♥ r
r ♠ sr ♠t♦s s♣♥♦♥ss ♣rès rt ss♥t ♣♣rtr rs ssrs r♥ss♠♥t ♠♦♥tr♥t ♥ ssr ♥r♦♥ ♠ r
♣♣rt♦♥ s éts st ♠té à tst♦♥ ♥ ♠t♦s t s ♦♠♣tté s
s♣♦sts s ♦♥rs r ♥étt ♣s à ①r ♦♠♠ ♠♦♥tr r r♣rés♥t♥t
é♣ssr ♥ ♦♥t♦♥ tss ét♠♥t tsé tt é♣ssr ♣t êtr ♠♦ésé ♣r ♥
♦ ①♣♦♥♥t ér♦ss♥t t②♣
ESOG = E∞ + E0exp
(−v
v1
)
ESOG é♣ssr s♣♥♦♥ss tt♥ E∞ é♣ssr ♦t♥ ♣♦r ♥ tss ♥♥
t♦r♥ E0 é♣ssr s♣♥♦♥ss t qà t s ESOG = E∞ + E0 tss r♦tt♦♥ t v1 tss rtérstq st♠♥t ♥♦s ♣r♠t ①trr s rs s ♣r♠ètrs ♦♠♠
♥♠ E0 ♥♠ t v1 r♣♠
SiO2
♣rs ♦♥tts
r♥
❯♥ ♦s r s♦é s♦♠♠t s ♥♥♦s st ♦♥ éé à ♥ ♣s♠ ♦①②è♥ P♦r sssrr
♥ ♦♥ ♦♥tt ♥ ♦♥r ♥r♦♥ ♥♠ ♥♥♦ st éré ♦s ♣r♦é♦♥s ♥st à é♥t♦♥
♦♥tt r♥ ♣r t♦r♣ ♦♣tq ♥ ts♥t rés♥ ♥s s ♦♥t♦♥s st♥rs
tst♦♥ ♣rès é♦♣♣♠♥t t ♥tt♦② s ♦♥s rés♥ ♣r ♣s♠ ♦♥tt s♣érr st
♠étsé ♣r é♣♦rt♦♥ ♥ ♣r♥♥t r à q é♣ssr ♠ét é♣♦sé s♦t s♣érr à tr
éé ♥♥♦s ♥ sssrr ♦♥♥ ♦♥t♥té étrq ♦♥tt rés♥ st ♥st s♦é
♥s ♥ ♥ ét♦♥ t é♥t♦♥ st r♥é à P
r
♠♦♠♥t ♣r♦éé ♥tért♦♥ ♦♥tt r st ♥trré s♦s ♣♦②♠èr ❯ P♦r
♣r♠ttr rtérst♦♥ étrq ♥♦s r♦♥s r♥r à ♥ ♣s♠ ♦①②è♥ ♥ ts♥t
♦♥tt r♥ ♦♠♠ ♠sq à rr ♥ rr s t à ♥ étt♦♥ ♥ ttq
ts♥t ♥ ♥trér♦♠ètr sr ♦♣é à ♥ s②stè♠ qst♦♥ s♣♦t sr st ♣é sr ♦♥tt
r ♦rs rr ♥t♥sté s♥ ♠sré r é♣ssr ♣♦②♠èr ♥ sé sr ès
q r st éré s♥ ♥t ♦♥st♥t t rr ♣t êtr rrêté ❯♥ éèr srrr st
t♦♦rs té ♥ sssrr q t♦s s ♦♥tts s♦♥t ♦rts s♣♦st st és♦r♠s ♣rêt à êtr
rtérsé
rtérst♦♥ étrq s tr♥sst♦rs à ♥♥♦s rt①
♥tr♦t♦♥
❯♥ ♦s s s♣♦sts résés ♥♦s ♣r♦é♦♥s ① ♠srs étrqs ♦s ts♦♥s ♣♦r ♥ stt♦♥
s♦s ♣♦♥ts ♦♠♠ ♣♦r s tr♥sst♦rs ♣♥rs
♦s ♦♥s ♦r ♥s ♥ ♣r♠r t♠♣s ♥♦s ♥térssr ① ♥♥♦s t ♣s ♣résé♠♥t à ♥♥ ♥
♦st♦♥ ♠ ♠îtrsé t②sr sr s réstts étrqs s s♣♦sts ❯♥ ♦s s ♣r♦è♠s ♠s
♥ ♥t ♥♦s ♣r♦èr♦♥s à ♥ ♦rrt♦♥ ♣r♦éé ♥tért♦♥ ♥ s rr rs s ♦♠♣♦s♥ts
① ♣r♦r♠♥s rs ♦s ♣♦st♦♥♥r♦♥s ♥♦tr tr t ♥♦s réstts sr ♣♥ ♥tr♥t♦♥ ♥ s
s♥t sr s tr① trs éq♣s
♥s ♥ ①è♠ t♠♣s ♥♦s ♥♦s ♦sr♦♥s sr tst♦♥ ♥♥♦s ♦♠♠ ♥① ♦♥t♦♥
t str♦♥s é♠♥t ♥♦s tr① ♣r r♣♣♦rt ① ♣réé♥ts éà résés
♥♦s
ts ♦st♦♥ t②sr
s ♣r♠rs s♣♦sts ♦♥t été résés ♥ ts♥t t♦r♣ ♦♣tq ♥s t ♦sr
t②sr r♦ss♥ ♦♠♠ ♥♦s ♦♥s ① ♠ét♦s ♥♦s ♣r♠tt♥t tt♥r t s♦t
♥ r♥t s ♦♦ïs s♦t ♥ s t♥t ♣r♠èr ♠ét♦ q ♥♦s ♦♥s ♠s ♥ ÷r étt
♦st♦♥ ♣r t♦ ♣r♦è♠ ♣r♥♣ tt ♠ét♦ st q ♠r ♦♥st♠♠♥t qqs
♦♦ïs ♥ ♦rs s ③♦♥s t♦r♣és ♥ rs♦♥ r ré♣ôt ♦rsq ♦ rés♥ st ss♦t
♦♥t ♦♥ à ♣rés♥ ♥♦♥ ♦♥trôé ♥♥♦s s s q s tr♦♥t ♥ ♦rs ♦♥tt r
♠s q s♦♥t t♦t ♠ê♠ ♦♥♥tés r♥ ♦♥t ♣♦r t ♠♥tr ♦r♥t à étt ♦qé ♦rsq
t♥s♦♥ r♥ ♠♥t r ♠t ♥ é♥ t t ① s♣♦sts s♦♥t ♣rés♥tés ♥
r♠rq q s ♦r♥ts à étt ♦rt ♦rrs♣♦♥♥t à q ♦♥ ♣♦rrt s♣érr ♥ ♥♥♦ ♣r ♦♥tr
s ♦r♥ts à étt ♦q♥t s♦♥t ①ss♠♥t éés t r♥t ♥ ♦♥t♦♥ t♥s♦♥ r♥ ♣♣qé
♠ét♦ r♣rs ♦♥tt s♣érr st ♦♥ ♣té à ♥♦tr ♣♣t♦♥ r ♥ r♥ ♥♦♠r
♥♥♦s s♠♥t êtr ♦♥ttés ♣♥♥t ♦st♦♥ t②sr ♥st ♣s ♣té t ♦♥t ♦♥
à s r♣♣♦rts ION/IOFF ♥ rs♦♥ s ts éés ré t s♣t ♥ét ♦st♦♥
t②sr ♥♦s ♣♦♦♥s ①♣♦tr ét réstts étrqs ♦s ♦♥stt♦♥s ♦♠♣♦rt♠♥t t②♣
♥ ♦♠♠ tt♥ ♥ rs♦♥ ♥rs♦♥ ♦♣ r♥t ♦①②t♦♥ tr♠q s ♦rs IDS − VDS
♠♦♥tr♥t é♠♥t r♠♥t ♦♠♣♦rt♠♥t ♦tt② ♦♥tt s♣érr t ♥♦tr é♠♥t
♣rés♥ ♥ ♣é♥♦♠è♥ ②stéréss ♣♦r s ① s♣♦sts ♣rés♥tés tt ②stéréss sèr rs
♣s ♠♣♦rt♥t ♥s s♣♦st ♥ s♣♦st s♠ é♠♥t ♣rés♥tr ♣♦r s t♥s♦♥s r♥ t
r ♦♥♥és ♥ r ♦r♥t ♣s ♠♣♦rt♥t q s♣♦st ♥ r sr t♦t ♥♥♦s
sr♥t t tr♥sst♦r st ♣s ♣tt s♥ ♦♥ q♥ ♣s r♥ ♥♦♠r ♥♥♦s ♣rsts ♦♥t
été ♦♥ttés
r t rtérstqs IDS−VGS ♣♦r ér♥ts VDS ① tr♥sst♦rs rt① à ♥♥♦s ♥♠ ♠ètr t rtérstqs IDS−VDS ♣♦r ér♥ts VGS s ① ♠ê♠s s♣♦sts
s s♣♦sts s♦♥t ♦♥ êtr à r ♦♣t♠♠ ♦♥t♦♥♥♠♥t ♠s ♥ ♣r♠èr é♠♦♥strt♦♥ ♥♦tr
♣r♦éé ♣r♠t r q ♦♥tt rt st t♦t à t rés ♣♦♥t rtq s♠ ♣♦r
♠♦♠♥t résr ♥s ♦st♦♥ t②sr ss ♥ ♣r à ♣r♦è♠ ① s♦t♦♥s ♦♥t
êtr ♥sés ♦st♦♥ ♦♦ïs ♣r rr s r♥rs t t♦r♣ étr♦♥q ♥s
♥ s♦s s♠♣té rést♦♥ rr s ♦♦ïs ♣r ♥ ♠q été ♣r♠èr s♦t♦♥
♥sé ♦s ♦♥s ♦♥ ♦r ♠♣t q tt ♦st♦♥ sr ♦♠♣♦rt♠♥t étrq s
tr♥sst♦rs
♦st♦♥ ♦♥trôé t ♣r♦♣rétés étrqs
râ à tt ♠ét♦ t♦r♣ s ♥ rr ♠q ♦r s ♥♥♦s ♣rsts s♦♥t
♥①st♥ts ♥ ts♥t s ♠ê♠s ét♣s t♥♦♦qs ♥tért♦♥ q ♣réé♠♠♥t ♥♦s ♦t♥♦♥s
s s♣♦sts rt① à ♥ ♥♥♦ ♦♥t s rtérstqs ♦♥t êtr stés s rtérstqs
étrqs s s♣♦sts s♦♥t ♣rés♥tés ♥s r
r rtérstq IDS − VDS ♥ tr♥sst♦r rt à ♥♥♦ ♣♦r ér♥ts t♥s♦♥s r ♥srt ♠♦♥tr ♥ s♥ ♥t sq ♥s s t♥s♦♥s ♥éts r♥ ♣♦r ♥ t♥s♦♥ r ❱ rtérstq IDS − VDS ♣♦r ér♥ts VDS ♠ê♠ tr♥sst♦r rtérstq IDS − VDS
à VGS ❱ r♣rés♥té ♥ é ♦rt♠q rtérstq IDS −VGS à VDS ❱ ①trt♦♥ t♥s♦♥ s
♥ ♠① ♦♠♣r♥r ♦♠♣♦rt♠♥t s s♣♦sts ♥♦s ♦♥s é♠♥t ♣r♦éé ♣rès rtérs
t♦♥ étrq à é♦♣ s é♥t♦♥s ♣r ♦♠♠ ♠♦♥tr r s ♦♥♥és
♥♦s ♦♥s ♣♦♦r ①trr s ♣r♠ètrs ♥♦s tr♥sst♦rs
J = A∗∗T 2exp
(−qφB0
kT
)
exp
(
q(∆φ+ V )
kT
)
∆Φ
J = J0exp(
qVηkT
)
η
η ≡ q
kT
dV
d(lnJ)
♦t♦♥s q ♥s s ♥♦s ♥é♦♥s rrèr ♦r♠é à ♥tr ♥♥♦sstrt q st ♦♣ ♣s
rrèr ♦tt② r♥ ♥s ♣♦r ♥ t♥s♦♥ r ❱ ♥♦s tr♦♦♥s ♥ tr
été ♦rr ♦♠♠ ♣rés♥té sr r tr été q st é♥ér♠♥t
♦♠♣rs ♥tr t trt s ♠é♥s♠s ♦♠♥♥ts ♠s ♥ ♥s ♦♥t♦♥♥♠♥t ♦ P♦r ♥
♦ st ♦♥séré ♦♠♠ é t ♦♥ ♦r♥é ♣r s ♠é♥s♠s tr♠♦♦♥qs t s♦♥
♣♦r ♥ s♦♥t s ♠é♥s♠s é♥ért♦♥r♦♠♥s♦♥ s ♣♦rtrs q ♦♠♥♥t ♥ ♦♥stt ♦♥
q ♥♦tr ♦ ♥st ♣s é ♠s ♣t ♣rés♥tr s ♠é♥s♠s tr♥s♣♦rt ♦♠♠ t t♥♥ à
trrs rrèr ♦tt② ♦ r♦♠♥s♦♥ ♣♦rtrs ♥s ③♦♥ r s♣ résst♥
sér RS s♣♦st ♣t é♠♥t êtr st♠é ♥ ♠♦♥t ①♣rss♦♥ ♦r♥t ♦♠♠ st
I = AJ0
exp
[
q (V − IRS)
ηkT
]
− 1
sr ♦♥tt ♥ ♣t ♥s r résst♥ ér♥t ♥ ♣♦rst♦♥ rt q
é♣♥ ♦r♥t ♦♠♠
dV
dI=
ηkT + qIRS
qI
♣rès r ♦♥ ♣♣r♦①♠ résst♥ sér à ♥r♦♥ Ω ♣rès ♦♣ résé sr
s♣♦st st♥ r ♥tr r t ♦♥tt r♥ q st s♦r ♠r résst♥ ♣rst
♦rsq ♥ ♦♥t♦♥ st ♦rt st ♥r♦♥ ♥♠ ♣s ♥♦♠r ♥♥♦s ♦♥ttés r
♥tr t ♣rès ♥♦s st♠t♦♥s ♦rs é♦♣ s é♥t♦♥s ♦♠♠ ♠ètr ♥ st
♥r♦♥ ♥♠ ♥♦s ♣♦♦♥s st♠r résstté ♥ ♥♥♦ ♥tr Ω♠ t Ω♠ q ♦rrs♣♦♥
♥s s s♠ ♠ss à ♥ ♦♣ ♦♠♣rs ♥tr t ♠♣rès ❬❪ q ♦♥r♠ s
♠srs ♦♣ résés ♥ qtr ♣♦♥ts ♦s ♦♥stt♦♥s q s♣♦st ♣r♠t ♦t♥r ♥ t
♠♣ ♥ ♦♥t sr ♣♦rst♦♥ r st ♥s ♣♦ss ♦t♥r s r♣♣♦rts ION/IOFF ♥t
sqà ♥ ♦♥t♦♥ t♥s♦♥ r♥ ♣♣qé ♥ ♦r♥t ♥s étt ♦qé st ♣t
r ♥ ss♦s rés♦t♦♥ ♥♦tr éq♣♠♥t ♠sr ♦s r♠rq♦♥s é♠♥t q ♥
♦r♥t ♥s étt ♦qé ♥ é♣♥ ♥ ♥ s t♥s♦♥ r♥ ♣♣qé s ♣♥ts s♦s s
♦t♥s r♥t é♠♥t très ♣ ♥ ♦♥t♦♥ t♥s♦♥ r♥ t s♦♥t ♦rr ♠❱é
q ♣ ♥♦s s♣♦sts ♥s étt rt t ♦♣t♠st♦♥ tt ♣♥t s♦s s ♣t é♠♠♥t
♣ssr ♣r ♥ rt ♦r♠♥ s t ♣r ♥ ♥tt♦② ♣s ♣♦ssé s ♥♥♦s ♥t ♦①②t♦♥ ♦q
♥ s♦t tt r ♣♥t s♦s s ♥♦s ♣r♠t st♠r ♥sté s étts ♥tr à ♥r♦♥
♠❱ t♥s♦♥ s ♠sré st é♠♥t très ❱ st ♠♣♦rt♥t r ♥
t♥s♦♥ s s♥ q é♥♠♥t tr♥sst♦r ♥ésstr ♠♦♥s ♣ss♥ t ♦♥ ♥
♦♥s♦♠♠t♦♥ ♥ ♦♥t♦♥♥♠♥t ♣s r tt t♥s♦♥ s r rs très ♣
t♥s♦♥ r♥ ♦♥trr♠♥t ① ♣réé♥ts réstts ör t ❬❪ s r♥rs ①♣q♥t
♣é♥♦♠è♥ ♥ ♦rt ♥t♦♥ ♣♦rtrs ♠♥♦rtrs ♥s r s♣♦st ♣rt♣♥t é
t♥s♦♥ s ♥ ♦♥t♦♥ t♥s♦♥ ♣♦rst♦♥ r♥ ♥s qà ♠♥tt♦♥ ♦r♥t
♥s étt ♦qé ♣é♥♦♠è♥ t é♠♥t été ♦sré sr s s♣♦sts ts♥t s ♥♥♦ts
r♦♥ ❬❪ ♦♥♦♥s t♦t ♠ê♠ ♣rtrté r s♣♦st q ♣t s♦s ♦♥♥s ♦♥t♦♥s
♣♦rst♦♥ s ♦♠♣♦rtr ♦♠♠ ♥ tr♥sst♦r à ♦♥st♦♥ ♣r ♠♣t ♦♥t ♣♥t s♦s s s♥
sqà ♠❱é
♠♥èr é♥ér ♥ ♦♠♣r♥t ♥♦s s♣♦sts à ① ♣réé♠♠♥t résés ♥s ttértr ♥♦s
♦♥stt♦♥s q s ♣r♦r♠♥s q ♥♦s ♦t♥♦♥s s♦♥t ♣r♦s t ♥♦tr ♦♥♥ r ♣♥t
s♦s s ♥s q ♦rt ♥sté ♦r♥t ♠♦té ♣♣r♥t s ♣♦rtrs rst ♥é♥♠♦♥s
♠s st ♥ ♠t ss ♦♣t♠st♦♥ tt r ♣ssr ♣r ♠♥t♦♥ résst♥ ès
rt à ♦♥r ♥♦♥ ré ♥tr s♦♠♠t r t ♦♥tt r♥ ♥♥ ♥♦s ♦♥stt♦♥s
q ♣é♥♦♠è♥ ②stéréss ♣réé♠♠♥t ♦sré sr s tr♥sst♦rs ♣♥rs ♦rs ② ♥ t♥s♦♥
r été rstq♠♥t rét st ♣r♥♣♠♥t û à ♥r♦ s ♥♥♦s ♥s ♣♦②♠èr
♠♣ê♥t ♥s t♦t ♥trt♦♥ ♥r♦♥♥♠♥t ①térr ♣r♦
r♥rs ♣②sqs s ♣réé♥ts tr① r♣♣♦rtés sr s tr♥sst♦rs rt① à ♥♥♦s s②♥tétsés ♣r ♠é♥s♠ ❱
t ❬❪
♦rr❬❪
♠t t ❬❪
ör t ❬❪
tt ét❬❪
♦t♥t♦♥s s
❱ ❱ ❱ ❱ ❱
♦♥r ss
♠ ♠ ♥♠ ♠ ♠
♠ètr ss
♥♠ ♥♠ ♥♠ ♥♠ ♥♠
tér ❩♥ ♦♣ t②♣♥ t②♣♣ t②♣ ♣
♠
t②♣ ♥ t②♣ ♣ t②♣ ♥
♦♥r r
♥♠ ♥♠ ♥♠ ♠ ♥♠ ♠
♦♥r♥♦♥ ré
♠ ① ♥♠ ♥♠ ♥♠
♥♠
♦①② r
♥♠ SiO2
❱ ♥♠ SiO2
tr♠q ♥♠ SiO2
❱ ♥♠ SiO2
P❱ ♥♠ SiO2
tr♠qét r
♥♠ r r ♥♠ ♥♠ ♥♠
♥sté ♦r♥t
♠
à
♠
♣♥t s♦s s
♠❱é
♠❱é ≈ ❱é ♠❱é
♠❱é
tr♥s♦♥t♥ ♥ ♥ ❱♠♦té♣♣r♥t
♠❱s
♠❱s
♠❱s
♠❱s
t♥s♦♥ s ❱ ❱ ❱ ❱ ❱ION
♠♠♠
IOFF ♥ ♠♠
♣
ION/IOFF
Si0,7Ge0,3
♦♣t♠st♦♥ s ♣r♠ètrs r♦ss♥ st à r t ♥ ét t qqs é♥t♦♥s ♦♥t t♦t
♠ê♠ ♣ êtr tsés ♣♦r ♥tért♦♥ rt ♠ê♠ ♣r♦éé ♥tért♦♥ q s ♥♥♦s été
♠♣♦②é s rtérstqs étrqs ♦t♥s s♦♥t ♣rés♥tés ♥s r
r ♦r IDS −VDS ♣♦r ér♥ts t♥s♦♥s r s♣♦st ♥ ♦r IDS −VGS
♣♦r ér♥ts VDS s♣♦st ♥ ♦r IDS − VDS ♣♦r ér♥ts t♥s♦♥s r s♣♦st♥ ♦r IDS − VGS ♣♦r VDS ❱ s♣♦st ♥ ①trt♦♥ t♥s♦♥ s
♦s r♠rq♦♥s ♥s ♥ ♣r♠r t♠♣s q s ① s♣♦sts ♦♥t s ♦rs IDS −VDS s♦♥t ♣rés♥tés
♥ t ♥ s ♦♠♣♦rt♥t ♣s ♦♠♠ s ♦s à ♥str s tr♥sst♦rs rt① rts
s♣♦st ♥ ♣rés♥t ♥ rtérstq éèr♠♥t rrsss ♠s ♥ ♥ s ♥♦s ♥♦♥s r
à ♥ q♦♥q étt ♦q♥t q ♣♦rrt sr♥r ♣♦r ♥ ♣♦rté ♦♥♥é r♥ s♣♦st ♥
t♥ rs ♥ ♦♠♣♦rt♠♥t ♦♠q tt ♦♥sttt♦♥ ♦♥stt ♣r♠èr r♥ ér♥ ♥tr s
① ♠tér① tsés r♣♣♦rt ♦r♥ts ION/IOFF tt♥t ♥ ♠①♠♠ ♣♦r ♥ t♥s♦♥
r♥ ❱ q st ♦♠♣rs ① tr♥sst♦rs ♣♥rs ♣réé♠♠♥t rtérsés ♣é♥♦♠è♥
②stéréss ♦rs s♥ ♥ t♥s♦♥ r st é♠♥t très ♦rr ♠❱ q ♦♥trr♠♥t
① s♣♦sts ♦r③♦♥t① st ♥ très ♦♥♥ r t♥s♦♥ s st ♣♥♥t éé ♦s♥ ❱
ss s t♥s♦♥s ♦♥t♦♥♥♠♥t s♦♥t ♥♦r très ♦rts ♥ ♦♠♣rs♦♥ s tr♥sst♦rs à ♥♥♦s
♠ê♠ ♠♥èr ♣♥t s♦s s ♦♣t ♥ r éé ♥r♦♥ ❱é rèt ♥♦r
♥ ♦s ♠s qté ♥tr ♥tr ♥♥♦ t ♦①② r ❯♥ st♠t♦♥ ♥sté s
étts ♥tr ♥♦s ♦♥♥ ♥ r ♦rr ♠ ♠♦té ♣♣r♥t s ♣♦rtrs st
st♠é ♦♠♠ ♣réé♠♠♥t ♥s s s ♥♥♦s t ♥♦s ♦t♥♦♥s ♥ r ♦♠♣rs ♥tr t
♠❱s tt r st é♠♠♥t ♥çà ♥♦s s♣ér♥s t ♦♠♠ ♣♦r s tr♥sst♦rs à ♥♥♦
résst♥ ès st ss♣té êtr s ♠r ért♦♥ ♠♦té ♣♣r♥t s
♣♦rtrs
♦t♦♥s t♦t♦s q tt rést♦♥ st ♣r♠èr r♣♣♦rté ♥s ttértr ss ♥ ♦♠♣rs♦♥
♥st ♣♦ss s s♣♦sts ♥r ♦s ♣♦♦♥s ♣♥♥t ♥♦s ♣♦st♦♥♥r ♣r r♣♣♦rt ①
tr♥sst♦rs ♣♥rs éà résés ♣r ♥♦s s♦♥s t ♣r trs éq♣s t rés♠ ♥s♠ s
réstts ♦♥r♥♥t rést♦♥s à ♥♥♦s r♣♣♦rtés ♥s ttértr s♥tq ♦s
r♠rq♦♥s q s tr① ♣réé♥ts ♦♥t été tés sr s ♥♥♦s ♦♠♣♦st♦♥s ér♥ts s
♥ôtrs ♠♦té ♣♣r♥t s ♣♦rtrs ♥s s tr♥sst♦rs rt① st ♦rr r♥r
♦sré ♥s s tr♥sst♦rs ♣♥rs à r ♥t ♥r♦♥t ért s tr♥sst♦rs à r rrèr
s①♣q à ♦s ♣r ♣rés♥ ré♦♥s ♥♦♥ rés ♦♥ ♥♥♦ t ♥♦♥ r♦r♠♥t
♠♦♥s ♥ s ① ♦♥tts s♦rr♥ ♣r r ♥s s strtrs rts rrèr ♦tt② ♦
♦♥ ♥ rô ♣r♠♦r ♠♥èr é♥ér s ♣r♦r♠♥s ♦t♥s sr ♥♦s s♣♦sts t♥t ♣♥rs q
rt① r♥t étt rt t sr s ♥♥♦s
r♥rs ♣②sqs s ♣réé♥ts tr① r♣♣♦rtés sr s tr♥sst♦rs à ♥♥♦s ♠ t ❬❪
t ❬❪
❲♥ t ❬❪
tt ét tt ét tt ét❬❪
♦t♥t♦♥s s
❱ ❱ ❱ ❱ ❱ ❱
♦♥rt♦♥ P♥r r rrèr
P♥r r rrèr
P♥rrrrèr
P♥rr rrèrsré
P♥r♦ r
❱rt
♦♠♣♦st♦♥ Si0.5Ge0.5 Si0.5Ge0.5 Si0.85Ge0.15 Si0.7Ge0.3♦♥♥sé
Si0.7Ge0.3♦♥♥sé
Si0.7Ge0.3♦♥♥sé
♦♥r ss
♠ ♠ ♠
♠ètr ss
♥♠ ♥♠
♥♠ ♥♠ ♥♠ ♥♠ ♥♠ t
♥♠ ♥♠ t
♦♣ t②♣♥ t②♣♣
t②♣ ♥ t②♣ ♣ t②♣ ♣ t②♣ ♣ t②♣ ♣
♦♥r r
♥♠ ♠ ♠ ♠ ♠
♥♠
♦♥r♥♦♥ ré
① ♠ ⑦ ♠
♦①② r
SiO2 ♥♠ SiO2
tr♠qHfO2 ♥♠ SiO2
tr♠q ♥♠ Si3N4
♥♠ str♠q
♥♠ SiO2
tr♠q
ét ♦♥tt
Pt P
ét r
éé♥éré éé♥éré éé♥éré éé♥éré
♥♠
♥sté ♦r♥t
♠
♠ ♠
♠
♠
♣♥t s♦s s
⑦ ❱é
♠❱é ♠❱é ❱é ❱é
❱é
tr♥s♦♥t♥ ♥ ♥ ♥ VDS ❱
♠♦té♣♣r♥t
♠❱s
♠❱s
♠❱s
♠❱s
♠❱s
t♥s♦♥ s ❱ VT ❱
≈ ❱ ❱
ION ♥ ♥VDS
❱
⑦ ♥ ♥ ♥
♥ VDS
❱
IOFF ♥ ♥ VDS
❱
⑦ ♣ ♣ ♣ ♣
♣
ION/IOFF
IDS −VGS
VDS IGS − VGS
rés♥ ♥ ér ♦rrt s ♦r♠ ♥ ♦rr é♥t♦♥ ♥s ♦rs rr é♣ssr
rés♥ ♥tr é♥t♦♥ ♠r t♦♦rs ♣s q♥ ♦rr ♣♦r t ♦rs
rr r ♦r s rs ♣s ♦rts ♥tr é♥t♦♥ ♣é♥♦♠è♥ ♥♥r
♦♥ s s♣rs♦♥s ♣♦♥t étrq ♥tr s s♣♦sts tt s♣rs♦♥ ♥st ♦sré q
s ♦♥tt s♣érr st ♥ ♣rs sr t♦s s ♥♥♦s ♦r ♥ tr ♣r♦è♠ srt à tt ét♣
rr ♣♦②♠èr ♣r♠tt♥t ér à têt s ♥♥♦s st ss ♥♦♠♦è♥ sr
sr é♥t♦♥ rr ♦♥ réq♠♠♥t q s rs s rtr♦♥t ①♣♦sés ré♥t ♥s
♥ ♦rtrt ♦rs ♣rs ♦♥tt s♣érr à s♣rs♦♥ ♣r♦è♠ ♠r
♠♣ê t♦t♠♥t ♦♥ ♦♥t♦♥♥♠♥t s tr♥sst♦rs
tst♦♥ ♦♦ïs ♦♠♠ t②srs r♦ss♥ ♦♠♥é à tst♦♥ t♦r♣ ♦♣tq
♥ ♣r♠t ♣s ♦♥trôr ♣résé♠♥t ♥♦♠r ♥♥♦s ♣rés♥ts ♥s ③♦♥ r♦ss♥
♣♦r t ♦♥sér♠♥t ♠♦r ♦♠♣♦rt♠♥t s tr♥sst♦rs
♥ ♣r à s ♣r♦è♠s s s♦t♦♥s s ♣s é♥ts s♦r♥t à ♥♦s s♦♥t tsr à ♦s s
sstrts st♥rs ♠r♦étr♦♥q t ♦sr s ♥♥♦s râ à t♦r♣ étr♦♥q
r♥tss♥t ♥s ♥ ♠r ♦♥trô ♥♦♠r s ♣rés♥ts ♥s ré♦♥ r♦ss♥
♥ tr♥sst♦rs
sté ♥tért♦♥ rt ♥♥♦s été ♣♦r ♣r♠èr ♦s é♠♦♥tré ♥♦♠r
tr① ♦♠♣rs ♥ ♣r♠t ♣s s ♣♦st♦♥♥r ♣résé♠♥t sr ♦♠♥ ♥ ♦♥stt ♣♥♥t
q s ♣r♦r♠♥s tt♥s ♥ s♦♥t ♣s ♦t♥s ♥♦t♠♠♥t ♦♥r♥♥t ♠♦té s ♣♦rtrs t s
♣♥ts s♦s s ♣é♥♦♠è♥ ②stéréss t♦t ♠ê♠ été rstq♠♥t rét râ à ♥r♦
s s ♥s ♥ ♠tr ♣♦②♠èr
r♦ss♥ ♦sé s ♥♥♦s rst à ♠é♦rr ♠s s♠ ♥ t♦t s ♣s ♦♠♣① à
♠îtrsr ♣rès s ♣r♠rs sss tés ❯♥ ♣é♥♦♠è♥ ss♠♥t ♣ré♠tré s tr♥sst♦rs
été ♦sré t s éts s♦♥t ♥éssrs ♥ étr♠♥r s♦♥ ♦r♥ ♣②sq ❯♥ q s♠
♦♥tr ♦♠♣♦s♥t s s ♣♦rrt êtr s tt r♣tr
♦♥s♦♥ ♥tért♦♥ rt
♦s ♦♥s é♦♣♣é ♥ èr t♥♦♦q ♣r♠tt♥t tsr s ♥♥♦s t ♦♠♠ ♥①
♦♥t♦♥ ♥s s tr♥sst♦rs rt① é♦♣♣♠♥t ♦♥ssté à étr♠♥r ♣r♦ér
♣s ♣té ♣♦r ♦sr t②sr r♦ss♥ à é♦♣♣r s ♣r♦éés ♣r♠tt♥t résr ♥
r ♥r♦♥t ♦♥r ♦♥trôé sr s ss♠és ♥♥♦s à ♦sr ♠tér étrq
♣s ♣té ♥ s♦r s s♣♦sts à ♦s ♠♦♥ ①térr ♠s é♠♥t s♦r r t
tr ♦♥tt r♥ t ♥♥ à étr♠♥r ♠ét♦ é♣ôt ♣s ♣té à ♠étst♦♥ ♦♥tt
s♣érr
tt ♣r♦ér t♥♦♦q ♥s ♣r♠s rést♦♥ s♣♦sts à t ♠♣s s ♣rés♥t♥t
♦♥♥s rtérstqs q s♦♥t ♥ étt rt t ♦♠♣rs♦♥ s ♣r♦r♠♥s
s s♣♦sts rt① s s ♣♦sts ♣♥rs sèr q♥ ♠r ♠♥÷r ♠♣♦rt♥t
rst s♣♦♥ ♥ ♦t♥r s rtérstqs étrqs ♠r qté ♥♦♠rss ét♣s
t♥♦♦qs ♣r♠ttr♥t ♥ t ♦t♥r s ♣r♦r♠♥s ♥ ♠rs ♦♠♠ rt s ♦①②s
r s♦s t♠♦s♣èr rétr tst♦♥ ♦①②s ♥ ♦t♥r s é♣ssr éq♥ts
♦①② très s ♠s é♠♥t ♥ ♠♥r t tr♠q ♣r♦éé ♥tr tst♦♥
sstrts ♣s r♥ t ♥s t ♦♠♦é♥ésr s ♦♠♣♦rt♠♥ts s tr♥sst♦rs
♣tr
♦♥s♦♥ é♥ér
tt ét s é♥t ① r♥s ♣rts
♥tért♦♥ ♣♥r t rtérst♦♥ étrqs ♥♥♦s t
♥s tt ♣rt ♥♦s ♦♥s ♠s ♥ ♣ ① ♠ét♦s t♥♦♦qs ♥♦s ♣r♠tt♥t résr s
tr♥sst♦rs à r rrèr ♦ à ♦ r ♥ r ♥t ♣rt♠♥t ♥r♦♥t ♣r♦éé
rést♦♥ r ♥t ♥r♦♥t ♥ésst tst♦♥ ♥ rr ♠q q ♣♦rrt à tr♠ êtr
r♠♣é ♣r ♥ rr sè ♥ résr s s♣♦sts à ♥① ♦rts
♦s ♦♥s ♣ ♠ttr ♥ ♥t té q r♣rés♥t ♦♣t♠st♦♥ s ♦♥tts à trrs ♣r♦éé
srt♦♥ s ♥♥♦s té ♣r♥♣ ét♥t ♦♥trô ♦♥r sr ♦r♠é q é♣♥
rt♠♥t ♠ètr s ♥♥♦s tt é♣♥♥ été ♦sré ♣♦r s ① ♠tér① étés t
qst♦♥ s ♣♦s ré ♥éssté ♦♥trôr ♦♥r ♥ râ à srt♦♥
♦♥trô ♥ sèr ♣s ♥s♣♥s sr ① tsr rt♠♥t ♥ sr ♦♠♠ ♦♥tt ♥
étr ♣r♦♣t♦♥ ♥ ♥s s ♥♥♦strtrs t ♥s r♥tr ♥ ♣s r♥ r♣r♦tté
s ♣r♦éés
srt♦♥ s ♥♥♦s ♠s ♥ é♥ ♥ ♣é♥♦♠è♥ sérét♦♥ r♠♥♠ ♥ rs♦♥
s ér♥s ♥tr s é♥rs ♦r♠t♦♥ sr ♥ t r♠♥r ♥ ♥s s
♦♥t♦♥s s♣éqs ♥♦s ♦♥s é♠♥t ♦sré ♥ s♦♥ ♠♣♦rt♥t ♥ ♥s♥t r♣tr
♦♥t♦♥ étrq ♥s s ♥♥♦s t ♦♥ ♣ré ♦♥ ♦♥t♦♥♥♠♥t s s♣♦sts
♦s ♦♥s ♣ rtérsr s ♥♥♦s t ♥ s ts♥t ♦♠♠ s tr♥sst♦rs à t ♠♣ s
rtérstqs s s♦♥t érés êtr à étt rt ♥tr♥t♦♥ ♦♥r♠♥t à ♦s qté s ♥♥♦s
♠s é♠♥t ♣rt♥♥ sé♠ ♥tért♦♥ tsé s ♠♦tés t ♠❱s♣♦r s
tr♦s ♦♥t été ♠srés rs♣t♠♥t sr s s t
❯♥ ♣é♥♦♠è♥ ②stéréss ♦rs ② ♥ t♥s♦♥ r été ♦sré t ♥♦s ♦♥s ♣ r ♥
♥tr t t t ♥tr sr s ♥♥♦s ♦s ♦♥s é♠♦♥tré q♥ ♦①② é♣♦sé ♣r
♦ ♥ ♦①② tr♠q ♣r♠tt♥t t♦s s ① ♠♥r t t s ♥stés ♣ès ♥ts r♥t
♥tr ♠ ♣♦r s s♣♦sts ♦rts ♦①② t tt♥♥t sqà ♠ ♣♦r s s rts
r♦ss♥
♦①②t♦♥ tr♠q s ♥♥♦s é♠♥t ♠s ♥ ♥t ♥ ♣é♥♦♠è♥ ♥rs♦♥ ♦♣ ♣♣
r♥t s ♥♥♦s q ♣ êtr ré à ♥ ♦♥t♠♥t♦♥ ♣r s ♠♣rtés ♦♣♥ts ♥s ♦r r♦ss♥
tés ♦rs rt tr♠q s ♥♥♦s ♦s ♦♥s é♠♥t ♣ ♠ttr ♥ ♥t ♥♥ t
♠♦s♣èr rt sr ♥rs♦♥ ♦♣ s ♠♣rtés ♦♣♥ts s♦♥t é♠♥t ss♣tés êtr
s s ♣é♥♦♠è♥s ②stéréss ♦srés ♥s s ♥♥♦s ♦①②és s ♠♣rtés s♦♥t ♥ t ♣éés ♥s
♦①② tr♠q t ♣rtr♥t ♥s ♦♥trô étr♦sttq r
s ♥♥♦s ♦♥t ♥♥ été tsés ♥s s tr♥sst♦rs à ♦ r ♣r♠tt♥t é♦♣r s ts
r rrèr q ♦♥trô ♠♦rtr♠♥t s ♦♥tts r ♥t q ♦♥trô ♥sté s ♣♦rtrs
♥s ♥
♦s ♦♥s ♥♠♥t ♣ ♠ttr ♥ ♠èr ♥ ♣é♥♦♠è♥ sérét♦♥ r♠♥♠ ♥s s ♥♥♦s
♦rs r ♦①②t♦♥ tr♠q ♦♥s♥t à ♦r♠t♦♥ ♥ étér♦strtr ♥tr♥ ♣r♦♣
♦♥♥♠♥t s ♣♦rtrs ♥ sr ♥♥♦ à ♥tr ♦①② tr♠q
s réstts ♥♦s ♦♥t ♣r♦é ♣♦ssté tt♥r s rtérstqs étrqs ♦♥♦rs ♥s s
♦♥rt♦♥s é♦♠étrqs s ♠♦♥s ♦rs ss ♥tért♦♥ rt ♣t êtr ♥sé ♥ s♣ér♥t
♦t♥r s ♣r♦r♠♥s s♠rs
♥tért♦♥ rt t rtérst♦♥ étrqs ♥♥♦s t
❯♥ très r♥ ♣rt tt tès ♦♥ssté à é♦♣♣r ♥ ♣r♦éé ♥tért♦♥ s ♥♥♦s ♣♦r s
tsr ♦♠♠ ♥① ♦♥t♦♥ ♥s s tr♥sst♦rs rt① s tés ♥ér♥ts à ♥tért♦♥
♦♥t été ♦rés t s s♦t♦♥s t♥♦♦qs ♦♥t été ♣r♦♣♦sés ♦♥s♥t ♥s à rést♦♥
tr♥sst♦rs rt① à ♥♥♦s t
s tr♥sst♦rs rt① à ♥♥♦s ♣rés♥t♥t s rtérstqs à étt rt ♥tr♥t♦♥ s
♣♥ts s♦s s ♠❱é t s r♣♣♦rts ION/IOFF ♦rr ♥rs♦♥ ♦♣ st
♦sré ♠ê♠ ♠♥èr q ♣♦r s s♣♦sts ♣♥rs ♥q♥t ♣rés♥ ♥ r♥ q♥tté
♠♣rtés ♦♣♥ts ♥s s ♥♥♦s ♣é♥♦♠è♥ ②stéréss été rstq♠♥t ♠♥é ♦♥♦rt♥t ♥♦s
♦srt♦♥s sr ♥♥ ♥r♦♥♥♠♥t ♣r♦ s ♥♥♦s ♣s ♥ ♠♦t♦♥ t♥s♦♥
♥ été ♦sré ♦rs ② ♥ t♥s♦♥ r♥ ♥ ♣♦rst♦♥ rt s s♣♦sts s ♦♠♣♦rt♥t
♦♠♠ s ♦s ②♥t ♥ tr qté t ♦♥t résst♥ sér ♣ êtr ♠sré à ♥r♦♥
Ω
tt t♥♦♦ ♥tért♦♥ é♠♥t été ♣♣qé ① ♥♥♦s t ♣r♠t résr s ♣r♠rs
s♣♦sts ♥r s♥t ♥s étt rt ♥tr♥t♦♥ s r♣♣♦rts ION/IOFF ♥r♦♥ ♦♥t été
♠srés s ♣♥ts s♦s s ♥t sqà ❱é ♠ê♠ ç♦♥ q ♣♦r s tr♥sst♦rs
rt① à ♥♥♦s ♣é♥♦♠è♥ ②stéréss été rét râ à ♥r♦ s ♥♥♦s ♥s ♥ ♠tr
♣♦②♠èr
s♦t ♣♦r s♠ ♦ s ♠♦tés s ♣♦rtrs ♠srés s♦♥t très s t s
♥stés ♣ès à ♥tr ♥♥♦♦①② très éés t ♠♥r♦♥t ♦♥ à êtr ♦♣t♠sés ♥s
tr
♥ s♦♠♠ ♥♦s ♦♥s été s ♣r♦♣rétés tr♥s♣♦rt ♥s s s à ♥♥♦s t t ♦♥s ♣
résr s tr♥sst♦rs rt① sr sstrts s♠ ts♥t s ♠ê♠s ♥♥♦s ♦t é♦♣
♣♠♥t ♥ ♣r♦éé ♥tért♦♥ ♦♥ été tt♥t t ♣♥♥t s♦♥r q ♦♠♣tté
♥ ♥ ♣s ♥♦r été ♦t♥ t ♥ésstr ♥♦r s é♦♣♣♠♥ts
♦s ♦♥s ♣ r♥t ♥ tt tès étr s éts ♦♥r♥♥t ♦♣t♠st♦♥ s ♠tér① t
♣r♦éés ♥ ♠é♦rr r♥♠♥t t s ♣r♦r♠♥s s s♣♦sts ♦s ♥♦s s♦♠♠s ♦♥♥trés
sr s s♣ts s♥ts
s♣t t tr♠q ♦rs ♥tért♦♥
♠♥tt♦♥ ♥♦♠r s♣♦sts s
♦♠♣tté s ♣r♦éés ♠r♦étr♦♥q
♣tr s♥t sr ♦♥sré à s éts ♥ s♦♥t ♣♦r ♥st♥t q s ♣ré♠s st♥és à êtr
♠é♦rés ♠s ♥ s s♦ été éé t ♣srs ♣r♦é♠tqs ♦♥t ♣ êtr s♦és ♦s ♦♥♥r♦♥s
é♠♥t s ♣sts q♥t ① ♠♦②♥s t ♠ét♦s ♥éssrs ♣♦r rés♦t♦♥ s rr♦s t♥♦♦
qs
♣tr
Prs♣ts ♥tért♦♥ ♥
♥tr♦t♦♥
s ♣r♦éés ♥tért♦♥ q ♥♦s ♦♥s é♦♣♣é r♥t tt tès ♦♥t ♣r♠s é♦rr t rté
rsr s tr♥sst♦rs rt① à ♥♥♦s ♣♥♥t s tr♥sst♦rs ts♥t ♥♦r sstrt ♥ s♠
♦♠♠ s♣♣♦rt r♦ss♥ ♥ ♦①② tr♠q ♦♠♠ ♦①② r t ♥ ♠tér ♣♦②♠èr ♦♠♠
étrq s♦t♦♥ s tr♦s ♣♦♥ts ♣♦s♥t ♥ ♥ ♣r♦è♠ ♥ s♣éq sstrt rst♥ st
♠♣♦ss à ♦r♥r ♥s s ét♣s ♥ s♥s ♦r r♦rs à s t♥♦♦s ♦♠♣①s ♦ ♥♦s
♦♥s ♦♥ ♦r é♠♦♥trr sté ♥ t t♥♦♦ sr ♥ sstrt ♠♦r♣ t ♣s ♣rtè
r♠♥t sr ♥ sstrt ♠étq tst♦♥ ♥ ♦①② tr♠q rqrt ♥ t♠♣értr ♠♥♠♠
♦r ♦♠♠ ♥♦s ♦♥s ①♣qé ét tt tès t tr♠q s ét♣s ♥ st
r ♦♥ s♦♥r à tsr ♥ tr ♠tér ♦♠♠ étrq r ♥♥ ♠tér
♣♦②♠èr ♥ s♣♣♦rt ♣s s t♠♣értrs rqss ♣♦r srt♦♥ s ♦♥tts q ss ♥♦r
♣s t tr♠q éà rt♠♥t s ♦s r♦♥s ♦♥ tsr ♥ ♠tér s♣♣♦rt♥t s ♠♦♥
tés ♥ t♠♣értr s♥s ♣♦r t♥t étér♦rr s s♣♦sts r ♣tr st ♦♥sré ① ♣ré♠s
é♦♣♣♠♥t ♥ t♥♦♦ ♦♠♣t s ét♣s ♥
r♦ss♥ s ♥♥♦s
♦♠♠ ♥♦s ♦♥s ♥s ♣tr éé à t♥♦♦ ♥tért♦♥ rt ♥ r♦s tr été
té sr ♣r♦é♠tq ♦st♦♥ t②sr ♦s ♦♥s à tr♠ é♥ q s♦t♦♥ ♣s
♣♣r♦♣ré ♦♥sstt à tsr t♦r♣ étr♦♥q ♦♠♠ ♠♦②♥ ♣♦st♦♥♥♠♥t t②sr
r♦ss♥ à ♦st♦♥ étr♠♥st s ♥♥♦s tt ♠ét♦ ♥♦s ♣r♠t é♠♥t ♦r
♥ ♣♦♥t r♦ss♥ ♥s♥t ♥ ♠♦rté ♥♥♦s rt① ♦s ♦♥s ♥s ♥ ♣r♠r t♠♣s ♥♦s
♥térssr à ♥ ♠ét♦ ♥♦s ♣r♠tt♥t s♦r s strtrs s♥s ♦r à tsr ♥ ♣♦②♠èr ♥s t
♥ ♣♦♦r ♣r♦ér à srt♦♥ s ♥♥♦s
SiO2
SiO2 Si3N4
SiO2
r ♠s ♥♥♦s ♣♥rsés ♣rès ♥r♦ ♥s ♥♠ t ♠ ♦①② s♠ P❱
♣♥♥t é♣ssr rst♥t ♦rrs♣♦♥ ♣♣r♦①♠t♠♥t à é♣♦sé ♥♠ ♣♦r é♣ôt
♠ t ♥♠ ♣♦r é♣ôt ♥♠ ♥ ♣t ①♣qr ♥ ♦♥sér♥t q ét ♣♦ss s
♥♥♦ é♣ss♥t sstrt r ♥r♦ ♦①② ét rr ♣ ①r ♥ ♣rss♦♥
♦♥♥é q st ♦♠♥t très ♦rt sr s s à s sr ♦♥tt ♠è♥ ♥s à
r♣tr s strtrs ♣ ♦♥t♥ ♥st ♣♦ss ♠s ♥ sr ♣s ♦♠♦è♥ t ♣♥rs
♦♥ ♥s♠ é♥t♦♥ ♥ ♥ é♣ssr ♠♦♥r q ♣ré st ré st à ♥♦tr
q♣rès ♣♦ss ♥ ré♦♥ ♣s♦ï ♥t♦r♥t ♥♥♦ s♠ sêtr ssé st ♥ t ♦①②
é♣♦sé t♦r ♥♥♦ tt ré♦♥ st é♠té ♣r s s ♣rés♥ts ♦rs é♣ôt P❱
r ♠s ♠tt♥t ♥ é♥ ♣é♥♦♠è♥ ss♠♥t ♦①② à ♣r♦①♠té s♥♥♦s sss ♥ ♦♣
♣é♥♦♠è♥ éà été ♦sré ♥s trs tr① sr ♣♦ss ♥♥♦s r♠♥♠ ❬❪ ♥
①♣t♦♥ r ♦♥r♥♥t t ♣é♥♦♠è♥ ♥st ♦♥♥é ♠s ♦♥ ♣t ♣♥sr q ♦rs rr s
♦♦ïs s s♦♥t ♣éés t♦r s t ♥t♥t ♥s rtrt ♦①② ♥s tt ré♦♥ tt
srrr ♣♦r rsq ♠♣êr ♦♥t♥té étrq ♦♥tt s♣érr ♣♦r étr r
♦♥ t♦♦rs ♣r♦ér à ♥ é♣ôt ♣r ♣érst♦♥ t♦q ♥ r♥tr ♣rés♥ ♠ét sr s
♥s
♣♦♥t ♣♦st st q s s s♠♥t ♦r réssté t ♥ érr rtt ♥♦s r♦♥s
♥tèr♠♥t ♦ ♦①② ♥s ♥ ♥ ♦s ♦sr♦♥s ♣rès rtrt ♦①② ♥ ♠♣
♥♥♦s tr♦♥qés à r s♦♠♠t ♠s t♦♦rs s♦rs sstrt
r ♠s ♥♥♦s ♣♥rsés ♣r P ♣rès rtrt ♦①② ♥r♦ s é♣ssrs♦①②s ét♥t rs♣t♠♥t ♠ t ♥♠
r rt♦♥ é♣t① r♥r ♦♠♥é à ♥ ♥r♦ t♦t ♥s ♦①② r ♣r♠t ♦♥ ♣ssr
é♣r ♣♦ss
♣♦ss ♠é♥♦♠q ét♥t ♣té à ♣♥rst♦♥ ♥ ♠♣ ♥♥♦s ♥♦s é♦♥s ♦♥
♣r♦ér ♠ê♠ sr s ♥♥♦s ♦♠♣♦rt♥t ♥ r ♠étq ♣s ♠étsr ♦♥tt s♦♠♠t
♣rs ♦♥tt ♣rès P
♥ tstr ♥♦tr ♣r♦éé ♥tért♦♥ s♥t ♥tr♥r P ♥♦s ♥r♦♦♥s ♥s ♥ ♦①② ♠
é♣ssr s ♥♥♦s ♠ ♦♥ sr sqs ♥♦s ♦♥s ♣ré♠♥t é♥ ♥ r ♠étq
♥ ♠♥♠ ♥r♦♥ ♥♠ ♦s ♣r♦é♦♥s à ♥ ét♣ ♣♥rst♦♥ ♣s à ♥ rr
♥ és♦①②r s♦♠♠t s ♥♥♦s ♦s é♣♦s♦♥s ♥st ♥ ♣r é♣♦rt♦♥ ♠ t ♥♥
♠♥♠ ♣r ♣érst♦♥ t♦q r♣rs ♦♥tt r s t ♣r rr sè ♦s
rtérs♦♥s ♥♥ étrq♠♥t s s♣♦sts
s rtérstqs IDS − VDS s♦♥t ♣rés♥tés ♥ r s ♥① ♦r♥t ♠♥t♥t ♦rsq
t s ♠♦ts ♠♥t ♦♥ st♠ ♥ ♦r♥t ♣ss♥t ♥s ♥ ♥♥♦ ♥ s♣♣♦s♥t q
t♦s s ♥♥♦s s♦♥t ♦♥ttés ♦♥ ♦♥stt q s♣rs♦♥ ♠sr s♥t ♦rsq sr s
♠♦ts ♠♥ ♣r♦è♠ rté st ♥té ♣♦r s ♣♦ts ♣tts ♠♥s♦♥s ♣♦r s rs♦♥s
é♥ts ss ♥♦♠r ♥♥♦s ♦♥ttés ♥s ♣♦r ♥ ♣♦t ① ♠ ♥ ♠s ♦♥♥①♦♥
sr ♥ é♥èrt ♥ ♥♠♥t ♥s ♦r♥t t♦t s♣♦st q ♥t ♥ r♣♣
s ♦rs q ♣♦r ♥ ♣♦t ♣s r♥ ① ♠ ♦♥t♥♥t à ♦♥t♥r tt ♦srt♦♥ ♦♥r♠ ①
♣♦♥ts ♦t ♦r ♠♣♦rt♥ ♦r ♥ r♦ss♥ ♦♥trôé ♣r♠tt♥t ♦t♥r ♥ ♣♦♣t♦♥
s ♠ê♠ ♦♥r t ♥s s ♦♥ttr t♦s à ♦s ♥st ♥éssté trr sr s
r♣♣s s ♥ ♠♥♠sr rté s ♦♠♣♦rt♠♥ts s s♣♦sts
VDS
IDS − VDS
IDS − VDS
ré♣♦♥r ① ①♥s rst♥té t rtté q ♥♦s rr♦♥s ❬ ❪ ♣♥♥t très ♣
éts trt♥t r♦ss♥ à ss t♠♣értr sr sstrt ♠♦r♣ ♣♦♥t ♣s r r♦tr
sr rst ♥s s ét♣s ♥ st ♠♣ért ♦t♥r s s rst♥s t rt① é♠♥t
sr ♠ét ért ♣r♦è♠ st q ♠ sr ♥tr♥♥t ♥s r♦ss♥ t②sé s
♥♥♦s ♥st ♣s ♠ê♠ s♦♥ q ♦♥ ts s♠ rst♥ ♦ ♠ét ♦♠♠ sstrt t ♦♥
é♦♣♣r ♥ r♦ss♥ ss t♠♣értr rt♠♥t sr sstrt ♠étq ♥s ♥ ♣r♠r t♠♣s
♥♦s ♦♥s tsé ♥ ♦ ♦r ♥♠ é♣ssr é♣♦sé sr ♥♠ ♥trr tt♥ ♦♠♠
t②sr ♥trr tt♥ ét♥t ♥ ♠tér r♠♥t tsé ♥s s ét♣s ♥ s ♦♠♣tté
♥ ♣♦s ♥ ♣r♦è♠
r♦ss♥ ♥♥♦s sr
r é♠♦é
s ♥♥♦s s♦♥t s ♣s ♣r♦♠ttrs r st ♣s s s②♥tétsr à ss t♠♣értr q
s s ♦s ♦♥s t♦t ♠ê♠ t♥té sr ♥ ♣r♠r ss r r♦tr s ① t②♣s ♠tér①
à ♣rtr ♥ ♦ ♦r é♠♦é é♣♦sé sr ♦ st é♣ss ♥r♦♥ ♥♠
♥ r♦sté r♠s ♠sré sr ♥ ♠♣ ♠ ♥r♦♥ ♥♠ s ♦♥t♦♥s r♦ss♥ s♦♥t s
s♥ts
♥♥♦s s♠ s♠ ♦rr
♥♥♦s s♠ s♠ s♠ ♦rr
s ♦♥t♦♥s st♥rs ♦♥t ♣r♠s s②♥tétsr ♣r♠r ss s ♥♥♦s sr sstrt ♠étq
♠♠♥t ♦♠♠ ♥ rt♦♥ é♣t① ♥ ♣t ♥tr♥r ♥s ♣r♦sss r♦ss♥ t
♥tr ♠♦r♣ sstrt s ♥♥♦s ♣♦ss♥t ♥s t♦ts s rt♦♥s ♣♦♥t ♣♦st à s♦♥r
st t q s s ♣rés♥t♥t ♣ ♥♠♥ts rt♦♥ r♦ss♥ ♥♦s ♣r♠ttr ♣r
st ♦♥♥r s ♣sts q♥t ♠♦②♥ r r r♦ss♥
r ♠s ♥♥♦s t rs sr ♥ ♦ ♠♥ ♥♠ ♦r♦♠♠ t②sr ès P Pr
s ♣r♠rs réstts s♦♥t très ♥♦r♥ts r ♥♦s ♥♦♥s é♠♦♥trr ♣♦ssté ♦t♥r s
♥♥♦s à ss t♠♣értr s♠ t s♠r♠♥♠ sr ♥ ♠ét ♥ érr s s
♥♥♦s ♣♥t êtr é♥t♠♥t tsés ♦♠♠ rqs s ♥tért♦♥ ♥♦s é♦♥s
t♥tr ♥ r♦ss♥ ♥♥♦s sr ♣♦ts ♦r ♦sés
r♦ss♥ ♦sé
♦s ♣r♦é♦♥s ♦♠♠ ♥♦s ♦♥s ♥s ♣tr ♣réé♥t à é♥t♦♥ ♣♦ts ♦r ♥♠
é♣ssr ♣r t♦r♣ étr♦♥q sr ♥ sstrt s♠ ♦rt ♣r ♥ ♦ ♥♠
r♦ss♥ st résé ♥s s ♠ê♠s ♦♥t♦♥s q ♣réé♠♠♥t ♣♦r ① t♠♣értrs ér♥ts à
s♦r t ♦♠♠ ♥♦s ♦♥stt♦♥s sr r t♠♣értr ♣r♠t
♠① t②sr r♦ss♥ ♥ t q ♣♦t ♦r ♥t t②s ♦♥trr♠♥t à ♦ù ♦♣
t②srs ♠r♥t ts qs sr sstrt s éts s♦♥t t♠♥t ♥ ♦rs ♥ ♦♣t♠sr
♠①♠♠ s ♣r♠ètrs r♦ss♥
r ♠s ♥♥♦s rs sr à ♣rtr s ♣♦ts ♦r ♦sés ♣♦r s t♠♣értrs t ès P Pr
♦♠♠ ♣♦r ♦r é♠♦é s s ♣♦ss♥t ♥s t♦ts s rt♦♥s t s♦♥t très ♣ ♦és rts
r♦ss♥ ♥st ♣s rt ♠s strtr s s st très ♣r♦♠tts t ét♥t tsr s
♦ts ♦♠♠ tr♥sst♦rs rt① ♥♦s é♦♥s t♥tr s rtérsr étrq♠♥t P♦r ♥♦s
♦♥s s♠♣♠♥t é♥r ♥ ♦♥tt s♣érr t ré♣érr ♦♥tt ♥érr sr ♦ ♦s
♥tsr♦♥s q é♥t♦♥ s②♥tétsé à ♥ ♠①♠sr ♥♦♠r s ♦♥ttés
rtérstqs étrqs s rs sr
♥ rtérsr étrq♠♥t s ♥♥♦s rs sr s r♥rs ♦♥t été ♥r♦és ♥s ①
♦s ssss ♣♦②♠èr ❯ s ♥ rr ♣s♠ ♦①②è♥ ♣♦r ♥ ér s♦♠♠t
♣rès ♥ ♥ ♥♦s ♦♥s é♣♦sé ♥♠ tt♥ ss ♥♠ ♦r ❯♥ t♦r♣ ♦♣tq
♥♦s ♣r♠s é♥r s ♣♦ts rés♥ sr♥t ♠sq à rr ♠ ♦r t tt♥ résé
rs♣t♠♥t ♥ ♥ s ♥ ♥ ❯♥ r♥r ♣s♠ ♦①②è♥ srt à rtrr
à ♦s ♠sq ♥ rés♥ t à rr ❯ ♥ ts♥t ♦♥tt s♣érr ♦♠♠ ♠sq ♣♦r
tt♥r ♦ ♥trré
VDS
s tr♥ts à ♦r
♦♥ s♦t t♦t♠♥t s♣♣r♠r ♦r s ♣r♦éés t②s t ♦rs r♦rr à ♥ tr ♠tér
♣r♠tt♥t résr r♦ss♥ s ♥♥♦s r t ♣srs ♥tr ① s♦♥t ♥sés
♦s ♦♥s rè♠♥t érr s réstts ♦t♥s sr s ♠tér① ♥s q s ♦♥tr♥ts és à r
tst♦♥
Pt♥ ♣♠ ♦t t ♥
s qtr ♠ét① s♦♥t rr♦♣és ♥s♠ r s ♣rés♥t♥t ♥ ♠é♥s♠ r♦ss♥ ér♥t s②stè♠
♥ t ♦rs q t②s ♣r ♦r st ♦t♥ à ♠é♥s♠ ❱ t②s ♣r s qtr
♠ét① st ♦t♥ ♣r ♠é♥s♠ ❱ ♣♦r ❱♣r♦♦ s♣été ♠é♥s♠ st q
t②sr ♠r ♥s étt s♦ r♥t r♦ss♥ t s♣t ♣♦ssè ♥t ♠♥r s
♣r♦rs s♦♥ s ♠ét① sr sr ♣r ♦♥tr s ♥♦♥é♥♥ts ♦♠♣♥♥t ♠é♥s♠ t
♥♦t♠♠♥t t t t♣r♥ t t s trt ♣r é♣ôt ♠♣♦rt♥t ♠♦♠♥t r♦ss♥
♦♥ s ♥s s ♥♥♦s s s ♣rés♥t♥t ♦♥ ♥ ♦r♠ ♦♥q t ♥♦♥ ②♥rq ♣s
rtté s strtrs st à ♦t♥r q st ♣ré ♣♦r ♥ ♦♥♥ ♥tért♦♥
r♥r ♣♦♥t rstrts ♣♦r r tst♦♥ ♥s s ♥① ♥ rés ♥s t t♠♣értr
♥éssr ♣♦r ♦t♥r t②s q st ♦rr t é♣ss ♦♥ t tr♠q ①é
❯♥ tr ♠tér très ♣r♦♠ttr ré♠♠♥t été ♣r♦♣♦sé ♣♦r r♠♣r ♦r r
r
r st ♥ ♠ét éà très r♠♥t tsé ♥s s t♥♦♦s ♠r♦étr♦♥q st t
♠tér q ♦♥stt s ♥s ♠étqs ♥tr♦♥♥①♦♥s ♥ q ♠ét s♦t é♠♥t ♥ ♣♦s♦♥
♣♦r ♠r♦étr♦♥q ♥♦♠rss éts ♦♥t ♣r♠s é♦rr s rrèrs ♠♣ê♥t s s♦♥
♥s s ♥① r♦♥t♥ t②s st é♠♥t ♦t♥ ♣r ♠é♥s♠ ❱ q ♣r♠t ♦t♥r
♥ ♠ètr ♥♥♦s ♦♥st♥t r♥t r♦ss♥ s ♥② ♣s ♣rt t②sr t r♦ss♥
s♥t ♣r♦è♠ ♣r♥♣ rés ♥s ①st♥ ♥ ♦①② ♥tr ♠ét été ré♠♠♥t
♠♦♥tré ♣r ♥r t ❬❪ q tst♦♥ r ♥ t♥t q t②sr ♥étt ♣♦ss q♥ rés♥t
♥ és♦①②t♦♥ ♥st st ♥t r♦ss♥ tt t♥q ♥ésst ♦♥ ♦r ♥ ♠♥
❱ éq♣é s ③ ♣r♠tt♥t rér ♦①② r
r st ♦♥ ♥t ♣s ♣r♦ ♣♦r r♠♣♠♥t ♦r ♥ t♥t q t②sr
r♦ss♥ s ♥♥♦s s ♥t r♠♣r t②sr st ♠♣♦rt♥t ♣♦♦r q♥tr ♥♥
♦r sr ♦♠♣♦rt♠♥t étr♦♥q s ♥♥♦s s♠ ♦s ♦♥s ♦♥ és♦r♠s ♥♦s ♥térssr
① éts éés à tt té♠tq
♥♥ ♦r sr ♦♠♣♦rt♠♥t étr♦♥q s ♥♥♦s
tst♦♥ ♦r ♦♠♠ t②sr à r♦ss♥ s ♥♥♦s ♥♠♣q ♣s ♥éssr♠♥t ♣rés♥
♦r ♥s ♠ rst♥ s s s éq♣s ♦♥t t♦t ♠ê♠ ♠♦♥tré ♣r s ♠srs s♦♥
t♦♠♦r♣q t♦♠q t♦♠Pr♦ q♥ q♥tté ♠♣♦rt♥t ♦r ♠rt ♥s s s ♣rès
r♦ss♥ s♥ ♠ê♠ ♦♠ s s tt q♥tt♦♥ ♥ ♣♥♥t ♣s ♠s ♥ ♠èr s ts
sr s ♣r♦♣rétés étrqs s s ♥t és♦r♠s q ♦r st ♥ ♣rés♥t ÷r s s ♦♠♠♥t
♦♥♥tr ♥♥ ♠tér sr s ♣r♦♣rétés s strtrs é♦rés ① éts rss♦rt♥t q♥t
à ♠s ♥ é♥ t ♦r sr s ♥♥♦s
s tr① ♠ ❬❪ ♦♥r♥♥t ♣♦t♦♠♥s♥ s ♥♥♦s s♠ ♠s ♥ é♥
① ♣♦♥ts ♠♣♦rt♥ts ♥t rtrt t②sr s s♣trs ♣♦t♦♠♥s♥ ♠tt♥t ♥
é♥ ♥ ♦♠♣♦s♥t rést♥t ♣rés♥ t②sr sr s ♥s s ♥♥♦s ♣♥♥t
♣rès rtrt t②sr ♥ ♣s ♥s étr♦♥str♦s été ♦sré tt ♣s st ♥ ♣r
r♥ qté étr♦♥q s ♥♥♦s ♣s tt ♣s été ♦sré ♣♦r s s t②sés
r t ♦r ♥s ♣r♦ q qté étr♦♥q s ♥♥♦s st s♠r s♠ ♠ss
tsé ♥s ♥str ♠r♦étr♦♥q s réstts ♣r♦♥t ♦♥ q ♦r ♥ ♣s ♥♥
♠r sr ♦♠♣♦rt♠♥t étrq s ♥♥♦s
s tr① ♠ t ❬❪ ♦♥r♥♥t rést♦♥ ♦s t♥♥ à s ♥♥♦s s
♥♥♦s ♦rt♠♥t ♦♣és ♥ ♦♥t été rs sr ♥ sstrt rst♥ s♠ ♦rt♠♥t ♦♣é ♣
sstrt ♥st été ré t s ♦♥tts ♦♥t été ♣rs ♣ t s♦♠♠t s ♥♥♦s s ♦s
t♥♥ ♦♥t ♥s été ♦t♥s ♣rés♥t♥t très ♦♥♥s rtérstqs étrqs s ♠srs
♦♥t♥ s♦s ♦rt ♣♦rst♦♥ t à ss t♠♣értr ♦♥t é♠♥t ♣r♠s s♦♥r
s étts é♥r s ♠♣rtés ♣♦t♥t♠♥t ♣rés♥ts ♥s s s ♥ s♥tr s ♣ès
♣♦♥t êtr ♥ts ♣r ♦r ♥ été étté s trs ♥♥♦♥♥t ♦♥ q ♥sté s t♦♠s
♦r ♣rés♥ts ♥s ÷r s ♥♥♦s ♥①è ♥ ♥ s ♠
♦s ♣♦♦♥s ♦♥r ① ♦ss ♠♣♦rt♥ts ♥ s s♥t sr s éts ♦t ♦r ♦r st très
rt♥♠♥t ♣rés♥t ♥s ÷r s ♥♥♦s ♠s à s ♥stés ss♠♠♥t s ♣♦r ♥ ♣s ♥r
♠♦t♦♥ ♠r ♥s s ♣r♦♣rétés étr♦♥qs rst s♠ ①è♠♠♥t ♦srt♦♥
♥ ♣s ♦♥♥sé étr♦♥str♦s r♣♣♦rté ♣r ♠ t ♦♥r♠ très ♦♥♥ qté rst
♦♥stt♥t s ♥♥♦s
♥ s♦♠♠ ♦r st ♥ ♣♦♥t ♥s ♦♠♥ s ♠r♦t♥♦♦ ♥ rs♦♥ s é♥rs s étts ♣ès
q ♥t ♥s ♣ s♠ s tr♥ts s♦♥t à r t ♥ ♦rs ét ① ♣sts
♠rs s♦♥t ♥sés tst♦♥ ♠é♥s♠ ❱ ♥ r♠♣ç♥t ♦r ♣r s t②srs ♦♠♣ts
♠r♦étr♦♥q ♦ ♦♥srt♦♥ ♠é♥s♠ ❱ tst♦♥ r ♠é♥s♠
❱ ♣rés♥t à r t ét ♥ésstr tst♦♥ t♠♣értrs r♦ss♥ éés
♣r♦ts à ♦♠♣tté ♥ tr ♣rt t②s r ♦r très s ♣rs♣ts
é♦♣♣♠♥t ♥ t♥♦♦ ♥tér ♥s s rts ♥térés ♠s ♥ésst s ♠♦t♦♥s ♦
♥stt♦♥ éq♣♠♥ts s♣éqs
é♠♠♥t qst♦♥ ♠ê♠ ♥♥ t②sr sr s ♣r♦♣rétés étrqs s s été ♣♦sé
t ① éts ♦♥t é♠♦♥tré ♥♥ ♦r sr s rtérstqs étr♦♥qs s ♥♥♦s
♥ rss♦rt ♠ê♠ q rst s ♥♥♦s ♣rés♥t ♠ê♠ qté q s♠ ♠ss tsé ♣♦r
rt♦♥ s tr♥sst♦rs ♥ r♦♥t♥
sèr ♣♦ss ♦♥srr ♦r ♥s s ét♣s ♥ r ♥♥tr♥♥t ♣s ♠♦t♦♥ ♥♦t
♣♦♥t étrq ♥s s ♥♥♦s ♣♦♥t t♥♦♦q ♠♣♦rt♥t sr ♦♥trôr s♦♥
t éé♠♥t ♥ étr t♦t ♣♦t♦♥ s ét♣s r♦♥t♥
♦♥s♦♥
♦s ♥♦♥s é♠♦♥trr ♥s ♣tr q rs♣t t tr♠q ♥s rést♦♥
s♣♦sts à ♥♥♦s ♣ss ♣r ① ♠♦②♥s ♦t ♦r P ♥♦s ♣r♠s é♠♦♥trr ♣♦ssté
tsr s ♦①②s P❱ s②♥tétsés à ss t♠♣értr ♥s t s♦r r r♥ s
♣r♦è♠s ♥ér♥ts à ♥tr ♠ê♠ ♠tér ♦rs és♦①②t♦♥ s s ♦♥t été ♠s ♥ é♥
♦r♣
❬❪ tt ♦③② ♦② ♥ r♦s ♠r t③ ♥
♦s ♥♠r♥ ♥♦t♥♦♦② ♦r Pr♦r♠♥ ♥ ♦P♦r ♦ r♥sst♦r
♣♣t♦♥s ❨
❬❪ ♥ t♦ ♥ ♣♣rts ♦r ♦♥tr♦♥ tr rr♥ts ❯ Pt♥t
❬❪ ♥ ♦r ♦♥tr♦♥ tr rr♥t ❯ Pt♥t r
❬❪ ♥③ ♥ ❲ ♣t③r ♠♥s♠s ♦r s♦♥ ♦①t♦♥ ♥ st♠ ♥ ♦①②♥ P②s
♠ ♦s
❬❪ ❲ ♦② ♥ Prs♦♥ ♦t♦♥ ♦ ♦♥t♥ ♦ ♥ ♠s ♦ ♠♦♥t♦rs ②
r rs P②s
❬❪ ♥ ♥ ❲ ♦ ❲♦r ♥t♦♥ P♦t♦tr rs♦ ♥ r tts ♦ t♦♠②
♥ ♦♥ P②s
❬❪ ③ ♥ P②ss ♦ ♠♦♥t♦r s r t♦♥
❬❪ tt♣ ♦ss②♥♦♣s②s♦♠t②sttr♦♦♣♥♠♦r♠♦♦r♥♠♦rt♥
♠♦♦r
❬❪ tt♣ r♦rt♦♠♥t♥♠♥t
❬❪ tt♣ s♣tr♠♦r♦♠♣t♥rr♠♦♦rs♠tsts♠t
❬❪ ♦ ♥ ♥ ❲r ♦♥♥st♥ t♥♦♦② ♦r ♥trt♦♥ r♦tr♦♥s
t②
❬❪ ♠ ♥ ❨ Pr ♥ ❲ ♦ Pr ♦♥ ♦♥ ♦
♦ ♥ ♠ ♠ Pr♦r♠♥ ♥♦♦② t ❯♠ t
♥r②st ♥ t Pr♣r ♦r ❯tr ♥st② ♥ ♣
♣♣t♦♥s ♣
❬❪ ♥ ♠ ♦♥♥ ♥ r♠ P♥♥♥ t t♠♦♥t♦r ♥trs P②s
tt
❬❪ ♥ ❨ ♥ ❨ ❩♥ Pr♦♣rts ♦ ♦tt② ♦♥tt ♦ ♦♥
♦②s ♣♣ P②s tt
❬❪ ♠♦r Prr♦ssr ❱ r②♦rt♥ ②r ♦r ♦♥r ♥ ♦♥
r♠ P♥♥♥ ♥ ♦tt② ♦s ♦♥ ❱❱ ♠♦♥t♦rs t ♦ ♥ ♥♦r♣♦rt♦♥
♥ ♦ ♠s
❬❪ ❨ ♦ ❲♥ ♥ Pr♦♣rts ♦ ♦tt② ♦♥tt ♦ tt♥♠ ♦♥
♦ ♦♣ ♣t②♣ ♦② ② r♣ tr♠ ♥♥♥ ♦tt tr♦♥
❬❪ r♦rt② r ♣t Pr♠♥ ❱r♠ P ♦s ttr②
♥ t rr♥t rtrsts ♥ t ♥r② ♥ r♠ ♦ ❩r
tr♦ strtrs ♠♦♥ ♥♦
❬❪ r♦ ♥ ③ rr♥t r♥s♣♦rt ♥ t♠♦♥t♦r rrrs ♦ tt tr♦♥
❬❪ ♥ r ♥s r st ♦ sr♠♥♥
♥ ♦♥ ♥♦r s ② ♦♣♦♥ ♥♦♦② ♥ r ♣♣t♦♥s
❱
❬❪ ❩ ♥ ②r P ❲r♥r ♦♦r ♥ ❯ ös tssst ♠ t♥ ♦ ♦♥
tr
❬❪ ❲♥r ♥ ❲ s ❱♣♦rqs♦ ♠♥s♠ ♦ s♥ r②st r♦t ♣♣ P②s tt
❬❪ ❨ ❩ ❩♦♥ ❲♥ ❲ ❯ ❲♥ ♥ r Pr♦r♠♥ ♦♥ ♥♦r
t r♥sst♦rs ♥♦ tt
❬❪ ♣♣♥③r ♥♦ t tr ♥ t s♦♥ ♥♥♦r tr♥sst♦rs
t ♥ s ♦♥tts ♥ st ♣
❬❪ P♥ ♦rt ts ② ♥ ❨ ❲♥ ss
②r ♥ ❲ ♦ trtr ♥ tr ♣r♦♣rts ♦ tr♠t②♦r♦♥♦♣ s♦♥
♥♥♦rs ♣♣ P②s tt
❬❪ ②♥ ♦r ♠ ❯ rsr r çrtsr ♥ ❲ ss
② ♣t ♥♦r t r♥sst♦r ♥ ♥rs♦♥ ♦ ♠
❬❪ ❩ ♥ ❲♥ P ♥ ❲❨ s♥ ♥ ❩♥ ♥♥♦r t tr♥sst♦r ♥
♦①②♥ s♥s♥ ♣r♦♣rt② ♣♣ P②s tt
❬❪ P ♥ ❩ ♥ ♥ tt♥♦t ♦♥♥♥ ♥ ♣r♦r♠♥ ❩♥
♥♥♦r t tr♥sst♦rs ♣♣ P②s tt
❬❪ ② P ♣♥ ❳ ❩♦ P ❨ ❨ ♥ ❲♥ tr♦♥ ♦t②
♥s ♥♦r t r♥sst♦rs ♠ ❱♣ ♣♦st♦♥
❬❪ ♦ P P③s P ❨♥ ♦ Pr ❨ ♠ ♥
♠ ♥tr ♥♥♦rs t ♠t ♥tt ♠t♦r♥ ♠ ♣♦r ♣♦st♦♥ ♣②s
stt s♦
❬❪ ♦ r ♦♥ ❲ Pr♦st ♥ r♥s♦♥t♥ ❲t
♥ ♥s ♥♦r ♥♥ ❱
❬❪ ② ♦ Pss♦♥ ❲♥ ♥♥ ♥str♦♠ ♥ sst
r♥s♣♦rt ♥ ♦rt r♦♥ ♥♦ts P②s tt
❬❪ ② ♦ ❲♥ ♥str♦♠ ♥ st r♦♥ ♥♥♦t t tr♥sst♦rs
tr
❬❪ ❨♥ r ♦ ♥ ♦ ♥ ♦♥ ❱rt
♦♥♥♦r ♦r♠t♦♥ ♥ tr♦♥ ❱
❬❪ ♥ ❨ ❨ ♥ ❨ ♥ ♥ ❳ ❨♥ ♦ ♥ ♦♥ ❱rt
♥♦r ♠♦r② ♦r ❯tr♥st② ♣♣t♦♥ ❱
❬❪ ♥ ❩ ♥ ♥ ♠r ♥r ♠r ♥ ❱r
t ♥♦r ♥②♣ ♥♥♥ s ❲t ♦ trs♦ ♥ ♠❱ t ♦♦♠
♠♣rtr ❱
❬❪ ❨ ♥ ❨ ❨ ♥ ♦♥ ♥♥ r♥ ♦ ♥ ♦♥
❱rt♥♦rs ♦♥♦t ♠♦r② s ❲t ♠♣r♦ Pr♦r♠♥ ♥
Pr♦ss ♦♠♣①t② ❱
❬❪ ♥ ❨♠ P ②♥ ❨ P ♥ ♥ ②②♣♣♥ ♥ r②st ♥♦r
❱rt rr♦♥t t r♥sst♦r ♥♦ tt
❬❪ ♦rr ♦♠ ♥ ♥ P ❨♥ ♦♥ ❱rt② ♥trt ♥♦r
t r♥sst♦rs ♥♦ tt
❬❪ ❱ ♠t ♥③ r ❲ ss ♥ ❯ ös ③t♦♥ ♦ ♦♥ ♥♦r
❱rt rr♦♥t t r♥sst♦r s♠
❬❪ r②rt ❲r♥rss♦♥ r♥ ♥ ♠s♦♥ ❱rt r♣t ♥♥♦r tr♥sst♦rs
♥♦t♥♦♦②
❬❪ r②rt ❲r♥rss♦♥ rör ♥ ♠s♦♥ ❱rt ♦t② ❲r♣t
♥s ♥♦r r♥sst♦r ❱
❬❪ ②♦♥ ♠ sr ♥ ♦♥s♦♥ ②st♠t st② ♦ ♦♥tt ♥♥♥
♠♣♦r s♦♥ ♥♥♦r tr♥sst♦r t ♠♣r♦ ♣r♦r♠♥ ♣♣ P②s tt
❬❪ ♦♥ ♥ tt♥ ♥ r r♥t ♦ ♦♠ r r♥s♣♦rt
Pr♦♣rts ♦ ♦♥ ♦ tt tr♦♥
❬❪ ♠ ❨♥ ♥ ♥ ♦ rt♦♥ ♦ ①① ♦② ♥♥♦r
t tr♥sst♦rs ♣♣ P②s tt
❬❪ ♦♥r ♦♥ ♥ ♦r♥ ♥♥♦r r♦t ♥ rtr③t♦♥ ♥♦t
♥♦♦②
❬❪ ❲♥ ❲ ❨♥ ♦ ❨ ♥ ♦♥ ②♥tss ♥ tr♥sst♦r
♣r♦r♠♥s ♦ qt② s♥ r②st♥ ♣♦rqs♦ r♦♥ ①① ♥♥♦r Pr♦♥s
♦ t t ♥tr♥t♦♥ ♦♥r♥ ♦♥ ♥♦t♥♦♦② ♣s
❬❪ s♠ ♠♠r ②s t♦ ♥ ♦♠♦r ♠♥ ♥ tr♦♥
r♦s♦♣ ts ♦ ①① ♦② ♥♦rs r♦♥ ② ♠ ❱♣♦r ♣♦st♦♥ ♣♣
P②s
❬❪ ♦♥ ♦♥ ♠ ♠ ♥ ♦ ♥tr r
♥ ♣②♣ rtrsts ♦ ♥ ①① ♥♦rs ♥♦ tt
❬❪ ♦♥ ♦ ❲ ♥ ♦♥ ♦ ♠ ♦♥ ♥
♥ s♦♥ ♠r♦s♦♣ ♥trs ♥ ①① ♦② ♥♥♦r s ♥♦t♥♦♦②
❬❪ ❨ ♠ ♥ ♦ ♦♠rt♦♥ ♦ ②♥r② ♦♥♥s ♦rs ♥ ①①
♥♦rs ② ①t♦♥ tr♦♠ ♦ t
❬❪ rt♦ ♦r ♥ P sr P ♥t P rrt r ♥ r♦♥
♦♥tr♦ ♦ ♦ r s♦♥ ♦♥ ♥♦rs ♥♦ tt
❬❪ r P ♥t r♦♥ ♥ P rrt ts ♦ ♦♥ s♦♥ ♥♥♦r r♦t r
♦r♥t♦♥ ♥ ①st♥ ♦ ❵s♦♥♠t ♠♥♠♠ ♠tr ♥♦t♥♦♦②
❬❪ P♦té r♦♥ t♦♠♥ ♦s③ ♠ ♥ r♥t ♦♥tr♦ r♦t ♦
♥♥♦rs ② t♦♥ ♦ ♥ t s ♣s ♣♣ P②s
❬❪ ❱ ❲tt♠♥♥ ♣ P♣♣ ♥③ ❱♦ ♦♦r ♠ ②♦♥ ♥
❱ ♠t trtst③ ♣♠ ♥♥♦♣rts s t②sts ♦r s ♥♠ ♣t① s♦♥
♥♥♦rs ♣♣ P②s tt
❬❪ ❲♦♦r t♦r ♦t♦r♣ P ♥t②r ♥ s② ❱rt②
r♥t r♠♥♠ ♥♦rs r♦♥ r♦♠ ♦ ♦♦s ♦♥ ♦♥ strts ♥ sq♥t ♦
♠♦ ♥♦ tt
❬❪ ② r♥s ♥ t♦r♥♦ ♦ ♥♥♦♣rt ♣♦st♦♥ ♦♥ ② sts♥
♦ ♦♦ t ♦♦ ♥tr ♠rs
❬❪ ❲♥ ❲♥ ② ♥ r♠♥♠ ♥♥♦r t tr♥sst♦rs t
♥ κ t trs ♣♣ P②s tt
❬❪ ❲♥♥ t ♣t♥ ♦ t ♥♥♦r t tr♥sst♦rs ♣♣ P②s tt
❬❪ ♥③ ❨♥♥ ❲♥ s♥ t ♦ ♦♦♥ r ♦♥ ♥
rs ②r ♥ ③♥♥ ♦♥② ①t♦♥ ♦ s♦♥ ♥♥♦rs ♦r t♦♣t t
tr♥sst♦rs ♦r♥ ♦ ❱♠ s♥ ♥ ♥♦♦②
❬❪ s ♥ ❱♦t P②s t
❬❪ ♥♦t♦r♥st♥ ♠r t ♥ ♥t♦♥ t♦♥s♣ ♥ ♥ ♥ ♥♦♦②
rs r♦♣ ♣r♥r r♥
❬❪ r sr rt♥st♥ rt P ❲r♥r ❯ ös ♥ ❩rs tr
♣r♦♣rts ♦ ♥♦♠♥② ♥♦♣ s♦♥ ♥♥♦rs r♦♥ ② ♠♦r♠ ♣t①② ♣♣ P②s tt
❬❪ ②♦♥ sr ❲ ♥ P ♥ ♦♥ ♥♦rs ♦♣♥ ♣♥♥t ♥
P♥♥ ♦r tr s ♦ ②♠♣ Pr♦
❬❪ ♦ r♥♠r ♦♥② ②r ♥ ♥
sstt② ♠sr♠♥ts ♦ ♥t♥t♦♥② ♥ ♥♥t♥t♦♥② t♠♣tr♦♥ ♦♣ s♦♥ ♥♥♦r
rr②s ♥♦t♥♦♦②
❬❪ ♦♥ ♥ ♠ ♠ ♥ ❲♥ ♥ ❲ ♥
tr rtrsts ♦ ♥ ss♦♥ tr♦♥t♦♥ ♥ ss♣♥ s♦♥ ♥♥♦rs ♦
tt tr♦♥
❬❪ ❨ ❨s ts♠♥ ♦♥ ♥ r♦s② ♥ts ♦ ♥ s r♦t ♥ s♦♥
♥♥♦rs r♦♠ ♥r t♦ sqr r♦♦t r♦t ♣♣ P②s
❬❪ t ttr ❳ ❩ ♥ ♦♠♥♥ s r♦t ♥ts ♥ ♥ ♦rs
♥♥♦rs ♥♦t♥♦♦②
❬❪ ♦tt② ♥t♦♥s t t♦♠② t ♥trs ❯s♥ ♦r
❬❪ ❱♥t♥ ♥stt♦♥ ♦♠♣♦rt♠♥t t s P♦t♥ttés ♥ t réq♥ tr♥sst♦rs
♥és à ♦♥tts ♦rr♥ étqs P tss
❬❪ ❩r♠②♠♥ ♥ ❩ rr♥ ♦ttrrr ♦r♥ ♥ s♦♥ ♥♥♦r t
tr♥sst♦rs ♣r♣r ② ♠tssst ♠ t♥ ♣♣ P②s tt
❬❪ ❲ ♥ ❲ ❲ ♥ ♥ t ♦tt② rrr ♥♦r
♠♦r② ❲t ♠♣♦r ♥ ♥ ♣♥♥ s ❱
❬❪ ❱♥♦ rss P s P Pstr ♠r ss♥ ♠r Pr♥♦
♦s ♦ ♥ ♠ ①♣♥t♦♥ ♦ t r r♣♣♥ Pr♦♣rts ♦ ♦♥ tr
t♦r ②rs ♦r ❱sPrt t♦♠st ♥ tr ♦♥
❱
❬❪ t♥r③ r♠♥♦♦② ♦r ① rs ss♦t t r♠② ①③ ♦♥
r♥s tr♦♥
❬❪ ♦s trt ♥ ❲ s♦♥ trt①♣♦♥♥t r①t♦♥ rs♥ r♦♠ s♣rs
s♦♥ ♦ ②r♦♥ ♥ ♠♦r♣♦s s♦♥ P②s tt
❬❪ ❲ ❩♥ ♦ ❨♥ ❩ ❩ ❨♦ ❩ ♥ ❲ ❩♥ ♥
②strss ♥ ♥ ❩♥ ♥♥♦r t tr♥sst♦r ♥ ts ♣♣t♦♥ s ♥♦♥♦t ♠♠♦r②
♣♣ P②s tt
❬❪ ❩ ♠ s r♥ P ❲ ❲r r ♥ rt ♥②ss ♦
t ②strt ♦r ♦ s♦♥ ♥♥♦r tr♥sst♦rs ♣②s stt s♦
❬❪ ♥rt ♥ ♦r ♥♥ ♦ r tts ♦♥ tr♦♥ r♥s♣♦rt tr♦ ♥tr♥s
♥♦rs P②s ♠
❬❪ P ❲r♥r ütt♥r rt rt ❩r♦ ♥ ❯ ös ♦♥♥
♦①t♦♥ ♦ s♦♥ ♥♥♦rs ♥t t s
❬❪ ❳ ❱ ♠t P♣♣ ♥③ ♥ ❯ ös ♦♥♥ ♦♠♣rtr ①t♦♥ ♦
♦♥ ♥♦rs s♠
❬❪ ❱ ♦ ♦③ ②r♦t ❯ ♦s ♥ rst♥s♥ ♦♥ ♥♥♦r
♦①t♦♥ ♥♥ ♦ s strtr ♥ ♦ strt♦♥ ♥♦t♥♦♦②
❬❪ ♦♦ ♥ ❨♦♦♥ ♠ ❨ ♦♥ ♥ ♠ ②♣ ♦♥rs♦♥ ♦ ♥t②♣ s♦♥
♥♥♦rs t♦ ♣t②♣ ② s♦♥ ♦ ♦ ♦♥s ♠♦♥ ♥♦
❬❪ t s ❨♦♦♥♦ ♥ ♥ r♠ rt♦♥
♦rs ♥ strt♦♥ ♦ ♦♣♥t t♦♠s ♥ ♦♥ ♥♦rs ♥♦ tt
❬❪ ♥ ♥ ♦♥ ♣♣ P②s
❬❪ rt ♥ ♦♥tr♥ P②s tts ♦
❬❪ ♦♠ r ♥ ♥tr ♣♣ P②s
❬❪ r♦♥ ③③♦ st② ♠♠r② ♦ P s ♥ ♥ tr♦♠ ♦
❬❪ ❱ ❱ st♥ ♦ Prs ♦③ P r♠♥♦ ③s
③ ♥ P♦♣r♦♦♥♦
❬❪ ♥♠ ♥ ♣♣ P②s
❬❪ t P ♣♣ P②s
❬❪ ♥♠ ❲tt ♣♣ P②s tt
❬❪ r ♣t P②s tts ♦
❬❪ r♦ st♦ ♥ strt♦♥ ♦ ♣t♦r ♥ ♦♥♦r ♠♣rts r♥
r♠ ①t♦♥ ♦ ♦♥ ♣♣ P②s
❬❪ rs ♠t rst ❨ ♦r②♠ r ③ ②♠ ♥
r s rt ② tr♠♥s♦♥ ♦♥♥st♦♥ t♥q ♥ ♦ ♠s
♥♦♠r
❬❪ P r ❩♥ r ♥ Ptrss♦♥ ①t♦♥ ♦ s♦♥r♠♥♠ ♦②s
♠t♠t ♠♦ ♣♣ P②s
❬❪ P r ❩♥ r ♥ Ptrss♦♥ ①t♦♥ ♦ s♦♥r♠♥♠ ♦②s
♥ ①♣r♠♥t st② ♣♣ P②s
❬❪ r♥st♥ ♦♦r ♥ r♠♥ ♥tr♥s ♣t s♦r♣t♦♥ ♥ r♠♥♠♦♥ ♦②s
P②s
❬❪ är ♦t② ♥ trtrs ♠♦♥ ♥♦
❬❪ ör ②♥ ♠ ♥ ❲ ss ❱rt srr♦♥t s♦♥ ♥♥♦r
♠♣t ♦♥③t♦♥ t tr♥sst♦rs ♣♣ P②s tt
❬❪ ♦s ♥③ rs♦ ♥ P ♦rs r♥ ♦t s♥ ♥ r♦♥ ♥♥♦t
tr♥sst♦rs ♣♣ P②s tt
❬❪ ♦s③ ♠ P P ♥t P♦té ♥ r♦♥ tr rtrsts ♦
rt② ♥trt t tr♥sst♦r s♥ ♥♦♥♥t♥t♦♥② ♦♣ ♥♥♦rs r♦tr♦♥
♥
❬❪ ♦s③ ♠ P P♦té P ♥t ♥ r♦♥ ❱rt② ♥trt s♦♥r♠♥♠
♥♥♦r t tr♥sst♦r ♥str♠
❬❪ ♦t♦ P ❲ ♥ P ♥t②r ❱rt r♠♥♠ ♥♦r rr②s ♥ r♦ ♥♥s
♦r r ♦ tt♦♥ tr♦♠ ♦
❬❪ ❱ ♥r ♦t P r P r♥s ♦♦♥ ♥ ❱ ♦ss♠ t②st
♣r♣rt♦♥ ♦r ♦♠♣t s♦♥ ♥♥♦r s②♥tss tr ♥♦t♥♦♦②
❬❪ ♠ Pr♦♣rétés étr♦♥qs ♥♥♦s s♠ ♦t♥s ♣r r♦ss♥ t②sé P
ss
❬❪ ♠ ssr ♦r ♥ ♥ ♦♥ ♥♦r s ♦s ♥♦
tt
♦♠♠♥t♦♥s
Pt♦♥s
♦s③ ♠ P P ♥t P♦té ♦♥ ss♥ r♦♥ ♥♦♥ tr
rtr③t♦♥ ♦ P♥r ♦♥ ♥♦r t r♥sst♦rs ♥t ♥♦s ❱♦ ♦
♦s③ ♠ P P ♥t P Pr P♦té r♦♥ t♦♠♥ ♥
r♦♠ ♣♥r t♦ rt ♥♥♦rs t tr♥sst♦rs ♣r♦♥ ②♠♣♦s♠
♦s③ ♠ P P ♥t P♦té ♦♥ ♥ r♦♥ ♣r♦r♠♥ s♦♥ ♥♥♦r
t tr♥sst♦r t s ♦♥tts ♠♦♥ ♥♦ ♣♣
♦s③ ♠ P P ♥t P♦té r♦♥ tr rtrsts ♦ rt②
♥trt t tr♥sst♦r s♥ ♥♦♥♥t♥t♦♥② ♦♣ ♥♥♦rs r♦tr♦♥ ♥♥r♥
♦s③ ♠ P P ♥t P♦té r♦♥ ❱rt② ♥trt ♦♥r♠♥♠
♥♦r t r♥sst♦r ♣♣ P②s tt
♦♥ P ♥t ❱ ♦ ♦s③ ♠ ❱ ♠③ r♦♥ P ♦♠tr ♦♥tr♦
♦ P♦t♦rr♥t ♥ t ♥♦r s ♥♦ ♥r② ♥ ♣rss
P ♥t ♦♥ P r ♠ ♦s③ r♦♥ ♥ rt♦ ❱ ♦ t
♦ ♦♥ t ♦♣♥ ♥ s♣ ♦♥tr♦ ♦ s♦♥ ♥♥♦rs ♥♦t♥♦♦②
♣♦té r♦♥ t♦♠♥ ♦s③ ♠ ♦♥tès P ♥t rs ♦ss
♦♥tr♦ r♦t ♦ ♥♥♦rs ② t♦♥ ♦ ♥ t s ♣s ♣♣ P②s
P♦té r♦♥ ♥ ♦s③ ♠ t♦♠♥ ♦st③ P ♥t
r ♦♥tès rs ♦ss r♦t ♥ rtr③t♦♥ ♦ ♦ t②③ ♥♥♦rs ♥
tr♥t ♠tt②③ ♥♥♦rs ♥♦s sr ttrs ❳
♦♥ér♥s
♦s③ P♦t P P ♥t ♣r r♦♥ ♠ ❱rt② ♥trt ♥
♥♦rs ♦r t ③t♦♥ ♦ t r♥sst♦rs ♥ r♥s♦ r ②♠♣♦s♠
♦s③ ♠ P P♦té r ♦♥ P ♥t r♦♥ ♦♥ ♥ ♦♥
r♠♥♠ ♥♥♦r t tr♥sst♦rs s♥ s ♦♥tts r
♦s③ ♠ P P♦té r ♦♥ P ♥t r♦♥ tr rtrsts
♦ ♦r③♦♥t ♥ rt t tr♥sst♦rs s♥ ♥♦♥♥t♥t♦♥② ♦♣ ♥ ♥♥♦rs
♥♦s ♠♦♥trs Pr♦qr♦s r
P Pr r♦♥ t♦♠♥ ♦s③ ss♠ ss♥ ① ♦ss r♦t
rtr③t♦♥ ♦ ①① ① tr♦strtrs s♥ ❱ ♥ ❱ ♠♥s♠ ② P❱
❲rs P♦str
P ♦♥ P ♥t ❱ ♦ ♦s③ ♠ ❱ ♠③ r♦♥ ♥ ③ ♥
tr ♦t♥ ♥ ♣t s♦r♣t♦♥ ♥♥♠♥t ♥ ♦♥ ♥♦rs rs♥
②
♠ ♦s③ P P ♥t P♦té r♦♥ ♣ré P Pr t♦♠♥
tr rtrst♦♥ ♦ ❱rt tr♦♥ ♥ ♥♦rs t r♥sst♦rs
❲rs P♦str
♦♥ P P ♥t❱ ♦ ♦s③ ♠❱ ♠③ r♦♥ ♥ t
s♦r♣t♦♥ ♥ rrr s♦♥ ♥ s♥ ♥♥♦rs st ♠r♦♣♦t♦rr♥t s♣tr♦s♦♣② ♥ tr♦♥
♠ ♥ rr♥t r
P♦té r♦♥ ♦s③ ♠ t♦♠♥ P ♥t r ♦♥ts rs ♥
♦ss r♦t ♦ ❲ ❯s♥ ♦ ♥ tr♥t t t②sts ♥ r♥s♦
r
P ♥t P r ❱ ♦ ♦♥ ♦s③ ♠ ♥ r♦♥ t ♦ ♦♥
t ♦♣♥ ♥ ♣ ♦♥tr♦ ♦ ♦♥ ♥♦rs ♥ r♥s♦ r
♠ ♦s③ P♦té P r ♦♥ P ♥t ♥ r♦♥ tr r
tr③t♦♥ ♦ ♦♥ ♥ ♦♥r♠♥♠ ♥♦rs t r♥sst♦rs ♦st♦♥ r
rts
r♥sst♦r à s ♥♥♦ ♣r♦éé rt♦♥ tr♥sst♦r ♦♠♣♦s♥t s♠♦♥tr ♥tér♥t
tr♥sst♦r ♣r♦r♠♠ ♥♦r♠tq t s♣♣♦rt ♥rstr♠♥t ss♦és ♣r♦éé rt♦♥
❯
st♥t♦♥s Pr①
r P♦str ❱rs♦ ♣t♠r
és♠é
♠♥tt♦♥ s ♣r♦r♠♥s s rts ♥térés st t♠♦t ♥str ♠r♦étr♦♥q
♥ s ♥t ♣s ♣s ♥s à éèr ♦ ♦♦r st♣♥t q ♥♦♠r tr♥sst♦rs
♣r ♣ ♦t ♦r t♦s s ① ♥s tt ♠ê♠ ♥str st ♣r♥ à s ♠♥s♦♥s s♣♦sts
ss ♣tts q ♥♠ és♦r♠s ♥ ♣♦rsr tt ♠é♦rt♦♥ ♣r♦r♠♥s trs ♣sts
s♦♥t ♥sés ♥ ♠♥trst♦♥ ♣ à rst♦♥ s ♣s s♦♥t és♦r♠s s♣r♣♦sés
♦és t ♥tr♦♥♥tés tt ♠♥èr ♥♦q ôt♦ ♥♠érq ♠s ss s ♠r♦s②stè♠s
étr♦♠é♥qs st è♥♠♥t s ②stè♠s sr ♣ ♦ ♦ ♣s st ♣♦♥t
tt t♥♦♦ t s r♣rss ♦♥tts s♦♥t très ♦♠♣①s ♥ ♣r à s ♣r♦è♠s ♥♦s ♣r♦♣♦s♦♥s
♥s tt ét ♥sr ♥ ♥♦ t♥♦♦ ♣r♠tt♥t é♦rr rt♠♥t ♥s s ③♦♥s r♦s
s rts ♥térés s ♦♠♣♦s♥ts ts ts q s s t ♥s s ♣ssr s ♠ét♦s ♦
♦s ♣r♦♣♦s♦♥s tsr s ♥♥♦s s♠♦♥trs s②♥tétsés ♣r é♣ôt ♠q ♥ ♣s ♣r sssté
♣r ♠é♥s♠ ♣rqs♦ ♣r♠t é♦rr s ♥♥♦s rst♥s à ss t♠♣értr t
♦♥ ♦♠♣ts s ③♦♥s r♦s s rts ♥térés ♥s tt tès ♥♦s étr♦♥s t♦t ♦r
♣♦t♥t s ♥♥♦s t ♦♠♠ ♥① ♦♥t♦♥ ♥s s tr♥sst♦rs à rrèr ♦tt②
♦s str♦♥s s ♣r♦r♠♥s ♥s q s ♣r♦é♠tqs ♥ér♥ts à tst♦♥ s
strtrs ♥s ♥ s♦♥ t♠♣s ♥♦s ♣rés♥tr♦♥s ♥ ♣r♦éé ♥tért♦♥ ♥ tsr s ♥♥♦s
♥ ♣♦st♦♥ rt ♣♦r ♥st résr s tr♥sst♦rs rt① à r ♥r♦♥t ♦s étr♦♥s s
♣r♦é♠tqs ♥tért♦♥ t str♦♥s s ♣r♦r♠♥s étrqs ♦t♥s ♥ ♦♠♣r♥t ①
s♣♦sts ♣♥r ♣réé♠♠♥t résés ♥♥ ♥♦s ♠♦rr♦♥s s ♣ré♠s ♥ ♥tért♦♥ ♥tèr♠♥t
♦♠♣t s ③♦♥s r♦s s rts ♥térés ♥ s ♦♥♥tr♥t sr s ét♣s t♥♦♦qs s
♥s q① ♣sts ♥sés ♣♦r ssrr ♥ ♦♥t♦♥♥♠♥t t ♥ ♥tért♦♥ ♦♣t♠♠ s s♣♦sts
♦ts s ♥♦ tr♥sst♦r à t ♠♣ ❱rt ♥tért♦♥
strt
♥rs ♦ t ♥trt rts s ♣r♦r♠♥s s t ♠♥str♠ ♦ ♠r♦tr♦♥s ♥str②
s ♦♥ t ♦♦r st♣ts tt t ♥♠r ♦ tr♥sst♦rs ♣r ♣ ♠st ♦ r② t♦
②rs ts ♥str② r s ♠♥s♦♥s s ♦ s ♥♠ ♦ ♥ ♦rr t♦ ♦♥t♥ t♦ ♠♣r♦ t
s ♣r♦r♠♥s r♥t ②s r ♥r st② tr ♠♥tr③t♦♥ t s t♠ ♦r rst♦♥ r♦♠
♥♦ ♦♥ t ♣s r st ♦♥ ♥ ♥tr♦♥♥t ② ts ② ♥♦ s ♥①t t♦ t ♥ ♥
t♦ ♠r♦ tr♦ ♠♥ s②st♠s s s t♠ ♦r ②st♠ ♦♥ ♣ ♦ ♣ ♦♥♥ s t ② ♣♦♥t
♦ ts t♥♦♦② ♥ ♠♥ t ♦♥tts s r② ♦♠♣① ❲ ♣r♦♣♦s ♥ ts st② t♦ ♥stt ♥
t♥♦♦② ♦♥ t♦ rt② ♦rt ♥ t ♥ st♣s ♦ s t ♦♠♣♦♥♥ts s s s
♥ ts t♦ ♦ ♦♥♥ t♥qs ❲ ♣r♦♣♦s t♦ s s♠♦♥t♥ ♥♥♦rs s②♥ts③ ② ♠
♣♦r ♣♦st♦♥s ssst ② t ♣♦rqs♦ ♠♥s♠ s ♦s t ♦rt♦♥ ♦ r②st♥
♥♥♦rs t ♦ t♠♣rtr ♥ ts ♦♠♣t t ♥ st♣s ♦ s ♥ ts tss rst st②
t ♣♦sst② t♦ s ♥ ♥♥♦rs s ♦♥t♦♥ ♥♥s ♥ ♦tt② rrr t tr♥sst♦rs
❲ sss t ♣r♦r♠♥s ♥ t ♣r♦♠ts rt t♦ t s ♦ ts strtrs ♥
s♦♥ t♠ ♣rs♥t ♥trt♦♥ ♣r♦ss ♥ ♦rr t♦ s t ♥♥♦rs ♥ rt ♣♦st♦♥ t♦
r③ t r♦♥ rt tr♥sst♦rs ❲ t t ♣r♦♠ts ♦ t ♥trt♦♥ ♥ sss
t tr ♣r♦r♠♥s ♦t♥ ♦♠♣r t♦ ♣♥r s ♥② ♥tr♦ ♥ ♥trt♦♥
♣r♦ss ② ♦♠♣t t s ♥ st♣s ♦s♥ ♦♥ t ② t♥♦♦ ♣♦♥ts s s ♦♥ t
♣♦ss ②s ♦ r♥t② ♥ ♦♣t♠♠ ♥trt♦♥ ♥ ♦r ♦ t s
②♦rs ♥♦r t r♥sst♦r ❱rt ♥trt♦♥