mems packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
DESCRIPTION
ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים Step 1: Wafer Dicing Step 2: Die Placement Step 3: Die Attach Step 4: Wire Bonding Step 5: Encapsulation/Molding Step 6: Lead Forming Step 7: Solder Bumping Step 8: Package Inspection Step 9: Package Test Step 10: Laser Marking Step 11: Singulation Step 12: Packing and Shipping Typical Packaging Flow - ElectronicsTRANSCRIPT
![Page 1: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/1.jpg)
MEMS PackagingMEMS Packagingד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
![Page 2: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/2.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
Wafer -> Chip
First Level Package : Chip-Scale-Packaging (Single or Multi-chip Module) .
Second Level Package : PCB or Card.Third Level Package : Mother Board
Electronic Packaging HierarchyElectronic Packaging Hierarchy
![Page 3: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/3.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
Step 1: Wafer Dicing Step 2: Die Placement Step 3: Die Attach Step 4: Wire Bonding Step 5: Encapsulation/Molding Step 6: Lead Forming Step 7: Solder Bumping Step 8: Package Inspection Step 9: Package Test Step 10: Laser Marking Step 11: Singulation Step 12: Packing and Shipping
Typical Packaging Flow - ElectronicsTypical Packaging Flow - Electronics
![Page 4: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/4.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
![Page 5: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/5.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
![Page 6: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/6.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
Applications : air bag and rollover detection sensors for automotive applications.
Hermetically Sealing and Protection from : corrosion , moisture, and debris , contamination.
“Stress Free” Package Wafer level packaging protection involves an
extra fabrication process where the micro-machine wafer is bonded to a second wafer which has appropriate cavities etched into it.
MEMS PackagingMEMS Packaging
![Page 7: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/7.jpg)
MEMS - PackagingMEMS - Packagingד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
Functions of MEMS Packages:* Mechanical Support
* Protection From Environment
* Electrical Connection to Other System Components
* Thermal Considerations
![Page 8: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/8.jpg)
MEMS MEMS –– Packaging (cont.) Packaging (cont.)ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
Types of MEMS Packages* Metal Packages
* Ceramic Packages
* Thin-Film Multilayer Packages
* Plastic Packages
![Page 9: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/9.jpg)
MEMS MEMS –– Packaging (cont.) Packaging (cont.)ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
Package-to-MEMS Attachment: Die Attachment
![Page 10: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/10.jpg)
MEMS MEMS –– Packaging (cont.) Packaging (cont.)ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
Chip Scale Packaging* Flip ChipControlled Collapse Chip Connection (C4) is an interconnect technology developed by IBM during the 1960s as an alternative to manual wire bonding.Often called "flip-chip," C4 attaches a chip with the circuitry facing the substrate. C4 uses solder bumps (C4 Bumps) deposited through a Bump Mask onto wettable chip pads that connect to matching wettable substrate pads (Figure 8-4). MEMS technology initially may not use flip chip packaging but the drive toward miniaturization may necessitate its incorporation into future designs.
![Page 11: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/11.jpg)
MEMS MEMS –– Packaging (cont.) Packaging (cont.)ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
* Flip Chip (cont.)
![Page 12: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/12.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
The primary advantage of C4 is its enabling characteristics. Specific advantages include:
Size and weight reduction
Applicability for existing chip designs
Increased I/0 capability
Performance enhancement
Increased production capability
Rework/chip replacement
Key considerations include:
Additional wafer processing vs. wire bond
Supplemental design groundrules
Wafer probe complexity for array bump patterns
Unique thermal considerations
![Page 13: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/13.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
Wire BondingWire Bonding
![Page 14: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/14.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
Tape Automated BondingTape Automated Bonding
![Page 15: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/15.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
BGA PackageBGA Package
Ball Grid Array is a surface mount chip package that uses a grid of solder balls as its connectors. It is noted for its compact size, high lead count and low inductance, which allows lower voltages to be used. BGAs come in plastic and ceramic varieties. It essentially has evolved from the C4 technology whereas more I/Os can be utilized in the same area as in a peripherally leaded package (or chip). The CBGA and PBGA are not truly Chip Scale Packaging but the evolution to the BGA has come out of the experience the industry has gained from the CBGA and PBGA packages.
![Page 16: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/16.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
BGA PackageBGA Package
![Page 17: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/17.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
BGA PackageBGA PackageThe uBGA package is constructed utilizing a thin, flexible circuit tape for its substrate
and low stress elastomer for die attachment. The die is mounted face down and its electrical
pads are connected to the substrate in a method similar to TAB bonding. After bonding these
leads to the die, the leads are encapsulated with an epoxy material for protection. Solder balls
are attached to pads on the bottom of the substrate, in a rectangular matrix similar to other BGA
packages. The backside of the die is exposed allowing heat sinking if required for thermal
applications. Ball pitches available today are 0.50, 0.75, 0.80, and 1.0 mm. Other features and
benefits include: 0.9 mm mounted height, excellent electrical and moisture performance, 63/37
Sn/Pb solder balls, and full in-house design services.
![Page 18: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/18.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
Solder Solder BumpsBumps
![Page 19: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/19.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
MCM (Multi-Chip-Modules)MCM (Multi-Chip-Modules)
![Page 20: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/20.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
![Page 21: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/21.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
Chip-on-Flex (COF)Chip-on-Flex (COF)
![Page 22: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/22.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
3D - MCM3D - MCM
![Page 23: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/23.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
Failure by Stiction and Wear. Delamination. Environmentally induce failures Cyclic mechanical fatigue Dampening Effect. Packaging and development of testing
methodologies .
Typical MEMS Packaging Failure ModesTypical MEMS Packaging Failure Modes
![Page 24: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/24.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
MEMS PackagingMEMS Packaging
![Page 25: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/25.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
WLP for MEMS PackagingWLP for MEMS Packaging
![Page 26: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/26.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
WLP for MEMS PackagingWLP for MEMS Packaging
“Recent Development in WLP” - AMKOR
“Wafer level “Hermetic” packaging for sensors / MEMS” - MOTOROLA
![Page 27: MEMS Packaging ד " ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים](https://reader034.vdocument.in/reader034/viewer/2022050709/5a4d1b537f8b9ab0599a8725/html5/thumbnails/27.jpg)
ד"ר דן סתר תכן וייצור התקנים מיקרומכניים
MEMS MEMS –– Some State of the Art Some State of the Art Packaging ExamplesPackaging Examples
Solder Self Assembly
Flip Chip Assembly
MEMS Packaging Concepts
Using Printing Techniques