pfeiffer tph 1600 manual

7/23/2019 Pfeiffer TPH 1600 Manual

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Betriebsanleitung

Operating Instructions

Mode demploi

Turbomolekularpumpe fr dieKorrosiv-Gas-TechnikTurbomolecular Pump for

Corrsosive Gas ProcessesPompe turbomolculaire pourcorrosif gaz processus

TPH 1600 / TPU 1600

PM 800 302 BN/A (9403)


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Inhalt

1 Allgemeines1.1 Wichtige Hinweise1.2 Sicherheitsinstruktionen1.2.1 Sicherheitshinweise zum Arbei-

ten mit der Turbomolekular-pumpe

1.3 Produktbeschreibung

2 Technische Daten2.1 Mae2.2 Saugvermgen/Gasdurchsatz2.3 Enddruck

3 Vorvakuumpumpe

4 Installat ion4.1 Hinweis zur Installation4.2 Hochvakuumanschlu4.2.1 Einsetzen des Splitterschutzes4.3 Vorvakuumanschlu4.4 Khlung4.4.1 Wasserkhlung

4.4.2 Khlwasseranschlu4.5 Fluten der Turbopumpe4.5.1 Montage der Fluteinrichtung4.6 Sperrgasanschlu4.6.1 Einstellung der Sperrgasmenge4.7 Elektrischer Anschlu der Turbo-

pumpe

5 Um lauf schmierung

6 Betrieb6.1 Einschalten der Turbopumpe6.1.1 Vor dem ersten Einschalten6.1.2 Vor jedem Einschalten

6.1.3 Einschalt-Vorgang6.1.4 Reset6.2 Betriebsverhalten mit Gaslast6.3 Heizen der Turbopumpe6.3.1 Heizung einschalten6.3.2 Heizung abschalten6.4 Abschalten der Turbopumpe6.4.1 Vor dem Abschalten6.4.2 Abschalt-Vorgang6.4.3 Nach dem Abschalten6.5 Stillsetzen der Turbopumpe

Contents

1 General1.1 Important Information1.2 Safety Instructions1.2.1 Working with Turbomolecular

Pumps; Safety Information1.3 Product Description

2 Technical Data

2.1 Dimensions2.2 Volume Flow Rate/Gas Through-

put2.3 Ultimate Pressure

3 Backing Pump

4 Installat ion4.1 Note concerning Installation4.2 High Vacuum Connection4.2.1 Fitting the Splinter Shield4.3 Fore Vacuum Connection4.4 Cooling4.4.1 Water Cooling

4.4.2 Cooling Water Connection4.5 Venting the Turbo Pump4.5.1 Fitting the Venting Unit4.6 Sealing Gas Connection4.6.1 Adjusting the Sealing Gas Flow4.7 Electrical Connection of the

Turbo Pump

5 Circulat ory Lubricat ion

6 Operation6.1 Switching on the Turbo Pump6.1.1 Before the first Start6.1.2 Before each Start

6.1.3 Switching on Procedure6.1.4 Reset6.2 Operating Characteristics under

Gas Load6.3 Turbo Pump Heating6.3.1 Switching on the Heating6.3.2 Switching off the Heating6.4 Switching off the Turbo Pump6.4.1 Before Switching off6.4.2 Switching off Procedure6.4.3 After Switching off6.5 Shutting down the Turbo Pump

Table des matires

1 Gnralits1.1 Indications importantes1.2 Instructions de scurit1.2.1 Instructions de scurit pour le

travail avec la pompe turbo1.3 Description du produit

2 Fiche technique

2.1 Encombrements2.2 Capacit daspiration/Dbit de

gaz2.3 Pression finale

3 Pom pe vide prim aire

4 Installat ion4.1 Remarque concernant linstalla-

tion4.2 Raccord de vide lev4.2.1 Mise en place du pare-clats4.3 Raccord de vide primaire4.4 Refroidissement

4.4.1 Refroidissement par eau4.4.2 Raccord deau de refroidisse-

ment4.5 Remise lair de la pompe turbo4.5.1 Montage du dispositif de remise

lair4.6 Raccord de gaz de blocage4.6.1 Rglage de la quantit de gaz de

blocage4.7 Branchement lectrique de la

pompe turbo

5 Lubr if icat ion par ci rcula tion

6 Fonctionnement6.1 Mise en marche de la pompe

turbo6.1.1 Avant la premire mise en mar-

che6.1.2 Avant chaque mise en marche6.1.3 Procd de mise en marche6.1.4 RAZ6.2 Comportement avec charge de

gaz6.3 Chauffage de la pompe turbo6.3.1 Mise en marche du chauffage6.3.2 Mise larrt du chauffage

6.4 Mise larrt de la pompe turbo6.4.1 Avant la mise larrt6.4.2 Procd de mise larrt6.4.3 Aprs la mise larrt6.5 Immobilisation de la pompe

turbo


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7 Instandhaltung7.1 Reinigung der Turbopumpe7.1.1 Reinigung der Turbopumpe im

unzerlegten Zustand7.1.2 Reinigung und Lagerwechsel der

Betriebsmittelpumpe7.2 Betriebsmittelwechsel7.3 Prfen des Antriebsmotors7.4 Lagerwechsel Turbopumpe7.4.1 Demontage

7.4.2 Montage8 Service Hinw eise8.1 Kunden-Schulung8.2 Einsendung zur Reparatur ins

Service-Center

9 Ersatzteile

1 0 Bet riebsm it tel

11 Zubehr

7 M aintenance7.1 Cleaning the Turbo Pump7.1.1 Cleaning the Turbo Pump in fully

assembled Condition7.1.2 Cleaning the Pump Fluid Pump,

including Bearing Replacement7.2 Changing the Pump Fluid7.3 Checking the Drive Motor7.4 Turbo Pump Bearing Replace-

ment

7.4.1 Dismantling7.4.2 Assembly

8 Service Inf orm at ion8.1 Customer Training8.2 Returning to Service Center for

Repair

9 Spare Parts

10 Pump Fluid

1 1 A ccessories

7 Entret ien7.1 Nettoyage de la pompe turbo7.1.1 Nettoyage de la pompe turbo

sans dmontage7.1.2 Nettoyage et changement des

paliers de la pompe de fluidemoteur

7.2 Changement du fluide moteur7.3 Contrle du moteur dentrane-

ment

7.4 Changement des paliers de lapompe turbo7.4.1 Dmontage7.4.2 Montage

8 Service aprs-vent e8.1 Stages de formation8.2 Expdition et rparation dans

notre centre de service aprs-vente

9 Pices de rechange

1 0 Fluide m ot eur

1 1 A ccessoires


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Notizen / Notes


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KURZANWEISUNGfrTurbomolekularpumpenTPH/TPU 1600fr Korrosiv-Gas-Technik

Blatt heraustrennen und bei der Turbopumpe auf-bewahren.

Diese Kurzanweisung vermittelt Ihnen diewesentlichen Informationen zum Betreiben dieserTurbopumpe.

Lesen Sie vor der Inbetriebnahme unbedingt dievollstndige BetriebsanweisungPM 800 302 BD,E,F!

Befolgen Sie die Anweisungen!

INSTALLATION(siehe 4.1 - 4.7*)

Auf grtmgliche Sauberkeit achten! Vor Inbetriebnahme ca. 65 ml Betriebsmittel F3

mit Injektionsspritze einfllen - siehe Pos. 38 (Tur-bopumpe wird ohne Betriebsmittelfllung gelie-fert).

Blindflansche erst unmittelbar vor der Montageentfernen.

HV Flansch 1 - Belastbarkeit: max. 200 kg. Einbaulage: vertikal bis horizontal. J e nach Einsatz, Turbopumpe verankern und

ggfs. Splitterschutz verwenden. Vibrationsbertragung von der Vorpumpe ver-

meiden. Khlart: Wasserkhlung; keine Luftkhlung zuls-

sig! Flutanschlu 14: G 1/8. Bei Flutventil mit

Anschlu DN 10ISO-KF, AdapterflanschPM 033 737 -T verwenden.

Sperrgasanschlu 20: DN 10 ISO-KF am Sperr-gasventil. Druck vor Sperrgasventil: 1000 -1400 mbar. Bei hheren Drcken, EinstellungSperrgasventil korrigieren.

Elektrischer Anschlu: Gem den rtlich gelten-den Bestimmungen.X8: Anschlu Turbopumpe - Antriebselektronik.Anschlu der Komponenten: siehe 4.3 -4.6*.

* In der Betriebsanleitung PM 800 302 BD,E,F

ABBREVIATED INSTRUCTIONS

forTurbomolecular Pumpsfor Corrosive Gas ProcessesTPH/TPU 1600

Take out this page and place near the turbopump.

These abbreviated operating instructions provideyou with the most important information requi-red to operate the TPH/TPU 1600.

Please do not fail to read the Operating Instruc-tionsPM 800 302 BD,E,F before putting the turbo pumpinto service.

Please follow the instructions.

INSTALLATION(see 4.1 - 4.7*)

M aintain utmost cleanliness. Before putting into service, fill in approx. 65 ml

pump fluid F3 using the syringe provided - seeposition 38. The turbo pump is supplied unfilledwith pump fluid.

Remove blank flanges only immediately beforeassembly.

HV flange 1 - loading capacity: max. 200 kg. Installation attitude: from vertical to horizontal. Depending on the application, the turbo pump

must be anchored and a splinter shield fitted ifnecessary.

Prevent vibrations from being transmitted fromthe backing pump.

Type of cooling: water cooling. Air cooling imper-missible.

Venting connection 14: 1/8 G. For a ventingvalve with DN 10 ISO-KF connection, AdapterFlange PM 033 737 -T.

Sealing gas connection 20: DN 10 ISO-KF on thesealing gas valve. Pressure at sealing gas valve:1000 - 1400 mbar.The setting of the sealing gas valve must beadjusted for higher pressures.

Electrical connection: in compliance with localregulations.X8: connection turbo pump - electronic drive unit.Connection of the components see 4.3 - 4.6*.

* In operating instructions PM 800 302 BD,E,F

INSTRUCTIONS ABREGEES

pourles pompes turbomolculairesTPH/TPU 1600 pour la techni-que de gaz corrosif

Dtacher la feuille et la conserver proximit dela pompe turbo.

Cette instruction abrge vous donnera les infor-mations essentiellespour lutilisation de cette pompe turbo.

Avant la mise en service, nous vous prions deprendre connaissance des instructions de servicePM 800 302 BD,E,F!

Nous vous prions de les respecter!

INSTALLATION(voir 4.1 - 4.7*)

Faire attention la propret ! Avant la mise en marche remplir avec env. 65 ml

fluide moteur F3 avec une seringue injection -voir pos. 38 (La pompe turbo sera livre sansremplissage avec du fluide moteur).

Ne dmonter la bride dobturation que justeavant le montage.

Bride de vide lev 1 - Charge: max. 200 kg. Position dinstallation: de la verticale lhorizon-

tale. Suivant lutilisation, ancrer la pompe turbo et

ventuellement utiliser un pare-clats. Eviter la transmission de vibrations de la pompe

primaire. Mode de refroidissement: Refroidissement par

eau; pas de refroidissement par air autoris! Raccord de remise lair 14: G 1/8. Pour soupa-

pe de remise lair avec raccord DN 10 ISO-KF,utiliser la bride dadaptation PM 033 737 -T.

Raccord de gaz de blocage 20: DN 10 ISO-KF lavalve de gaz de blocage. Pression en amont de lavalve de gaz de blocage: 1000 - 1400 mbar. Pourdes pressions plus leves, corriger le rglage dela valve de gaz de blocage.

Branchement lectrique: Conformment aux dis-positions locales en vigueur.X8 : Raccord de la pompe turbo - Electroniquedentranement.Raccordement des composants: voir 4.3 -4.6*.

* Dans les instructions de service* PM 800 302 BD,E,F

1 Hochvakuumflansch2 Vorvakuumflansch8 Khlwasseranschlu

14 Flutanschlu

20 Sperrgasventil30 Betriebsmittelpumpe38 Betriebsmittel-Einfllschraube39 Betriebsmittel-AblaschraubeX8 Elektrischer Anschlu

1 High vacuum flange2 Fore vacuum flange8 Cooling water connection

14 Venting connection20 Sealing gas valve30 Operating medium pump38 Operating medium filler screw39 Operating medium drain screwX8 Electrical connection

1 Bride de vide lev2 Bride de vide primaire8 Raccord de leau de refroidissement14 Raccord de remise lair20 Valve de gaz de blocage30 Pompe fluide moteur38 Vis de remplissage de fluide moteur39 Vis de vidange de fluide moteurX8 Branchement lectrique

14

20

38

3039

38X8

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BETRIEBTurbopumpe Ein-Auschalten:(siehe 6.1 - 6.4*)

Vor dem ersten Einschalten: Betriebsmittel eingefllt? (siehe Installation)

Vor jedem Einschalten: Bei Khlwasser vom Netz: Zuflu ffnen. Sperrgaszufuhr ffnen (siehe 4.6*).

Einschalten: Mit Schalter S1 an der TCP.

Luft die Turbopumpe nicht an, Reset-Taste S3 ander TCP 5 Sekunden lang drcken (eventuellmehrfach).

Vor dem Abschalten:HV-Ventil schlieen, danach Turbopumpe minde-stens noch 15 Minuten mit Sperrgas betreiben.

Abschalten: Mit Schalter S1. Sperrgaszufuhr schlieen (siehe 4.6*). Bei Khlwasser vom Netz: Zuflu absperren.

Heizung Ein-Ausschalten (wenn installiert):Einschalten:Durch Bettigen des Schalters S2. Erst nach ber-schreiten des Drehzahlschaltpunktes wird die Hei-zung eingschaltet.

Ausschalten:Mit dem Ausschalten der Turbopumpe bzw. mitSchalter S2 (an der TCP).

Fluten: (siehe 4.5*) Manuell: Durch ffnen der Belftungsschraube

im Flutanschlu 14. Automatisch: Nach dem Ausschalten der Turbo-

pumpe bzw. bei Stromausfall sofort oder verz-gert (Belftungsschraube ersetzt durch FlutventilTVF oder TSF).

Stillsetzen: (siehe 6.5*) Turbopumpe ausschalten, fluten und aus der

Anlage demontieren; Turbopumpe gem 7.1.1* reinigen, evakuieren

und mit N2 oder trockener Luft fluten;

Vorvakuum- und Flutanschlu verschlieen; Turbopumpe senkrecht auf den Kunststoffenabstellen und fr trockene Lagerung sorgen.

INSTANDHALTUNGPermanentmagnetlager-hochvakuumseitig: war-tungsfrei. Kugellager-vorvakuumseitig: umlaufge-schmiert (Intervall fr Lagerwechsel je nach Bean-spruchung und Verschmutzung).

Betriebsmittel:F3 ca. 65 ml Erstfllung: S iehe Installation Wechsel: Sptestens nach einem J ahr (siehe

7.2*). Bei ungnstigen Bedingungen fter. Einfl-len (mit Injektionsspritze) bzw. Ablassen siehePos.38/39.

Reinigung:(siehe 7.1* und 7.1.1*) Leichte Verschmutzung: Reinigung in reinemAlkohol. Achtung! Einschlgige Vorschriften imUmgang mit Lsungsmitteln beachten.

Starke Verschmutzung: Reinigung durchBALZERS-Service.

Lagerwechsel: (siehe 7.4 - 7.4.2*) Ersatzteilpaket-Lagerwechsel:

Bestell-Nr. PM 568 010 -T

Einsendung zur Reparatur: Nur schadstofffrei (siehe 1.1* und 8.2*).

*In der Betriebsanweisung PM 800 302 BD,E,F

OPERATIONTurbo pump switching ON and OFF:(see 6.1 - 6.4*)

Before switching on for the first time: Has the pump fluid been filled in ? (see Installati-

on).

Always before switching on: With mains cooling water: open supply. Open sealing gas supply (see 4.6*).

Switching on:

With push-button S1 on the TCP. If the turbo pump does not start, press the Resetpush-button S3for 5 seconds (if necessary, several times).

Before switching off:Close high vacuum valve and let the pump run forat least 15 minutes with sealing gas.

Switching off: with push-button S1. Close off sealing gas supply (see 4.6*). With mains cooling water: close supply.

Switching the heater ON/OFF(if fitted):Switching on:With push-button S2. Only when the rotation speedswitchpoint is exceeded is the heating switched on.

Switching off:By switching off the turbo pump or with push-but-ton S2 (on the TCP).

Venting: (see 4.5*) Manually: by opening the venting screw in ven-

ting connection 14. Automatically: after switching off the turbo pump

or, in the event of a power failure, immediately ordelayed (venting screw replaced by Venting ValveTVF or TSF).

Shutting down:(see 6.5*) Switch off turbo pump, vent and remove from the

pumping station; Clean turbo pump as per 7.1.1*, evacuate and

vent with N2 or dry air; Close fore-vacuum and venting connection; Stand turbo pump vertically on its synthetic legs

and ensure dry storage conditions.

MAINTENANCEPermanent magnetic bearing - high vacuum side:maintenance-free. Ball bearing - fore-vacuum side:circulatory lubrication system (bearing changeintervals contingent on load and contaminationlevels).

Pump fluid: F3 approx. 65 ml Initial fil ling: see Installation. Change: not later than after 1 year, (see 7.2*). For

draining and filling using a syringe refer to positi-ons 38/39.

Cleaning: (see 7.1* and 7.1.1*) Light contamination - clean in pure alcohol.Caution:Relevant regulations concerning the handling ofsolvents must be observed.

Heavy contamination - cleaning by BALZERS Ser-vice.

Replacing the bearings: (see 7.4* and 7.4.2*) Spare parts pack for bearing replacement:

Order nr. PM 568 010 -T.

Returning for repair: Only if free from harmful substances (see 1.1*

and 8.2*).

* In Operating Instructions PM 800 302 BD,E,F

FONCTIONNEMENTMise en marche/ larrt de la pompe turbo:(voir 6.1 - 6.4*)

Avant la premire mise en marche: Pompe remplie avec du fluide moteur? (voir Installation)

Avant chaque mise en marche: Pour leau de refroidissement venant du rseau:

ouvrir le dbit. Ouvrir lalimentation de gaz de blocage (voir 4.6*).

Mise en marche:

Avec linterrupteur S1 la TCP. Si la pompe turbo ne dmarre pas, appuyer sur latouche RAZ S3 la TCP pendant 5 Secondes (plu-sieurs fois ventuellement).

Avant la mise larr: Fermer la valve de vide lev, ensuite faire mar-

cher la pompe turbo encore au moins 15 minutesavec le gaz de blocage.

Mise larrt: Avec linterrupteur S1. Fermer lalimentation du gaz de blocage (voir 4.6*). Pour leau de refroidissement venant du rseau:

bloquer le dbit.

Mise en marche/Arrt du chauffage (si install):Mise en marche:

En actionnant linterrupteur S2. Seulement aprs ledpassement du point de commutation de la vites-se de rotation, le chauffage sera mis en marche.

Mise larrt:Par larrt de la pompe turbo ou avec linterrupteurS2 ( la TCP).

Remise lair: (voir 4.5*) Manuellement: Par louverture de la vis darati-

on sur le raccord de remise lair 14. Automatique: Aprs larrt de la pompe turbo ou

pendant une coupure de courant immdiatementou temporise (vis daration remplace par unesoupape de remise lair TVF ou TSF).

Immobilisation: (voir 6.5*) Arrter la pompe turbo, faire la remise lair et la

dmonter du systme; Nettoyer la pompe turbo suivant 7.1.1*, lvacuer etfaire la remise lair avec N2 ou avec de lair sec;

Fermer le raccord de vide primaire et de remise lair. Placer la pompe turbo verticalement sur les pieds en

matire plastique et la stocker dans un endroit sec.

ENTRETIEN :Paliers aimants permanents-ct vide lev: sansentretien. Roulement billes-ct vide primaire:lubrifi par circulation,(intervalles pour le change-ment des paliers suivant lusage et lasalissure.)

Fluide moteur: F3 env. 65 ml Premier remplissage: voir installation Vidange: au plus tard au bout dun an (voir 7.2*).

Plus souvent pour les cas dutilisation dans des

conditions dfavorables. Remplir (avec une serin-gue dinjection) ou vidanger voir Pos. 38/39.

Nettoyage:(voir 7.1* et 7.1.1*) Encrassement lger: nettoyage avec de lalcool

pur. Attention! Considrer les prescriptions con-cernant la manipulation des solvants.

Encrassement fort: Nettoyage effectu par le ser-vice aprs-vente BALZERS.

Remplacement des paliers: (voir 7.4* et 7.4.2*) J eu de pices de rechange pour le changement

des paliers:Numro de commande: PM 568 010 -T.

Expdition pour la rparation: Les pices doivent tre exemptes de produits

nocifs, (voir 1.1* et 8.2*)

* Dans les instructions de service* PM 800 302 BD,E,F


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BetriebsanweisungfrTurbomolekularpumpenTPH/TPU 1600fr die Korrosiv-Gas Technik

1 Allgemeines1.1 Wichtige Hinweise

Prfen Sie sofort nach dem Aus-packen, ob die Sendung mit denAngaben auf dem Lieferschein ber-einstimmt.

Lesen Sie die Betriebsanweisung,bevor Sie das Gert in Betrieb neh-men. Befolgen Sie die Anweisungenin allen Punkten.

Fr Schden und Betriebsstrungen,die aufgrund Nichtbeachtung derBetriebsanweisung entstehen, ber-nehmen wir weder eine Haftung frPersonen- oder Materialschden noch

Gewhrleistung fr Reparatur oderErsatz unserer Produkte.

Alle Gerte entsprechen dem Gesetzber technische Arbeitsmittel. Die Be-triebsanweisung ist nach DIN/EN 292erstellt.

Wenn Sie selbst Reparatur- oder War-tungsarbeitenan den Gerten vorneh-men, die mit gesundheitsschdlichenStoffen in Berhrung gekommen sind,dann beachten Sie die entsprechen-den Vorschriften.

Bei Gerten, die Sie an uns zu Repara-tur- oder Wartungsarbeiten ein-schicken, beachten Sie folgendes:

Betriebsmittel ablassen (sieheAbschnitt 7.2). Diese Turbopumpendrfen nicht mit Betriebsmittel trans-portiert werden!

Kontaminierte Gerte(radioaktiv,chemisch etc.) sind vor der Einsen-dung entsprechend den Vorschriftenzu dekontaminieren.

Zur Reparatur oder Wartung einge-hende Gerte mssen mit deutlichsichtbarem Vermerk Frei von

Schadstoffenversehen sein. Der-selbe Vermerk ist auch auf dem Lie-ferschein und dem Anschreibenanzubringen.

Verwenden Sie bitte beigefgteErklrung.

Operating InstructionsforTurbomolecular PumpsTPH/TPU 1600for Corrosive Gas Processes

1 General1.1 Im portant Information

Please check immediately afterunpacking that the contents of thedelivery consignment conforms to theinformation given on the deliverynote.

Please read the operating instructionsbefore you operate the unit and followthem in all respects.

No liability will be accepted for perso-nal injury nor material damages in theevent that damage or breakdownsoccur as a result of failure to complywith these operating instructions, neit-

her will any guarantes relating torepairs to or replacement of our pro-ducts apply.

All units comply with the Federal Ger-man Law concerning Technical Imple-ments. The operating instructionscomply with the German IndustrialStandard DIN/EN 292.

If you perform repair or maintenancework on units which have come intocontact with substances which aredetrimental to health, please observethe relevant regulations.

If you return units to us for repair ormaintenance work, please follow theinstructions below:

Drain off pump fluid (see Section7.2). These turbo molecular pumpsmust not be transported when con-taining pump fluid.

Contaminated units(radioactively orchemically etc.) must be decontami-nated in accordance with the radiati-on protection regulations beforethey are returned.

Units returned for repair or mainten-

ance must bear a clearly visible noteFree from harmful substances.

This note must also be provided onthe delivery note and accompanyingletter.

Please use the attached attestationdeclaration.

Instructions de servicepourles pompes turbomolculairesTPH/TPU 1600pour la technique de gaz corrosif

1 Gnralits1.1 Indications importantes

A la rception de lenvoi, sassurer audballageque le contenu du (des)colis corresponde bien aux articlesnumrs sur le bon de livraison.

Avant que de mettre lappareil en ser-vice, lire attentivement les instructionsde serviceet sy conformer en touspoints.

Pour tout dommage et panne rsul-tant de non respect des instructionsde service, nous dclinons toute res-ponsabilit pour les dommages cor-porels ou matriels et naccordons

pas la garantie en cas de rparationou de remplacement de nos produits.

Tous les appareils correspondent laloi sur le matriel technique. Lesinstructions de service sont redigesen concordance avec la normeDIN/EN 292.

Lutilisateur procde-t-il lui-mme des travaux de rparation ou dentreti-en sur des appareils qui auraient ten contact avec des matires toxi-ques, il est alors tenu de respecter lesprescriptions affrentes.

Pour les appareils que vous nous ren-voyez pour rparation ou maintenan-ce, prire dobserver les points sui-vants:

Vider le fluide moteur (voir chapitre7.2). Ces pompes turbo ne doiventpas tre transportes remplies dufluide moteur.

Les appareils contamins (radioac-tivement, chimiquement etc.) sontpralablement dcontaminer envertu de la lgislation contre lesmissions radioactives.

Les appareils envoys pour rparati-on ou maintenance doivent trepourvus dune tiquette bien visiblecertifiant quils sont exempts dematires toxiques. La mme indica-tion est apposer sur le bon delivraison et sur toute la correspon-dance affrente.

Prire de nutiliser cet effet que leformulaire ci-joint.


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Sie haben die Mglichkeit, die Ger-te durch uns dekontaminieren zu las-sen (ausgenommen sind radioaktivkontaminierte Gerte). Der Repara-turauftrag ist dann entsprechend zuerweitern und die Prozegase, mitdenen das Gert in Berhrung war,sind anzugeben. Fehlen sie, so wer-den sie von uns kostenpflichtigermittelt. Besondere Transportvor-schriften sind zu beachten.

Wir werden eine Dekontaminationdurchfhren und Ihnen berech-nen, wenn Sie den Vermerk Freivon Schadstoffen am Gert oder inden Begleitpapieren nicht ange-bracht haben.

Schadstoffe sind: Stoffe undZubereitungen gem EG-Richtlinievom 18.09.1979, Artikel 2.

Technische nderungen behalten wiruns vor.

You can have the units decontamina-ted by us (excepted are units withradioactive contamination). In thiscase, the repair order must be exten-ded accordingly, and the processgases with which the unit has comeinto contact must be stated. If thisinformation is missing, it will bedetermined by us at extra cost. Anyspecial haulage regulations must beobserved.

We will carry out the decontaminati-on and invoice this work to you ifyou have not attached the noteFree from harmful substances tothe unit or in the accompanyingpapers.

Harmful substances are defined inEuropean Community Countries as:materials and preparations inaccordance with the EEC Specificati-on dated 18 September 1979,Article 2

and in the U.S.A. as

materials in accordance with theCode of Federal Regulations(CFR) 49 Part 173.240 Definition andPreparation.

Technical modifications reserved.

Il vous est galement loisible denous laisser le soin de dcontaminernous-mmes ces appareils (exceptsles appareils qui seraient radioac-tivement contamins). Dans ce cas,la commande est spcifier enconsquence, avec indication desgaz ou matires toxiques avec les-quelles les appareils seraient entrsen contact. En labsence de cetteindication, les frais rsultant des

analyses reconduire vous serontfacturs en sus. Prire galement detenir compte des modalits de trans-port.

En labsence des indicationsexempt de matires toxiques surlappareil ou sur les documentsdaccompagnement, nous procde-rons automatiquement une dcon-tamination des appareils retourns.

Les matires toxiques sont cellesnumres par larticle 2 de la pre-scription de la CE en date du 18 Sep-tembre 1979.

Modifications techniques rserves.


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1.2 SicherheitsinstruktionenDie Turbopumpen sind nach dem neu-esten Stand der Technik gebaut undbetriebssicher. Von der Turbopumpeknnen aber Gefahren ausgehen,wenn sie vom Benutzer unsachgemoder zu nicht bestimmungsgememGebrauch eingesetzt wird.

Bei nicht bestimmungsgememEinsatz erlischt jeglicher Haf-

tungs- und Gew hrleistungsan-spruch!

Zur bestimmungsgemen Verwen-dung gehrt auch die Einhaltung dervom Hersteller vorgeschriebenenInstallations-, Inbetriebnahme-,Betriebs- und Instandhaltungsvor-schriften.

Bediener und Service-Personal ms-sen die Betriebsanweisung des Pro-duktes gelesen und verstandenhaben.

Warnungen mssen beachtet und

Vorsichtsmaregeln eingehaltenwerden. Das Bedienungs- und Serviceperso-

nal mu ber alle Gefahren infor-miert werden, die in Zusammen-hang mit der Turbopumpe auftretenknnen. Das Personal mu in derLage sein, Gefahren zu erkennenund ihnen entgegen zu wirken.

Die Anwendung durch nichtautori-siertes Personal oder eine unvor-sichtige Handhabung kann zu einemerhhten Gefahrenpotential fhren.

Bei allen Arbeiten, die Installation,Inbetriebnahme, Betrieb und

Instandhaltung betreffen, sind die inden beigefgten Betriebsanweisun-gen angegebenen Ausschaltproze-duren zu beachten.

Es ist jede Arbeitsweise zu unterlas-sen, die die Sicherheit des Bedienersund der Turbopumpe beeintrchtigt.

Eigenmchtige Umbauten und Ver-nderungen, die die Sicherheitbeeinflussen, sind nicht gestattet.

Nach Elektromontage- und Elektroin-standhaltungsarbeiten sind alleSchutzmanahmen zu testen (Bei-spiel Erdungswiderstand).

Fr den Betrieb der Anlage gelten in

jedem Fall die rtlichen Sicherheits-und Unfallverhtungsvorschriften. Unklarheiten bzgl. Sicherheit, Bedie-

nung und Wartung knnen mit dernchsten Balzers-Vertretung oder

Tochtergesellschaft abgeklrt wer-den.

1.2 Safety InstructionsTurbomolecular pumps representstate-of-the-art technology and aredesigned to provide optimum opera-tional reliability. However, the usermay be exposed to hazards if pumpsare used improperly or for other thantheir intended purpose.

If pum ps are used for any otherthan t heir intended purpose, all

liability and warranty claims willbe invalidated.

Use for the intended purpose shallalso mean that the installation, com-missioning, operating and maintenan-ce instructions of the manufacturerare to be complied with.

Operating and service personnelmust have read and understood theoperating instructions for the pro-duct.

All warnings must be observed andall precautions taken.

The operating and service personnelmust be informed of all hazardswhich might occur in connectionwith the turbo pump. Personnelmust be able to recognize dangersand take preventive measures.

Any use by unauthorized personnelor careless handling may increasethe potential danger.

The switch-off procedures describedin the attached operating instruc-tions must be observed in all instal-lation, commissioning, operatingand maintenance work.

No operating modes must be used

which may affect the safety of theoperator and pump. All unauthorized modifications and

alterations affecting safety are prohi-bited.

All safety protection measures mustbe tested on completion of electricalinstallation and electrical maintenan-ce work (e.g. earthing resistance).

All relevant local safety and accidentprevention regulations apply foroperation of the system.

Any unclear points with regard tosafety, operation and maintenanceshould be clarified with your nearest

Balzers agency or subsidiary.

1.2 Instructions de scuritLes pompes turbo ont t construitesconformment ltat le plus rcentde la technique et fonctionnent demanire trs fiable. Les pompes peu-vent cependant tre source de dan-gers si elles sont utilises de manirenon conforme leurs destinations oude manire inadquate.

Le droit la garantie expire en

cas dutilisation non conform e la destination!

Le respect des prescriptions dinstalla-tion, de mise en service, de fonc-tionnement et dentretien du fabricantfait partie intgrante de lutilisationconforme la destination.

Les conducteurs et le personnel duservice dentretien doivent avoir luet compris les instructions de servi-ce des pompes.

Les avertissements doivent tre prisen compte et les mesures de pru-

dence respectes. Le personnel de conduite et dentre-tien doit tre inform de tous lesdangers pouvant maner des pom-pes turbo. Le personnel doit tre enmesure de reconnatre les dangerset dy faire face.

Lutilisation par du personnel nonautoris ou un maniement impru-dent peuvent accrotre le dangerpotentiel.

Pour tous les travaux, linstallation,la mise en service, le fonctionne-ment et lentretien, les informationsde dconnexion indiques dans les

instructions de service ci-jointes doi-vent tre respectes. Il faut sabstenir de travailler dune

faon qui porte atteinte la scuritdu conducteur et de la pompe.

Des transformations et modificati-ons de votre propre chef ayant uneinfluence la scurit ne sont pasautorises.

Aprs des travaux de montage etdentretien en lectricit, toutes lesmesures de protection doivent tretestes (par exemple rsistance deterre).

Les prescriptions locales de scurit

et de prvention des accidents sontdans tous les cas valables pour lefonctionnement de linstallation.

Les questions relatives la scurit,au maniement et la maintenancepeuvent tre rsolues avec le repr-sentant ou la filiale Balzers les plusproches.


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1.2.1 Sicherheitshinweise zum Arbei-ten mit der Turbopumpe

Turbopumpe niemals mit offenemHV-Flansch betreiben. Verletzungs-gefahr durch rotierende Turbine unddurch Kontakt mit Vakuum.

Steckverbindung zur Antriebselek-tronik nur bei gezogenem Netz-stecker und Stillstand der Turbo-pumpe lsen. An den Kontaktenknnen Spannungsspitzen bis 70 V

auftreten! Verbindungsleitungen von der Tur-bopumpe zur Vorpumpe nur beiStillstand der Anlage lsen.

Vor der Demontage der Turbopumpeaus der Anlage, Flutvorgang wieunter 4.5 beschrieben, durchfhren.

Turbopumpe in die Anlage festinstallieren, um Gefahren durch ent-stehende Drehmomente zu vermei-den.

Hinweise auf Gefahren, die durchKontakt mit gefhrlichen Pumpmedi-en entstehen knnen, sind vomBetreiber entsprechend mitzuteilen.

Entsprechende Schutzmanahmensind vorzuschreiben.

1.2.1 Working with TurbomolecularPumps; Safety Information

Never operate the pump with openHV flange because this may causeinjuries from the rotating turbineand contact with vacuum.

Only uncouple the connection to theelectronic drive unit after you havedisconnectedthe mains plug and thepump is at standstill. Peak voltagesof up to 70 V may be present at the

contacts. Only remove the connecting linesbetween the turbomolecular pumpand the backing pump when thesystem is at standstill so as to avoidany contact with vacuum.

Before you remove the turbomole-cular pump from the system, thepump must be vented as describedin Section 4.5.

Install the pump firmly in the systemso as to avoid danger from the resul-tant torques.

The user must provide informationon any danger that may arise from

coming into contact with any hazar-dous media to be pumped. Appro-priate safety precaution instructionsmust be provided.

1.2.1 Instructions de scurit pour letravail avec la pompe turbo

Ne jamais utiliser la pompe avec labride de vide lev ouverte. Il y adanger daccident par la rotation dela turbine et par le contact avec levide.

Dmonter le connecteur de llectro-nique dentranement seulement lor-sque le connecteur dalimentationdu rseau est enlev et la pompe

est larrt. Des pointes de tensionjusqu 70 V pourraient se produiresur les contacts.

Les raccordements de la pompeturbo la pompe primaire ne peu-vent tre enlevs qu larrt.

Avant le dmontage de la pompeturbo du systme, effectuer la remi-se lair comme indiqu dans 4.5.

Fixer la pompe dans linstallation,afin dviter des dangers dus descouples.

Les indications concernant les dan-gers provenant de contacts avecdes agents pomps seront com-

mumiquer par lutilisateur. Parconsquent des mesures de scuritseront prescrire par celui-ci.


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1.3 Produktbeschreibung

Die Turbopumpen TPH 1600/TPU 1600fr Korrosiv-Gas-Technik werdenhauptschlich zum Abpumpen von

korrosiven Gasen und gasfrmigenReaktionsprodukten eingesetzt. Siemssen jeweils zusammen mit einerVorvakuumpumpe - Abschnitt 3 -betrieben werden.

Turbopumpe, Anschlukabel undAntriebselektronik bilden mit der ent-sprechenden Vorvakuumpumpe einbetriebsfertiges System (Lieferumfang

Turbopumpe: wie Abbildung in Fig. 1).

Ein-/Ausschalten und berwachen derTurbopumpe erfolgt an der Antriebs-elektronik TCP 380 oder TCP 600.

TPH 1600: HV-Flansch DN 200 ISO-Koder DN 250 ISO-K, ohne Heizman-schette.

TPU 1600: HV-Flansch DN 200 CF-Foder 250 CF-F mit Heizmanschette.

Verschleifreies Permanent-Magnet-lager hochvakuumseitig.

Przisionskugellager vorvakuumsei-tig, umlaufgeschmiert und ber-wacht - Abschnitt 5.

Zum Schutz der Rotorlager und desBetriebsmittels sind die Pumpen beiApplikationen mit korrosiven Gasenmit einem Sperrgassystem ausger-

stet - Abschnitt 4.6.

1.3 Product Information

The Turbomolecular PumpsTPH 1600/TPU 1600 for corrosive gasprocesses are used primarily for the

pumping of corrosive gases andgaseous reactive products. They mayonly be operated in conjunction with abacking pump - Section 3.

Turbo pump, connecting cable andelectronic drive unit form, togetherwith the appropriate backing pump, asystem which is ready to operate.

Turbo pumps are supplied with certainancillary equipment: please see Fig. 1.

Switching on/off and turbo pumpmonitoring is executed via the

TCP 380 or TCP 600 Electronic Drive

Unit.

TPH 1600: high vacuum flangeDN 200 ISO-K or DN 250 ISO-K with-out heating jacket.

TPU 1600: high vacuum flangeDN 200CF-F or 250 CF-F with hea-ting jacket.

Non-wearing permanent magnetbearing on high vacuum side.

Precision ball bearing on fore vacu-um side circulatory lubricationsystem and monitored - Section 5.

To protect the rotor bearings andpump fluid, the pumps are equipped

with a sealing gas system for appli-cations where corrosive gases areinvolved - Section 4.6.

1.3 Description du produit

Les pompes turbo TPH 1600/TPU 1600pour la technique de gaz corrosifseront surtout utilises pour le pom-

page de gaz corrosif et de produits raction en forme de gaz. Ellesdevront tre utilises chacune avecune pompe primaire - chapitre 3.

La pompe turbo, le cble de raccorde-ment et llectronique dentranementforment avec la pompe primaire cor-respondante un systme prt lutili-sation.(Livraison pompe turbo: comme surFig. 1).

La mise en marche/ larrt, ainsi quela surveillance de la pompe turbo

seffectuent llectronique dentra-nement TCP 380 ou TCP 600.

TPH 1600: bride vide levDN 200 ISO-K ou DN 250 ISO-K, sanschemise chauffante.

TPU 1600: bride vide levDN 200 CF-F ou 250 CF-F, avec che-mise chauffante.

Palier aimants permanents,exempt dusure, ct vide lev.

Roulement billes de prcision ctvide primaire lubrifi par circulationet surveill - chapitre 5.

Pour la protection des paliers du

rotor ainsi que du fluide moteur, lespompes sont quipes dun systmede gaz de blocage pour les applicati-ons avec de gaz corrosif - chapitre4.6.

Fig. 1TPH 1600/TPU 1600fr Korrosiv-Gas-Technikfor Corrosive Gas Processespour la technique de gaz corrosif


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Gegen zu hohe Temperaturen sinddie Turbopumpen thermischgeschtzt. Bei unzulssigen Tempe-raturen der Lager, des Antriebesoder des Pumpengehuses wird dieAntriebsleistung bis auf Null zurck-geregelt.

Wasserkhlung - Abschnitt 4.4. Einbaulage: Vertikal bis horizontal

- Abschnitt 4.2. Rotor-/Stator- und Magnetlagerju-

stierung sowie Auswuchtung wer-den beim Lagerwechsel nicht vern-dert.

Alle medienberhrten Teile sind auskorrosionsbestndigem Werkstoffgefertigt oder mit einer korrosions-bestndigen Beschichtung versehen.

Diese Turbopumpen knnen beimArbeiten mit z.B. C2F6, CHF3, SF6, Cl2oder SiCl4 etwa ein J ahr wartungs-frei betrieben werden.Andere Gase auf Anfrage.

The pumps are thermally protectedagainst excessive ambient tempera-tures. If the temperatures of the bea-rings, the drive or pump casing areimpermissibly high, the drive poweris reduced to zero.

Water cooling - Section 4.4. Installation attitude: from vertical to

horizontal - Section 4.2. Rotor/stator and magnetic settings

and balancing are not altered when

bearings are replaced. All parts which come into contactwith the media are manufactured incorrosion proof materials or are pro-vided with a corrosion proof coating.

These pumps can be operated forapprox. one year without mainten-ance when working with e.g. C2F6,CHF3, SF6, Cl2 or SiCl4.Other gases on request.

Les pompes sont thermiquementprotges contre les tempraturesambiantes trop leves. En cas detemprature excessive des paliers,de lentranement ou du corps depompe, le rendement de lentrane-ment sera rgularis, jusqu zro.

Refroidissement par eau - chapitre4.4.

Position de montage: verticale horizontale - chapitre 4.2.

Lajustage du rotor/stator et du palier aimants ainsi que lquilibrage nesont pas modifis lors du remplace-ment du palier.

Toutes les parties en contact avecdes agents sont fabriques avec desmatriaux rsistants la corrosionou sont recouvertes dune couchersistante la corrosion.

Les pompes turbo peuvent, avec parex. C2F6, CHF3, SF6, Cl2 ou SiCl4 treutilises environ un an sans rvisi-on.Autres gaz sur demande.


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1) 1 mbar l/s =60 sccm.2) Mit empfohlener Vorvakuumpumpe undTCP 600 gemessen. Beim berschreitendes angegebenen Gasdurchsatzes sinktdie Pumpendrehzahl ab. Hierdurch wirddie Einstellzeit (Einpendeln Druck-Gas-

durchsatz) lnger. Bei Gasdurchsatz>5 mbar l/s mu mit Stand-by Betriebgefahren werden.

3) Der Wert, dem sich der Druck innerhalbdes Messdoms asymptotisch nhert. Erist der niedrigste Druck, der mit derPumpe erreicht werden kann(lt. DIN 28 428).

4) Erluterungen siehe Abschnitt 2.3.5) bis 90 % der Nenndrehzahl mitTCP 380/TCP 600.

6) Bei maximaler Gaslast sind bis zu 80 l/hKhlwasser erforderlich.

7) Bei strkeren Magnetfeldern Abschir-mung auf Anfrage.

8) Gemessen mit einer Vorpumpe von120 m3/h.

1) 1 mbar l/s =60 sccm.2) Measured with the recommended

backing pump and TCP 600.If the gas throughput stated is exceeded,the pump rotation speed reduces. The settime is hereby longer (levelling out pres-

sure-gas throughput). With >5 mbar l/sgas throughput stand-by mode must beoperated.

3) Value to which the pressure in the testdome converges asymptotically. It is thelowest pressure which can be attainedwith the pump (according to GermanIndustrial Standard 28 428).

4) See Section 2.3 for explanation.5) Up to 90 % of the nominal rotation speed

with the TCP 380/600.6) With maximum gas load up to 80 l/h coo-

ling water is required.7) For more powerful magnetic fields, shiel-

ding is available on request.8) Measured with a backing pump of

120 m3/h.

1) 1 mbar l/s =60 sccm.2) Mesur avec pompe vide primaire con-

seille et TCP 600. En cas de dpasse-ment du dbit de gaz indiqu la vitessede rotation de la pompe diminue. Dans cecas le temps de rglage (pression dbit

de gaz-oscillants) sera plus long. Pour undbit de gaz >5 mbar l/s il faut utiliser lemode Stand-by.

3) La valeur dont la pression sapproche demanire asymptotique dans le dme demesure. Cest la pression minimale quipeut tre atteinte avec la pompe (confor-mment DIN 28 428).

4) Explications, voir chapitre 2.3.5)jusqu 90 % de la vitesse nominale avecTCP 380/TCP 600.

6) Pour une charge de gaz maximum,jusqu 80 l/h deau de refroidissementsont ncessaire.

7) En cas de champs magntiques plus puis-sants, blindage sur demande.

8) Mesur avec une pompe primaire de

120 m3

/h.

2 Technische Daten 2 Technical Data 2 Caractristiques2 techniques

Turbomolekularpumpe Turbomolecular pump Pompe t urbomolculaire TPH/TPU 1600 TPH/TPU 1600

Anschlunennweite Nominal connection Diamtre nominal desof diameter raccords

Eingang Inlet Entre DN 200 ISO-K/ DN 250 ISO-K/DN 200 CF-F DN 250 CF-F

Ausgang Outlet Sortie DN 40 ISO-KF DN 40 ISO-KF

Saugvermgen fr Volume flow rate for Capacit daspiration pourStickstoff N2 Nitrogen N2 Azote N2 l/s 1100 1500

Helium He Helium He Helium He l/s 1370 1500Wasserstoff H2 Hydrogen H2 Hydrogne H2 l/s 1250 1400

Kompressionsver- Compression Taux dehltnis fr ratio for compression pourN2 N2 N2 108 108

He He He 3 104 3 104

H2 H2 H2 2,2 103 2,2 103

Max. Gasdurchsatz bei Max. throughput with Max. dbit de gaz avecNenndrehzahl 2) rated rotation speed 2) vitesse nominale 2) mbar l/s 1) 5 5Max. Gasdurchsatz bei Max. throughput with Max. dbit de gaz avecStand-by Drehzahl 8) stand-by rotation speed 8) vitesse en mode Stand-by 8) mbar l/s 1) 11 11

Theoretischer Enddruck 3) Theoretical ultimate pressure 3) Pression finale thorique 3) mbar 10-11 10-11

Enddruck 1 4) Ultimate pressure 1 4) Pression finale 1 4) mbar


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2.1 Mae

2.2 Saugvermgen/GasdurchsatzDie Kurven fr Saugvermgen undGasdurchsatz sind fr Turbopumpenmit HV-Anschlunennweite DN 250gltig.

2.1 Dimensions

2.2 Volume Flow RateThe volume flow rate curve is valid forturbo pumps with HV-nominal diame-ter connection DN 250.

2.1 Encombrements

2.2 Capacit daspiration/Dbit degaz

Les courbes pour la capacit daspira-tion et le dbit de gaz sont valablespour les pompes turbo avec diamtrenominal de raccord de vide lev

DN 250.

Fig. 2HochvakuumanschluVorvakuumanschluFlutanschluKhlwasseranschluAnschlu AntriebselektronikSperrgasanschlu

High vacuum connectionFore vacuum connectionVenting connectionCooling water connection

Connection for electronic drive unitSealing gas connection

Raccordement vide levRaccordement de vide primaireRaccordement remise lairRaccordement eau de refroidissementRaccord commande lectronique dentranementRaccordement de gaz de blocage

Fig. 3Saugvermgen fr N2Volume flow rate for N

2Capacit daspiration pour N2

Fig. 4Gasdurchsatz fr N2Gas throughput for N2Dbit de gaz pour N2

102

10-2 10-1 10 101

101

10

10-1

P2 (mbar)

q(mbarl/s)


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2.3 EnddruckUnter dem Enddruck von Turbopum-pen wird nach DIN 28 428 der Druckverstanden, der in einem Medom48 Stunden nach dem Ausheizenerreicht wird. Der Enddruck, der mitdieser Turbopumpe erreicht wird, liegtbei Verwendung der Vorpumpegem Abschnitt 3, bei folgendenWerten:

J ede Turbopumpe unterschreitetwhrend der Endabnahme die End-druckwerte (2) und (3), wobei der End-druck (3) ohne Ausheizen der Turbo-pumpen erreicht wird.

3 VorvakuumpumpeFig. 5

Die Saugleistung der Vorvakuumpum-pe ist prozessabhngig und mu beiGaslasten ber 1 mbar l/s entspre-chend festgelegt werden.

Als Standard-Vorvakuumpumpe em-pfehlen wir unsere zweistufige Dreh-schiebervakuumpumpe DUO 120 Amit integriertem HV-Sicherheitsventil.

Fig. 5

Drehschieberpumpe DUO 120 ARotary Vane Pump DUO 120 APompe vide rotatives palettesDUO 120 A

2.3 Ultimate PressureAccording to German Industrial Stan-dards DIN 28 428, the ultimate pressu-re of turbomolecular pumps is thepressure which is attained in a measu-ring dome 48 hours after baking-out.Ultimate pressure values attained bythis pump in conjunction with thebacking pump in accordance with Sec-tion 3 are as follows:

During final acceptance tests, everyturbo pump falls below the ultimatepressure values (2) and (3), with theultimate pressure (3) being attainedwithout baking-out of the pumps.

3 Backing PumpFig. 5

The throughput of the backing pumpis a function of the process and withgas loads over 1 mbar l/s must bedetermined accordingly.

We recommend our two-stageDUO 120 A Rotary Vane VacuumPump with integrated HV safety valve,as the standard backing pump.

2.3 Pression finaleOn entend par pression finale despompes turbomolculaires, la pressi-on suivant DIN 28 428 qui sera atteintedans un dme de mesure, 48 heuresaprs ltuvage. Les valeurs de pressi-on atteintes avec la pompe turbo,avec utilisation dune pompe primairesuivant chapitre 3, sont les suivantes:

Pendant la rception finale, chaquepompe turbo descend en-dessous desvaleurs (2) et (3) de la pression finale,la pression finale (3) tant atteintesans ltuvage des pompes turbo.

3 Pompe vide primaireFig. 5

La capacit daspiration de la pompe vide primaire dpend du processus etdoit tre dtermine en fonction descharges de gaz au-dessus de1 mbar l/s.

Comme pompe vide primaire stan-dard, nous recommandons notrepompe vide rotative palettes deux tages DUO 120 A avec soupapede scurit de vide leve intgre.

Enddruck Vorpumpensystem Backing pump combination Combinaison des Dichtung frUltimate pressure pompes primaires AnsaugflanschPression, finale Seal for intake

flangeJ oint pourbride daspiration

(1)110-10 mbar Zweistufige Dreh- Two-stage rotary vane Pompe vide rota- Metallschiebervakuum- vacuum pump and turbo- tive palettes Metalpumpe und Turbo- pump deux tages et pompe Mtalpumpe turbo

(2)110-9 mbar Zweistufige Dreh- Two-stage rotary vane Pompe vide rota- Metallschiebervakuum- vacuum pump tive palettes Metalpumpe deux tages Mtal

(3)110-8 mbar Zweistufige Dreh- Two-stage rotary vane Pompe vide rota-schiebervakuum- vacuum pump tive palettes Vitonpumpe deux tages


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4 Installation4.1 Hinweis zur InstallationVor Inbetriebnahme mu dasBetriebsmittel in die Turbopumpe ein-gefllt werden.

Vorgeschriebenes Betriebsmittel:F3 ca. 65 ml (mu separat bestelltwerden, Bestell Nr. - Abschnitt 10).

Betriebsmittel-Einfllschraube 38(Fig.13) herausschrauben undca. 65 ml Betriebsmittel mit Injekti-onsspritze (Zubehr-Abschnitt 11)einfllen; auf O-Ring achten.

Vor dem Einschrauben der Einfll-schraube O-Ring leicht mit Betriebs-mittel benetzen.

Blindflansche an Hoch- und Vorvaku-umanschlu erst unmittelbar vor derMontage entfernen.

Arbeiten die Turbopumpen in einemMagnetfeld bei Feldstrken ber3 mT, sind geeignete Abschirmma-nahmen vorzusehen (Abschirm-gehuse auf Anfrage).

4.2 HochvakuumanschluFig. 6

Alle UHV-Bauteile mssen bei gr-ter Sauberkeit montiert werden.Unsaubere Bauelemente verlngerndie Auspumpzeit durch eine erhhteDesorptionsrate.

Wird ein Rezipient frei am Hochva-kuumflansch der Turbopumpe befe-stigt, darf kein Drehmoment bertra-gen werden (einseitige Belastung).Die axiale Belastbarkeit des Hochva-kuumflansches betrgt max. 200 kg.

Bei einer Verbindung Turbopumpe-

Rezipient ber einen Federungskr-per mu die Turbopumpe verankertwerden.

Achtung!Bei verankerter Turbopumpe drfenkeine Krfte aus dem Rohrleitungs-system auf die Pumpe einwirken.

Die Turbopumpe mu entweder amRezipienten angeflanscht oder aufder Standflche bzw. dem Zwi-schenstck verankert werden.

Zur Verankerung der Turbopumpesind im Unterteil (Standflche) bzw.

dem Zwischenstck vier Gewinde-bohrungen M8 vorhanden (Fig. 2). Die Turbopumpe kann in horizonta-

ler bis vertikaler Einbaulage anden Rezipienten angeflanscht wer-den.

4 Installation4.1 Note concerning Installation

The turbo pump must be filled withpump fluid before first time operati-ons.

The prescribed pump fluid is F3,approx. 65 ml (must be orderedseparately, refer to Section 10 forordering details).

Unscrew filler screw 38 (Fig. 13) andfill in approx. 65 ml pump fluid F3using the syringe provided (Acces-sories, Section 11). Be careful withthe O-ring.

Lightly moisten the O-ring withpump fluid before screwing in thefiller screw.

Only remove the blank flange on thehigh and fore vacuum connectionimmediately before fitting.

If turbo pumps are operated in amagnetic field with field intensitiesexceeding 3.0 mT, suitable shieldingmeasures must be provided (shiel-ding on request).

4.2 High Vacuum ConnectionFig. 6

All UHV components must be fittedwith the utmost cleanliness. Uncleancomponents increase the pump-down time owing to a higherdesorption rate.

If a container is fitted to the highvacuum flange of the turbo pumpwithout support, it must be ensuredthat no torque is transmitted (lateralstress). The maximum axial load ofthe high vacuum flange is 200 kg.

If the turbo pump is connected tothe container via a bellows, theturbo pump must be anchored.

Caution:When the turbo pump is anchored inplace, it must be ensured that forcesfrom the piping system do not act onthe pump.

The turbo pump must either be flan-ged on to the container or anchoredat its base/intermediate piece.

The lower part (base)/intermediatepiece of the turbo pump contains

four M8 tap holes for anchoring thepump (Fig. 2). The turbo pump can be flanged to

the container in any position fromhorizontal to vertical.

4 Installation4.1 Remarque concernant linstal-

lationAvant la mise en marche la pompeturbo doit tre remplie avec du fluidemoteur.

Fluide moteur prescrit: F3 env.65 ml (doit tre command spar-ment, commande no - chapitre 10).

Dvisser la vis de remplissage dufluide moteur 38 (Fig. 13) et rempliravec env. 65 ml de fluide moteur laide dune seringue dinjection(Accessoires - chapitre 11); faireattention au joint torique.

Avant de revisser la vis de remplis-sage, imprgner le joint toriquelgrement avec du fluide moteur.

Nenlever les brides dobturation desraccords de vide lev et de vide pri-maire que juste avant le montage.

Si les pompes turbo fonctionnentdans un champ magntique dont lesintensits sont au-dessus de 3 mT, ilfaudra prvoir des mesures de blin-dage appropries (carter de blindagesur demande).

4.2 Raccord de vide levFig. 6

Tous les composants dultra videdoivent tre monts dans un tatparfaitement propre. Les lmentsde montage sales prolongent letemps de pompage en raison duntaux de dsorption lev.

Si un rcipient est fix librement surla bride de vide lev de la pompeturbo, aucun couple ne doit tre

transmis (charge unilatrale). Lacharge axiale de la bride de videlev est de 200 kg maximum.

Pour un raccordement de la pompeturbo sur un rcipient avec un souf-flet, la pompe devra tre ancre.

Attention!Si la pompe turbo est ancre, aucuneforce provenant du systme de con-duites ne devra pas tre exerce sur lapompe.

La pompe turbo doit tre soit brideau rcipient, soit ancre sur la surfa-

ce de pose ou la pice intermdiaire. Pour lancrage de la pompe turbo,quatre alsages M8 sont prvus surla partie infrieure (surface de pose)ou la pice intermdiaire.(Fig. 2).

La pompe turbo peut tre bride aurcipient de la position horizontale la position verticale.


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Weicht die Einbaulage von der Verti-kalen ab, mu die Turbopumpe mitdem Vorvakuumanschlu 2 nachunten eingebaut werden. Eine maxi-male Abweichung von 15 nach linksoder rechts ist zulssig (Fig. 6).

4.2.1Einsetzen des SplitterschutzesFig. 7

Zum Schutz der Turbopumpe gegenFremdkrper, Splitterschutz 3 einset-zen (Zubehr, Abschnitt 11). DerSplitterschutz verringert das Saug-vermgen um ca. 15 - 20 %.

Splitterschutz 3 und Spannring 4gem Fig. 7 in die entsprechende

Ausdrehung des Hochvakuumflan-sches 1 einlegen und mit den dreiGewindestiften 27 Spannring imHochvakuumflansch festklemmen.

If the installation attitude deviatesfrom the perpendicular, the turbopump must be installed with the forevacuum flange 2 pointing down-wards. A maximum deviation of 15to the left or right is permitted (Fig. 6).

4.2.1 Fitting the Splinter ShieldFig. 7

In order to protect the turbo pumpfrom foreign matter, a splinter shield3 should be fitted (Accessories, Sec-tion 11). The volume flow rate of thepump is thereby reduced by approx.15 - 20 %.

Fit splinter shield 3 with clamping

ring 4 as per Fig. 7 in the hollow ofhigh vacuum flange 1 and clamp theclamping ring in the high vacuumflange with the three set screws 27.

Si la position de montage scartede la verticale, la pompe turbo doittre installe avec le raccord de videprimaire 2 vers les bas. Un cartmaximum de 15 vers la gauche ouvers la droite est admis (Fig. 6).

4.2.1 Mise en place du pare-clatsFig. 7

Pour protger la pompe turbo contreles corps trangers, il faudra monterun pare-clats 3 (Accessoires - cha-pitre 11). Le pare-clats rduit lacapacit daspiration denv. 15 % 20 %.

Placer le pare-clats 3 et la bague de

serrage 4 suivant Fig. 7 dans lalsa-ge correspondant de la bride de videleve 1 et fixer avec les trois vissans tte 27 la bague de serragedans la bride de vide lev.

Fig. 61 Hochvakuumflansch2 Vorvakuumflansch

1 High vacuum flange2 Fore vacuum flange

1 Bride de vide lev2 Bride de vide primaire

Fig. 721 Hochvakuumflansch23 Splitterschutz24 Spannring27 Gewindestifte M3 (3 Stck)

21 High vacuum flange23 Splinter shield24 Clamping ring27 Set screws M3 (3 pcs.)

21 Bride de vide lev23 Pare-clats24 Anneau de serrage27 Vis sans tte (3 pices)

1

2

1 4 27 3


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4.3 VorvakuumanschluFig. 8

Anschlu 2 an Turbopumpe:DN 40 ISO-KF.

Anschlu 5 an Drehschiebervakuum-pumpe DUO 120 A: DN 40 ISO-KF.

Alle Verbindungen der Vorvakuum-leitung 6 knnen mit Kleinflansch-Bauelementen hergestellt werden(Zubehr - Abschnitt 11).

Zur Dmpfung von Vibrationen ist

bei starren Rohrverbindungen einFederungskrper einzubauen. Um die Belftung der Turbopumpe

ber die Vorvakuumpumpe zu ver-hindern, mu ein Sicherheitsventil 7in die Vorvakuumleitung eingebautwerden. Pfeiffer-Drehschiebervaku-umpumpen sind serienmig mitSicherheitsventilen ausgerstet.

Alle Bauteile sind im Balzers-KatalogVakuumtechnik aufgefhrt.

Elektrischer Anschlu der Vorvaku-umpumpe - siehe Betriebsanwei-sung der Antriebselektronik TCP.

4.4 KhlungZum Abfhren der Reibungswrmeund der beim Heizen zugefhrtenWrme mssen die Turbopumpengekhlt werden (Luftkhlung nichtzulssig).

Durch zwei PTC-Widerstnde wird dieTurbopumpe thermisch geschtzt. EinPTC-Widerstand ist in der Motorwick-lung, der andere im Pumpengehuseangeordnet. Wird die zulssige Tem-peratur berschritten, reduziert dieAntriebselektronik die Antriebslei-stung bis auf Null.

4.4.1 WasserkhlungDie Korrosionsbestndigkeit derMetalle ist im allgemeinen auf einesehr dnne Oxidschicht zurckzu-fhren, die an der Oberflche einenpassiven Zustand aufrecht erhlt.Dafr mu ein Mindestgehalt anSauerstoff vorhanden sein.

4.3 Fore Vacuum ConnectionFig. 8

Connection 2 on turbo pump:DN 40 ISO-KF.

Connection 5 on DUO 120 A RotaryVane Pump: DN 40 ISO-KF.

All connections to the fore vacuumline 6 can be made using small-flan-ge components. (Accessories, Sec-tion 11).

In case of rigid pipe connections, a

bellows must be fitted to reduce thetransmission of vibrations. In order to prevent the container

from being vented via the backingpump, we recommend application ofa safety valve 7 in the fore vacuumline. Pfeiffer rotary vane pumps arefitted with safety valves as standard.

All components are listed in theBalzers catalogue Vacuum Techno-logy.

For electrical connection of thebacking pump - see operatinginstructions of the Electronic DriveUnit TCP.

4.4 CoolingTurbo pumps must be cooled in orderto dissipate the frictional heat and theheat produced during heating (air coo-ling is not permissible).

Two PTC resistors provide thermal

protection for the pump. One PTCresistor is located in the motor win-dings and the other in the pump hou-sing. If the permissible temperature isexceeded, the electronic drive unitreduces the drive power to zero.

4.4.1 Water CoolingMetal resistance to corrosion is gene-rally based on a thin oxide coatingwhich maintains a passive state onthe surface. For this purpose, howe-ver, it is necessary that a minimumamount of oxygen is available.

4.3 Raccord de vide primaireFig. 8

Raccord 2 la pompe turbo:DN 40 ISO-KF.

Raccord 5 la pompe vide rotative palettes DUO 120 A:DN 40 ISO-KF.

Tous les raccordements des condui-tes de vide primaire 6 peuvent treraliss avec des lments de mon-tage petite bride (Accessoires -chapitre 11).

Afin damortir les vibrations pourdes conduites rigides, un souffletsera monter.

Afin dempcher lentre dair dansla pompe turbo par la pompe pri-maire, une soupape de scurit 7doit tre monte dans la conduite devide primaire. Les pompes viderotatives palettes-Pfeiffer sontquipes en srie de soupapes descurit.

Tous les composants sont prsentsdans le catalogue-BalzersTechnique du vide.

Les raccords lectriques de la

pompe de vide primaire - voirinstructions de service de llectroni-que dentranement TCP.

4.4 RefroidissementPour vacuer la chaleur de friction etpour la chaleur provenant du chauffa-ge, les pompes turbo devront trerefroidies (refroidissement lair nonautoris).

La pompe turbo sera protge thermi-quement par deux rsistances-CTP.Une rsistance-CTP est place dans labobine du moteur, lautre dans lecorps de la pompe. Si la tempratureautorise est dpasse, llectroniquedentranement rduit sa puissancedentranement jusqu zro.

4.4.1 Refroidissement par eauLa rsistance des mtaux la corrosi-on provient en gnral dune couchetrs mince doxide, qui permet demaintenir sur la surface un tat passif.Pour cela un minimum doxygne doit

tre existant.

Fig. 82 Vorvakuumanschlu Turbopumpe5 Sauganschlu Vorvakuumpumpe6 Vorvakuumleitung7 Sicherheitsventil Vorvakuumleitung

2 Fore vacuum connection, turbo pump

5 Intake connection, backing pump6 Fore vacuum line7 Safety valve, fore vaccum line

2 Raccord de vide primaire de la pompe turbo5 Raccord daspiration pompe primaire6 Conduite de vide primaire7 Vanne de scurit de la conduite de vide primaire

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7

5


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In geschlossenen Khlsystemen mudamit gerechnet werden, da ohnebesondere Manahmen der Sauer-stoffgehalt unter die Mindestmengeabsinkt. Hier sollte bei der Rckkh-lung des Wassers fr die Mglichkeitgengender Sauerstoffaufnahmegesorgt werden.

In allen Fllen ist das Khlwasser zufiltrieren, um Schmutz und organische

Schwebstoffe vom Khlkreislauf fern-zuhalten. Es knnte sonst zu lokalenAblagerungen kommen, welche dieBildung von Lochfra begnstigen.

Um Korrosionsschden zu vermeiden,sind folgende Anforderungen an dasKhlwasser einzuhalten:

Wasser filtriert, mechanisch rein,optisch klar, ohne Trbung, ohneBodensatz, chemisch neutral.

Min. Sauerstoffgehalt 104 mg/kg Max. Chloridgehalt 100 mg/kg

Max. Kaliumperman-ganatverbrauch 110 mg/kg pH-Wert 7 - 9 Vorlaufberdruck max. 7 bar

Aggressive Kohlensure und Ammo-niak drfen nicht nachweisbar sein.

Werden die aufgefhrten Werte ber-bzw. unterschritten und treten deshalbStrungen oder Schden an den vonuns gelieferten Anlagen auf, sind wirvon jeglicher Haftung aufgrund sol-cher Strungen oder Schden befreit.

4.4.2 KhlwasseranschluFig. 9 Anschlu an vorhandenes Khlwas-

sernetz (berdruck maximal 7 bar)oder ber Khlaggregat 13 -

TZK 3501). Elektrischer Anschlu: siehe Be-

triebsanweisung der Antriebselek-tronik.

Vor- und Rcklauf des Khlwassersan den Anschlssen 8 beliebiganschliebar.

Khlwasser vom Netz: Bei Verwendung eines Schmutzfn-

gers 111) ist dieser im Vorlauf einzu-setzen und der Khlwasserwchter12 - TCW 0021) immer im Rcklauf.

1) Zubehr, Abschnitt 11.

In closed cooling systems it must betaken into account that in the absenceof special measures, the oxygen con-tent drops below the minimum requi-rements. In this case, a possibility forabsorption of a sufficient amount ofoxygen should be provided whenrecooling the water.

The cooling water must always be fil-tered to exclude dirt and organic sus-

pended matter from the cooling circuitotherwise deposits could be formedwhich might lead to localised corrosi-on.

To avoid corrosion damages the follo-wing requirements for the coolingwater must be met:

Water filtered, mechanically clean,optically clear, without turbidity, with-out deposits.

Minimum oxygen content 104 mg/kgMaximum chloride content 100 mg/kg

Maximum consumption ofpotassium permanganate 110 mg/kgpH-value 7-9Inlet excess pressure max. 7 bar

No aggressive carbon dioxide andammonia should be detectable.

If the actual values are above or belowthe levels indicated above and as aresult problems arise with, or dama-ges occur to the equipment suppliedby us, we cannot be held liable.

4.4.2 Cooling Water Connection

Fig. 9 Connection to available coolingwater mains (maximum excess pres-sure 7 bar) or via cooling unit 13 -

TZK 3501). Electrical connection: see electronic

drive unit operating instructions. Cooling water supply and return

lines can be connected optionally toconnections 8.

Cooling water from the mains: If a dirt trap 111) is used, it must be

fitted in the supply line and CoolingWater Monitor 12 - TCW 0021)

always in the return line.1) Accessories, Section 11.

Dans des systmes de refroidissementferms, il faut tenir compte que sansmesures spciales, le quantit doxy-gne baisse en-dessous du minimum.Dans ce cas, il faudra prvoir dans lerefroidissement deau un moyendadduction doxygne.

En tous cas, leau de refroidissementdevra tre filtre, afin dliminer ducircuit de refroidissement, les salissu-

res et les matires organiques en sus-pension. Sinon, des dpts pourraientse concentrer, et favoriseraient lesperforations dorigine corrosive.

Afin dviter les dommages provenantde la corrosion, les caractristiques leau de refroidissement suivantesseront exiges:

Filtrage de leau, mcaniquementpure, optiquement claire, non brou-ille, sans dpts, chimiquement neu-tre.

Quantit doxygne min.104 mg/kg Quantit de chloruresmax. 100 mg/kg

Consommation enpermanganate depotassium 110 mg/kg

Valeur pH 7 - 9 Surpression de

lamene deau max. 7 bar

Aucune trace de dioxyde de carboneagressif, ni dammoniac ne doit treprsente.

En cas de dpassements ou sous-

dpassements des valeurs indiques,nous dclinons toute responsabilitpour les ventuels drangements ouendommagements, provoqus par cesfaits sur les installations livres parnous.

4.4.2 Raccord deau de refroidisse-mentFig. 9

Raccord deau de refroidissement aurseau deau est prvu (Sur-pressionmax. 7 bar) ou par un systme derefroidissement 13 - TZK 3501).

Branchement lectrique: voir

instructions de service de llectroni-que dentranement. Le flux et le reflux de leau de refro-

idissement sont raccorder au choixaux raccords 8.

Eau de refroidissement venant durseau: En cas dutilisation dun collecteur

dimpurets 111), celui-ci est utili-ser dans le flux et le contrleurdeau de refroidissement 12 -

TCW 0021) toujours dans le reflux.

1) Accessoires, Chapitre 11.


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Umlaufkhlung: Einsatz des Khlaggregats 13 nur

ohne Schmutzfnger; Khlwasser-wchter 12 im Rcklauf.

4.5 Fluten der Turbopumpe Manuell durch die serienmi-

ge Belftungsschraube im Flutan-schlu 14 (Fig. 10).

Bei Einsatz der folgenden Gerte-Kombinationen kann, nach demAbschalten oder nach Stromausfall,das Flutventil sofort oder verzgertgeffnet werden.

Elektrischer Anschlu der Flut-einrichtung siehe Betriebsanweisungder eingesetzten Antriebselektronikoder des Steuergertes.

1) Nach Abschalten oder nach Stromausfallwird das Flutventil TSF 012 vom Antriebs-motor der auslaufenden Turbopumpe mitStrom versorgt. Flutbeginn bei


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4.5.1 Montage der FluteinrichtungFig. 10

Belftungsschraube aus dem Flutan-schlu 14 (G 1/8) schrauben.

Flutventil 16 mit Anschlu G 1/81)

in den Flutanschlu 14 schrauben. Eventuell vorhandene FlutventileTVF oder Stromausfallfluter TSF mitAnschlu DN 10 ISO-KF knnen ander Turbopumpe mit dem Flut-flansch 15 (DN 10 ISO-KF / G 1/81))angeschlossen werden.

Trockenvorlage 18 (TTV 0011)) aneine vorher bereitgestellte Haltevor-richtung anschrauben.

Schlauchverbindung 19 zwischenPos. 16 und 18 herstellen.

4.6 SperrgasanschluFig. 11

Blindflansch am Sperrgasventil 20abnehmen.

Schlauchnippel 21(DN 16 ISO-KF-101)) anflanschen .

Schlauchverbindung 22 vom Druck-minderer 23 zum Sperrgasventil 20

herstellen. Pos. 21 - 24 sind bauseitig beizustel-len.

1) Zubehr, Abschnitt 11.

4.5.1 Fitting the Venting UnitFig. 10

Unscrew the venting screw fromventing connection 14 (1/8G).

Screw venting valve 16 with 1/8G1)

connection into venting connection14. If you have TVF venting valves orTSF emergency venting valves withDN 10 ISO-KF connection, these canbe connected to the turbo pumpwith venting flange 15(DN 10 ISO-KF / 1/8G1).

Screw drier 18 (TTV 0011) to a sup-port provided previously.

Connect hose 19 between positions16 and 18.

4.6 Sealing Gas ConnectionFig. 11

Remove blind flange from sealinggas valve 20.

Flange on hose nipple 21,DN 16 ISO-KF-101).

Connect hose 22 from pressurereducer 23 to sealing gas valve 20.

Positions 21 to 24 to be provided onsite.

1) Accessories, Section 11.

4.5.1 Montage du dispositif de remise lairFig. 10

Dvisser la vis daration du raccordde remise lair 14 (G 1/8).

Visser la soupape de remise lair16 avec le raccord G 1/81) dans leraccord de remise lair 14.

Les soupapes de remise lair TVFventuellement prvues ou les sou-papes de remise lair en cas depanne de courant TSF avec raccordDN 10 ISO-KF peuvent tre raccor-des la pompe turbo avec la bridede remise lair 15 (DN 10 ISO-KF /G 1/81)).

Visser la cartouche ciccative 18(TTV 0011)) un support prvupralablement.

Effectuer un raccordement de flex-

ible 19 entre pos. 16 et 18.

4.6 Raccord de gaz de blocageFig. 11

Enlever la bride dobturation lavalve de gaz de blocage 20.

Brider le collier de jonction 21(DN 16 ISO-KF-101)).

Raccorder le flexible 22 du dten-

deur 23 la valve de gaz de blocage20. Pos. 21 - 24 sont fournir par le cli-

ent.

1) Accessoires, chapitre 11.

Betriebsanweisungen/Operating instructions/Instructions de serviceTVF 012 - PM 800 126 BD,E,F TCP 600 - PM 800 234 BD,E,FTSF 012 - PM 800 168 BD,E,F TCF 103 - PM 800 196 BD,E,FTSF 010 - PM 800 032 BD,E,F TCS 304 - PM 800 192 BD,E,FTCP 380 - PM 800 188 BD,E,F TCS 130 - PM 800 205 BD,E,F

Fig. 1014 Flutanschlu G 1/815 Flutflansch DN 10 ISO-KF / G 1/816 Flutventil TSF/TVF17 Steuergert TCF/TCV18 Trockenvorlage TTV 00119 PVC-SchlauchX8 Elektrischer Anschlu

14 Venting connection 1/8 G15 Venting Flange DN 10 ISO-KF / 1/8 G16 TSF/TVF Venting Valve17 TCF/TCV Control Unit18 TTV 001 Drier19 PVC hoseX8 Electrical connection

14 Raccord de remise lair G 1/815 Bride de remise lair DN 10 ISO-KF / G 1/816 Vanne de remise lair TSF/TVF17 Appareil de commande TCF/TCV18 Cartouche siccative TTV 00119 Flexible en PVCX8 Raccordement lectrique

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X8


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4.6.1 Einstellung der SperrgasmengeDruck vor Sperrgasventil: 1000 -1400 mbar. Bei hheren Drcken Ein-stellung des Sperrgasventils korrigie-

ren. Max. Druck: 2000 mbar.Siehe auch Betriebsanweisung Sperr-gasventil - PM 800 229 BD,E,F.

4.7 Elektrischer Anschlu derTurbopumpeFig. 15

Der Anschlu der Turbopumpe undder Betriebsmittelpumpe an dieAntriebselektronik erfolgt ber dasAnschlukabel (Zubehr).

Das Anschlukabel ist drei Meter lang(andere Lngen auf Anfrage)und mit dem Stecker X5 und derSteckdose X8 versehen.

Weitere Informationen siehe Betriebs-anweisung der eingesetzten Antriebs-elektronik.

Der elektrische Anschlu ist nach denrtlichen Bestimmungen durchzu-fhren. Sind Schutzleiter-Widerstnde


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5 UmlaufschmierungFig. 13

Die Betriebsmittelpumpe 30 frdertdas Betriebsmittel1) an die Spritzmut-ter 49 (Fig. 30). Das berschssigeBetriebsmittel fliet zurck.

Der Betriebsmittelumlauf wird durchden Kontakt 33 berwacht, welcherdie Signale an die Antriebselektronikliefert. Diese schaltet bei Betriebsmit-

telmangel die Turbopumpe ab.

Die Betriebsmittelberwachung isterst ab 45 % der Enddrehzahl aktiv.Wird bei Drehzahlen >45 % der End-drehzahl, z.B. durch Entgasen desBetriebsmittels, der Kontakt 33 bereine Zeit von 2 Minuten geffnet, soerkennt die Antriebselektronik einenBetriebsmittelmangel und schaltet die

Turbopumpe ab.

Danach mu die Turbopumpe mitReset (Schalter S3 an der Antriebs-elektronik) neu gestartet werden

- Abschnitt 6.1.3.1) Erstfllung bzw. Wechsel1) - siehe Abschnitt 4.1 bzw. 7.2.

6 Betrieb6.1 Einschalten der Turbopumpe6.1.1 Vor dem ersten Einschalten: Prfen ob das Betriebsmittel gem

Abschnitt 4.1 in die Turbopumpe

eingefllt ist.6.1.2 Vor jedem Einschalten: Sperrgaszufuhr ffnen - Abschnitt

4.6. Bei hherem Druck als 1000-1400 mbar, Einstellung des Sperr-gasventiles korrigieren - Abschnitt4.6.1.

Bei Khlwasser vom Netz: Absperr-hahn ffnen.

6.1.3 Einschalten:Mit Schalter S1 an der Antriebselek-tronik.Bei Anschlu nach Schaltplan - siehe

Betriebsanweisung der Antriebselek-tronik TCP 380 oder TCP 600 - wird mitdem Einschalten der Turbopumpe das Flutventil geschlossen - Ab-

schnitt 4.5;

5 Circulatory LubricationFig. 13

Pump fluid pump 30 supplies thepump fluid1) to splash nut 49 (Fig. 30).Surplus pump fluid flows back.

Pump fluid circulation is monitored bycontact 33 which transmits the signalsto the electronic drive unit. Whenthere is insufficient pump fluid, theelectronic drive unit is switched off.

Pump fluid monitoring is active from45 % of the ultimate rotation speed. Ifthe rotation speed is >45 % ultimaterotation speed e.g. as a result of pumpfluid degassing, contact 33 opens for 2minutes, the electronic drive unit reco-gnises a pump fluid deficiency andswitches off the pump.

The turbo pump must then be re-star-ted with reset (push-button S3 onthe electronic drive unit) - see Section6.1.3.

1) Initial filling and changing - Section 4.11) and 7.2.

6 Operation6.1 Sw itching on6.1.1 Before the first Start: Check if the turbo pump has been fil-

led with pump fluid as per Section

4.1.6.1.2 Before each Start: Open the sealing gas supply - Sec-

tion 4.6. Correction of the sealinggas valve setting is necessary forpressures in excess of 1000 -1400 mbar - Section 4.6.1.

For mains cooling water; open stopcock.

6.1.3 Switching on Procedure:With push-button S1 on the electronicdrive unit.When connected as shown in the

wiring diagram - see Electronic DriveUnit TCP 380 or TCP 600 operatinginstructions - switching on causes: The venting valve to close.

5 Lubrification par circulationFig. 13

La pompe de fluide moteur 30 amnele fluide moteur1) lcrou de barbota-ge 49 (Fig. 30). Lexcdent de fluidemoteur est retourn.

La circulation de fluide moteur serasurveille par le contact 33, celui-citransmet les signaux llectroniquedentranement. Llectronique dent-

ranement arrte la pompe turbo encas de manque de fluide moteur.

La surveillance du fluide moteur estactive seulement partir de 45 % de lavitesse de rotation finale. En casdouverture du contact 33 au-dessusdune priode de 2 minutes, et si lavitesse de rotation est >45 % de lavitesse de rotation finale, llectroni-que dentranement arrte la pompeturbo pour cause de manque de fluidemoteur (par ex. pour le procd dedgazage du fluide moteur).

Ensuite la pompe turbo doit tre denouveau remise en marche avecReset (Interrupteur S3 llectroni-que dentranement). Chapitre 6.1.3.

1) Premier remplissage ou vidange dfluide1)moteur - chapitre 4.1 ou 7.2.

6 Fonctionnement6.1 Mise en marche de la pompe

turbo6.1.1 Avant la premire mise en

marche:

Contrler si la pompe turbo est rem-plie de fluide moteur suivant le cha-pitre 4.1.

6.1.2 Avant chaque mise en marche: Ouvrir lalimentation en gaz de bloc-

age - chapitre 4.6. Pour des pressi-ons plus leves que 1000 -1400 mbar, corriger le rglage de lavalve de gaz de blocage - chapitre4.6.1.

Pour de leau de refroidissementvenant du rseau: ouvrir le robinetde fermeture.

6.1.3 Procd de mise en marche:Avec linterrupteur S1 llectroniquedentranement. Si le branchement est suivant le

schma lectrique - voir les instruc-tions de service de llectroniquedentranement TCP 380 ou

TCP 600, avec la mise en marche dela pompe turbo les actions suivantsseffectueront:

La soupape de remise lair sera fer-me - chapitre 4.5;


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bei Einsatz eines Pumpstandsteuer-gertes TCS 303, TCS 304 R oder

TCS 130 die Vorpumpe und, fallsvorhanden, das Khlaggregat

TZK 350 gestartet.

Die Heizung der Turbopumpe (wenninstalliert) wird nach Bettigen desSchalters S2 an der Antriebselektronikerst nach berschreiten des Drehzahl-schaltpunktes eingeschaltet.

Das Hochlaufen der Turbopumpeerfolgt automatisch. Die Hochlaufzeitist abhngig von der Antriebselektro-nik (TCP 380 oder TCP 600), dem Rezi-pienten und der Vorpumpe. Bei blind-geflanschtem Hochvakuumflanscherreicht die Turbopumpe nach20 Minuten (TCP 380) bzw. 8 Minuten(TCP 600) 90 % ihrer Nenndrehzahl.

6.1.4 ResetBeim ersten Einschalten oder nacheinem Betriebsmittelwechsel kanndurch Entgasung des Betriebsmittels,

der Kontakt 33 (Fig. 13) ffnen. In die-sem Falle schaltet die Antriebselektro-nik die Turbopumpe aus. Sie mu mitReset(Schalter S3 an der Antriebs-elektronik TCP 380 oder TCP 600) neugestartet werden (eventuell mehrfachdrcken).

Bei Strung wird die Spannungsver-sorgung des Antriebsmotors ausge-schaltet. Mit Reset kann die Turbo-pumpe erneut gestartet werden.Die Reset-Funktion wird aktiviertdurch:

Bettigen des Schalters S3 an derAntriebselektronik. Wegnahme der Netzspannung fr

eine Zeit p 2 Sekunden, z.B. mitSchalter S1 an der Antriebselektro-nik.

Bettigen eines extern anzu-schlieenden Reset-Schalters S6 freine Zeit p 2 Sekunden.

Serielle Schnittstelle RS 232 C.

If a Pumping Station Control UnitTCS 303, TCS 304 R or TCS 130 isemployed, the backing pump and, ifapplicable, Cooling Water Unit

TZK 350 are started.

Turbo pump heating (if fitted) is swit-ched on with push-button S2 at theelectronic drive unit once the rotationspeed switch point is exceeded.

The turbo pump runs-up automatical-ly. The run-up time up to the rotationspeed switch-point depends on theelectronic drive unit (TCP 380/600), thesize of the container and the backingpump. With blank flanged high vacu-um flange, the turbo pump reaches90 % of its nominal rotation speedafter 20 minutes (TCP 380) and 8minutes (TCP 600).

6.1.4 ResetAt the first start or after a pump fluidchange, contact 33 (Fig. 13) may opendue to degassing of the pump fluid. In

this case, the electronic drive unitswitches off the turbo pump. It mustbe restarted by Reset (push-buttonS3 on the Electronic Drive Unit

TCP 380 or TCP 600 - several times ifnecessary).

During a malfunction, the voltage sup-ply to the drive motor is cut off. Theturbo pump can be restarted withReset at the Electronic Drive Unit

TCP 380/600. The Reset function isactivated by:

Operating push button S3 on the

electronic drive unit. Interrupting the mains voltage for aperiod of p 2 seconds, e.g. by push-button S1 on the TCP.

Actuating an externally connectedReset push-button S6 forp 2 seconds.

Serial Interface RS 232 C.

En cas dutilisation dune commandede groupe de pompage TCS 303,

TCS 304 R ou TCS 130, la pompe pri-maire et, le systme de refroidisse-ment TZK 350 (si celui-ci est install)seront dmarrs.

Le chauffage de la pompe turbo (sicelui-ci est install) sera mis en mar-che seulement aprs lactionnementde linterrupteur S2 llectronique

dentranement, et aprs le dpasse-ment du point de commutation de lavitesse de rotation.

Le dmarrage de la pompe turboseffectue automatiquement. La phasedacclration dpend de llectroni-que dentranement (TCP 380 ou

TCP 600), du rcipient et de la pompeprimaire. En cas de bride dobturation vide lev ferme, la pompe turboatteindra au bout 20 minutes(TCP 380) et 8 minutes (TCP 600) 90 %de sa vitesse nominale de rotation.

6.1.4 ResetA la premire mise en marche, ouaprs le remplacement du fluidemoteur, le contact 33 (Fig. 13) peutsouvrir par le dgazage du fluidemoteur. Dans ce cas, llectroniquedentranement met la pompe turbo larrt. Elle doit tre de nouveau remi-se en marche avec Reset, (Interrup-teur S3 llectronique dentrane-ment TCP 380 ou TCP 600), ventu-ellement plusieurs fois.

En cas de drangement, lalimentationen tension du moteur dentranement

sera arrte. Avec Reset, la pompeturbo peut de nouveau tre red-marre.La fonction Reset sera active par:

Lactionnement de linterrupteur S3 llectronique dentranement.

La suppression de la tension durseau pour une priode de p 2 se-condes, par ex. avec linterrupteurS1 llectronique dentranement.

Lactionnement dun interrupteurRAZ S6 brancher extrieurementpour une priode de p 2 Secondes.

Interface srielle RS 232 C.


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6.2 Betriebsverhalten mit GaslastBei Nenndrehzahl hat die Turbopumpeohne Gaslast nur eine geringe Strom-aufnahme. Mit zunehmender Gaslaststeigt die Stromaufnahme bis zumMaximalwert (maximaler Gasdurch-satz, Fig. 4).

Die Turbopumpe darf bei Enddrehzahlnur bis 5 mbar l/s Gasdurchsatz betrie-ben werden. Die Vorpumpe mu so

gewhlt werden, da ein Vorvakuum-druck von 0,1 mbar, gemessen amVorvakuumanschlu der Turbopumpe,nicht berschritten wird. Bei hherenGasdurchstzen oder Vorvakuum-drcken wird durch Moleklreibungan den Rotorscheiben die zulssigeBetriebstemperatur berschritten.Sind grere Durchstze erforderlich,so ist unbedingt mit Stand-by Dreh-zahl zu arbeiten.

Soll der Druck und der Gasdurchsatzgetrennt geregelt werden, mu eineEinrichtung zur Drosselung des Saug-

vermgens installiert werden. Dieskann entweder durch Vorschalteneines Leitwertreglers oder durch dieAntriebselektronik TCP 600 mit Dreh-zahlstellmglichkeit (Option) gesche-hen. Im zweiten Fall ist eine Reduzie-rung der Nenndrehzahl bis auf ca.50 % des Saugvermgens sinnvoll.

6.3 Heizen der TurbopumpeUm den Enddruck in mglichst kurzerZeit zu erreichen, ist es zweckmig,

Turbopumpe und Rezipient zu heizen.

6.3.1 Einschalten: (wenn installiert):

Mit Schalter S2 an der Antriebselek-tronik. Erst nach berschreiten desDrehzahlschaltpunktes wird die Hei-zung eingeschaltet.

6.3.2 Abschalten: Mit dem Abschalten der Turbopum-

pe; Mit dem Schalter S2.

Achtung!Der Enddruck richtet sich nach derSauberkeit der Turbopumpe und desRezipienten.

6.2 Operating Characteristicsunder Gas Load

When running at its nominal rotationspeed without gas load the turbopump draws little current from theelectronic drive unit. With increasinggas load, current uptake increases tomaximum (maximum gas throughput,Fig. 4).

At ultimate rotation speed, turbo

pumps may only be operated up to5 mbar l/s gas throughput. Thebacking pump must be so selectedthat, measured at the turbo pump forevacuum connection, a fore vacuumpressure of 0.1 mbar is not exceeded.Greater gas throughputs or fore vacu-um pressures will cause the permissi-ble operating temperature to beexceeded as a result of molecular fric-tion acting on the rotor discs. Wheregreater gas throughputs are required,stand-by rotation speed operationsmust be selected without fail.

If the pressure and the gas throughputare to be regulated separately, a de-vice to throttle the volume flow ratemust be fitted. This can be achievedeither by connecting a conductancecontrol unit or by using a TCP 600with variable rotation speed (option).In the latter case a reduction in thenominal rotation speed to approx.50 % of the volume flow rate is prac-tical.

6.3 Turbo Pump HeatingTo reach ultimate rotation speed in theshortest possible time, it is prudent to

heat container and turbo pump.

6.3.1 Switching on: (if fitted): With push-button S2 at the electro-

nic drive unit. Heating is switched ononce the rotation speed switch pointis exceeded.

6.3.2 Switching off: On switching off the turbo pump; With push-button S2.

Please note:The ultimate pressure depends on thecleanliness of the turbo pump and

container.

6.2 Comportement avec chargede gaz

En vitesse nominale de rotation, lapompe turbo fonctionnant sans char-ge de gaz consomme une quantitminime de courant. Avec une aug-mentation de la charge de gaz, la con-sommation en courant augmente

jusqu la valeur maximum (dbit degaz maximum, Fig 4).

La pompe turbo doit tre utilise lavitesse de rotation finale que pour undbit de gaz de 5 mbar l/s maximum.La pompe primaire doit tre choisiede telle faon quune pression de videfinale de 0,1 mbar, mesure au rac-cord de vide primaire de la pompe, nesoit pas dpasse. Pour des dbits degaz plus levs ou des pressions devide primaire plus leves, latemprature de service admissiblesera dpasse par la friction des mol-cules sur les disques du rotor. Si desdbits plus levs sont ncessaires, ilfaudra absolument travailler la vites-

se de rotation Stand-by.Si la pression et le dbit de gaz doi-vent tre rgls sparment, il faudrainstaller un dispositif dtranglementpour rduire la capacit daspiration.Pour cela il faudra, soit placer enamont un rgulateur de conductanceou par llectronique dentranement

TCP 600 quipe avec un rgulateurde vitesse de rotation (en option).Dans le second cas, une rduction dela vitesse nominale de rotation

jusqu 50 % de la capacit daspirati-on est utile.

6.3 Chauffage de la pompe turboAfin datteindre le plus rapidementpossible la pression finale, il est utilede chauffer la pompe turbo et le rci-pient.

6.3.1 Mise en marche du chauffage:(si install):

Avec linterrupteur S2 llectroni-que dentranement. Seulementaprs le dpassement du point decommutation de la vitesse de rotati-on, le chauffage sera mis en marche.

6.3.2 Mise larrt du chauffage: Avec larrt de la pompe turbo; Avec linterrupteur S2.

Attention!La pression finale est en fonction de lapropret de la pompe turbo et du rci-pient.


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Zur Vermeidung der Kondensationvon Reaktionsprodukten in der Turbo-pumpe kann es vorteilhaft sein, diesewhrend des Prozesses zu beheizen.

Ist der beheizte Rezipient direkt ange-flanscht, so mu darauf geachtet wer-den, da die Temperatur des Hochva-kuumflansches beim Heizen der Appa-ratur 120C nicht berschreitet.

Wird der Rezipient hher als 200Cgeheizt, so mu die Wrmestrahlungvom Rezipienten auf den Pumpenro-tor, z.B. mit einem Strahlungsschildverhindert werden.

Die Heizdauer fr Turbopumpe undRezipient richtet sich nach dem Ver-schmutzungsgrad und dem ge-wnschten Enddruck. Sie sollte min-destens 4 Stunden betragen.

6.4 Abschalten der Turbopumpe6.4.1 Vor dem Abschalten: HV-Ventil schlieen;

Danach Turbopumpstand minde-stens noch 15 Minuten mit Sperrgasbetreiben;

6.4.2 Abschalten: Schalter S1 an der Antriebselektro-

nik bettigen. Bei Anschlu der Tur-bopumpe nach Schaltplan - sieheBetriebsanweisung der Antriebselek-tronik TCP 380 oder TCP 600 - wirdmit dem Abschalten der Turbopum-pe:

bei Einsatz eines Pumpstand-Steuer-gertes TCS 303, TCS 304 R oder

TCS 130, die Vorvakuumpumpe und

wenn vorhanden das KhlaggregatTZK 350 abgeschaltet;

das Flutventil geffnet und die Tur-bopumpe geflutet. Ist keine automa-tische Fluteinrichtung installiert, somu die Turbopumpe ber denFlutanschlu geflutet werden - sieheAbschnitt 4.5;

die Heizung der Turbopumpe abge-schaltet (nur bei Turbopumpe mitHeizmanschette).

6.4.3 Nach dem Abschalten: Bei Khlwasser vom Netz: Zuflu

absperren, um Kondensat an den

gekhlten Flchen zu vermeiden. Sperrgaszufuhr schlieen.

It can also be advantageous to heatthe turbo pump during the process inorder to avoid condensation of thereaction products in the pump. If theheated container is flanged directly, itmust be ensured that the temperatureof the high vacuum flange does notexceed 120 C during heating of theapparatus.

If the container is heated up to a tem-

perature above 200 C, thermal radiati-on from the container to the pumprotor must be prevented, e.g. byinstalling a heat radiation shield.

The heating time for the turbo pumpand container depends on the degreeof contamination and the ultimatepressure required. It should be at least4 hours.

6.4 Switching off6.4.1 Before Switching off: Close the HV-safety valve; Then operate the turbo pumping sta-

tion with sealing gas for at least15 minutes;

6.4.2 Switching off: With push-button S1 on the electro-

nic drive unit.If the pump is connected as shownin the wiring diagram - see the Elec-tronic Drive Unit TCP 380 or TCP 600Operating Instructions - the follo-wing operations are performed onswitching off the turbo pump:

If a Pumping Station Control UnitTCS 303, TCS 304 R or TCS 130 is isin use, the backing pump and, if pre-

sent, Cooling Water UnitTZK 350, are switched off. The venting valve opens and the

turbo pump is vented. If no automa-tic venting device is fitted, the turbopump must be vented via the v

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