preparation and characterization of srbi2ta2o9 thin films by low-oxygen-concentration annealing...
TRANSCRIPT
������������� �������������������������� ��������
����� �!������������"����!��� �#$�
���������������������� �������� ��������������������������������������������� ��� �!������������"�#�$��
�%&&"'(
����%��%&������'�()��*�����+�����'+((!�$��$�������
��( *������(��,���)$����+���+���,���( *- .!,��-� ����-
����� �� �����(��,� ������/+�"� ��� *��� $ ����(�� � � ������ �
���,(��$�� 0�1����$��������233�45����3"67� .!,���� ����-
����� ������'(+ �����$�����*��� ����0������233�45����8337
.!,��"���������� ����������%��%&������'�()�������(�����
293�45����3"67� .!,���*����*�((���!���((�:�������� )-
$ ���� '������� ��!���(� ,������*������ ��:�� '�63��)"����
��)������$ (���:��� ������ (��1�,���+������������!� '� ���
����%��%&� ����� '�()� �������� +���,� ����� ��*� ������/+�
*����6��5;�)%�����<���83=&��;�)%�>���9�?@����$����0�(!"
����'���(���)������$ (���:��� ���'����83&��*������,��!�(��
*�������(!�� ������"�A�8&&&�����$������������ (����� �,
#$��8%&>B@C�8=2�8&&&
)�� �����*� ����%��%&� '��� �(������� ����� '�()D
( *� .!,���� ��������� �������(��,D��$ (���:��� ��������-
���������D�'���,+�-*������������������������"
+, -����$����
��� ������� !����� ��0����)����� ��0�� �����)���� ��
��0�( $��,��$$(����� ��� '�'��� �(������������'�()����0��,
�!��������� ���������������� � � �� � �0 (���(�� )�) �!
>E����C�E��� �(����������� )����������) �!@"�����'��-
� �(�������)������(�� '�������$���� ��+������������)�) �!����
F�>����@<�>F��@�������-(�!���� )$ +����G8H"�����F��
����� '�()�� ��0�� ���� ���������0�� '���+��� ����� ���� ��)�����
$ (���:��� �� >F�@� ��� 0��!� ��,�� ��� %3� � � <3��5;�)%"� �+�
$� �(�)��' ��)�) �!��$$(����� ����)�����+���������� �-
�+������� '� �� $��� )�� �� ��((��� '���,+�� ��� *����� ���
��)������ $ (���:��� �� ���������� �+���,� �*������,� G%H� �
��,�� � ����0�� �(������� '��(�� ���� �� (��,�� (��1�,�� �+�����
������!"������� ����������' ��������-(�!���'��� �(�����������
'�()����������%��%&�>���@�)������(������)�((�'���,+��>�
'���,+�� ��+����0����'�����*������,�8388���)��@����� $����-
��,�0 (��,������)�((�G<H���������������)�((��)$������''���
)�1��,� ��� ��� ��������0�� ��$���� ��)������("� � *�0��� ���
��!���((�:��� ����)$����+��� '���������������'�()����I33�45
*����������,��������������' ��F���>293�45@"�E ����������� �
���� ��,������ �� '� ���� ���������������� �+�� � � ����)+�+�(
��''+�� �����*��������(���� ���������������(�)����������
'�()� ��� �� ��,� $� �(�)� *���� �$$(�����(��!� � � ���� ��-���
$� ����� ��� � ���������)�1��,� �� ( *-��)$����+��� �)$(�-
)������ �� '�������!���((�:��� ���������(�"
� )��( *-��)$����+�����!���((�:��� ������������ ��D
�.�)$(��� ���(+���) ��'!��,� ���� � (=,�(� � (+�� �� ��� ���
�������,� )������(� ���� �����(��,� ��� ( *� $����+��� GB� 9H"
� *�0���������������''��+(��������� )$ ���� ��� ��� (� '����
�������,�)������(�����$� ������ ��� (�' ��( *�$����+��"
���� ���� ��!���(� ���+��+��� ��� �� (�!����� $�� 0�1���
���+��+��"� .���� �+$��� ��+�� ��� (�1�� ���%5+<6=�
>��5@���0��������)�����+��+��"�E ����5�������� (+�� �
��)$����+��� ���'��� � � ���� ( *-��)$����+��� ����� ���� ���
(�/+���$�����' �)������(!�*�������� .!,���$�����(�$����+��
���)�����)�((����+���,���!���((�:��� ��� ������������!���(-
(�:��� �����$� ) ���"
��� ����,(!��������$$� ����� �����( *-��)$����+��
' �)��� �� '����������'�()�*��$��$�������''��������������
'�()��+���,�����( *- .!,��-� ��������� �������(��,�����-
��/+�� ��� ��� ��) �$������ $����+��� $� ����� ���� �0�(+����
��������!���((����!������(�������(�$� $������"
�, . ���������&�� ��
E�,+���8��� *��������!���(����+��+��� '��������"������
��(�!�����$�� 0�1�������+��+������*������* ��( �1��,�(�!���
'���-�����*������'��� �(�������(�!�����0��,������ )�"
E�,+���%��� *������$��$����� ��$� �����' ���������
�����'�()"��'����833��)� '�F��*���' �)����!����$+������,
)��� �� ��������;����+�������������� �� )��(���� ������
���������'�()�*���' �)����!����$���� ����,�)��� �"�E �
�����������,�)������(����� ���+)�%-���!(��.���������)+��
%-���!(��.���������������(+)���� .����*����)�.���*�����
5553B%B-6623;&&;3B3338-32
A�8&&&�����$�����������
(�������(� �,�������,����#�$���? ("�8%&�� "�B�8&&&�����(�����'� )����1����11���� ��+�����? ("�88I-��� "�B��$��(�8&&I�$$"�B8B=B8&
1
� )$ ���� �� '�)���(�) (������ � '���C��C���J�8"3�C�%"B�C�%
������ (=,�(�� (+�� �"������ (+�� ��*���������� $$��� ���
�+��������� �����,����<333��$)�������(��' ��<3��"�������'���
��!��,����893�45�' ��83�)��������������'�()������+�������
*������1������933�45�' ��83�)��"����������$��*������$�����
��������)���� �,����������$���+�� ��'�()�*����������1����
'�%%3��)"���.����!���((�:��� ��*����������� +���!������(-
��,� ��� 233� � � 633� 45� ' �� 8� � � 9� �"� ����� ,�0�� ��� ���
'��� �(������������'�()�*����(�!���$�� 0�1�������+��+������
'�()� ����1����� '� %%3� �)"� ��� ����� �����(��,� ���� .!,��
� ��������� �� '� ���� ��) �$������ ,���*��� ����,��� '� )
3"89�� �8337�>� ��(�$����+���8���)@��!���K+����,�����)�.��,
���� � '� .!,��� ���� ��, �"� E �� ������ $��$����� ��� ��!
.!,���� ��������� ����) �$������������+�����!���K+����,
����)�.��,����� � '� .!,���������, ��,����D�) �� 0��������
��� ���� ������� �)�(�$����+�������)��� �����0��!���)$(�"
��.��F���(���� ����*�����* ����)������3"8�))�>�����C�I��
83=9��)%@�����3"%�))�>����C�<���83=B��)%@���������1����
'��� +��893��)�*������$ �������!��$+������,�� �,�������� $
�(���� ��� �� �������� ����� '�()"�E���((!� ���� '��� �(������
��$���� ��*���$��$������!������(��,���� .!,������������)�
��)$����+������+�������������!���((�:��� �����$�' ��<3�)��"
���� ��!���(� ���+��+��� '� ���� ���� '��� �(������� ����
'�()�*����0�(+�����*�������L-��!���''����� ��)�����>��,�1+
5 "����-8�@����������+�'����) �$� ( ,!�*��� ����0��
*�������������,��(���� ��)��� �� $��>� �D������������"
�-B933@"�����'�()�� )$ ���� ��*������(!:���*����������+�-
��0�(!�� +$(���$(��)���$���� )����� >�5F@"�������)�����
$ (���:��� �� )���+��)���� *��� )���� *���� ��22�� ���
��2333� �����+)����� >�������� ����� ( ,!� 5 �$"@� ��� ��
�$$(����0 (��,��'� )�8�� �9�?"�����(��1�,���+������)���-
+��)����*���$��' �)���*��������FB8B3��)���+���,���-
���+)���������0 (��,�� '�3�� ���9�?����3"8-?����$�"�����'���,+�
����������������*����)���+����*����������2333��������$-
$(����0 (��,�� '���9�?�������'��/+���!� '�93�1�:"
/, '��$�����������������
E�,+���<��� *������L-��!���''����� ��$�������� '����
���� ����� '�()�� �����(��� ��� 233� 45� ' ��8���*���� .!,��
E�,"�8"� 5�!���(����+��+��� '�����%��%&"
E�,"�%"� F� �����' ��$��$����� �� '�����%��%&������'�()"
E�,"�<"� L-��!���''����� ��$�������� '�����%��%&�����
'�()�������(������233�45�' ��8������>�@�8337�%�����>�@
3"67�%"
2
� ��������� ��� '�>�@�8337�����>�@�3"67"����E�,"�<>�@�$��1�
������ ������$�� 0�1�������+��+��� '���������� ��������+�
$��1����+�����!�����'(+ ��������+��+�����( �,��,�� �E)<)
����������'���"������'(+ ��������+��+�������0��!���,���$���
�!))���!D���������� (����������(��,��' ��� )$ ���� ����0��-
�� ������ ���)���(�������� ��������G6H"������� ������������
E�,"�<>�@�� �$��1�������� ������'(+ ��������+��+�����������
�(!�$�� 0�1�������+��+���$��1������,�������'���"�M�������
.!,���� ��������� �����8337�����������!���((�:��� ����)-
$����+����������������'� )�233�� �I33�45�������1� *������
���� $����� ����,��� '� )� '(+ ����� ���+��+��� � � $�� 0�1���
���+��+���G<H"�������������+(��� '�E�,"�<��� *������������)�
�''������� ���������,�������!���((�:��� ����)$����+���������
���������!�( *����,����� .!,���� ��������� ���0���+$��
233�45"
E�,+���B��� *����������,��� '�����L-��!���''����� �
$��������*�������� .!,���� ��������� ���������,����(�,��(!"
E ����� .!,���� ��������� �� '�%"I7� �(!�$��1�������� �
����$�� 0�1�������+��+��� '���������������'���"�������!���(-
(�:��� ��)+���������$� ,������������� .!,���� ��������� �"
� �� 0���*�������� .!,���� ��������� �����( *������ �8"3
����3"67�������''����� ��$������������������)�"�� *�0��
������ .!,���� ��������� �� '�3"<7�������''����� ��$��1�
'�>8883@�>338B@�>%89@� ��������,������,(������� '� 0���%�
J�B94�����$$��������������!���((����!������,�����"������)�!
����+��� �����'���� �����*�������� .!,���� ��������� ����
��( *�3"<7������) +��� '� .!,����0��(��(��' ��' �)��� �
'�����$�� 0�1�������+��+���������+''�������� �� ���!���((���
$���������'(+ �����$�������)��������������!���((����!� '����
$�� 0�1�������+��+��������,�����"
E�,+���9��� *��� ���(��� ������*�������� .!,���� �-
�������� ����������$��1���������!� '����������)�����'� )
L-��!���''����� ��)���+��)����"�����$��1���������!����� � '
����0������(��.����������0�(+�� ���������!�� �)�(�:��,����
$��1� ��������!� '� ���� >839@� �����)����� '� )� ����L-��!
��''����� ��$�������� '�E�,"�B�*��������$��1���������!�0�(+�
' ����)$(��'�()�'� )� .!,���� ��������� �� '�%"I7"�M���
�����(��,���)$����+����'� )�233�� �633�45�����$��1������-
���!����� � '������������ ����������������� .!,���� �������-
�� ���������,���'� )�%"I7�� �3"67"�����$��1���������!�����
���������,����������� .!,���� ��������� �� '�3"67���������
���� $��1� ��������!� ���� � ������ � � ��������� ��� ���� .!,��
� ��������� �� ��� )��� ( *��"� � �� 0��� ��)�(��� ���+(��
��0������� ��������' ����������>883@"������' ������� .!-
,��� � ��������� �� '�3"67� ��� $��)�(� ��� ���� ��)$����+��
��,� �� '�233�� �633�45"
��.��� ���0����,������������,�� '��������� )$ ���� �
'� ���� ���� ����� '�()� �����(��� +����� ���� � ����� �� '
��''������ .!,��� � ��������� ��� �5F� ���(!����*��� � ��"
E ��������;������� � '�%"B���������������,�)������(��������;��
���� � '��������������'�()��'���������(��,�������((�%"B�+���,
���� .!,��� � ��������� �� '� 8337"� � *�0��� ���� ����
E�,"�B"� ''���� '����� .!,���� ��������� �� ������L-��!
��''����� ��$�������� '�����%��%&�����
�'�()�������(������233�45�' ��8��"
E�,"�9"� 5 ���(��� ������*�������� .!,���� ��������� ��
��������� �)�(�:���$��1���������!�
'�����%��%&������'�()�"
3
����������� �%"%�*�������� .!,���� ��������� �����3"67"
� �� 0���������%"39������� .!,���� ��������� �� '�3"897
�� *��,���������������������) +��� '��������������*�������
.!,���� ��������� �����( *����"������������� ����$ �����
�������+(�������������!���((����!� '�����$�� 0�1�������+��+��
�� *�����E�,"�B�*�����,�����"�������5��+$��� ��+�� �
���1� *��� ������(�!�����$�� 0�1����0��!���)�(���� ����"���
�����������$ ����������' ����5��+$��� ��+�� ��������!�-
��((�:��� ����)$����+����������( *�����*������!���(�,� *��
+��(�:���(�/+���$������ �������,��(�)����(�5+�G2H"�E �����
���� '��������+�!�' �)��� �� '�����(�/+���$�������+�����!
���� (+�� �� '� .�������$� ) �����!�( *����,����� .!,��
� ��������� �� ���� ��� �� ���+(�� '�()� ' �)��� �� ��� ( *��
��)$����+���)�!���0����� )��$ ����(�"
E�,+���2��� *������)���+�����!���������( $�� '����
���������'�()�"�������)$(���*�����((�$��$����������������(-
��,���)$����+��� '�293�45"�E ������ .!,���� ��������� �� '
8337����������)$(��*� ��������(��,���)��*���8��������
��� �� (������ ����,�� ��� �� ���0��,� 0 (��,�� '� 9� ?� �+�� �
�!��������� ��� ����"� ���� ���+(�� ��� �(� � ���� ��)��*���� ���
���0��,� 0 (��,�� ��� ���������� � � %3�?"��!��������� �$$����
*�������������(��,���)�����( �,���9�������������)�����
$ (���:��� ��>%F�@�������0�(+�� '��� +��<��5;�)%���������0��,
0 (��,�� '�9�?"������� ����������' ���������������'�()
�����(���' ��8�� +�������� .!,���� ��������� �� '�3"67
%F��������0�(+�� '��� +��6��5;�)%���������0��,�0 (��,�� '�9
?"������$ (���:��� ���������������������� +���*���������,����
' �� ���� ���� ����� '�()� $��$����� +����� ���� � ����� ��� '
.!,���� ��������� �� '�8337����������(��,���)�� '�9��"
� �� 0�������������������)$(������� ����0���(�������'��(�
> �@��� *����0�(+�� '��� +��B9�1?;�)"����� �����������-
���������� '��������������'�()��$��$�����+���������� ����� ��
'� .!,���� ��������� �� '�8337�����I33� 45������(��,
*����������)��� )$ ���� ������ �����������+�!�%F������� +�
%��5;�)%���������0��,�0 (��,�� '�9�?�GIH"����� ������� +�
<9�� �23�1?;�)��� +,������� )$ ���� ������ ����������(��,
� ����� ���������''������GB�9�I=88H"����������)$(��$��$����
�����( *���)$����+��� '�293�45�������� .!,���� ��������� �
'�3"67�+��������������+�!�%F���� *����0�(+�� '��� +��<"9
��)��� (��,��� ���� ����0�(+�� '� �� ��� �)�((��� ����� ����� ' �
��)$(���$��$������!���� �0���� ��(������(��,�������/+�"
��+���������������'�()��$��$������!�����( *- .!,��-� �-
�������� �� �����(��,� ������/+�� ���� �.��((���� � �� �(!� ��
��!���((����!��+���(� �����(�������(�$� $������� '�%F������ �"
E�,+���6��� *������)���+��)�������+(���' ������(��1-
�,������������������ '����������'�()��$��$�����+�������''��-
���������(��,�� ����� ��"�����,������ �� '�(��1�,���+�����
������!��������� ����*��������0 (��,�� '�8�?D��������'(��������
��)������$ (���:��� ����������������"�����������������'�()
$��$����� ���I33�45� ���� (��1�,���+������������!� �� *���
������ '�(���������������'� )���0 (��,�� '��� +��8"9�?"�������
���������'�()�$��$�����+�������� .!,���� ��������� �� '
8337� ���� �����(��,� ��� 293� 45� ' �� 9� �� (��1�,�� �+�����
������!����( *�>83=I��;�)%@������0 (��,�� '�9�?"������� ����
����� ��� ���� ���� ����� '�()�� $��$����� +����� ��� .!,��
� ��������� �� '�3"67����������(��,����293�4�' ��8��������
������ ����� '�83=&��;�)%�+$�� ���0 (��,�� '�9�?"���+�����
(��1�,���������������������� ���� ��* � ������ '�)�,���+��
�������� )$������ �������)$(���$��$������!���� �0���� ��(
�����(��,�������/+�"
E�,+���I��� *��� ��)��� ,��$��� '������+�'����� '
�* ����������'�()�"��������������'�()�$��$�����+�������
.!,���� ��������� �� '�3"67�����293�45������(��,����E�,"
I>�@����������+��+������*�����'������!���(�,������ '��0���,�
,�������:���� +��63��)����������(!�� ����������"��+�����
���������'�()�$��$�����+�������� .!,���� ��������� �� '
8337�����I33�45������(��,����E�,"�I>�@����������+��+�����
*������ (+)����,������ '��0���,��,�������:���� +��B<3��)
E�,"�2"� �!���������( $�� '�����%��%&������'�()�"
E�,"�6"� 5+������������!=�$$(����0 (��,����������������
'�����%��%&������'�()�"
4
����� ����������"�������� �� ����0��� �����'(����*�((����
(��1�,������������������ '�E�,"�6"��������� ��*�!�������)$(�
�����(��� ��� 293� 45� ���� �.��((���� (��1�,�� ���������������
)�!���� �+�� � � ���� '���� ��!���(� ,������*����� ���� �����(!
� ����������"�����������������'�()������(������I33�45���
*�����$ ����������������!���(�,����������(��,��%33�� �8333
�)���������(��1�,���+������������!������������+����(!�����
0 (��,�� '� 0���B�?�GBH"���+���!�( *-��)$����+��������(-
��,������������ ��������� �� '�'������!���(�,��������� )��
$ ����(�� ���� ��� �� ���+(�� ���� (��1�,�� ���������������� ���
�)$� 0��"
E�,+���&��� *���������+(��� '�����'�()�'���,+��������-
���������� '��������������'�()��$��$�����+���������� ����� ��
'� .!,���� ��������� �� '�3"67����������(��,����293�45
' ��8��"�����)���+��)����*����������� +��*��������3"8-))-
���)�����F��� $��(���� ��"�����0������(��.����� *������0�(+�
���������!�� �)�(�:��,��������$����0��F��0�(+��*�������
������(� F�� 0�(+�"� � ��� NF�� ���� =F�� ���� � +,�(!� � ������
�+���,�83&��*������,��!�(��"������!��������� ( $����' ��
���� �'���� '���,+�� ���� �(� � �� *�� ���E�,"� &"������� ���� �
��''���������������$� '�(��� '������!���������K+���������������
� ��� �������F��0�(+������� ��0�(+��"���+��������������
'�()��$��$������!�����( *- .!,��-� ��������� �������(��,
������/+���(� ���0���.��((����'���,+�����������������"
0, ����$����
M����0�� ��+����� ���� ( *-��)$����+��� ' �)��� �� '
����%��%&�>���@�'��� �(������������'�()���!�����( *- .!-
,��� � ��������� �� �����(��,� ������/+�"� ��� �� ���+(�� ���
' (( *��,�� ��(+�� ���*���� �������"
>8@� ����,� ���� ( *- .!,��-� ��������� �� �����(��,
������/+����$�� 0�1�������+��+��� '����������'�()�� +(����
' �)����0��������( *���)$����+��� '�233�45�*��������%33
45�( *������������� �0���� ��(���!���((�:��� ����)$����+��
'�I33�45"
>%@�������!���((����!� '����������'�()��*���������,����
*�������� .!,���� ��������� ��*���3"67"
><@�����$ (���:��� ���!������������������������ '����
����'��� �(���������$���� ��$��$����������� .!,���� ����-
����� �� '�3"67����������(������293�45�' ��8���*����� +�
�*�������, ���������� '�������$���� ��$��$����������� .!,��
� ��������� �� '�8337����������(������293�45�' ��9��"����
%F�� '�����' �)���*���6��5;�)%���������0��,�0 (��,�� '�9�?"
>B@�����'�()��+�'����) �$� ( ,!� '��������������'�()
$��$������!�����( *- .!,��-� ��������� �������(��,�����-
��/+��*��������+��+������*�����'������!���(�,������*������
�0���,�� ���)����� '� �� +�� 63� �)�*���� �����(!� � ����-
������"�����(��1�,���+������������!�*���0��!��)�((�O�<��
83=&��;�)%� ���� ��� �.��((���� (��1�,�� ���������������*��
�� *�"
>9@�� �����,������!������������������������*�������
�0��� �'���� ���� 0 (��,�� ��0����(� '� 9�?�*��� ��$������ 83&
��)�����������'���,+�����������������*����(� ��.��((���"
"�1�����!����
M��* +(�� (�1�� � � ����1���"���� ������1�� ������"
��:+� ���� ���� '�5�����(������������� ��� �!� '��������
���"�' ��������� $����� ����������0�(+��� �� '������(�������(
$� $������"
E�,"�I"� � ��)��� ,��$��� '�����%��%&������'�()�
�����(������>�@�293�45�' ��8������3"67�%�����
>�@�I33�45�' ��8������8337�%"
E�,"�&"� ������(���0����)������$ (���:��� �� '
����%��%&������'�()������'+���� �� '��+)���� '
�*������,��!�(��"������!���������( $����' ���
�����'����'���,+������������(� ��� *�"
5
'.�.'.2�.�
8" ��� ��1������������1���� ���+!���"�E��� �(������
�����'�()�)�) ����"���������E �+)�5 "D�8&&9"
%" ���)�:+������ ��1���"�F� ��8&&B������������ ��E�((
������,"
<" ���������� ���) �����M������������ +K �5�"�#$�
#��$$(�F�!��8&&9D�<BC9%<<"
B" �� +� �� ����1+� ��� � 1 !�)�� ������+��,�� �
���+1����� ��:�*����,���"�#$��#��$$(�F�!��8&&2D
<9CB&%9"
9" � �*��������������������#��*��+��������1���
� ����������"�#$��#��$$(�F�!��8&&2D�<9CB&B2"
2" �����������:+������+)�,����"�F� ��9��������!)$
�+$��� ��+���0��!�>���&%@�� ���$�296"
6" ��� ��1�����)������ ���5��+,�!�)�����1�����
M�������� �� �������� �� ��+��� �� ����1�� �"� #
�+�� ))��$$(� (���� ����F� $�������8&&9D8C89"
I" ���+1����� !�)����� ��:�*����,���"�#$��#��$$(
F�!��8&&9D<BC93&2"
&" � �,�������� #�� #+�,��#"��$$(�F�!�������8&&2D
2&C<<I&"
83" ���������� ���) �����M�������������+K �5�"�#$�
#��$$(�F�!��8&&9D<BC9%<<"
88" �������+����*�+���"��$$(�F�!�������8&&2D�2IC282"
"%�3�'�>'� )�(�'��� ���,��@
��1��1���+:+1��>� �)�)���@�,���+�����'� )�������$���)���� '�����(����+���!� '���� ���������(���,����� (� '������1�
F��'���+������8&I%����������K ����������������"��������* �1�������������������������� ��� �!�������8&I<"����*�����,�,��
)���(!�������������������0�( $)���� '�)���(�����+��+��(�����)���������+$��� ��+����,�)������(�D���������+�����(!���,�,�����
���������������0�( $)���� '�'��� �(�������)������(�"���������)�)���� '�����#�$���� ����!� '��$$(����F�!�������������5�! ,����
��� ����� �� '�#�$��"
� ��������������)��>)�)���@�� )$(���������)�����P��� +����>�$$(�������)����!�)�K �@�������� �,�������,���������
��0��� �� '���������+������� (� '�� � 1+����0�����!����8&I6����������K ������������������������� ��� �!� '������������"���
*��������� ������+$��� ��+���0��!� �,�������,���� ��� �!� '���������� ��(��+$��� ��+���0��!����+���!���������� ( ,!���������
5������'� )�8&&8�� �8&&B"����*�����,�,���)���(!�������������������0�( $)���� '�������$$(����� ��� '�'��� �(������������'�()�"
�������+�����(!������������������������������������� ��� �!"�����������" �,"���,���"���������)�)���� '�����F�!����(�� ����!
'�#�$�����������#�$���� ����!� '��$$(����F�!����"
��:+� ���� ��,����!�)�� >� �)�)���@� � )$(����� ���� � �� ��(� � +���� ��� ���� �,�������,� ��������� ��0��� �� '� ���
����+������� (� '�� � 1+����0�����!����8&I<����������K ������������������������� ��� �!� '������������"���������,�,��
)���(!� ��� ��������� ���� ��0�( $)���� '� .���� �+$��� ��+�� ��"� ��� ��� �+�����(!� �� ���� �� ����������� ��� �������� ��������
��� ��� �!"�����������" �,"���,���"���������)�)���� '�����#�$���� ����!� '��$$(����F�!�������������5�! ,�������� ����� �
'�#�$��"
6