PVD COATING PROCESS

东宇热处理工业（株）

Arc PVD Coating 概要 利用 PLASMA 在 TARGET 表面使用 ARC ， E-Beam ， Direct

heating 等蒸发金属物质后增加加速 Bias 电压在产品表面蒸着的真空法。

Titanium(Ti) is vaporized, ionized and accelerated in one step by the arc, e-beam,direct heat.

Reactive gas is added to the metal ions and ionized. All ions are accelerated towards the workpiece by the BIAS voltage

Targ

et

Cath

od

e

N2 Reactive gas

Work

pie

ce

TiN

Ti+

Ti++

0 ~ -1000V

BIAS Voltage

BIAS VoltageBIAS VoltageVaporization, ionizationVaporization, ionization

Solid Target( Ti )

Ti++

Ti++ Ti+

Ti+

0 ~ ㎛

ArcE-beam Direct heat

Heated ion cloud = Plasma

东宇热处理工业（株）

PVD Coating 特征

● 高硬度 （ High Hardness ）● 高密度的组织 （ Dense Structure ）● 平滑表面 （ Smooth Surface ）● 低磨擦率 （ Low Friction Coefficient ）● 化学 稳定性及无反应性● 低热传导 （ Low thermal comductivity) ● 密着特性 （ Excellent adhesion)

涂层膜 颜色 硬度 (Hv) 耐磨性 耐蒸着性 耐腐蚀性 耐散化性 使 用

TiN 金色 ~2,500 ★★ ★★ ★★ ★★ 切割工具，金属，技能型配件，装饰

TiAlN 黑色 ~3,000 ★★★ ★★ ★★ ★★★ 切割工具

CrN Metal ~2,000 ★ ★★★ ★★★ ★★ 金属 , 机械配件 ( 耐腐蚀性 )

Coating 膜 种类及特性比较

东宇热处理工业（株）

离合器 PUNCH

立端刀 , 滚刀等

膜厚度 : 3 ㎛

化妆品 MIX

涂层膜种类 : TiN

备注 : 应用现有 Cr 涂金⇒因磨损 Cr 成分对人体有影响

东宇热处理工业（株）

PVD 涂层应用事例 -TiN

材质 : SKD11

膜厚度 : 3 ~4 ㎛

涂层膜种类 : TiN

用途 : 汽车离合器材质 : SKD11

膜厚度 : 3 ㎛

涂层膜种类 : TiN

用途 : 立端刀等 切割工具

电子配件制陶术粉末ＰＵＮＣＨ

ＰＵＮＣＨ类

东宇热处理工业（株）

PVD 涂层应用事例 -TiN

材质 : ＨＳＳ

膜厚度 : 3 ㎛

涂层膜种类 : TiN

备　注 : 未涂层时划痕涂层后提高１０倍以上的寿命效果。

材质 : ＨＳＳ

膜厚度 : 3 ~4 ㎛

涂层膜种类 : TiN

备　注 : 涂层后提高寿命效果。

东宇热处理工业（株）

工具类 ( 钻孔机 )

指甲修整用 , 砂纸切断用金属

Circular Saw Blade

PVD 涂层应用事例 -TiAIN

材 质 : HSS

膜厚度： 3~4 ㎛

涂层膜种类： TiAIN

材 质 : HSS

膜厚度： 3~4 ㎛

涂层膜种类： TiAIN

备 注：可以处理直径 550mm 为止

材 质 : HSS

膜厚度： 3 ㎛

涂层膜种类： TiAIN

东宇热处理工业（株）

普通钢板弯曲用 Die(1.3t)

PVD 涂层应用事例 -CrN

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN

备 注：应用 T.D 处理时因变形问题应用 CrN 涂层

普通钢板弯曲用 Die(1.3t)

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN

备 注：未涂层时 100 个左右 , 涂层时可以加工数万个

CROSS MBR STEELS (LH, 1.4t)

CROSS MBR STEELS (RH, 1.4t)

东宇热处理工业（株）

PVD 涂层应用事例 -CrN

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating , ION 氮化 + 涂层）

备 注：完全解除 Steels 变形及提高形形成 ( 磨擦系数低 )

材 质 : HK700 (SKD11 类似钢种– 铸钢 )

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating , ION 氮化 + 涂层）

备 注：应用 T.D 处理时因变形问题应用 CrN 涂层

FR SIDE MBR STEELS

FR SIDE MBR STEELS

东宇热处理工业（株）

PVD 涂层应用事例 -CrN

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating , ION 氮化 + 涂层）

备 注：应用 T.D 处理时因变形问题应用 CrN 涂层

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating , ION 氮化 + 涂层）

备 注：完全解除 Steels 变形及提高形形成 ( 磨擦系数低 )

BUMPER STEELS(1.6t)

FUEL TANK STEELS(0.8t)

东宇热处理工业（株）

PVD 涂层应用事例 -CrN

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating , ION 氮化 + 涂层）

备 注：应用 03.11.30 现在量产操作中

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating , ION 氮化 + 涂层）

备 注：应用 03.08.05

RR X MBR UPPER STEELS(2.0t)

MBR STEELS (2.0t)

东宇热处理工业（株）

PVD 涂层应用事例 -CrN

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating , ION 氮化 + 涂层）

备 注：应用 03.10.10

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating , ION 氮化 + 涂层）

备 注：应用 03.09.15 现在量产处理中

RR FLR /SIDE STEELS(1.4t)

燃料槽支架 STEELS(0.8t)

东宇热处理工业（株）

PVD 涂层应用事例 -CrN

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating , ION 氮化 + 涂层）

备 注：应用 02.09.30

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating , ION 氮化 + 涂层）

备 注：应用 02.09.30 03.12 现在量产操作中

HINGE DIES STEELS(4.8t)

FR SIDE MBR STEELS (1.6t)

东宇热处理工业（株）

PVD 涂层应用事例 -CrN

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating , ION 氮化 + 涂层）

备 注：应用 03.10

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating , ION 氮化 + 涂层）

备 注：应用 03.10

CROSS MBR STEELS (LH, 2.3t)

SIZING DIE

东宇热处理工业（株）

PVD 涂层应用事例 -CrN

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating ）

备 注：应用 T.D 处理时因变形问题应用 CrN 涂层

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating ）

备 注：应用 T.D 处理时因变形问题应用 CrN 涂层

东宇热处理工业（株）

汽车 STEELS (2.0t)

PVD 涂层应用事例 -CrN

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating ）

备 注：应用 T.D 处理时因焊接及变形 问题应用 CrN 涂层

东宇热处理工业（株）

汽车 STEELS (2.0t)

PVD 涂层应用事例 -CrN

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating ）

备 注：应用 T.D 处理时因焊接及变形 问题应用 CrN 涂层

东宇热处理工业（株）

汽车 STEELS (1.8t)

PVD 涂层应用事例 -CrN

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating ）

备 注：应用 T.D 处理时因焊接及变形 问题应用 CrN 涂层

东宇热处理工业（株）

汽车 STEELS (1.6t)

PVD 涂层应用事例 -CrN

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating ）

备 注：应用 T.D 处理时因焊接及变形 问题应用 CrN 涂层

东宇热处理工业（株）

汽车 STEELS (1.6t)

PVD 涂层应用事例 -CrN

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating ）

备 注：应用 T.D 处理时因焊接及变形 问题应用 CrN 涂层

东宇热处理工业（株）

汽车 STEELS (3.0t)

PVD 涂层应用事例 -CrN

材 质 : S45C

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating ）

备 注：形成 AI 板材应用 CrN 涂层

东宇热处理工业（株）

STEELS (1.6t)

PVD 涂层应用事例 -CrN

材 质 : HK600 铸钢

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating ）

备 注：应用 T.D 处理时因焊接及变形 问题应用 CrN 涂层

东宇热处理工业（株）

DIE STEEL (1.6t )

PVD 涂层应用事例 -CrN

材 质 : SKD11

膜厚度： 5 ㎛

涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating ）