S8000

Manual for user

SEM 장비사용방법 (기초)

장비시작하기

1. Windows 바탕화면에서 Tescan Essence 아이콘을마우스더블클릭하여실행한다.

2. 자동으로장비통신이이루어지며 Self Test가진행된다. 문제가발생할경우

우측그림옆에추가적인창이뜨며, 에러메세지가나타난다.

(Tescan Engineer 에게화면캡쳐이미지및에러메시지전달후확인요청)

3. 정상적으로, 우측과같이 Login 창이뜨면, User ID를선택하고암호를입력한다.

암호입력후키보드엔터혹은 OK 버튼마우스클릭한다.

장비시작하기

4. 소프트웨어가정상적으로실행될경우아래와같은화면이나타난다. (사용자설정에따라화면이다를수있음)

Tescan Essence UI

FIB 패널SEM 패널

스테이지컨트롤

챔버카메라

이미지보정도구이미지측정도구

SEM 라이브화면

챔버 Vent & Pump

챔버열기

1. UI 우측상단 Vent 옆에있는 ▼ 를클릭하게되면

Pump chamber, Vent Chamber, Off, Sample exchange

가나오는데, 시료를넣기위해서는챔버를열어야하므로

Vent Chamber를클릭한다.

2. Vent 확인메시지가나오면 Yes를클릭한다.

3. 우측 Stage Control Pad의 Home 버튼을클릭한다.

시료로딩하기

1. Vent 가시작되면우측그림과같이 Sample Exchange 창이나타난다.

2. Vent 완료가되면 Chamber venting 메시지가다음과같이변경된다.

만약 Venting을위한질소가스가부족할경우 Vent가완벽하게진행

되지않으며, 질소가스를교체후다시 Vent를진행한다.

3. Chamber Door 를서서히연다.

시료로딩하기

1. Chamber Door 열기 2. Stage 원하는번호에시료를넣고 1.5 육각렌치를돌려고정한다.

1 2

4

3

5

67

1. Chamber Door 를닫고 UI 우측상단 Pump 옆에있는 ▼ 를

클릭하고, Pump chamber 를클릭한다.

2. Chamber Pumping 에서 Pump가완료되면

Chamber ready for analysis 로변경된다. Finish 버튼클릭.

챔버펌프

Chamber Door를손으로밀어주면서

Pump를실시해야함!!

Door가열린채로 Pump 시 Leak가발생

SEM Image 촬영

SEM Scan Pad 설명 (기본위치우측상단)

1. 빔켜기버튼을클릭하면, 자동으로실시간스캔이활성화된다. (만약활성화되지않을경우실시간스캔클릭)

빔켜기SEM Beam On

(Gun valve Open)

빔정렬Alignment

Wizard

1회스캔Single Scan

실시간스캔Live Scan

이미지촬영Acquire Image

SEM Image 촬영

2. Stage Control 하단부에서로딩한시료가있는번호를클릭한다.

SEM Image 촬영

3. SEM 라이브화면창에서 좌측에있는 ▼ 클릭후 E-T Detector 클릭

SEM Image 촬영

4. SEM 라이브화면을마우스우측버튼클릭후 Maximum Field of View 선택 (단축키 Shift + M)

5. SEM 라이브화면을마우스우측버튼클릭후 Auto Brightness/Contrast 선택 (단축키 Shift +B)

SEM Image 촬영

이곳을클릭해도동일

- Scan Speed 변경방법 : 화면에서마우스휠을상하로변경. 혹은라이브이미지를클릭후키패드번호를누른다.

SEM Image 촬영

1 2 3

4 5 6

7 8 9

10

키보드 NumLock LED에

불이들어와있어야작동

Scan Speed (1~10)

- Stage 이동방법 (1) : 화면에서원하는위치를마우스가운데버튼클릭하면해당포인트가가운데로이동한다

SEM Image 촬영

마우스가운데버튼클릭

초점(WD)이맞지않을경우정확한포인트로이동하지않음

- Stage 이동방법 (2) : Stage Control 화살표아이콘클릭, (키보드 Ctrl + ←↑→↓ 으로 X,Y 이동이가능)

SEM Image 촬영

6. 우측 SEM 패널에서 UH-RESOLUTION 옆에있는 ▼ 를클릭하고 ANALYSIS 클릭

SEM Image 촬영

7. 배율조정을위해 SEM 패널 Mag 클릭 (단축키 M) 8. Track Ball 을좌우로움직여서배율을조절한다.

SEM Image 촬영

배율축소

배율확대

Mag 클릭시 Pad 표시창이 Magnification(SEM)으로변경됨

9. 초점조정을위해 SEM 패널 WD 클릭 (단축키 W) 10. Track Ball 을좌우로움직여서초점을조절한다.

SEM Image 촬영

WD

감소WD

증가

WD 클릭시 Pad 표시창이 Working Distance(SEM)로변경됨

11. 초점조정시라이브화면을마우스왼쪽더블클릭하면축소된 Scanning Box 가나타난다. (박스내부만 Scan)

- 마우스왼쪽더블클릭 : Scanning Box 생성및제거

(Tip. 초점을맞출때는 Scan Speed를 3 또는 4로맞추면좋음)

- 마우스왼쪽클릭하여드래그 : Scanning Box 이동

- 마우스오른쪽클릭하여드래그 : Scanning Box 크기조절

SEM Image 촬영

x2

12. 초점을어느정도맞추고 Stage Control 패널 WD&Z 13mm 클릭

13. 초점을다시맞추고 Stage Control 패널 Analytical 클릭 (WD 6mm)

SEM Image 촬영

14. 우측 SEM 패널에서 ANALYSIS 옆에있는 ▼ 를클릭하고 UH-RESOLUTION 클릭

15. BC OO pA옆에있는 ▼ 를클릭하고 Set best resolution 클릭

SEM Image 촬영

16. SEM 라이브화면창에서 Bright Beam 클릭

17. Degauss 아이콘클릭 (단축키 D)

SEM Image 촬영

18. 라이브화면을마우스왼쪽더블클릭하여 Scanning Box를생성한후, SEM Objective Centering 아이콘클릭

SEM Image 촬영

x2

단축키 Ctrl + W

- SEM OBJ Centering 요령 (Wobbling) 1. 먼저이미지가흔들리는방향을확인한다.

2. 이미지가좌우로흔들릴경우 Track Ball을왼쪽으로

굴려본다. 만약이미지가더심하게흔들릴경우오른쪽으로

굴리면된다. 이미지가상하, 혹은대각선으로흔들릴경우에도

마찬가지로흔들리는방향으로 Track Ball을굴려본다. 이미지가

심하게흔들릴경우반대방향으로굴리면된다.

완료후에는 Finish 버튼을클릭

SEM Image 촬영

흔들림이가장적을때

(화면이제자리에서깜빡거릴때)

Image quality is best !!

19. SEM 패널에서 Stg OO/OO % 클릭 (단축키 S)

- 키보드 F12를계속누르면서 Track Ball을좌우로조절.

- 키보드 F11을계속누르면서 Track Ball을상하로조절.

- 초점을맞추듯이이미지가가장좋은지점을찾는다.

- 이미지가가장좋은지점을찾은후에는 WD를조절.

SEM Image 촬영

F11 F12

20. OBJ Centering, Stigmator, WD 를번갈아조절하면서최적의이미지를찾는다.

21. Image를저장할때는 Scan Speed를 5 이상으로변경후 Acquire Image Icon 클릭. (단축키 Shift + A)

SEM Image 촬영

22. 이미지저장이완료되면, 이미지를저장할폴더를선택후파일명을입력한다음 Save 클릭, 또는엔터

SEM Image 촬영

23. 파일저장하지못한경우, 이미지를마우스오른쪽클릭한뒤 Save Image를선택한다. (단축키 Ctrl + S)

SEM Image 촬영

24. 파일저장하지못한경우, 이미지를마우스오른쪽클릭한뒤 Save Image를선택한다. (단축키 Ctrl + S)

SEM Image 촬영

1. 관찰하고자하는시료의초점을맞춘뒤, WD&Z 패널 10mm 클릭.

2. Stage가 WD 10 mm 위치로완전히이동하면, SEM 라이브창에서

디텍터를 BSE로선택. 우측디텍터아이콘을클릭후

Insert detector 를선택하면 BSE 디텍터가삽입된다.

BSE 디텍터사용하기

3. BSE 디텍터가완전히삽입된후, Image 밝기를적당히조절하고

초점을맞춘다

4. 다시 WD&Z 패널의 Analytical 을클릭.

5. E-T 디텍터와마찬가지로 WOB, STIG, WD를조절후이미지를촬영.

6. 이미지촬영을완료하고디텍터사용이끝났으면, WD&Z 패널의 10mm

를다시클릭하여 Stage를내려준다.

7. 디텍터아이콘을다시클릭하여, Calibrate and park detector를눌러서

BSE 디텍터를원래위치로돌아오게한다.

BSE 디텍터사용하기

1. SEM Scan Pad의 아이콘을눌러서 Gun Valve를닫기.

(빔종료)

2. Stage Control 의 Home 버튼을클릭.

3. 장비를 Vent 한다음, Vent가완료되면시료를제거한다.

4. 장비를 Pump 한다음, Pump가완료 되면

우측상단의 아이콘을눌러서 Standby를실시한다.

- Power save mode : 장기간장비를꺼둘경우 (퇴근시)

- Sleep mode : 잠시자리를비울경우 (궂이사용할필요는없음)

장비종료

FIB 장비의경우 Standby 기능을사용하지않는것이좋다.