spektrometria augeroÝch elektrÓnov
DESCRIPTION
SPEKTROMETRIA AUGEROÝCH ELEKTRÓNOV. Použitá literatúra. L.E. Davis et. al.: Handbook of A uger E lectron S pectroscopy, Physical Electronic Industries, Inc., 1994 . - PowerPoint PPT PresentationTRANSCRIPT
SPEKTROMETRIA AUGEROÝCH ELEKTRÓNOV
Použitá literatúra
L.E. Davis et. al.: Handbook of Auger Electron Spectroscopy, Physical Electronic Industries, Inc., 1994.
D. Briggs and M.P. Seah: Practical Surface Analysis – Vol. 1 Auger and X-ray Photoelectron Spectroscopy, John Willey & Sons, 1983.
Analýza povrchu / objemu
Interakcia primárnych elektrónov s povrchom
Vznik Augerových elektrónov*
* objavené v roku 1923 Pierrom Augerom
E = EL1 – EK + EL23
KLL elektrón
Pravdepodobnosť vyžiarenia AE
Energie Augerových elektrónov
Typické spektrum sekundárne
elektróny
Augerove elektróny
odrazené elektróny
Ukážky spektier
Posun AE čiar
Analýza spektier
Koeficienty citlivosti
Analýza spektier
...koncentrácia
...intenzita
...faktor citlivosti
x
xx
a
a a
I CS
C II
SS
Hĺbkový profil
SiO2 na Si - povrch
SiO2 na Si - podložka
Hĺbkový profil
„Hĺbkový“ profil SiO2 vrstvy nanesenej na Si podložke
Hĺbkový profil
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 1100
10
20
30
40
50
60
70
80
90
100
Ko
nce
ntr
áci
a [a
t %]
Čas [min]
Si B C Ti O Mg
Aké vzorky sa dajú analyzovať?
stabilné vo vákuu
elektricky vodivé
hladký povrch
rozumný rozmer (max. 10x15x5 mm)
Základné prvky spektrometra Vákuový systém
zakladacia komora (rotačná, turbomolekulárna a výbojová výveva)
analyzačná komora (výbojová a sublimačná výveva) tlak: 10-5 – 10-9 Torr (10-3 – 10-7 Pa)
Zdroj elektrónov + fokusačný a rastrovací systém zdroj - W vlákno
priemer elektrónového zväzku: cca 10 m energia elektrónového zväzku: 3 keV
Analyzátor elektrónov valcový zrkadlový analyzátor
Ar delo priemer Ar zväzku: 0,5 - 1 mm
energia Ar zväzku: 600 – 3000 eV