tf-1000 シリーズ · tf-1000 mini-thermal flowmeter tg-es265-9 tokyo keiso co., ltd. 3 tf-13...

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概要 TF-1000 MINI-THERMAL シリーズは、従来パージメータなどで各 種ガス流量の現場計測を行なっていたアプリケーションのリモート 指示、コントロールを目指して開発されたコンパクトで低価格のサー マルマスフローメータです。 中~大口径タイプも取り揃え、各種ガスサプライライン、ユーティ リティライン、空調ラインなど幅広い分野にてご利用いただけます。 DC24V 電源、DC4 ~ 20mA 出力も加わり、汎用機器との電源共通 化を図ることができ、手軽にリモート化することが可能になりました。 特長 ● 温度・圧力の補正不要(熱式質量流量計測方式) ● 高速応答(90% 応答 0.5 秒以内) ● 最小0~2 L/min(nor)、最大 0~750m 3 /h(nor) をカバーする流量範 ● 上下流直管長が短い配管レイアウト(整流器内蔵) ● シンプルな構造、軽量設計 ● 高耐久性(永年のノウハウに裏付けられた高耐久性センサ) ● 手軽なメンテナンス(全量通過方式) ● 周辺機器を完備、最適なシステムをフレキシブルに構成できます。 製品ラインアップ センサとパネル取付け用コンバータユニットをパーフェクトライン アップ。目的、用途にあわせて選択いただけます。 マスフローメータ ● 低価格・コンパクト TF-100 □ P 高性能エンジニアリングプラスチック製本体 TF-100 □ S SCS14 精鋳本体 ● 標準タイプ TF-11 □□ ステンレス製本体、中~大口径対応 TF-13 □□ ステンレス製本体、低圧力損失タイプ ● 屋外設置・防水構造ハウジング TF-12 □□ ステンレス製本体、中~大口径対応 TF-14 □□ ステンレス製本体、低圧力損失タイプ TF-15 □ 1 ステンレス製本体、流量指示計装備、中~大口径対応 コンバータ TM-2000 流量表示+積算表示+上下限警報表示 アナログ出力+積算パルス出力+警報出力標準装備 動作原理 TF-1000 MINI-THERMAL ではガス流路に感温抵抗体 Rw と Ra を置 き、Rw を電流 I で加熱してその温度 Tw とガス温度 Ta との差 Tw-Ta が一定となるように電流 I を制御します。感温抵抗体からガスに熱伝 達される熱量 Rw・I 2 は通過するガスの質量流量の関数となり、電流 I から質量流量が測定できます。熱量検出のための電気回路は、ガス の温度に対する物性値変化によるわずかな特性の変化も補正するユ ニークな構成となっており、広い温度範囲にわたり、質量流量を高 精度に計測することができます。電流 I はリニアライズされ所定の流 量に比例した電気信号に変換されて出力されます。 豊富なラインアップ、抜群のコストパフォーマンス TF-1000 シリーズ ミニサーマルマスフローメータ TG-ES265-9 2017 02 2000 01 改訂 3版 K

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概要TF-1000 MINI-THERMAL シリーズは、従来パージメータなどで各種ガス流量の現場計測を行なっていたアプリケーションのリモート指示、コントロールを目指して開発されたコンパクトで低価格のサーマルマスフローメータです。中~大口径タイプも取り揃え、各種ガスサプライライン、ユーティリティライン、空調ラインなど幅広い分野にてご利用いただけます。DC24V電源、DC4~ 20mA出力も加わり、汎用機器との電源共通化を図ることができ、手軽にリモート化することが可能になりました。

特長● 温度・圧力の補正不要(熱式質量流量計測方式)● 高速応答(90%応答 0.5 秒以内)● 最小0~2 L/min(nor)、最大 0~750m3/h(nor)をカバーする流量範  囲● 上下流直管長が短い配管レイアウト(整流器内蔵)● シンプルな構造、軽量設計● 高耐久性(永年のノウハウに裏付けられた高耐久性センサ)● 手軽なメンテナンス(全量通過方式)● 周辺機器を完備、最適なシステムをフレキシブルに構成できます。

製品ラインアップセンサとパネル取付け用コンバータユニットをパーフェクトラインアップ。目的、用途にあわせて選択いただけます。

マスフローメータ● 低価格・コンパクトTF-100□ P 高性能エンジニアリングプラスチック製本体TF-100□ S SCS14精鋳本体

● 標準タイプTF-11□□ ステンレス製本体、中~大口径対応TF-13□□ ステンレス製本体、低圧力損失タイプ

● 屋外設置・防水構造ハウジングTF-12□□ ステンレス製本体、中~大口径対応TF-14□□ ステンレス製本体、低圧力損失タイプTF-15□ 1 ステンレス製本体、流量指示計装備、中~大口径対応

コンバータTM-2000 流量表示+積算表示+上下限警報表示 アナログ出力+積算パルス出力+警報出力標準装備

動作原理TF-1000 MINI-THERMALではガス流路に感温抵抗体RwとRaを置き、Rwを電流 Iで加熱してその温度Twとガス温度Taとの差Tw-Taが一定となるように電流 Iを制御します。感温抵抗体からガスに熱伝達される熱量Rw・I2 は通過するガスの質量流量の関数となり、電流Iから質量流量が測定できます。熱量検出のための電気回路は、ガスの温度に対する物性値変化によるわずかな特性の変化も補正するユニークな構成となっており、広い温度範囲にわたり、質量流量を高精度に計測することができます。電流 Iはリニアライズされ所定の流量に比例した電気信号に変換されて出力されます。

豊富なラインアップ、抜群のコストパフォーマンス

TF-1000 シリーズ ミニサーマルマスフローメータ

TG-ES265-92017 022000 01

改訂3版

K

TF-1000 SERIES MINI-THERMAL FLOWMETER

TG-ES265-92 TOKYO KEISO CO., LTD.

形 式 TF-100□P/S TF-11□□ TF-12□□

タ イ プ コンパクトタイプ ステンレス製、標準タイプ

ハ ウ ジ ン グ 材 質 ABS樹脂(非防水)IP20相当 ADC12(防水)IP65相当

電 気 接 続

形 式 コ ー ド

専用コネクタ付ケーブル G1/2、M3ネジ端子

形式コード 内容TF-121234

PSF0 40 60 81 21 6

1/4B(8A)3/8B(10A)1/2B(15A)3/4B(20A)1B (25A)

RcメネジスウェジロックJIS 10Kフランジ

010 2 00 3 00 5 00 8 01 0 01 5 02 0 03 0 05 0 08 0 01 0 11 2 11 5 12 0 12 5 13 0 14 0 15 0 16 0 18 0 11 0 2

- -

流量範囲

電源/出力

接続規格

接続口径

TF-121□

TF-122□

TF-123□

TF-124□

TF-111□

TF-112□

TF-113□

TF-114□

スケールレンジ

測 定 対 象 気体全般(ただしH2またはHeを10%以上含むガスおよびH2またはHeとCnHmとの混合ガスには不適です。)

周 囲 及 び ガ ス 温 度 0~60℃  TF-100□P(ポリアセタール本体製)は0~50℃となります。

ガ ス 圧 力 ー0.07~1.0MPa

精 度 ±2.0%F.S.(25℃基準)

温 度 影 響 スパン:±0.1%F.S./℃以内

圧 力 影 響 スパン:±0.1%F.S./0.1MPa以内

レ ン ジ ア ビ リ テ ィ 1:20

ステンレス製、防水構造タイプ

流 量 レ ン ジ最小 0~ 2L/min(nor)最大 0~120L/min(nor)

電 源 / 出 力TF-1□□0 DC±12VまたはDC±15V、+150mA、ー20mA/DC0~5V(負荷抵抗5kΩ以上)TF-1□□1 DC24V±10%、+150mA/DC4~20mA(負荷抵抗450Ω以内)

管 路 TF-100□P:ポリアセタール、PFA、SUS316TF-100□S:SCS14、PFA、SUS316

SUS316(TF-1□1□はSUS316、PFA)

セ ン サ接 ガ ス 部材 質 SUS316、ガラス、白金イリジウム、CTFEの組合せ

シ ー ル フッ素ゴムまたはCR

最小 0~  2L/min(nor)最大 0~1000L/min(nor)

プ ロ セ ス 接 続TF-100□P:Rc1/4TF-100□S:Rc1/4またはOD1/4B SWL

TF-1□1□: Rc1/4      OD1/4B、3/8B、1/2B SWL      15A、20A、25A、JIS10KフランジTF-1□2□: Rc1/4、3/8      OD1/4B、3/8B、1/2B SWL      15A、20A、25A、JIS10KフランジTF-1□3□: Rc3/8、1/2      OD3/8B、1/2B、3/4B SWL      15A、20A、25A、JIS10KフランジTF-1□4□: Rc3/8、1/2、3/4      OD3/8B、1/2B、3/4B SWL      15A、20A、25A、JIS10Kフランジ

形式コード内容TF-11

1234

PSF0 40 60 81 21 6

1/4B(8A)3/8B(10A)1/2B(15A)3/4B(20A)1B (25A)

RcメネジスウェジロックJIS 10Kフランジ

0

0 2 00 3 00 5 00 8 01 0 01 5 02 0 03 0 05 0 08 0 01 0 11 2 11 5 12 0 12 5 13 0 14 0 15 0 16 0 18 0 11 0 2

1

120 L/min(nor)まで

0~2 L/min(nor)0~3 L/min(nor)0~5 L/min(nor)0~8 L/min(nor)0~10 L/min(nor)0~15 L/min(nor)0~20 L/min(nor)0~30 L/min(nor)0~50 L/min(nor)0~80 L/min(nor)0~100L/min(nor)0~120L/min(nor)0~150L/min(nor)0~200L/min(nor)0~250L/min(nor)0~300L/min(nor)0~400L/min(nor)0~500L/min(nor)0~600L/min(nor)0~800L/min(nor)0~1000L/min(nor)

250 L/min(nor)まで500 L/min(nor)まで1000L/min(nor)までDC±12V(15V)DC0~5VDC24V/DC4~20mA

- -

流量範囲

電源/出力

接続規格

接続口径

スケールレンジ

形式コード内容TF-100

01P

0 2

0 4

00 3 00 5 00 8 01 0 01 5 02 0 03 0 05 0 08 0 01 0 11 2 1

1/4B(8A)

Rcメネジスウェジロック

ポリアセタールSCS14S

PS

120L/min(nor)まで

0~2  L/min(nor)0~3  L/min(nor)0~5  L/min(nor)0~8  L/min(nor)0~10  L/min(nor)0~15  L/min(nor)0~20  L/min(nor)0~30  L/min(nor)0~50  L/min(nor)0~80  L/min(nor)0~100 L/min(nor)0~120 L/min(nor)

DC±12V(15V)DC0~5VDC24V/DC4~20mA

- -流量範囲

ボディ材質

電源/出力

接続口径

接続規格

スケールレンジ

※スウェジロック継手はTF-100□Sのみ製作致します。

(上記プロセス接続より接続口径を選択) (上記プロセス接続より接続口径を選択)

0~2 L/min(nor)0~3 L/min(nor)0~5 L/min(nor)0~8 L/min(nor)0~10 L/min(nor)0~15 L/min(nor)0~20 L/min(nor)0~30 L/min(nor)0~50 L/min(nor)0~80 L/min(nor)0~100L/min(nor)0~120L/min(nor)0~150L/min(nor)0~200L/min(nor)0~250L/min(nor)0~300L/min(nor)0~400L/min(nor)0~500L/min(nor)0~600L/min(nor)0~800L/min(nor)0~1000L/min(nor)

120 L/min(nor)まで250 L/min(nor)まで500 L/min(nor)まで1000L/min(nor)までDC±12V(15V)DC0~5VDC24V/DC4~20mA

標準仕様・形式コード(1000L/min(nor)まで)

TF-1000 MINI-THERMAL FLOWMETER

TG-ES265-9 TOKYO KEISO CO., LTD. 3

TF-13□□ TF-14□□ TF-15□1

低圧力損失、非防水 低圧力損失、防水構造タイプ

ADC12(防水)IP65相当ABS樹脂(非防水)IP20相当 AC2A(防水)IP65相当

専用コネクタ付ケーブル 2-G1/2、M3ネジ端子G1/2、M3ネジ端子

形式コード内容TF-15

1234

0 2 00 3 00 5 00 8 01 0 01 5 02 0 03 0 05 0 08 0 01 0 11 2 11 5 12 0 12 5 13 0 14 0 15 0 16 0 18 0 11 0 2

PSF0 40 60 81 21 6

1/4B(8A)3/8B(10A)1/2B(15A)3/4B(20A)1B (25A)

RcメネジスウェジロックJIS 10Kフランジ

1

120 L/min(nor)まで250 L/min(nor)まで500 L/min(nor)まで1000L/min(nor)まで

AC85~240V/DC4~20mA

- -

流量範囲

電源/出力

接続規格

接続口径

TF-1511

TF-1521

TF-1531

TF-1541

スケールレンジ

気体全般(ただしH2またはHeを10%以上含むガスおよびH2またはHeとCnHmとの混合ガスには不適です。)

0~60℃

ー0.07~1.0MPa

±2.0%F.S.(25℃基準)

スパン:±0.1%F.S./℃以内

スパン:±0.1%F.S./0.1MPa以内

1:20

指示計付、防水構造タイプ

最小 0~ 150L/min(nor)最大 0~1000L/min(nor)

TF-1□□0 DC±12VまたはDC±15V、+150mA、ー20mA/DC0~5V(負荷抵抗5kΩ以上)TF-1□□1 DC24V±10%、+150mA/DC4~20mA(負荷抵抗450Ω以内)

AC85~240V、4VADC4~20mA(負荷抵抗450Ω以内)

SUS316 SUS316(TF-1511はSUS316、PFA)

SUS316、ガラス、白金イリジウム、CTFEの組合せ

フッ素ゴムまたはCR

最小 0~  2L/min(nor)最大 0~1000L/min(nor)

TF-1□2□:Rc1/2または15AJIS10KフランジTF-1□3□:Rc3/4または20AJIS10KフランジTF-1□4□:Rc1または25AJIS10Kフランジ

TF-1511:Rc1/4、3/8、1/2     OD1/4B、3/8B、1/2B SWL     15A、20A、25A、JIS10KフランジTF-1521:Rc1/4、3/8、1/2     OD1/4B、3/8B、1/2B SWL     15A、20A、25A、JIS10KフランジTF-1531:Rc3/8、1/2     OD3/8B、1/2B SWL     15A、20A、25A、JIS10KフランジTF-1541:Rc3/8、1/2、3/4     OD3/8B、1/2B、3/4B SWL     15A、20A、25A、JIS10Kフランジ

形式コード内容TF-13

32

40

1 5 12 0 12 5 13 0 14 0 15 0 16 0 18 0 11 0 2

PF0 81 21 6

1/2B(15A)3/4B(20A)1B (25A)

RcメネジJIS 10Kフランジ

1

250 L/min(nor)まで

0~150 L/min(nor)0~200 L/min(nor)0~250 L/min(nor)0~300 L/min(nor)0~400 L/min(nor)0~500 L/min(nor)0~600 L/min(nor)0~800 L/min(nor)0~1000L/min(nor)

500 L/min(nor)まで

DC±12V(15V)DC0~5V1000L/min(nor)まで

DC24V/DC4~20mA

- -

流量範囲

電源/出力

接続口径

TF-132□

TF-133□

TF-134□

接続規格

スケールレンジ

※120L/min(nor)以下の流量レンジはTF-111□をご使用下さい。※必要直管長は上流側5D、下流側不要で、流量計の口径と 同一 口径で配管して下さい。

形式コード内容TF-14

32

40

PF0 81 21 6

1/2B(15A)3/4B(20A)1B (25A)

RcメネジJIS 10Kフランジ

11 5 12 0 12 5 13 0 14 0 15 0 16 0 18 0 11 0 2

- -

流量範囲

電源/出力

接続口径

TF-142□

TF-143□

TF-144□

接続規格

スケールレンジ

※120L/min(nor)以下の流量レンジはTF-121□をご使用下さい。※必要直管長は上流側5D、下流側不要で、流量計の口径と 同一口径で配管して下さい。

(上記プロセス接続より接続口径を選択) (上記プロセス接続より接続口径を選択)

(上記プロセス接続より接続口径を選択)

0~2 L/min(nor)0~3 L/min(nor)0~5 L/min(nor)0~8 L/min(nor)0~10 L/min(nor)0~15 L/min(nor)0~20 L/min(nor)0~30 L/min(nor)0~50 L/min(nor)0~80 L/min(nor)0~100 L/min(nor)0~120 L/min(nor)0~150 L/min(nor)0~200 L/min(nor)0~250 L/min(nor)0~300 L/min(nor)0~400 L/min(nor)0~500 L/min(nor)0~600 L/min(nor)0~800 L/min(nor)0~1000L/min(nor)

250 L/min(nor)まで

0~150 L/min(nor)0~200 L/min(nor)0~250 L/min(nor)0~300 L/min(nor)0~400 L/min(nor)0~500 L/min(nor)0~600 L/min(nor)0~800 L/min(nor)0~1000L/min(nor)

500 L/min(nor)まで

DC±12V(15V)DC0~5V1000L/min(nor)まで

DC24V/DC4~20mA

TF-1000 SERIES MINI-THERMAL FLOWMETER

TG-ES265-94 TOKYO KEISO CO., LTD.

外形寸法・概略質量TF-1000 コンパクトタイプ

16

2-Rc1/4

MASS FLOWMETER TF-1000

MINI-THERMAL

TOKYO KEISO

FLOWNo.MFG.

GASTYPE

FLOW

(2)

※(6)

72

2-M3深4

7040

3222

70

76

12.5

(2)

※(6)

2-Rc1/4TOKYO KEISO

MASS FLOWMETERMINI-THERMAL

FLOW

NO.

GAS

MFG.TYPE

FLOW RATE

※:TF-1□□1は6mmとなります。

2-SWL

MASS FLOWMETER TF-1000

MINI-THERMAL

TOKYO KEISO

16

72

(2)

※(6)

FLOWNo.MFG.

GASTYPE

RATEFLOW

3222

L

2-M3深4

4070

121

128

1243/8SWL

1/2SWL

1/4SWL

L接続・規格

L

70

76

12.5

(2)

※(6)

2-SWL TOKYO KEISO

MINI-THERMALMASS FLOWMETER

FLOW

NO.

TYPE

GAS

MFG.FLOW RATE

1/4SWL 127

1/2SWL

3/8SWL

134

130

接続・規格 L

77

76

16

(2)

※(6)

2-RcTOKYO KEISO

FLOW

MASS FLOWMETERMINI-THERMAL

MFG.TYPE

NO.

GAS

FLOW RATE

77

76L

16

(2)

※(6)

2-SWLTOKYO KEISO

MINI-THERMALMASS FLOWMETER

FLOW

TYPEMFG.NO.GAS FLOW RATE

1341/2SWL

3/8SWL

1/4SWL

130

127

接続・規格 L

〔 TF-1000P=約120g TF-1000S=約250g

(2)

70

12.5

180

76

※(6)

FLOW RATE

MASS FLOWMETER

TOKYO KEISO

MINI-THERMAL

TYPEMFG.GAS

FLOW

NO.

10

646

□25

2-M4深4

[Rc、SWL、フランジ接続]取付寸法(底面)

(2)

1677

180

76

※(6)

FLOW RATE

MINI-THERMALMASS FLOWMETER

TOKYO KEISO

TYPE

GAS

MFG.

FLOW

NO.

2-M4深46 64

10

□32

取付寸法(底面) [Rc、SWL、フランジ接続]

TF-1100ステンレス標準タイプ

[TF-1000P.TF-1000S]

[TF-1110]

[TF-1120]

・Rcネジ接続

・Rcネジ接続 (約450g)

・フランジ接続 (約1.9kg)

・Rcネジ接続 (約650g)

・フランジ接続 (約3.0kg)

・SWL接続 (約740g)

・SWL接続 (約530g)

・SWL接続(TF-1000Sのみ適用 約330g)

TF-1000 MINI-THERMAL FLOWMETER

TG-ES265-9 TOKYO KEISO CO., LTD. 5

[TF-1130]

[TF-1140]

・Rcネジ接続 (約1kg)

112

83

19

(2)

※(6)

2-RcFLOW

NO.

MINI-THERMALMASS FLOWMETER

GAS

TYPEMFG.

FLOW RATE

TOKYO KEISO

(2)

83

19

200

104

※(6)

MASS FLOWMETERMINI-THERMAL

TOKYO KEISO

GAS

MFG.FLOW RATE

FLOW

NO.

TYPE

□38

30

5027 2-M4深6

[フランジ接続]取付寸法(底面)

22.5

90

136

(2)

※(6)

2-Rc

MASS FLOWMETERMINI-THERMAL

FLOW RATE

TOKYO KEISOFLOW

MFG.NO.GAS

TYPE

90

30

7033 2-M4深6

□45

136L

22.5

(2)

※(6)

[Rc、SWL接続]取付寸法(底面)

2-SWL

GAS

MFG.TYPE

TOKYO KEISO

FLOW RATE

FLOW

NO.

MINI-THERMALMASS FLOWMETER

206

197

192

3/4SWL

1/2SWL

3/8SWL

接続・規格 L

230

128

90

22.5

(2)

29

30

70

□45

2-M4深6

※(6)

[フランジ接続]取付寸法(底面) FLOW

MINI-THERMALMASS FLOWMETER

GAS

NO.

TYPEMFG.

TOKYO KEISO

FLOW RATE

NO.

L112

83

19

(2)

※(6)

2-SWL

FLOW RATEGAS

FLOWTOKYO KEISO

MASS FLOWMETERMINI-THERMAL

TYPEMFG.

5031

30

□38

2-M4深6

[Rc、SWL接続]取付寸法(底面)

3/4SWL 182

3/8SWL

1/2SWL

168

173

接続・規格 L

・フランジ接続 (約2.5kg)

・Rcネジ接続 (約1.5kg)

・フランジ接続 (約3.3kg)

・SWL接続 (約1.8kg)

・SWL接続 (約1.2kg)

TF-1000 SERIES MINI-THERMAL FLOWMETER

TG-ES265-96 TOKYO KEISO CO., LTD.

・Rcネジ接続 ・SWL接続

W

BC 2-M4深6

□W

L125

54

G1/2

[Rc、SWL、フランジ接続]取付寸法(底面)

2-Rc

H

LL1

2-SWL

3/8

305035

12015838

2.2

176

2.1

□W

質量(kg)

A

CB

呼び径

L1H

L1/4159

3830

2950

1/2166

3/8

108158

1621/4171

1/2

160165

4.1

2213/8

3038158135

32.570

3.4TF-122□ TF-121□ 形 式 TF-124□ TF-123□

1911/2181

1/4188

4530

3590

1/2196

3/8216

3/4230

・フランジ接続

L

L1

(H)

JIS 10K (RF) (FF)20A

JIS 10K (RF) (FF)15AJIS 10K (RF) (FF)

A51A02 A52A52A02A51 20AJIS 10K (RF) (FF)

25A 15A 25A

H

C

AB

質量(kg)

接 続

□WL1

規 格 L

呼び径

5.7

223

28.5

139

127

4.5

139

4.425

3050

19610038

139

31

3050

208

38112

6.4 □321-FT 式 形 TF-122□ □421-FT □121-FT

254

142.5

152

3070

31

3090

38 45

1/2Rc接続

A524/3フランジ接続 JIS 10K (RF) (FF)

1 15A 20A

4444A 30 030303

C質量(kg)

B 8032.51.5

352.2

9032120

5.82.83.335120

28.580

3.8形 式 TF-1320 TF-1330 TF-1340TF-1320TF-1340 TF-1330

3190

L1□WH

接 続 規 格 呼び径

L

3883

4590

145 1601845472

290137

9954 38

64

190 233152

67.545

254

※TF-13□1は6mmとなります。

・フランジ接続

L

L1

(H)

(2)

※(6)

MINI-THERMAL

TOKYO KEISO

MASS FLOWMETER

FLOW

GAS

MFG.TYPE

FLOW RATE

NO.

・Rcネジ接続

(2)

H□W

2-M4深6C B

※(6)

2-Rc

MINI-THERMALMASS FLOWMETER

FLOW

TYPEMFG.NO.GAS

TOKYO KEISO

FLOW RATE

L

A

A

[Rc、フランジ接続]取付寸法(底面)

TF-1200防水構造ハウジングタイプ

TF-1300低圧力損失、非防水ハウジングタイプ

TF-1000 MINI-THERMAL FLOWMETER

TG-ES265-9 TOKYO KEISO CO., LTD. 7

3/8162

15838

108

5029

30

2.6

□W

質量(kg)

BC

A

呼び径 L

HL1

1/4159

1/2196176

2.7

158120

3/8

38

355030

1/2166

1/4171

38

3.9

7032.5

30

1/4188

1/2181

3/8191135158

3/4230

45

4.6TF-1511形 式 TF-1521 TF-1531 TF-1541

9035

30

3/8216

1/2221

165160

JIS 10K (RF) (FF)25A

JIS 10K (RF) (FF)15A 20A 20A

JIS 10K (RF) (FF)15A 25A

JIS 10K (RF) (FF)呼び径

□W

質量(kg)

規 格

H

BC

A

LL1

接 続

139

50254.9

30

38100196

139

5031

30

5.0

11238

208152

142.5

254

6.9

139

7030

28.56.2

形 式 TF-1511 TF-1521 TF-1541TF-1531

38127223

9031

30

45

54

25

G1/2

2-Rc

C

L

HB

A

2-M4深6□W

[IRc、接続]取付寸法(底面)

2-SWL

・Rcネジ接続 ・フランジ接続

・SWL接続

・フランジ接続

・Rcネジ接続

L1

H

106

86

2-M4深6C B

A

2-G1/2

[Rc、SWL接続]取付寸法(底面)

2-Rc

W

1/2フランジ接続 JIS 10K (RF ) (FF)

13/4Rc接続

20A15A 25A呼び径 接 続 規 格 145

158

32.52.1

LL1

AB

H□W

C質量(k g)

190

44120

17454

353.9

160

3090

16545

352.8

3080

38

3.4

139

233137

28.5

3080

38

4.4

142.5309031

25415245

6.4TF-142□ 形 式 TF-144□ TF-142□ TF-143□ TF-144□

147

12044

32

184290

54

TF-1400低圧力損失、防水構造ハウジングタイプ

TF-1500指示計付、防水構造ハウジングタイプTF-143□

15A 20A 20A15A 25A25A

TF-1000 SERIES MINI-THERMAL FLOWMETER

TG-ES265-98 TOKYO KEISO CO., LTD.

形 式 TF-115□ TF-125□ TF-1551

タ イ プ 標準タイプ 防水構造タイプ

ハウジング材質 ABS樹脂(非防水)IP20相当 ADC12(防水)IP65相当 AC2A(防水)IP65相当

電 気 接 続

形 式 コ ー ド

口径別フルスケール

専用コネクタ付ケーブル G1/2、M3ネジ端子 2-G1/2、M3ネジ端子

測 定 対 象 気体全般(ただしH2またはHeを10%以上含むガスおよびH2またはHeとCnHmとの混合ガスには不適です。)

周囲及びガス温度

±2.0%F.S.(25℃基準)

0~60℃

ガ ス 圧 力

スパン:±0.1%F.S./℃以内

ー0.07~1.0MPa

精 度

スパン:±0.1%F.S./0.1MPa以内温 度 影 響

1:20

圧 力 影 響

SUS304またはSUS316

レンジアビリティ

SUS316、ガラス、白金イリジウム、CTFEの組合せ(SCS14) SUS304

指示計付、防水構造タイプ

TF-1□□0 DC±12VまたはDC±15V、+150mA、ー20mA/DC0~5V(負荷抵抗5kΩ以上)TF-1□□1 DC24V±10%、+150mA/DC4~20mA(負荷抵抗450Ω以内)

AC85~240V、4VADC4~20mA(負荷抵抗450Ω以内)

管 路

セ ン サ接ガス部材 質

フッ素ゴムまたはCRシ ー ル

Rcメネジ(1B~2B)JIS 10K フランジ(25A~80A)プ ロ セ ス 接 続

口径

25A

32A

40A

50A

65A

80A

流体名フルスケール下限フルスケール上限フルスケール下限フルスケール上限フルスケール下限フルスケール上限フルスケール下限フルスケール上限フルスケール下限フルスケール上限フルスケール下限フルスケール上限

AIR 30 75 65150 90200140320220520320750

N2 30 75 65150 90200140320220520320750

O2 30 75 65150 90200140320220520320750

CO 30 75 65150 90200140320220520320750

CO2 30 75 65150 90200140320220520320750

Ar 30 75 65150 90200140320220520320750

NH3 23 57 49114 68152106243167395243570

CH4 15 38 33 75 45100 70160110260160375

C2H6 17 42 36 84 50112 78179123291179420

C3H8 14 35 30 69 41 92 64147101239147345

C4H10 12 30 26 60 36 80 56128 88208128300

13A 15 37 32 74 44 98 69157108255157368

m3/h(nor)

※フルスケール=(AB)×10C m3/h(nor) (例) 30m3/h(nor)→300    400m3/h(nor)→401    750m3/h(nor)→751

※フルスケール=(AB)×10C m3/h(nor) (例) 30m3/h(nor)→300    400m3/h(nor)→401    750m3/h(nor)→751

※フルスケール=(AB)×10C m3/h(nor) (例) 30m3/h(nor)→300    400m3/h(nor)→401    750m3/h(nor)→751

電 源 / 出 力

-

-

---46PF253240506580

-

-

--

01A B C

TF-11

流量範囲

電源/出力

スケールレンジ材質SUS304/SUS316

接続規格

接続口径

5 750m3/hまで(流量レンジ参照)DC±12V or ±15V /DC0~5V出力DC24V/DC4~20mA流量定格SUS304(フランジ接続のみ選択可)SUS316(全形式選択可)Rcメネジ (1B~2B)JIS 10Kフランジ(25~80A)1B (25A)1-1/4B (32A)1-1/2B (40A)2B (50A)2-1/2B (65A)3B (80A)

内容形式コード

-

-

---46PF253240506580

-

-

--

01A B C

TF-12

流量範囲

電源/出力

スケールレンジ材質SUS304/SUS316

接続規格

接続口径

5 750m3/hまで(流量レンジ参照)DC±12V or ±15V /DC0~5V出力DC24V/DC4~20mA流量定格SUS304(フランジ接続のみ選択可)SUS316(全形式選択可)Rcメネジ (1B~2B)JIS 10Kフランジ(25~80A)1B (25A)1-1/4B (32A)1-1/2B (40A)2B (50A)2-1/2B (65A)3B (80A)

内容形式コード

-

-

-

-46PF253240506580

-

-

-1

A B C

TF-15

流量範囲

電源/出力

スケールレンジ材質SUS304/SUS316

接続規格

接続口径

5 750m3/hまで(流量レンジ参照)

DC85~240V /DC4~20mA流量定格SUS304(フランジ接続のみ選択可)SUS316(全形式選択可)Rcメネジ (1B~2B)JIS 10Kフランジ (25~80A)1B (25A)1-1/4B (32A)1-1/2B (40A)2B (50A)2-1/2B (65A)3B (80A)

内容形式コード

標準仕様・形式コード(中~大口径タイプ)

TF-1000 MINI-THERMAL FLOWMETER

TG-ES265-9 TOKYO KEISO CO., LTD. 9

(68)

195(2)

※(6)

2-Rc1

MINI-THERMALMASS FLOWMETER

FLOW RATE

TOKYO KEISO

GAS

FLOW

MFG.NO.TYPE

φ50

L

(H)

(2)

φD

※(6)

2-Rc

BTOKYO KEISO

FLOW RATE

MINI-THERMALMASS FLOWMETER

NO.

FLOW

GAS

TYPEMFG.

Rc接続 2/1-1 24/1-1接 続

B (二面幅)

呼び径 規 格 LH

φD

7655

215

60

230796065

270857075

質量(kg) 1.8 1.9 2.6

195

(68)

(2)

※(6)

MINI-THERMALMASS FLOWMETER

TOKYO KEISO

FLOW RATE

TYPEMFG.NO.

FLOW

GAS

L

(H)

(2)

※(6)

GAS

TYPEMFG.

FLOWTOKYO KEISO

FLOW RATE

MASS FLOWMETERMINI-THERMAL

NO.

65Aフランジ接続 JIS 10K (RF) (FF)32A 40A 50A 80A

29093

呼び径

L

接 続 規 格 21576

23079 85

270 320100H

8.04.1 4.3 5.9 9.0質量(kg)

195

(143)

φ50

54

25

2-Rc1

G1/2

Rc接続 1-1/21-1/4 2

HB (二面幅)

φD

接 続 規 格 呼び径

L

55151215

606065

154230

7075

質量(kg) 2.3 2.4 3.1

270160

※TF-1151は6mmとなります。

L

φD

(H)

54

2-Rc

G1/2

B

TF-125□防水構造ハウジングタイプ

TF-115□標準タイプ

・Rcネジ接続(Rc1)  継手のニ面幅:46 (約1.9Kg)

・フランジ接続 (約3.6kg) (25A)

・Rcネジ接続(Rc1-1/4~Rc2)

・フランジ接続(32A~80A)

・Rcネジ接続(Rc1-1/4~Rc2) 継手の二面幅:46 (約2.4kg)

・Rcネジ接続(Rc1)

TF-1000 SERIES MINI-THERMAL FLOWMETER

TG-ES265-910 TOKYO KEISO CO., LTD.

195

(143)

L

(H)

フランジ接続 JIS 10K (RF) (FF)65A40A32A 50A 80A接 続 規 格

呼び径

HL 230

154215151

270160

290168

320175

質量(kg) 6.4 8.4 5.9 8.5 9.5

Rc接続 1-1/4 1-1/2 2

B (二面幅)

接 続

55φD 60

規 格 呼び径

HL

151215

06 0765 75

質量(kg) 2.8 2.9 3.6

154230 270

160

(143)

195

(H)

L

フランジ接続 JIS 10K (RF) (FF)32A 65A50A40A 80A

規 格 LH 151

215168290

154230

160270

175質量(kg) 5.1 9.05.3 6.4 10.0

320

接 続 呼び径

(143)

195

φ50

25

106

86

2-Rc1

2-G1/2

L

(H)

86

106

φD

2-G1/2

2-Rc

B

TF-1551指示計付、防水構造ハウジングタイプ

継手の二面幅:46 (約2.9kg)

・Rcネジ接続(Rc1)

(約4.1kg) ・フランジ接続(25A)

・フランジ接続(32A~80A)

(約4.6kg) ・フランジ接続(25A) ・フランジ接続(32A~80A)

・Rcネジ接続(Rc1-1/4~Rc2)

TF-1000 MINI-THERMAL FLOWMETER

TG-ES265-9 TOKYO KEISO CO., LTD. 11

形式TF-100□PTF-100□STF-111□ TF-112□ TF-113□ TF-114□ TF-115□ TF-121□ TF-122□ TF-123□ TF-124□ TF-125□ TF-132□ TF-133□ TF-134□ TF-142□ TF-143□ TF-144□ TF-151  TF-152  TF-153  TF-154  TF-155 

上流側

  

不要    

5d(注1、2)  

不要    

5d(注1、2)

5d

(注3)

5d

(注3)

 

不要    

5d(注1、2)

下流側

  

不要    

5d(注1、2)  

不要    

5d(注1、2)

不要

(注3)

不要

(注3)

 

不要    

5d(注1、2)

不要 不要

1

1

1

11

設置上の注意

●形式別必要直管長(d:配管内径)

(注1):流量計と異なった口径を配管する際には、±1サイズまでと    し流量計と同一口径の直管部を設けた後に配管して下さい。

(注 2):Rcネジ込み継手はSch80 以下の配管をご使用下さい。(注 3):流量計の配管と同一口径で配管して下さい。

●異物混入防止のため取付前に配管をフラッシングして下さい。●絞り弁・分岐弁などは下流側に設置して下さい。●電気ノイズをさけるために配線はシールド線を使用し他の電力・動 力線との併設は避けて下さい。●本体に流れ方向を示す矢印があります。この方向に計測気体が流れ るように配管して下さい。●流量指示計付TF-15□1の場合の取付姿勢・流れ方向は下図の通り です。ご注文時に指定して下さい。

1999

水平取付

流れ方向、左→右

1999

水平取付

流れ方向、右→左

●保守点検のためバイパス配管を設置して下さい。

10

9

8

7

6

5

4

3

2

1

0

0 100 200 300 400 500

流量[L/min(nor)

TF-100□S/100□P/11□□/12□□/15□□一次圧力 大気圧 温度20℃

600 700 800 900 1000

30

25

20

15

10

5

0

0 100 200 300 400 500

流量[m3/h(nor)

TF-115□/125□/1551 中~大口径タイプ一次圧力 大気圧 温度20℃

600 700 800

2

1.5

1

0.5

0

0 100 200 300 400 500

流量[L/min(nor)

TF-13□□/14□□ 低圧力損失タイプ一次圧力 大気圧 温度 20℃

600 700 800 900 1000

圧力損失[kPa]

圧力損失[kPa ]

圧力損失[kPa]

120L/min(nor) 250L/min(nor) 500L/min(nor) 1000L/min(nor)

25A 32A 40A 50A 65A 80A

250L/min(nor) 500L/min(nor) 1000L/min(nor)

圧力損失(下記のグラフはAIR におけるデータ)

TF-1000 SERIES MINI-THERMAL FLOWMETER

TG-ES265-912 TOKYO KEISO CO., LTD.

概要TM-2000ミニコンバ-タユニットはTF-900、TF-1000、TF-5000、TF-6000、(H-) EP-TF-5300 シリ-ズマスフロ-メ-タと組み合わせて使用する専用変換器です。DIN72 角のハウジングに検出器駆動用電源と検出器からの流量信号より瞬時流量表示、積算流量表示、積算パルス出力、上・下限 2点警報出力機能を備え、また流量信号の再出力機能を標準装備していますので、各種ガス流量の総量把握や異常流量の監視などに幅広く使用できます。またミニサ-マルマスフロ-メ-タからのDC0 ~ 5V 信号入力のほか、DC4 ~ 20mA の信号入力にも対応しており DC4 ~ 20mA出力の流量計と組み合わせ、流量表示・積算・警報などの用途に幅広く使用できます。

標準仕様● 瞬時流量⦆  表示 : 4 桁 LCD文字高さ 13mm  表示精度 : 検出器精度に±0.1%F.S.±1dig 付加  アナログ再出力(選択) : a) DC4~ 20mA 負荷抵抗 500Ω以内    最大出力値 22.4 mA b) DC0 ~ 5V 負荷抵抗100kΩ以上    最大出力値 5.56 V  出力精度 : 検出器精度に±0.1%F.S. 付加● 積算機能  表示     : 7 桁 LCD文字高さ 6mm  積算パルス : 出力 オ-プンコレクタ   定格 DC30V、20mA Max   パルス幅 100mS(固定)   パルスレ-ト 積算カウンタに同期  積算精度 : 検出器精度に±0.1%F.S. 付加  積算率 : 60 ~ 18000 c/h  積算リセット : リモ-ト、およびパネルキ-による

リセット● ロ-カット : 標準 2%(パネルキーにより任意設定可)  適用範囲 : 流量表示、流量出力、積算表示、

積算パルス出力● 警報機能  警報表示 : 赤色 LED動作時点灯  警報出力 : SPST NO(a接点)またはNC(b接点) (ただし電源OFF時はオ-プン)  設定精度 : ±1.0% F.S.  接点定格 : AC125V、0.4A/DC30V、2A  設定点数 : 上限・下限の各 1点  設定範囲 : フルスケ-ルの 0~ 100%  設定方式 : パネルキーによる設定  ヒステリシス幅 : 1±0.5%F.S.(固定)● アナログ入力(選択) : a)DC4~ 20mA 入力抵抗 250Ω b)DC0~ 5V 入力抵抗 200kΩ● その他の機能  マルチデ-タ : 8 種類まで設定可

(パネルキーによるチャンネル切替)  リニアライズ機能(オプション)(選択) : a) 4 次式係数方式 b) 開平式係数方式● データバックアップ : 設定値、積算値EEROMに記憶、10年間● 外部供給電源 : DC±12V、+ 200mA、- 200mA

● その他の仕様  電源 : AC85 ~ 250V  50/60Hz  消費電力 : 15VA  電気接続 : 棒状端子  環境条件 : 0 ~ 50℃(結露しないこと)  耐電圧 : 電源~接地端子間 AC1500V、1分間  絶縁抵抗 : 電源~接地端子間 20MΩ以上 

(DC500V)  構造 : 屋内仕様(IP20 相当)  ハウジング材質 : ガラス繊維入りABS樹脂  質量 : 約 450g

形式コ-ド

DC4~20mA

DC0~5V

DC4~20mA

DC0~5V

H:NO、 L:NO

H:NC、 L:NC

H:NO、 L:NC

H:NC、 L:NO

リニア

4次式係数方式

開平式係数方式

H :上限

L :下限

NO :a接点

NC :b接点

形式コード

TM -

アナログIN

アナログOUT

警報OUT

入出力特性 標準

      オプション

      オプション  

1

2

2

1

2

1

2

3

4

H

R

内 容

適用検出器及び専用ケーブル

適用検出器

TF-900/1000/1100/1300

TF-1200/1400

TF-5300/6300

(H-)EP-TF-5300

HM1000/5000(オプション)

ケーブル名称

SC-MM2

SC-MA2

SC-FM2

SC-EP2

SC-HM

ケーブル長

標準:2m  

最大:100m

TM-2000 シリーズ ミニコンバータユニット

TF-1000 MINI-THERMAL FLOWMETER

TG-ES265-9 TOKYO KEISO CO., LTD. 13

TM-2000 CONVERTOR

5.5 106 1772

72

90以上

100以上

67+0.7

0

パネルカット寸法と取付間隔

(注)取付パネルの板厚は1~5mmを推奨します。

67+0.70

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

20191817161112131415

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

20191817161514131211

ANALOGOUT INTO METER

RESETNO WIREING

HIGH

○DC4~20mA○DC0~5V

○NO○NC

○NO○NC

○DC4~20mA○DC0~5V

LOW POWERALARM

F.G.ALARM

AC85~250V

(C) (E) (+) (-) +V COM -V (+) (-)

PLUSE DC POWER ANALOGOUT

TM-2000 CONVERTOR

TOKYO KEISO

MODE

UNIT:(nor)

L/h

L/min

m3/h

Lm3

LO

HI

MODE

上限警報

表示上段:流量表示下段:積算表示

単位表示

アップキー

ダウンキー

シフトキー

モードキー

下限警報

外形寸法

表パネル 端子配置

結線

TM-1000 シリーズから TM-2000 シリーズに機種変更される際に既設ケーブルを引き続き使用する場合は、コンバータへ差し込むコネクタソケットを切断しケーブル被覆を 7mm程度剥いて下記のように接続して下さい。

番号

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

   内 容

未使用

(C) 積算パルス

(E) 出力

(+) アナログ

(‒) 出力

(+V) 検出器用

(COM) 電源

(‒V)

(+) アナログ

(‒) 入力

   内 容

未使用

積算表示のリセット

上限警報出力

下限警報出力

接地

AC電源

番号

11

12

13

14

15

16

17

18

19

20

6 7 8 9 10+V COM ーV (ー)

検出器

専用ケーブル

赤 緑 黄 白 黒(+)

TF-1000 SERIES MINI-THERMAL FLOWMETER

TG-ES265-914 TOKYO KEISO CO., LTD.

5Cケーブル

SC-MCケーブル SC-MM2ケーブル

DC0~5V

DC4~20mA DC4~20mA

DC0~5V

DC±12Vまたは

DC±15V

DC±12Vまたは

DC±15V

コントロール

ループへ

コントロール

ループへ

市販電源

4Cケーブル

コントロール

ループへ

市販電源TF-1000

TF-1000P、TF-1000S、TF-11□0、TF-13□0

SC-MPケーブル

コントロール

ループへ

市販電源

DC24V 市販電源

DC24V

DC4~20mA

2Cケーブル

1999

コントロール

ループへ

TF-1001

TF-1001P、TF-1001S、TF-11□1、TF-13□1 TF-12□1、TF-14□1

SC-MA2ケーブル

アナログ出力

スケール/パルス出力

上限・下限警報出力

AC

TF-1000

TF-1000P、TF-1000S、TF-11□0、TF-13□0

TF-12□0、TF-14□0

TM-22□□

アナログ出力

スケール/パルス出力

上限・下限警報出力

ACACTM-21□□

●SC-MM2

赤緑黄白黒

12345

●SC-MP

赤緑白黒

1234

5.8

11.9

14.4

●SC-MA2

+ー

-12V 電 源

流量出力信号(DC0~5V)

5.8 14

14

+12VCOM

赤緑黄白黒

12345

4芯 0.3mm2φ5.6

5芯 0.3mm2φ6

5芯 0.3mm2φ6

検出器側ケーブル端末

アプリケーション

DC0~ 5V 出力タイプの場合

●市販電源を使用して ● TM-2000 シリーズミニコンバータを使用して

専用コネクタ付ケーブル DC4~ 20 mA 出力タイプの場合 M3ネジ端子 DC4~ 20 mA 出力タイプの場合

流量指示計付 TF-15 □ 1シリーズの場合

TF-1000 MINI-THERMAL FLOWMETER

TG-ES265-9 TOKYO KEISO CO., LTD. 15

仕様お伺い

形式

気体名

圧力

温度

フルスケール

接続口径

接続規格

流れ方向(TF-15□1の場合)

TF-1□□□-□□□-□□□

最大

□1/4B(8A)   □3/8B(10A)  □1/2B(15A) □3/4B(20A) □1B(25A)

□1-1/4B(32A) □1-1/2B(40A) □2B(50A)  □(65A)    □(80A)

□Rcメネジ  □スウェジロック  □JIS 10Kフランジ □VCR(オプション)

□左→右 □右→左

□L/h(nor) □L/min(nor) □m3/h(nor)

常用 最小 □MPa □kPa

最大 常用 最小 ℃

ミニコンバータ

専用ケーブル

●検出器

●付属品

TM-2□□□

□SC-MM2 □SC-MA2

ご注文、お引合いに際しては下記仕様をご連絡下さい。

http://www.tokyokeiso.co.jp

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

[email protected]使用可否、形式選定などなんでも(Anything)ご遠慮なくどうぞ。

製品についてのお問い合せを電子メールでも承ります。〒105‒8558 東京都港区芝公園1‒7‒24芝東宝ビル

TEL: 03‒3434‒0441(代) FAX: 03‒3434‒0455