TIA-nanoの活動報告と

今後の展望

TIA-nano 運 営 最 高 会 議

議 長

岸 輝 雄

第3回TIA-nano公開シンポジウム2012年7月19日

・研究分野の方向

・情報の共有と循環

・研究者と研究資源の導入

・国内外産学官の結集による研究遂行（オープンイノベーション）

“異なる文化、メンタリティーの衝突”

経済成長への寄与の推進

戦略的研究開発拠点

2

・研究テーマ・基礎研究型

・課題解決型・実証・評価型

+・基盤整備型

・

研究資金

・研究施設

・研究者

研究開発拠点の要件

3

研究機関と大学の実力の比較

強い研究機関 強い大学

“

軍需研究の在り方が大きな課題

”

世界の研究機関の現状

独、仏、（中）、米、日本、英

4

１.日本の常置の研究所大学内の附置研究所

６２研究所

大学共同利用研究所

１９研究所

独立行政法人

３１研究所

その他、公立の研究所（国立研究所）

民間の研究所（企業内の研究所）

２.目的に合せて随時設置大学内の産官学プラットフォーム→センター

日本の研究開発拠点（Center of Excellence）の現状

5

大学と附置研究所(62)

独立行政法人 (31)大学共同利用機関法人(19) 文科省

（10）経産省

（3）

AISTNIMS

7 省庁(18)

JSPS, JST NEDO

筑波大学 KEK NIMS AIST

TIA 産業界 (経団連)

日本の国関連の研究機関 (GRIs)

6

知財・標準化

共用施設（点の成果を線・面

に）

高等教育と科学技術政策の融合

人材育成実証・評価開発拠点

研究開発拠点ネットワーク

ナノ物質からマクロサイズ製品へ

ナノテクの社会的影響

ナノテク研究の推進方法

7

世界のナノテク拠点とTIA

2006年、フランス原子力庁電子情報技術

研究所(CEA-LETI）が中心となり、グル

ノーブル市内に欧州最大のナノテク研究

拠点を形成。

1984年、ベルギー・フランドル地方の自治

体、大学、及び産業界の支援を受け、マイ

クロエレクトロニクス分野の非営利研究機

関として設立。

2001年、ニューヨーク州立大学オルバニー校

のナノ科学工学センターを主体にニューヨーク

州政府とIBMが中核として出資し、ナノテク国

際拠点を形成。

産業技術総合研究所、物質・材料研究機構、筑波

大学が中核となって世界的なナノテク研究拠点形

成を目指し,日本に適したアジアを先導するオープ

ンイノベーションを推進する。

中国-シンガポール蘇州工業園2012.6完成予定敷地100ha、床面積150万平方米

ALBANYALBANY

IMECIMEC

MINATECMINATEC

8

TIAnanoTIAnano

蘇州ナノポリス蘇州ナノポリス

拠点形成に向けた基本理念

産学官の共同宣言産学官の共同宣言

つくばナノテクノロジー拠点形成の推進について

21年6月17日(＊24年4月1日）

つくばナノテクノロジー拠点運営最高会議

運営最高会議議長

岸

輝

雄

国立大学法人筑波大学学長

山

田

信

博

独立行政法人物質・材料研究機構理事長

潮

田

資

勝

独立行政法人産業技術総合研究所理事長

野

間

口

有

社団法人日本経済団体連合会産業技術委員会共同委員長

中

鉢

良

治

＊大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構

鈴

木

厚

人

TIA基本理念TIA基本理念

理念１：世界的な価値の創造

理念２：Under One Roof理念３：自立・好循環

理念４：Win-Win連携網

理念５：次世代人材育成 9

TIAの推進TIAの推進

研究テーマ：ナノテク

研究システム：オープンイノベーション

人材育成：オナーズプログラム

経済成長

ＴＩＡの中核機関

10産総研 物・材機構 筑波大学 高エネ研経団連

KEK(高エネルギー加速器研究機構)-つくばキャンパス

フォトンファクトリー

パルスX線の

ための先進リング ワイゼンベルグカメラ

高・エネ研での研究紹介

KEKは自然界に働く法則や物質の基本構造

を探求することにより、人類の知的資産の拡

大に貢献します。そのために素粒子・原子核

に関して、また、生命体を含む物質の構造・

機能に関して高エネルギー加速器を用いた

実験的研究や、理論的研究を推進している。500m

11

ＴＩＡnano組織図

ナノエレクトロニクスW

G

パワーエレクトロニクスW

G

知財

WG

大学院連携

WG

カーボンナノチューブ・ナ

ノ材料安全評価

WG

ナノグリーンW

G

運営最高会議議長：岸

輝雄

西 ｽﾀﾝﾌｫｰﾄﾞ大学教授

平山ﾆｭｰﾖｰｸ州立大学教授

西 ｽﾀﾝﾌｫｰﾄﾞ大学教授

平山

顧 問西

義雄

ｽﾀﾝﾌｫｰﾄﾞ大学教授平山誠 ﾆｭｰﾖｰｸ州立大学教授

監 事髙柳英明

東京理科大学理事

オブザーバーオブザーバー文部科学省

内閣府経済産業省

委員筑波大,NIMS,AIST,KEK産業界、学会の代表

運営会議議長：中村道治

事務局長：岩田

普

事務局次長筑波大学（神田忠雄）NIMS（中村和夫）AIST（坂本邦博）KEK（篠原新一）経団連（吉村隆）

オブザーバーつくばIC連携会議AIST（秋宗、鈴木）NIMS（渡辺、森）筑波大学（丹羽）KEK（池田、飯田）

Under O

ne Roof W

G

NM

EMS W

G

12

TI A 理

事

会議

研究D会議

産

業

界

ボ

I ド

テンポラリー

EID

EC

（森博士発表資料； “TIA-nano symposium” 2011.11.25）

日本初の世界的コンソシアム

EIDEC:EUVL Infrastructure Development Center, Inc.

13

TIA-nano中期計画の目標と進捗

H22年度 H23年度H23年度まで

の累積 中期計画目標値

総事業費(億円) 107 133 669 1,000億円

公的資金割合(%) 96 88 - 2014年度末で70～80%

プロジェクト数 18 - 23 30件以上

連携企業数 59 93 100 300名以上

外部研究者数 468 529 - 1,000名以上

TIA連携大学院生数 15 139 154 500名以上

14

知 財 戦 略 (TIA中期計画から)

１．オープン＆フレキシブル

・オープンイノベーションの着実な推進とフレキシブルな権利対応。

・各技術研究組合等の既存のルールからスタートし、各研究コアで最適解を検討。

２．インテグレーション＆パッケージング

・TIA研究プログラムで産まれた知財情報を蓄積する仕組み。

・個々の知財を組み合わせてパッケージ化してゆく仕組み。

３．サステイナブル＆インセンティブ

・サステイナブル（自立・好循環）

・TIAへの積極的な参加・知財蓄積を促すインセンティブの構築。

15

・

KEKの参画

・

CNTのサンプル配布

・

TIAの自律的運営に向けた民活型組織TPECの設立

・

ナノグリーンにおける会員制組織の試み

・

つくば大の大学改革プログラム

・パワエレクトロニクス寄付講座の開設準備（H25開

設）

・

NBCIによるTIA見える化とTIAメルマガ発行（H24）

平成23年度TIA-nanoの成果

16

主な拠点活用プロジェクト（平成23年度）

17FISRT: 最先端研究開発支援プログラム、METI：経済産業省、MEXT：文部科学省

ナノエレ

FIRST フォトニクス・エレクトロニクス融合システム基盤技術開発

FIRST 省エネルギー・スピントロニクス論理集積回路の研究開発

FIRST グリーン・ナノエレクトロニクスのコア技術開発

METI委託 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト

METI委託 次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発

MEXT委託 光ネットワーク超低エネルギー化技術拠点

パワエレFIRST 低炭素社会創成へ向けた炭化珪素（SiC）革新パワーエレク

トロニクスの研究開発

METI委託 低炭素社会を実現する新材料パワー半導体プロジェクト

N-MEMSFIRST マイクロシステム融合研究開発

METI委託 グリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクト

ナノグリーンMEXT委託 低炭素化材料設計・創製ハブ拠点

MEXT委託 ナノ材料環境化学拠点

CNT ・ナノ安全 METI委託 低炭素社会を実現する超軽量・高強度融合材料プロジェクト

ナノテク大学院 MEXT経費 つくばナノテク拠点産学独連携人材育成プログラム

ナノデバイス実証・評価ファンドリー・プロトタイプデバイス（線幅45-65nm CMOS、N-MEMS等）試作･実証･評価 （φ200-300mm）

・SiCパワーデバイス試作･実証･評価

ナノテク共用施設産総研･ＮＩＭＳ・つくば大学・KEK

の産学官共用研究設備

ナノテク大学院連携筑波大学を幹事校としたオールジャパ

ン体制による次世代人材育成機能

３つのコアインフラ

（※今後、各々のコアは、産学官の連携状況等に基づき拡張し得る。）

６つのコア研究領域/３つのコアインフラ

18

ナノ材料安全評価ナノ材料安全に係る

世界的データ集積・評価

Ｎ-ＭＥＭＳ高付加価値多品種／量産集積Ｎ-MＥＭＳ

カーボンナノチューブCNT量産実証と多様な用途材料と

CNTとの融合材料開発

ナノグリーン環境・エネルギー技術の実現に向けた

物質・材料研究のブレークスルー

ナノエレクトロニクス・ナノCMOS・シリコンフォトニクス・カーボンエレクトロニクス・スピントロニクス

・バックエンドデバイス

・新材料・先端リソグラフィ

（EUVL）

６つのコア研究領域

パワーエレクトロニクスSiC基板→デバイス→システムまで

統合的なパワー半導体の研究開発・

実証

オナーズプログラム

：

基礎研究と応用技術の共鳴場

産業技術総合研究所

物質・材料研究機構

民間企業（日立、東芝、ルネサス、東京エレクトロン、パナソ

ニック、シャープ、トヨタ、

アルバック、etc.）

技術

の流

れ

人の流れ

知の

流れ

連携コーディネーター海外

SUNY/AlbanyStanfordMINATECIMEC, etc

課題

解決

最先端設備と人材の提供

最先端設備と課題の提供

独 産

学阪大

名古屋大

東工大東北大、他

筑波大学

19

ナノデバイス・実証ファンドリー（AIST)

基本性能を検証できる、世界最高レベルのインフ

ラの提供

世界最大級の4500m2のスーパークリーンルー

ム、最先端の集積デバイス実証評価ラインを

活用し、デバイスのプロトタイプ試作を受託。

産官学、デバイス・材料・装置メーカーの集中

融合拠点

デバイスメーカー、材料メーカー、装置メー

カー、国の研究機関、大学の研究者のマッ

チングを行い、新事業の企画、新たな可能

性検討の場と機会を提供します。（FIRST研究機関：東大、富士通、東北大学）

次世代に向けた新プロジェクトの実施

EUV（極端紫外線）による10nm台の微細化技

術や、0.4V以下で動作するナノ新材料・新構造

など、最先端の研究開発を実施しています。

産総研西事業所スーパークリーンルーム(SCR)20

21インバータへの活用

SiC 単結晶

６つの研究コア；パワーエレクトロニクス

３０年以上にわたる一貫したSiC devices 研究

SiCデバイスの実証試作による製品応用加速

6cm

8cm

9cm

3インチSiCウエハ上

のデバイス

4 inches

4 in

ches

（FIRST研究機関：京都大学）

三次元ヘテロ集積化N-MEMS

RF-MEMS

Bio-sensing

Power MEMS

Chemical Sensor

12inch LSI Wafer

６つの研究コア； N-MEMS

N-MEMS製造技術開発の拠点を構築し、デバイス開発・実用化

を支援

22

（FIRST研究機関：東北大学）

CNTの特徴

６つの研究コア；カーボンナノチューブ

集中研による産官学一体の研究体制でカーボンナノチューブの実用 化を促進

薄くても丈夫

高電気伝導度半導体への利用の可能性

軽量で柔軟

カーボンナノチューブ

良好な熱伝導度

23

産総研で開発した量産技術(スーパーグロース法)で合成されたカーボンナノチューブ構造体

6 Core Research Domains：ナノグリーン

三つのプログラム:

ナノ材料科学拠点 (GREEN)低炭素化材料設計・創成ハブ拠点(Lneｔ)TIA ナノグリーン

乾式

固体-気体-

光

湿式

固体-液体-

光

観察 ｼﾐｭﾚｰｼｮﾝ

ナノテクノロジー

24

環境とエネルギー問題に対応する低炭素社会の実現に貢献

NIMSナノグリーン棟（H23年度竣工）

世界的産学官連携研究センター（仮称）(AIST西地区H25.3完成予定)

25

Ⅰ. 長期的な課題・法人格の在り方・研究開発分野の拡大と知財の累積

Ⅱ. 中期的な課題・SCRの機器更新(450mm,10nm, EUV)・中核4機関による新規プロジェクトの立ち上げ・海外にも開けるＴＩＡ

Ⅲ. 短期的な課題・

SCRの２４時間稼働－維持費の確保

・大学院学生,中小企業参加のしくみ・ネットワークの強化

TIA-nanoの今後の課題

26