zweifrequenz - laserinterferometer zlm 700 / 800 /900 · 2012. 5. 21. · leistungsparameter zlm...

Zweifrequenz - Laserinterferometer ZLM 700 / 800 /900

Dual – Frequency Laser Interferometer

Komponenten und Zubehör Components and Accessories

Optics by Carl Zeiss

Inhaltsverzeichnis / Table of contents

ZLM 700 / 800 / 900 Inhaltsverzeichnis Contents

Systeminformationen / System information ............................................................................. A

Leistungsparameter AE700/ Performance data AE700 ............................................................................................... A-1

Leistungsparameter AE950/ Performance data AE950 ............................................................................................... A-4

Schematische Darstellung des Systems ZLM700/ System summary ZLM700 ............................................................ A-7

Schematische Darstellung des Systems ZLM800/ System summary ZLM800 ............................................................ A-8

Schematische Darstellung des Systems ZLM900 LSI/ System summary ZLM900 LSI ................................................ A-9

Schematische Darstellung des Systems ZLM900 LSI 3D/ System summary ZLM900 LSI 3D.................................... A-10

Systemüberblick – Stecker (Ein- / Ausgänge)/ System overview – Sockets (Input / Output) ........................................ A-11

Systemüberblick – Kabel/ System overview – Cables ............................................................................................... A-12

Systemvarianten / System versions .......................................................................................... B

Auswahl möglicher Systemvarianten / Choice of possible system versions .................................................................. B-1

Optikmodule / Optical modules ................................................................................................. C

Standardmodule / Standard modules .........................................................................................................................C-1

90° Umlenker / 90° beam bender ...............................................................................................................................C-2

Intensitätsteiler / Beam splitter...................................................................................................................................C-3

Reflektoren / Reflectors.............................................................................................................................................C-4

Optikmodule für Geradheitsmessung / Optical modules for straightness measurement..................................................C-5

Ergänzungsmodule für Rechtwinkligkeitsmessung / Optical modules for squareness measurement..............................C-7

Ergänzungsmodule für Distanzmessung / Modules for distance measurement ............................................................C-8

Ergänzungsmodule für Winkel- und Ebenheitsmessung / Modules for angle and flatness measurement.......................C-9

Ergänzungsmodule für Schwingungsmessung / Modules for vibration measurement.................................................C-11

Zubehör für Streckenmessung bis 120m / Modules for distance measurement up to 390f ...........................................C-12

Zubehör für Streckenmessung mit kleinem Reflektor / Accessories for distance measurement with small reflector .......C-13

Messung der Raumschräge / Measuring of the space slant .......................................................................................C-14

Parallelinterferometer / Parallel interferometer ..........................................................................................................C-15

Optikmodule für 8fach-Interferometer / Optic modules for 8fold interferometer............................................................C-16

Parallel-Planspiegel-IF 301 mit Lichtventil 308/ Parallel plane mirror interferometer 301 with lightvalve 308 ..................C-17

Einstrahlinterferometer / Single beam interferometer ............................................................................................C-18

Justierelemente / Elements for adjustment ................................................................................. D

Ergänzungsmodul für Justierung / Extension modules for adjustment ..........................................................................D-1

Blenden / Stops ........................................................................................................................................................D-2

Montageelemente / Mounting elements ..................................................................................... E


ZLM 700 / 800 / 900 Inhaltsverzeichnis Contents

Systemzubehör / System accessories.........................................................................................F

Lasermesskopf / Laser measuring head...................................................................................................................... F-1

Montage der Optikmodule am Lasermesskopf / Mounting optic modules on laser measuring head................................ F-2

Laserkopfmontierung / Laser head mounting .............................................................................................................. F-4

Systemzubehör / System accessories ........................................................................................................................ F-5

Auswerteeinheiten AE700 / Evaluation units AE700 ................................................................................................... F-6

Automatischer Umweltkompensator AUK / Environmental sensor AUK....................................................................... F-8

Software / Software................................................................................................................................................... F-9

Aufbewahrungsbehälter / Carrying cases ................................................................................................................ F-10

Messanordnungen - Applikationen / Measuring arrangements - Applications..............................G

Positionsmessung / Position measurement.................................................................................................................G-1

Nickwinkelmessung / Pitch angle measurement ..........................................................................................................G-2

Gierwinkelmessung / Yaw angle measurement ..........................................................................................................G-3

Rollwinkelmessung / Roll angle measurement ............................................................................................................G-4

Ebenheitsmessung / Flatness measurement...............................................................................................................G-5

Synchrone dyn. Kalibrierung eines Messtasters mit ZLM800 2achsig/

Synchronic dynamic calibration of length gauge by ZLM800 2axes ...................................................................................G-6

Synchrone dyn. Kalibrierung eines Längenmesssystems mit ZLM800 2achsig/

Synchronic dynamic calibration of a linear encoder by ZLM800 2axes ...............................................................................G-7

Synchrone dyn. Kalibrierung eines Drehgebers zur Spindelsteigung mit ZLM800 2achsig /

Synchronic dynamic calibration of a rotary encoder for screw pitch by ZLM800 2axes .........................................................G-8

Synchrone dyn. Kalibrierung eines Längenmesssystems sowie eines Drehgebers mit ZLM800 3achsig/

Synchronic dynamic calibration of a linear encoder and a rotary encoder by ZLM800 3achsig ..............................................G-9

Zusatzgeräte / Extra equipment ................................................................................................. H

Universelles Teilungs- u. Drehbewegungsmessgerät ROTAROD / ROTAROD 250, 260, 800...............................H-1

2D-3D-Kreisformmessgerät / Ball Bar DBB 110......................................................................................................H-1

Vollwinkelmessung / Full angular measurement ..........................................................................................................H-2

Mehrachssysteme / Multi axis systems..........................................................................................................M

Mehrachssysteme / Multi axis systems ......................................................................................................................M-1

Elektronikeinheit - Mehrachser / Electronics unit – multi axis system ............................................................................M-3

Montageelemente / Mounting components .................................................................................................................M-5

Lichtwellenleiteranschluss / Fibre optics coupling .......................................................................................................M-7

Planspiegelreflektoren / Plane mirror reflectors...........................................................................................................M-9

Kompaktinterferometer 344 für 3-Achs-Messung (Triangulation) /

Compact interferometer 344 for 3axis measurement (triangulation) ......................................................................................... M-10

Kompakt-Planspiegel-Interferometer für 3 Achsen 348/ Compact plane mirror interferometer for three axes................M-13

Parallel-Planspiegel-Interferometer 352 / Parallel plane mirror interferometer 352 .....................................................M-15

Parallel-Planspiegel-Interferometer 356 / Parallel plane mirror interferometer 356......................................................M-16

Planspiegel-Interferometer 358 / Plane mirror interferometer 358 .............................................................................M-17


ZLM 700 / 800 / 900 Inhaltsverzeichnis Table of Contents

Kompakt-Planspiegel-Interferometer 360 für 3 Achsen / Compact plane mirror interferometer for three axes...............M-18

Kompakt-Planspiegel-Interferometer 362 für 2 Achsen / Compact plane mirror interferometer for two axes.................M-19

Planspiegel-Interferometer 368 für 1 Achse / Plane mirror interferometer 368 for one axis..........................................M-20

Kompakt-Planspiegel-Interferometer 370 für 2 Achsen / Compact plane mirror interferometer 370 for two axes...........M-21

Parallel-Planspiegel-Interferometer 608 / Parallel plane mirror interferometer 608......................................................M-22

Lichtschlauchinterferometer ZLM900 LSI / Light guide interferometer ZLM900 LSI..........................N

Elektronikeinheit AE 900 LSI / Electronics unit AE 900 LSI .........................................................................................N-1

LSI – Einstrahlinterferometer für Positions- und Winkelmessung /

LSI Single Beam Interferometer for position and angle measuring.....................................................................................N-2

Reflektoren für LSI-Interferometer / Reflectors for LSI-Interferometer ..........................................................................N-2

LSI-Planspiegelinterferometer (Einbausysteme) / LSI Plane mirror interferometer (Fixed Mounting Systems).................N-3

Mini-LSI-Planspiegelinterferometer (Einbausysteme) / Small LSI Plane mirror interferometer (Fixed Mounting Systems) N-4

Mini-LSI-Interferometer für Tripelreflektoren (Einbausysteme) /

Small LSI interferometer for cube corner reflectors (Fixed Mounting Systems) ....................................................................N-5

Einstrahlinterferometer (mobile Systeme) / Single beam interferometer interferometer (mobile systems) ........................N-6

A - 1

Leistungsparameter ZLM 700 / 800 mit AE 700 (Standard) Performance data of ZLM700 / 800 with AE700 (standard) Leistungsparameter / Performance data Mittlere Wellenlänge He-Ne-Laser in Vakuum 632,8 nm Mean He-Ne laser wavelength in vacuum 632.8 nm

Stabilität der Wellenlänge 2⋅10-9 für 1 Stunde / 2⋅10-8 für Lebensdauer Wavelength stability 2⋅10-9 per 1 hour / 2⋅10-8 per lifetime

Strahldurchmesser 6 mm (optional 3,2 mm) Beam diameter 0.236 in (optionally 0.126 in)

Maximale Leistung des austretenden Strahles 1 mW (Laserklasse 2) Max. output of emergent expanded beam 1 mW (laser class 2)

Zahl der Messachsen pro Laser 1, optional bis 6 Number of measuring axis per laser 1, optionally up to 6

Messbereich Distanzmessung bis 40 m, optional bis 120 m Range Distance Measurement to 130 ft, optionally up to 390 ft

Messbereich Winkelmessung ± 15° bis 20 m Länge Range Angular Measurement ± 15° up to 65 ft length

Messbereich Ebenheitsmessung bis 20 m Länge Flatness measurement to 65 ft length

Messbereich Geradheitsmessung ± 5mm auf 2m Länge bzw. 10m Länge

30m Länge (optional) mit Winkelinterferometer Range Straightness Measurement ± 0.078 in for 6.5 ft length or 32.5 ft length

97.5 ft length (optionally) with angle interferometer Messbereich Rechtwinkeligkeitsmessung ± 5mm auf 2m Länge bzw. 10m Länge Squareness Measurement ± 0.078 in for 6.5 ft length or 32.5 ft length Диапазон измерения прямоугольности ± 5мм на длине 2м / 10 м длина

Maximale Verfahrgeschwindigkeit 4 m/s, optional 16 m/s translatorisch

320 rad/s rotatorisch Maximum velocity 4m/s, optionally 16m/s 320 rad/s angular velocity

Maximale Beschleunigung keine Begrenzung Maximum acceleration no limit

A - 2

Leistungsparameter ZLM 700 / 800 mit AE 700 (Standard) Performance data of ZLM700 / 800 with AE700 (standard) Leistungsparameter / Performance data Nichtlinearität ± 1,25 nm (Tripelreflektorinterferometer) ± 0,62 nm (Planspiegelinterferometer) Non linearity ± 1,25 nm (cube corner interferometer) ± 0.62 nm (plane mirror interferometer)

Auflösung Streckenmessung 2,5 nm (Tripelreflektorinterferometer) 1,25 nm (Planspiegelinterferometer) 0,62 nm optional Resolution Distance measurement 2.5 nm (cube corner interferometer),

1.25 nm (plane mirror interferometer), 0.62 nm optionally

Genauigkeit Streckenmessung (20°± 0,5°) mit AUK ± 0,4 ppm (µ/m) (20°± 0,5°) in Vakuum ± 0,08 (±0,02) ppm (µ/m) Accuracy Distance measurement (20°± 0,5°) with AUK ± 0.4 ppm (µ/m) (20°± 0,5°) in Vakuum ± 0.08 (±0,02) ppm (µ/m)

Auflösung Positionsmessung 2,5nm (Tripelreflektorinterferometer) 1,25nm (Planspiegelinterferometer) 0,62 nm optional Resolution Linear measurement 2.5 nm (cube corner interferometer),


Genauigkeit Positionsmessung (20°± 0,5°) mit AUK ± 0,4 ppm (µ/m) (20°± 0,5°) in Vakuum ± 0,08 (±0,02) ppm (µ/m) Accuracy Linear measurement (20°± 0,5°) with AUK ± 0.4 ppm (µ/m) (20°± 0,5°) in Vakuum ± 0.08 (±0,02 ppm (µ/m)

Genauigkeit Geschwindigkeitsmessung ± 0,5 ppm vom Messwert Accuracy Velocity Measurement ± 0.5 ppm to measured value

Auflösung Winkelmessung 0,062 µrad (12·10-3 arc sec) Resolution Angle Measurement 0.062 µrad (12·10-3 arc sec)

Genauigkeit Winkelmessung ± 0,1 ppm vom Messwert Accuracy Angle Measurement ± 0.1 ppm to measured value

A - 3

Leistungsparameter ZLM 700 / 800 mit AE 700 (Standard) Performance data of ZLM700 / 800 with AE700 (standard) Leistungsparameter / Performance data Auflösung Ebenheitsmessung 0,062 µrad (12·10-3 arc sec) Flatness Measurement 0.062 µrad (12·10-3 arc sec)

Genauigkeit Ebenheitsmessung ±0,2% vom Messwert ±0,05 rad pro Meter Verschiebeweg Accuracy Flatness Measurement ±0,2% to measured value ±0,05 rad per meter of distance traveled

Auflösung Geradheitsmessung 29 nm auf 2 m

145nm auf 10 m Resolution Straightness measurement 29 nm for 6.5 ft

145nm for 32.5 ft Genauigkeit Geradheitsmessung bis 2 m bis 10 m

± 0,5% vom Messwert ± 2,5% vom Messwert

Accuracy Straightness Measurement to 2 m to 10 m

± 0,5% to measured value ± 2,5% to measured value

Auflösung Rechtwinkligkeitsmessung bis 2 m bis 10 m

29 nm auf 2 m 145 nm auf 10 m

Resolution Squareness Measurement to 2 m to 10 m

29 nm for 6.5 ft 145 nm for 32.5 ft

Genauigkeit Rechtwinkligkeitsmessung bis 2 m bis 10 m

± 0,5% vom Messwert ± 0,5 arc sec * ± 2,5% vom Messwert ± 0,5 arc sec *

Accuracy Squareness Measurement to 2 m to 10 m

± 0,5% to measured value ± 0,5 arc sec * ± 2,5% to measured value ± 0,5 arc sec *

* Toleranz Rechtwinkligkeitsnormal * Tolerance Squareness Normal

Schnittstellen Quadratursignale

32 Bit (Echtzeit) ∆t ≈ 20 ns

Interfaces quadrature signals 32 Bit (real time) ∆t ≈ 20 ns

Einsatzbedingungen Temperaturbereich: 15°C ..... 30°C Luftfeuchte: < 90% nicht kondensierend Operating conditions Temperature range: 59°F …. 86°F

Air humidity: < 90% no condensing Lagerbedingungen Temperaturbereich: 10°C ..... 40°C Luftfeuchte < 95% nicht kondensierend Storing conditions Temperature range: 50°F .... 104°F

Air Humidity < 95% no condensing

A - 4

Leistungsparameter ZLM 700 / 800 mit AE 950 (hochauflösend) Performance data of ZLM700 / 800 with AE950 (high-resolution) Leistungsparameter / Performance data Mittlere Wellenlänge He-Ne-Laser in Vakuum 632,8 nm Mean He-Ne laser wavelength in vacuum 632.8 nm

Stabilität der Wellenlänge 2⋅10-9 für 1 Stunde / 2⋅10-8 für Lebensdauer Wavelength stability 2⋅10-9 per 1 hour / 2⋅10-8 per lifetime

Strahldurchmesser 6 mm (optional 3,2 mm) Beam diameter 0.236 in (optionally 0.126 in)

Maximale Leistung des austretenden Strahles 1 mW (Laserklasse 2) Max. output of emergent expanded beam 1 mW (laser class 2)

Zahl der Messachsen pro Laser 1, optional bis 6 Number of measuring axis per laser 1, optionally up to 6

Messbereich Distanzmessung bis 40 m, optional bis 120 m Range Distance Measurement to 130 ft, optionally up to 390 ft

Messbereich Winkelmessung ± 15° bis 20 m Länge Range Angle Measurement ± 15° up to 65 ft length

Messbereich Ebenheitsmessung bis 20 m Länge Flatness measurement to 65 ft length

Messbereich Geradheitsmessung ± 5mm auf 2m Länge bzw. 10m Länge

30m Länge (optional) mit Winkelinterferometer Range Straightness Measurement ± 0.078 in for 6.5 ft length or 32.5 ft length

Messbereich Rechtwinkeligkeitsmessung ± 5mm auf 2m Länge bzw. 10m Länge Squareness Measurement ± 0.078 in for 6.5 ft length or 32.5 ft length

30m length (optionally) with angle interferometer Maximale Verfahrgeschwindigkeit 1 m/s translatorisch

80 rad/s rotatorisch Maximum velocity 1m/s translatory 80 rad/s angular velocity

Maximale Beschleunigung keine Begrenzung Maximum acceleration no limit

A - 5

Leistungsparameter ZLM 700 / 800 mit AE 950 (hochauflösend) Performance data of ZLM700 / 800 with AE950 (high-resolution) Leistungsparameter / Performance data Nichtlinearität ± 0,3 nm (Tripelreflektorinterferometer) ± 0,1 nm (Planspiegelinterferometer) Non linearity ± 0,3 nm (cube corner interferometer) ± 0.1 nm (plane mirror interferometer)

Auflösung Streckenmessung 0,6 nm (Tripelreflektorinterferometer) 0,3 nm (Planspiegelinterferometer) 0,1 nm optional Resolution Distance measurement 0.6 nm (cube corner interferometer),


Genauigkeit Streckenmessung (20°± 0,5°) mit AUK ± 0,4 ppm (µ/m) (20°± 0,5°) in Vakuum ± 0,08 (±0,02) ppm (µ/m) Accuracy Distance measurement (20°± 0,5°) with AUK ± 0.4 ppm (µ/m) (20°± 0,5°) in Vakuum ± 0.08 (±0,02) ppm (µ/m)

Auflösung Positionsmessung 0,6 nm (Tripelreflektorinterferometer) 0,3 nm (Planspiegelinterferometer) 0,1 nm optional Resolution Linear measurement 0.6 nm (cube corner interferometer),


Genauigkeit Positionsmessung (20°± 0,5°) mit AUK ± 0,4 ppm (µ/m) (20°± 0,5°) in Vakuum ± 0,08 (±0,02) ppm (µ/m) Accuracy Linear measurement (20°± 0,5°) with AUK ± 0.4 ppm (µ/m) (20°± 0,5°) in Vakuum ± 0.08 (±0,02 ppm (µ/m)

Genauigkeit Geschwindigkeitsmessung ± 0,5 ppm vom Messwert Accuracy Velocity Measurement ± 0.5 ppm to measured value

Auflösung Winkelmessung 0,015 µrad (3 ·10-3 arc sec) Resolution Angular Measurement 0.015 µrad (3·10-3 arc sec)

Genauigkeit Winkelmessung ± 0,1 ppm vom Messwert Accuracy Angular Measurement ± 0.1 ppm to measured value

A - 6

Leistungsparameter ZLM 700 / 800 mit AE 950 (hochauflösend) Performance data of ZLM700 / 800 with AE950 (high-resolution) Leistungsparameter / Performance data Auflösung Ebenheitsmessung 0,015 µrad (3·10-3 arc sec) Flatness Measurement 0.015 µrad (3·10-3 arc sec)

Genauigkeit Ebenheitsmessung ±0,2% vom Messwert ±0,05 rad pro Meter Verschiebeweg Accuracy Flatness Measurement ±0.2% to measured value ±0.05 rad per meter of displacement path

Auflösung Geradheitsmessung 7,25 nm auf 2 m

36 nm auf 10 m Resolution Straightness measurement 7.25 nm for 6.5 ft

36 nm for 32.5 ft Genauigkeit Geradheitsmessung bis 2 m bis 10 m

± 0,5% vom Messwert ± 2,5% vom Messwert

Accuracy Straightness Measurement to 2 m to 10 m

± 0.5% to measured value ± 2.5% to measured value

Auflösung Rechtwinkligkeitsmessung bis 2 m bis 10 m

7,25 nm auf 2 m 36 nm auf 10 m

Resolution Squareness Measurement to 2 m to 10 m

7.25 nm for 6.5 ft 36 nm for 32.5 ft

Genauigkeit Rechtwinkligkeitsmessung bis 2 m bis 10 m

± 0,5% vom Messwert ± 0,5 arc sec * ± 2,5% vom Messwert ± 0,5 arc sec *

Accuracy Squareness Measurement to 2 m to 10 m

± 0.5% to measured value ± 0.5 arc sec * ± 2.5% to measured value ± 0.5 arc sec *

* Toleranz Rechtwinkligkeitsnormal * Tolerance Squareness Normal Schnittstellen Quadratursignale

32 Bit (Echtzeit) ∆t ≈ 20 ns

Interfaces quadrature signals 32 Bit (real time) ∆t ≈ 20 ns

Einsatzbedingungen Temperaturbereich: 15°C ..... 30°C Luftfeuchte: < 90% nicht kondensierend Operating conditions Temperature range: 59°F …. 86°F

Air humidity: < 90% not condensing Lagerbedingungen Temperaturbereich: 10°C ..... 40°C Luftfeuchte < 95% nicht kondensierend Storing conditions Temperature range: 50°F .... 104°F

Air Humidity < 95% not condensing

A - 7

ZLM 700 Systemüberblick System summary

Kalibriersystem ZLM700 / Calibration-System ZLM700

Optikmodule /

AC95....240V40....60Hz

Notebook

PCM-CIA Schnittstelle

Messkopf-Kabel /f ,f1 2 f1

f df1 1+-x,vx

df =1-vxl

f ,f1 2

Referenzstrahl

Messstrahl

Referenzsignal

Messsignalf - f

f - f df1 2

1 2

+-

f - f1 2

Variante 1

Variante 3

oder /

AUK

AUK-KabelTemperatur - Sensoren

AE 700 PCI

AE 700cPCI-PXI

Industrie PC mitPCI-BUS-System

Industrie PC mitPXI-BUS-System

LasermesskopfLaser measuring head

Measuring head cable

or

Variant 1

Variante 2Variant 2

Variant 3

Reference beam

Measuring beam

Optic modules

oder / or

Reference signal

ReferenzsignalReference signal

Measuring signal

Messsignal

f - f df1 2+-Measuring signal

Messsignal

f - f df1 2+-Measuring signal

Referenzsignal

f - fReference signal

Interface

AUK-cable

Industry PC withPCI-BUS-system

Industry PC withPXI-BUS-system

Temperature - Sensors

AE 700 PCI

AE 700 N mitPCI-BUS-SystemAE 700 N withPCI-BUS-system

A - 8

ZLM 800 Systemüberblick System summary

Mehrachssystem ZLM 800 / Multi - Axial – System ZLM 800

101

102

102

Optikmodule optical modules


AC95....240V40....60Hz

AUK

OberflächensensorenSurface sensors

AUK-KabelAUK-cable

1. Messachse

2. Measurement axisMesskopfkabelMeasuring head cable

2. Messachse

3. Messachse

4. Messachse

1. Measurement axis

3. Measurement axis

4. Measurement axis

AC95....240V40....60Hz

ZLM 800

trigger

Stat

IF-in

Ref-out

Ref-in

LASER

AUK

IF-in

Stat

ef-in

Ref-out

IF-in

Stat

A-Q-Bin / out

Ref-out

IF-in

Stat

Ref-out

ef-in ef-in

LAN

IOIO

IIO

IOI

EX

T CD

-RO

M /H

DD

trigger

LASER

AUK

A-Q-Bin / out

trigger

LASER

AUK

A-Q-Bin / out

trigger

LASER

AUK

A-Q-Bin / out

Lichtwellenleiterfibre cable

A - 9

ZLM 900 LSI Systemüberblick System summary

Kalibriersystem ZLM 900 LSI / Calibration-System ZLM 900 LSI

Light guide

Germany 220...240V50/60Hz

ZLM 900

930240

25VA

JENAer Meßtechnik

AUK

OberflächensensorenSurface sensors

AUK-KabelAUK-cable

LSI Interferometer Lichtschlauch

Signal-KabelSignal-cable

TripelreflektorCube corner reflector

LWL-Ref LWL-Mess

SchnittstelleInterface

PCM-CIA

AC95....240V40....60Hz

A - 10

ZLM 900 LSI Systemüberblick System summary

Kalibriersystem ZLM 900 LSI Calibration-System ZLM 900LSI

Lichtschlauch

ZLM 800 trigger

Stat

IF−in

Ref−out

Ref−in

LASER

AUK

Ref−out

IF−in

Stat

A−Q−Bin / out

trigger

LASER

AUK

A−Q−Bin / out

Ref−in


ZLM 800

930240

25VA

JENAer Meßtechnik

OI

AUK

OberflächensensorenSurface sensorsAUK-Kabel

AUK-cable

LSI-3D-Compactinterferometer

PlanspiegelreflektorPlane mirror reflector

Referenz-KabelReference cable

Ref−out

IF−in

Stat

Ref−in

trigger

LASER

AUK

A−Q−Bin / out

axis 1

axis 2

axis 3

QuadrantenkabelCable for alignment

Signal-Kabel Signal cable

Light guide

A - 11

ZLM Systemüberblick – Stecker (Ein- / Ausgänge) System overview – Sockets (Input / Output)

Stecker / socket: X2: Trigger Interferometer, AQB-out, AQB-in (2. counter Heidenhain) X3: AUK X4: Laser X6: Echtzeit / Real-time interface (32bit ≤ 33MHz)

AE 950 PCI Master 269302-5091.026

X3

X4

X2

X6

AE 950 PCI Slave 269302-5091.526

X3

X4

X2

X6

Anschlussbelegung / terminal assignment

AE 950 PCI MASTER AE 950 PCI SLAVE AE 950 PCI SLAVE

…

1 Achse/ axis 2 Achse/ axis 3 Achse/ axis n te Achse/ axis

Referenz - Laserstrahlreference laser beam

A - 12

ZLM Systemüberblick – Kabel System overview – Cables

Bestell-Nr. / Order No.:

Stecker / socket

ZLM700 ZLM800 ZLM900 LSI

Kabel für externe Triggerung PCI cable external triggering PCI Länge / length: 5m

269302-5001.324 X2 x x x

Kabel für externe Triggerung PXI cable external triggering PXI Länge / length: 5m

269302-5001.124 X2 x x x

Heidenhain Kabel in (2. Zähler) Heidenhain cable in (2. Counter) Länge / length: 1,1m

269302-5000.724 X2 x x x

A-Q-B Kabel A-Q-B cable Länge / length: 5m

269302-5040.424 X2 x x x

AUK Kabel AUK cable Länge / length: 5m

269302-4040.224 X3 x x x

Messkopf – Kabel Measurement head cable, complete (Fibre cables are integrated) Länge / length: 5m

269302-4040.824 X4 x x -

Echtzeit- Adapter mit SCSI – Ausgang Realtime adapter with SCSI – output Länge / length: 1m

269302-4041.324 X6 x x x

Schnittstelle - Kabel – PXI Adapter cable PXI Länge / length: 0,5m

296302-5000.524 X6 x x x

Kabel - PCI mit SCSI Buchse cable PCI with SCSI connector Länge / length: 0,3m

296302-5001.224 X6 x x x

Kabel - PCI mit SCSI Buchse cable PCI with SCSI connector Länge / length: 0,3m

296302-5040.924 X6 x x x

SCSI – Kabel SCSI – cable Länge / length: 2m

296302-4041.124 X6 x x x

B - 1

8-fache Teilung 8-fold division 8-кратное деление

ZLM Auswahl möglicher Systemvarianten Choice of possible system versions

Tripelreflektor 102 Cube corner reflector

Streckenmessung mit Tripelreflektor Distance measurement with cube corner reflector

Polarisationsstrahlenteiler 101 Polarizing beam splitter Planspiegelreflektor 103 Plane mirror reflector

λ/4-Platte 104 Quarter wave plate

102

101

104

103

110

90° - Umlenker 110 90° - beam bender

101

101

102

102

102

102

102 10

4

Streckenmessung mit Planspiegelreflektor Distance measurement with plane mirror reflector

101

102

104

102

101

102

104

102

103

103

101

104

102

103

103

104

101

104

102

103

110

104

103

101

104

103

104

102

103

104

104

Winkelmessung mit Tripelreflektoren Angle measurement with cube corner reflectors

Winkelmessung mit Planspiegelreflektoren Angle measurement with plane mirror reflectors

101

110

102

102 40

101

104

102

103

110

104

103

40

B - 2

ZLM Auswahl möglicher Systemvarianten Choice of possible system versions

Winkelmessung mit Doppelreflektor Angle measurement with double reflector

Winkelmessung mit Planspiegelreflektor Angle measurement with plane mirror reflector

114 115

114

104

104

102

Schwingungsmessung (2,5nm Auflösung) Vibration measurement (2.5nm resolution)

Schwingungsmessung (1,25nm Auflösung) Vibration measurement (1.25nm resolution)

101

102

320

101

102

104

102

320

Geradheitsmessung /Straightness measurement

108 (bis 2m )112 (bis 10m)

109 (bis 2m)113 (bis 10m)

128

Rechtwinkligkeitsmessung / Squareness measurement

109 (bis 2m)113 (bis 10m)

116

128110

108 (bis 2m)112 (bis 10m)

120m Streckenmessung / 390ft distance measurement

102

101351350

C - 1

ZLM Standardmodule Standard modules

Polarisationsstrahlenteiler 101 Polarizing beam splitter 101 R ⊥ ≥ 98% T ⊥ ≥ 97% R ll ≤ 1% T ll ≤ 0,1% Masse / Weight: 240g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4010.124

32 / 1.260 M4

40 / 1.575 40 / 1.575

15 / 0.591

Tripelreflektor 102 Cube corner reflector 102 R über 3 Reflexionen ≥ 90% mit Silber verspiegelt R over 3 reflections ≥ 90% silvered

Masse / Weight: 202g

Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4010.224

40 / 1.575

22 / 0.866

32 / 1.260

Planspiegelreflektor 103 Plane mirror reflector 103 R ≥ 99,97% Masse / Weight: 112g


40 / 1.575

12 / 0.472

32 / 1.260

λ/4 – Platte 104 Quarter wave plate 104 Kristallachse steht unter 45° zum �40 Crystallographic axis 45° to �40 Masse / Weight: 112g


40 / 1.575

8 / 0.315

32 / 1.260

45°

C - 2

ZLM 90° Umlenker 90° beam bender 90° Umlenker 110 90° beam bender 110 für Doppelstrahl, dielektrisch polarisationsneutrale Spiegelschicht for double beam, dielectric polarization – neutral mirror coating R ≥ 99% Masse /Weight: 240g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4011.024

40 / 1.575

15

32 / 1.260

32 / 1.260

M4

/ 0.591

∅4,5 / 0.177

90° Umlenker 205 90° beam bender 205 für Einzelstrahl, dielektrisch polarisationsneutrale Spiegelschicht for single beam, dielectric polarization – neutral mirror coating R ≥ 99% Masse /Weight: 23g


061015,5 /

20 / 0.787

2,8/ 0.110

0.78720 /

ø

C - 3

ZLM Intensitätsteiler Beam splitter Intensitätsteiler A Beam splitter A für Doppelstrahl for double beam Masse / Weight: 240g

R

T

32 / 1.260

40 / 1.575

15 / 0.591

M4

Intensitätsteiler B Beam splitter B für Einzelstrahl for single beam Masse / Weight: 74g

28 / 0.157

20 / 0.787

20 / 0.787

M4∅4,5

R

T

/ 0.177

Teilungs-verhältnis

Splitting ratio

Artikel-Nr. Article-No.

R / % (Reflexion Reflection)

T / % (Transmission transmission)

Bestell-Nr.

Order No.:

mit dielektrischer, polarisationsneutraler Beschichtung

with dielectric polarization – neutral mirror coating

A 1:1 201 ⊥ 50 || 50 ⊥ 50 || 50 269302-4011.424 A 1:2 212 ⊥ 33 || 33 ⊥ 67 || 67 269302-4017.824 A 1:3 211 ⊥ 25 || 25 ⊥ 75 || 75 269302-4017.624 B 1:1 203 ⊥ 50 || 50 ⊥ 50 || 50 269302-4012.124 B 1:2 210 ⊥ 33 || 33 ⊥ 67 || 67 269302-4017.924 B 1:3 209 ⊥ 25 || 25 ⊥ 75 || 75 269302-4017.724

mit Metallbeschichtung

with metal coating A 2,5:1 207 ⊥ 72 || 61 ⊥ 21 || 32 269302-4011.724 A 4:1 202 ⊥ 80 || 70 ⊥ 14 || 24 269302-4011.824 B 2,5:1 208 ⊥ 72 || 61 ⊥ 21 || 32 269302-4012.324 B 4:1 204 ⊥ 80 || 70 ⊥ 14 || 24 269302-4012.224

C - 4

ZLM Reflektoren Reflectors

Tripelreflektor 304 Triple reflector 304 zylindrische Bauform zylindrical construction Masse / Weight: 71g


Tripelreflektor klein 316 Triple reflector small 316 extra leichte Bauform extra light construction Masse / Weight: 12g


Planspiegelreflektor klein 317 Plane mirror reflector small 317 extra leichte Bauform extra light construction Masse / Weight: 4g


Doppeltripelreflektor 160 Double triple reflector 160 für Winkelmessung Basis 15mm for angle measurement base 15mm Masse / Weight: 202g


1.260

15 / 0.59120 / 0.788

40 / 1.575

32 /

C - 5

ZLM Optikmodule für Geradheitsmessung Optical modules for straightness measurement

Geradheitsinterferometer 128 Straightness interferometer 128 Masse / Weight: 386g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4012.824

Wendevorsatz 120 Beam offset prism 120 dient der Strahlwendung bei Geradheits- messung vertikal use beam turn by straightness measurement vertical Masse / Weight: 108g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4008.424

Schematisierter Strahlengang Schematic beampath

C - 6

ZLM Optikmodule für Geradheitsmessung Optical modules for straightness measurement

Winkelreflektor 2m 109 Angular reflector 6.4 ft 109 Masse / Weight: 890g


Winkelreflektor 10m 113 Angular reflector 32.8 ft 113 Masse / Weight: 890g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4011.324

40 / 1.57540 / 1.575

116 / 4.567

Doppelkeil 2m 108 Double wedge 6.5 ft 108 Masse / Weight: 106g


Doppelkeil 10m 112 Double wedge 32.8 ft 112 Masse / Weight: 106g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4017.224

9 / 0.35440 / 1.575

32 / 1.260

C - 7

ZLM Ergänzungsmodule für Rechtwinkligkeitsmessung Extension modules for squareness measurement

Ergänzungsmodule für Geradheits- und Rechtwinkligkeitsmessung Extension modules for straightness and squareness measurement Pentagonalprisma 111 Pentaprism 111 Rechtwinkligkeitsnormal Genauigkeit: 1“ Squareness master Precision: 1“ Masse / Weight: 3800g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4011.124

104/

156/

32/

4.094

1.260

6.142

40/1.575

110/ 4.330

M4

Tripelreflektor 116 Triple reflector 116 Masse / Weight: 820g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4011.624

60 / 2.362

∅72 / 2.835

C - 8

ZLM Ergänzungsmodule für Distanzmessung Extension modules for distance measurement

Sonderspiegel 321 Special mirror 321 Masse / Weight: 145g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4013.824

Koppelplatte 511 Coupling plate 511 Masse / Weight: 130g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4017.910

transparenttransparent

Spiegel, beidseitigmirror on both sides

60 / 2.362

12 / 0.472

32 / 1.260

40 / 1.575

68 / 2.678

4,5 / 0.177

C - 9

ZLM Zubehör für Winkel- und Ebenheitsmessung Accessories for Angle and Flatness Measurement

Winkelinterferometer 114 Angle interferometer 114 Basisabstand 40mm Basic distance 1.575 in Masse / Weight: 480g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4015.324

1.26032 /

M4

M4

40 / 1.57540 / 1.575

40 / 1.575 80 / 3.150

1.26032 /

Doppelreflektor 115 Double corner reflector 115 Basisabstand 40mm Basic distance 1.575 in Masse /Weight: 480g


22 / 0.866

80 / 3.150

M4

4,5/ 0.177

1.26032 /

40 / 1.5751.26032 /

40 / 1.575

ø

22 / 0.866

C - 10

ZLM Zubehör für Winkel- und Ebenheitsmessung Accessories for Angle and Flatness Measurement

Fußplatte mit Drehspiegel 118 Base plate with turn mirror 118 Für Winkelinterferometer 114 For angular interferometer 114 Masse / Weight: 590g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4015.524

11/ 0.433

60 / 2.362105 / 4.134

32 / 1.259

Fußabstandsplatten für Doppelreflektor 115 Base distance plates for double triple reflector 115 Fußabstandsplatte 150 Base distance plate 150 Masse / Weight: 875g


4,8 / 0.189∅

11/ 0.433

60 / 2.362170 / 6.692

/ 0.86622

Fußabstandsplatte 100 Base distance plate 100 Masse / Weight: 515g


11/ 0.433

60 / 2.362120 / 4.724

22 / 0.866

4,8 / 0.189∅

Fußabstandsplatte 50 Base distance plate 50 Masse / Weight: 257g


11/ 0.433

60 / 2.36270 / 2.756

22 / 0.866

4,8 / 0.189∅

C - 11

ZLM Module für Schwingungsmessung Modules for vibration measurement

Vibrometervorsatzlinse 320 Vibrometer ancillary lens 320 Masse / Weight: 105g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4006.424

Vibrometereinstellplatte 548 Vibrometer adjusting plate 548 Masse / Weight: 108g


1 Polarisationsteiler 101 Polarizing beam splitter 101 2 Vibrometereinstellplatte 548 Vibrometer adjusting plate 548 3 Vibrometervorsatzlinse 320 Vibrometer ancillary lens 320 4 Rändelschraube 29 mm Knurled screw 1.142 in 5 Zylinderschraube 10 mm Socket-head screw 0.394 in

1.575

32/

40/

1.260

11 /0.433

ø4,5/

M4

0.177

32/1.260

0.39410 /1.57540/

ø4,5 /0.177

5

1

23

4

C - 12

ZLM Zubehör für Streckenmessung bis 120m Accessories for distance measurement up to 390ft

Cube corner reflector 102

Polarizing beam splitter 101Polarisationsstrahlenteiler 101

Tripelreflektor 102Cube corner reflector 351Tripelreflektor 351

Expansive system 350Aufweitesystem 350

Aufweitesystem 350 Expansive system 350 Masse / Weight: 1 282g Bestell-Nr. / Order No.: 265444–5000.127

Tripelreflektor 351 Triple reflector 351 Masse / Weight: 306g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4003.024

C - 13

ZLM Zubehör für Streckenmessung mit kleinem Reflektor Accessories for distance measurement with small reflector

380


Polarizing beam splitter 101Polarisationsstrahlenteiler 101

Tripelreflektor 102

Cube corner reflector 9mmTripelreflektor 9mm

Reduction system 1/3 380Reduziersystem 1/3 380

Reduziersystem 1/3 380 Reduction system 1/3 380 Masse / Weight: 282g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4006.024

Ø46/ 1.811

90/3.534

32/1.260

40/1.575

Tripelreflektor 9mm Triple reflector 9mm Masse / Weight: 1g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4003.424

9,5/ 0.374ø10/0.394

102

101 380

InterferometerInterferometer

Zyl-Schraube M4x10Socket-head screw M4x10

verschraubento make screw

5/

bis 12 m / to 39 ft

0.19715/0.591

Tripelreflektor 9mmCube corner reflector 9mm

C - 14

DrehspiegelTurning mirror

Kipphalter 531Tiltable holder 531

InterferometerPolarisationsteiler 101Polarizing beam splitter 101Tripelreflektor 102Cube corner reflector 102

Optischer Aufbau für Diagonalmessungoptical setup for diagonal measurement

ZLM Planspiegelreflektoren zur Messung der Raumschräge Plane mirror reflectors for slanted measuring

Drehspiegel 327 Turning mirror 327 Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4013.724

für Diagonalmessung for diagonal measurement

32

ø 4,5

M6

/ 0.177

/ 1.260

Diagonalmessung Diagonal Measurement

Tripelreflektor 304Cube corner reflector 304

KugelgelenkBall Joint

C – 15

ZLM Parallelinterferometer Parallel interferometer Parallelinterferometer für Planspiegelreflektor mit LWL – Anschluss (komplett) Parallel interferometer for plane mirror reflector with light wire coupling (complete) Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4002.026

301 302

Parallelinterferometer 301 Parallel interferometer 301 unmagnetisierbar hochvakuumverträglich nonmagneticable fit for high vacuum Masse / Weight: 620g


70 / 2.756

50 / 1.969

15 / 0.59

14 / 0.55

62 / 2.441

Lichtventil 302 Lightvalve 302 Nur in Verbindung mit Parallelinterferometer 301 als Planspiegelinterferometer anwendbar Only applicable in combination with parallel interferometer 301 as plane mirror interferometer Masse / Weight: 420g


40 / 1.573

50 / 1.969

15 / 0.59

28 / 1.1062 / 2.441

C - 16

ZLM Optikmodule für 8fach-Interferometer Optic modules for 8fold interferometer

Hochauflösendes Interferometer mit 8-facher Strahlführung (Auflösung 0,6 nm) High resolution interferometer with 8-fold beam path (resolution 0.6 nm)

Plan

spie

gel

Plan

e m

irror

15

Reflektor HR-2 355

Reflektor HR-1 354

Cube corner reflector 102Polarizing beam splitter 101

/4 - Platte 104

Polarisationsstrahlenteiler101

Quarter wave plate 104l

Reflector HR-2 355

Reflector HR-1 354

Tripelreflektor 102

Reflektor HR - 1 354 Reflector HR - 1 354 Masse/Weight: 105g Bestell-Nr./Order No: 26 93 02 - 4018.324

1.575

32/

40/

1.260

0.374

ø4,5

M4

9,5/

/ 0.177

Reflektor HR - 2 355 Reflector HR - 2 355 Masse/Weight: 105g Bestell-Nr./Order No: 26 93 02 - 4018.424

1.575

32/

40/

1.260

0.374

ø4,5

M4

9,5/

/0.177

C - 17

ZLM Parallel-Planspiegel-Interferometer Parallel plane mirror interferometer

Lichtventil 308 für 0,32nm Auflösung Lightvalve 308 for 0.32nm resolution Masse /Weight: 420g


Ergänzend dazu Referenzspiegel 536 (Seite M-9)

PlanspiegelreflektorParallel plane mirror interferometer 301with lightvalve 308

beam input

Position

X

(Y)

g

Strahldurchmesser 3mm

Strahleintritt

beam diameter 3mm

position

plane mirror reflector

Parallel-Planspiegel- Interferometer 301mit Lichtventil 308

Interferometer und Lichtventilmit einer Auflösung von 0,32 nmfür Positions- oder Winkelmessung

Yaw angle - tilting about Z - axisg

(Z)

Gierwinkel - Verkippung um Z - Achse

Referenz-Planspiegelreflektorreference plane mirror reflector

interferometer and lightvalve with resolution for 0.32 nmfor position or angle measurement

beam outputStrahlaustritt

301

308

50 /

62 / 40 /

5 /

28 /

0.197

1.103

1.969

1.5752.442

15 / 0.59

5 / 0.1975 / 0.197

C - 18

ZLM Einstrahlinterferometer Single beam interferometer

Einstrahl-Messung Single beam measurement Auflösung 2,5nm Resolution 2.5nm

Strahldurchmesser: 6mm Beam diameter: 6mm


Polarizing beam splitter 101

/4 - Platte 104

Polarisationsstrahlenteiler101

Quarter wave plate 104l

Tripelreflektor 102

Cube corner reflector Tripelreflektor

Fibre Optics Coupling 221LWL - Anschluss 221

Fibre Optics LWL (Lichtwellenleiter)

/4 - Platte 104Quarter wave plate 104l

Interferometer Bestell-Nr. Interferometer Order-No. Polarisationsstrahlenteiler 101 Polarizing beam splitter 101

269302-4010.124

Tripelreflektor 102 Cube corner reflector 102

269302-4010.224

λ/4-Platte 104 Quarter wave plate

269302-4010.424

LWL-Anschluss 221 Fibre optics coupling 221

269302-4015.624

102 401

221

01 1

401

Tripelreflektor ungefasst Cube corner reflector without socket Durchmesser: 9mm Diameter: 0.354 in Masse/Weight: 1g

ø 9/ø 0.354

7/0.275

LWL - Anschluss 221 Fibre optics coupling 221 Masse/Weight: 106g


37/

ø4,5/0.177

1.26032/

1.536ø39/

1.451

D - 1

ZLM Ergänzungsmodul für Justierung Extension module for adjustment

Drehkeilpaar 325 Rotating wedge pair 325 Masse / Weight: 535g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–5905.026

Drehkeilpaar in maximaler Auslenkung Rotating wedge pair in position of maximal deviation

Durch kombiniertes Drehen der Keile lässt sich innerhalb des Strahlenkegels 2δ jede beliebige Raumrichtung einstellen By rotating both wedges any spatial direction within a beam cone 2δ can be adjusted

d2

d1 d

K1 K2

d1

d2

d

d

d1

d2

f1

Drehkeilpaar in minimaler Auslenkung Rotating wedge pair in position of minimal deviation

Gegenläufiges Drehen beider Keile um φ1 und φ2 erzeugt Strahlablenkung in einer Ebene By counter rotating both wedges around φ1 und φ2 a beam deviation in one plane can be produced.

K1 K2

f2

f1

Bei Kippen des Drehkeilpaares entsteht eine Parallelverschiebung des Laserstrahles senkrecht zur Kippachse. By tilting the wedge pair a parallel beam displacement perpendicular to the tilt axis occurs.

Parallelverschiebung Parallel displacement

K1 K2

horizontal horizontal

vertikal vertical

D - 2

ZLM Blenden Stops

Blende 516 Stop 516 Masse / Weight: 10g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4014.210

/ 0.5915

0,5 dick0.02 thick

∅ 6 / 0.236

∅ 4,5 / 0.177

32 / 1.260

40 / 1.575

Blende 517 Stop 517 Masse / Weight: 44g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4018.210

/ 0.177

5 / 0.196

15 / 0.59

32 / 1.26040 / 1.575

∅ 4,5

Blende 519 Stop 519 Masse / Weight: 10g


0,5 dick0.02 thick

∅ 6 / 0.236

∅ 4,5 / 0.177

/ 0.5915

32 / 1.260

40 / 1.575

Blende 520 Stop 520 Masse / Weight: 36g


/ 0.5915

/ 0.177∅ 4,5

5 / 0.196

32 / 1.260

40 / 1.575

E - 1

ZLM Montageelemente Mounting components Klemmhalter 507 Clamping device 507 Masse / Weight: 110g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4010.325

40 / 1.57532 / 1.260

24 / 0.945

∅ 15 / 0.59

Klemmhalter 508 Clamping device 508 Masse / Weight: 124g


68

∅ 15 / 0.59

24 / 0.945

40 / 1.575

32 / 1.260

Klemmhalter 509 Clamping device 509 Masse / Weight: 110g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4010.225

15 / 0.59∅

24 / 0.945

32 / 1.260 40 / 1.575

Koppelplatte 510 Coupling plate 510 Masse / Weight: 76g


40 / 1.575

32 / 1.26

40 / 1.575

6 / 0.236

E - 2

ZLM Montageelemente Mounting components Kipphalter 523 Tiltable holder 523 Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4010.825

24 / 0.94564 / 2.52

Kipphalter 524 Tiltable holder 524


3264 / 2.52

/ 1.26

32 / 1.260

Kipphalter 531 Tiltable holder 531 (mit Klemmhalter) (with clamping device) Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4040.725

3264 / 2.52

32 / 1.260

/ 1.26

Kipphalter 532 Tiltable holder 532 (mit Klemmhalter) (with clamping device) Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4040.625

24 / 0.945

64 / 2.52

32 / 1.260

E - 3

62

max 21min 16,5

32

max 59min 45

Schraubabstandfür M5/M6

ZLM Montageelemente Mounting components

Kreuzklemmhalter 514 Cruise clamping device 514


9 / 0.354

34 / 1.33915 / 0.59∅

9 / 0.354

Justieraufnahme 534 für optische Komponenten □ 40 Adjustable mount 534 for optical components □ 40

Masse /Weight: 71g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4014.225

Justieraufnahme 535 für optische Komponenten □ 28 Adjustable mount 535 for optical components □ 28 Masse /Weight: 58g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4014.125

54

max 21min 17

20

max 50min 36

Schraubabstandfür M5/M6

E - 4


Basisplatte 504 Mounting plate 504 Masse / Weight: 535g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4014.410

4,5 / 0.178∅

10 / 0.394

80 / 3.15

100 / 3.94

32 / 1.260

Säulen Columns

Bezeichnung Name

Länge /l Length /l

Masse Weight

Bestell-Nr. Order No.

Säule 90 Column

90mm 3.543 in

120g 4.236 oz

26 02 97 – 9900.228

Säule 140 Column

140mm 5.512 in

192g 6.776 oz

26 02 97 – 9900.128

Säule 200 Column

200mm 7.874 in

275g 9.707 oz

26 02 97 – 9900.328

M 6

6 / 0.236

M 6∅15 / 0.59

l

Magnetfuß 506 Magnetic base 506 Masse / Weight: 1300g Bestell-Nr. / Order No.: 260298–3000.128

50/1.97

M6

AN

AUS

58/2.285

63/2.482

E - 5


Klemmwürfel 503 Clamping cube 503 Masse / Weight: 182g

Bestell-Nr. / Order No.: 269302-4010.625

Stellring, geschlossen Collar, closed Masse / Weight: 36g


15 / 0.59∅

Stellring, offen Collar, open

Masse / Weight: 28g Bestell-Nr. / Order No.: 260297-9900.528

15 / 0.59∅

Saugfuß Vacuum base


Kugelgelenk Ball Joint


32 /

1.57540 /

15 /

1.260

0.59

1.575

1.26032 /

40 /ø4,5 / 0.177

M6

48 / 1.889

E – 6

ZLM Montageelemente Mounting components Schraubensatz komplett Set of screws, complete Bestell-Nr. / Order No.: 269302-4005.624

Nummer Number

Länge /l Length /l

Stück Quantity

Bestell-Nr. Order No.

14 14mm 0.551in

4 269302–4011.025

20 20mm 0.788in

2 269302–4011.125

29 29mm 1.142in

6 269302–4011.225

36

36mm 1.417in

2 269302–4011.325

45 45mm 1.772in

2 269302–4011.425

M4

∅10 / 0.397

/ 0.39710

l

Zylinderschrauben M4 (DIN 912)

Socket – head screws M4 (DIN 912)

Länge /l Length /l

Stück Quantity

6mm 0.236in

4

10mm 0.394in

4

25mm 0.984in

2

30mm 1.181in

6

35mm 1.378in

2

46mm 1.811in

2

Dazu 1 Stück Winkelschrauben- dreher M4 Supplementary 1 piece of angle screw driver M4

E - 7


Haltewinkel 521 Angle bracket 521 Masse / Weight: 420g Bestell-Nr. / Order No.: 269302-4010.425

69/ 2.717

32 / 1.260

40 / 1.575

86 / 3.386

∅4,5 / 0.177

Säulenanschluss 522 Adapter plate 522 Masse / Weight: 94g


/ 0.177

M 4

8 / 0.315

∅4,5

32 / 1.260

M 6

40 / 1.575

Montagevorrichtung 518 Mounting aid for optic kit Masse / Weight: 280g Bestell-Nr. / Order No.: 269302-4014.610

80 / 3.15053 / 2.087

40 / 1.575

E - 8


Schwingungsgedämpfte Säule mit Montageklemme Vibration damping column with mounting clamp Masse / Weight: 737g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4012.825

Ø38,1/

355,

6/

Ø74,7/50,4/

50/

M6

70,6

/

alle Bohrungenfür M6 Schrauben

Ø1.500

all holesfor M6 screws

14.0

Ø2,941.98

2,8

1.98

Verstellbare Grundplatte Adjustable mounting plate Masse / Weight: 88,5g


50/1.97M6

19,1/0.12

50/1.97

101,6/ 4.003

Flacher Magnetfuß Flat magnetic base Masse / Weight: 407g Bestell-Nr. / Order No.: 260297–9901.228

25/0.98

M6

44,5/1.75

50/1.97

96,6/3.805

ON

OFF

E - 9


Adapterplatte 554 Adapter plate 554 Masse / Weight: 272g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4042.910

50/

M6

70,6

/

32/

54/

8/ für M4 Schraubenfor M4 screws

0.32

2.78

1.97

1.26

2.13

für M6 Schraubefor M6 screw

F - 1

ZLM Lasermesskopf Laser measuring head Lasermesskopf Laser measuring head Version 230V Version 115V mit 6mm Strahldurchmesser mit 6mm Strahldurchmesser with 0.236in beam diameter 220...240V/50-60Hz

with 0.236in beam diameter 100...127V/50-60Hz

Bestell – Nr. / Order No.: 26 93 02 – 4040.026


mit 3,2mm Strahldurchmesser

mit 3,2mm Strahldurchmesser





Laserstrahlung

nicht in den Strahl blicken

Laser Klasse 2 nach IEC 825

F - 2

ZLM Montage der Optikmodule am Lasermesskopf Mounting optic modules on laser measuring head

Gewindeflansch für Lasermesskopf Thread flange for laser measuring head Bestell-Nr. / Order No.: 269302-4019.710

Wird nur mit Lasermesskopf fertig montiert geliefert. M43x0,5

Montagetubus für Optikmodule Mounting tube for optic modules


40/1.575

M4x10 Schraube/screw

M3x6 Schraube/screw

M43x0,5

F - 3

ZLM Montage der Optikmodule am Lasermesskopf Mounting optic modules on laser measuring head

Anwendungsbeispiele Examples of use

102

101

15

Lasermesskopflaser measuring head

Montagetubusmounting tube

Interferometerinterferometer

102

Tripelreflektor 102cube cornor 102

102

101

5

-3

-2

01

23

-1



Reduziersystem 1/3 380reduction system 1/3 380

Tripelreflektor 9mmcube cornor 9mm

102

101


Montagetubusmounting tube


Aufweitesystem 350expansive system 350

30

351

Tripelreflektor 351cube cornor 351

F - 4

ZLM Laserkopfmontierung Laser head mounting

Montageplatte 529 Mounting plate 529 Masse / Weight: 450g Bestell-Nr. / Order No.: 269302-4041.310

80 / 3.158,8 / 0.346

32 / 1.260

10 / 0.394

230 / 9.055130 / 5.118

∅4,5 / ∅8 x 4,5∅0.278 / ∅0.326 x 0.20

Justiertisch Adjustable table Justierbar in 5 Freiheitsgraden Adjustable in 5 degrees of freedom Masse / Weight: 1.200g


236 / 9.291130 / 5.118

52 / 2.047

Stativ Tripod Arbeitshöhe: 55/140cm Beinspreizung: 35°/45°/55° Working height: 1.8/4.6ft Leg spreading: 35°/45°/55° Masse / Weight: 4.600g Bestell-Nr. / Order No.: 269302-4041.225

F - 5

ZLM Systemzubehör System accessories

Messkopfkabel, komplett (mit integrierten Lichtwellenleitern) Measurement head cable, complete (Fibre cables are integrated) Länge 5m length 16.4 ft Bestell-Nr. / Order No.: 269302–5041.524

Gradienten – Lichtwellenleiter Messkopfkabel Gradient index fibre cable Measurement head cable Länge 5m Länge 5m length 16.4 ft length 16.4 ft Bestell-Nr. / Order No.: 212.678


Geräteanschlusskabel / Instrument connecting cord

Ausführung / Type: Bestell-Nr. / Order No.: DIN-Standard 146.250 USA-Version 229.887 England-Version 228.205 Japan-Version 228.289

Schalter für externe Triggerung Switch for extern trigger Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4004.227

60

24

118

Kabel für externe Triggerung Cable for extern trigger Bestell-Nr. / Order No.: 269302-5001.124

F - 6

ZLM 700 Auswerteeinheiten ZLM 700 Evaluation units ZLM 700

Entsprechend dem Schema Kalibriersystem ZLM 700 (Systemüberblick Seite A-7) gibt es 3 Varianten für die Verbindung des ZLM 700 mit verschiedenen Computersystemen. According to the scheme of the calibration system ZLM 700 (system summary, Page A-7) there are 3 variants for of connection ZLM 700 with different computer systems.

Variante / variant 1: ZLM700 Docking station mit PCI-BUS-System / ZLM700 docking station with PCI-Bus-System

READY/GREEN

LM 500

.

240

0V

50

5

AE 700 PCI

GeräteanschlusskabelInstrument connecting cord Messkopfkabel

Measurement head cable

Dockingstation

NotebookPCMCIA InterfaceVerbindung zum NotebookPCMCIA interfaceconnection to notebook

AE 700 Docking station mit PCI-Bus-System

AE 700 docking station with PCI-Bus-system /


Variante / variant 2: ZLM700 für PC mit PCI-BUS-System ZLM700 for PC with PCI-BUS-System

READY/GREEN

LM 500

.

240

0V

505

AE 700 PCI

GeräteanschlusskabelInstrument connecting cord Messkopfkabel

Measurement head cable

Auswerteeinheit AE 700 PCI

Evaluation unit AE 700 PCI


F - 7

ZLM 700 Auswerteeinheiten ZLM 700 Evaluation units ZLM 700

Variante / variant 3: ZLM700 für PC mit PXI-BUS-System ZLM700 for PC with PXI-BUS-system

READY/GREEN

LM 500

.

240

0V

505

IF-in

tat

Ref-out

Ref-in

AUK

LASER

A-Q-Bin/outtrigger

AE 700 cPCI PXI

MesskopfkabelMeasurement head cable

GeräteanschlusskabelInstrument connecting cord

Auswerteeinheit AE 700 cPCI-PXI

Evaluation unit AE 700 cPCI-PXI


F - 8

ZLM Automatischer Umweltkompensator AUK Environmental sensor AUK

Automatischer Umweltkompensator AUK AUK environmental sensor für Temperatur, Luftdruck und Luftfeuchte, 5 Oberflächensensoren anschließbar for temperature, pressure and humidity, five surface sensors usable


95 / 3.740

57 / 2.244

158 / 6.22

Technische Daten / Specification

Lufttemperatur-Messbereich Air temperature range

10°C...45°C

Messgenauigkeit Air temperature accuracy

< 0,1K

Luftdruck-Messbereich Air pressure range

800-1200hPa (650-1200hPa opt.)

Messgenauigkeit Air pressure accuracy

< 1,5hPa

Rel. Luftfeuchte-Messbereich Rel. air humidity range

0...95%

Rel. Luftfeuchte-Messgenauigkeit Rel. air humitidy accuracy

5%

Oberflächentemperatur-Messbereich Surface temperature range

10°C...45°C (50°F...113°F)

Oberflächentemperatur-Messgenauigkeit Surface temperature accuracy

50mK

AUK Anschlusskabel

AUK connecting cable


Oberflächen-Temperaturfühler 2 Surface temperature sensor 2


Magnethalter 2 Magnetic holder 2


F – 9

ZLM Software Software Bestell-Nr.: Order No.: deutsch english Dynamische Messsoftware Dynamics measurement software

Wegmessung Distance measurment

269302-4026.624

269302-4026.724

Dynamische Messsoftware für Einachssysteme Dynamic measurement software for one axis systems

Winkelmessung Angle measurement

269302-4026.824 269302-4026.924

Dynamische Messsoftware für Mehrachssysteme Dynamics measurement for multi axis systems

269302-4027.224 269302-4027.324

Kalibriersoftware Calibration software

Positionsmessung Position measurement

269302-4026.024 269302-4026.124

Winkel- u. Geradheitsmessung Angle and Straightness measurement

269302-4027.024 269302-4027.124

Ebenheitsmessung Flatness measurement

269302-4027.424 269302-4027.524

Kalibriersoftware für Mehrachssysteme Calibration software for multi axis systems

269302-4028.224 269302-4028.324

Kalibriersoftware für Maschinenfehlerkompensation Calibration software for machine error compensation

System Sinumerik System Sinumerik

269302-4026.224 269302-4026.324

System FANUC System FANUC

269302-4027.824 269302-4027.924

System Bosch System Bosch

269302-4028.024 269302-4028.124

System Heidenhain System Heidenhain

269302-4028.624 269302-4028.724

F – 10

Netzteil

ZLM Aufbewahrungsbehälter Transport cases Aufbewahrungsbehälter Transport case for laser measuring head Abmessungen: 740 x 480 x 240 Measuring: 29.138 x 18.900 x 9.450


Aufbewahrungstasche für Stativ und Justiertisch Transport bag for tripod and adjustment table Abmessung: 1100 x 250 x 210 Measuring: 43.309 x 9.843 x 8.268

Bestell-Nr. / Order No.: 4003.726

Aufbewahrungsbehälter für Optikmodule Box for optic modules Abmessung: 285 x 103 x 66 Measuring: 11.221 x 4.055 x 2.598


Transportbehälter – Flughandgepäck (für Auswahlsatz) Transport case – flight hand luggage Abmessung: 485 x 357 x 157 Measuring: 19.094 x 14.055 x 6.181 Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4003.526

ZLM Positionsmessung Position measurement

G - 1

Tripelreflektor 102

269302 - 4010.224Cube corner reflector 102

Lasermesskopf

Polarisationsstrahlenteiler 101

269302 - 4010.124Polarizing bean bender 101

269302-4040.026laser measuring head

READY

/GREE

N

ANAUS

Tripelreflektor 102

269302 - 4010.224Cube corner reflector 102

ZLM Winkelmessung – Bestimmung des Nickwinkels Pitch angle measurement

G - 2

Pitch angle

Double corner reflector 115Doppelreflektor 115

269302 - 4015.424

= Nickwinkeln

nLasermesskopf

Winkelinterferometer 114

26 93 02 - 4015.324Angle interferometer 114

269302-4040.026Laser measuring head

READY/

GREEN

ANAUS

ZLM Winkelmessung – Bestimmung des Gierwinkels Yaw angle measurement

G - 3

Doppelreflektor 115

269302 - 4015.424Double corner reflector 115

= GierwinkelYaw angle

g

Lasermesskopf

Winkelinterferometer 114

269302 - 4015.324Angle interferometer 114


READY/

GREEN

ANAUS

g

ZLM Winkelmessung – Bestimmung des Rollwinkels Roll angle measurement

G - 4

X

Roll angle= Bewegungsachse

Axis of movementX

= Rollwinkelr

PlanspiegelPlane mirror

r

Lasermesskopf


Beam offset prism 120Wendevorsatz 120

26 93 02 - 4012.824

Interferometer

26 93 02 - 4008.424

Geradheitsinterferometer 128Straightness interferometer 128

READY/

GREEN

G – 5

ZLM Ebenheitsmessung Flatness measurement

Base plate with turn mirror 118Fußplatte mit Drehspiegel 118

Winkelinterferometer 114Angle interferometer 114


Fußabstandsplatte 100Base distance plate 100

Doppelreflektor 115Double triple reflector 115

LinealRuler

s

F1F2F1 F2

f

Oberfläche

zffff1

2 f3 n4 nz1

A B

CD

H

M

E

G

F

surface

ZLM Applikationen Applications

G - 6

s

ZLM 800 Auswerteeinheit 2-achsignach ISO 230/Kalibrierung

Messtaster

LasermesskopfInterferometer

Tripelreflektor

ZLM Zähler Zähler 2

Positionsdaten MesstasterPositionsdaten Laser

Laser measuring head

Length gauge

Cube corner reflector

Position data length gaugePosition data laser

Evaluation unit 2-axis toISO 230/calibration

Counter 2ZLM Counter

Synchrone dynamische Kalibrierung eines Messtasters mit dem ZLM800 2-achsig Synchronic dynamic calibration of length gauge with ZLM800 2-axes


G - 7

ZLM 800 Auswerteeinheit nach ISO/230Kalibrierung

Lasermesskopf Längenmesssystem

Kapsel

Montagefuß

Tripelreflektor

Interferometer

ZLMZähler

ZählerMaßstab

Positionsdaten LängenmesssystemPositionsdaten Laser

Position data laser


Position data linear encoder

Linear encoder

Scale housing

Mounting block


Evaluation unit to ISO/230 calibration

ZLMCounter

Counterlinear encoder

s

Synchrone dynamische Kalibrierung eines Längenmesssystems mit dem ZLM800 2-achsig Synchronic dynamic calibration of a linear encoder with ZLM800 2-axes


G - 8

ZLM 800

s

Auswerteeinheit 2 achsignach ISO/230 KalibrierungEvaluation unit 2 axis to ISO/230 calibration

ZLMZählerZLMcounter

Positionsdaten Laser

Position data laser

LasermesskopfLaser measuring head Interferometer

TripelreflektorCube corner reflector

Counter 2 for rotary encoder

Zähler 2 für Drehgeber Positionsdaten Drehgeber

Position data rotary encoder

DrehgeberRotary encoder

GewindespindelThreaded spindleNut

Mutter

Synchrone dynamische Kalibrierung eines Drehgebers zur Spindelsteigung mit dem ZLM800-Komparator Zähler 2-achsig Synchronic dynamic calibration of a rotary encoder for screw pitch with the ZLM800-comparator counter 2-axes


G - 9

ZLM 800 Auswerteeinheit nach ISO/230Kalibrierung

LasermesskopfLängenmesssystem

Kapsel Montagefuß

Tripelreflektor

Interferometer

Drehgeber

Positionsdaten LaserPositionsdaten Längenmesssystem

Positiondaten DrehgeberZLMZähler

Zähler 2 und 3für Maßstab und DrehgeberPosition data laser


Position data linear encoder

Position data rotary encoder

Linear encoder

Mounting blockScale housing

Rotary encoder


Evaluation unit to ISO/230calibration

ZLMCounter

Counter 2 and 3for linear encoderand rotary encoder

GewindespindelThreaded spindle

s

Synchrone dynamische Kalibrierung eines Längenmesssystems sowie eines Drehgebers mit dem ZLM800 3-achsig Synchronic dynamic calibration of a linear encoder and a rotary encoder with ZLM800 3-axes

H - 1

ZLM Zusatzgeräte Extra equipment

Universelles Teilungs- und Drehbewegungsmessgerät Universal Scale - and Rotating Measuring Device ROTAROD 250/18000


Auflösung/Resolution: 0,005° = 18“ 1 fach Interpolation 0,001° = 3,6“ 5 fach Interpolation ROTAROD 260/18000


Auflösung/Resolution: 0,005° = 18“ 1 fach Interpolation 0,001° = 3,6“ 5 fach Interpolation ROTAROD 800/36000


n 2x p

Auflösung/Resolution: 0,00010° = 0,36“ 25 fach Interpolation 0,00005° = 0,18“ 50 fach Interpolation

2D-3D-Kreisformmessgerät 2-D-3D-Measuring Device for the Circular Test Ball Bar DBB 110


Standardlängen / Standard lengths: 150mm, 200mm, 250mm, 300mm Genauigkeit / Accuracy: ± 1µm Messschritt / Measuring step: 0,05µm

360° X, Y Spur /

180° X,Y & Y, Z Spuren /

track

tracks

H - 2

ZLM Zusatzgeräte Extra equipment

Vollwinkelmessung Full Angular Measurement

05

1015

2025

30 35 40 45 50 5560

6570

75

80

ZLM 700

Bausatz für Vollwinkelmessung Full angle measurement kit


Zusätzlich wird benötigt: Additional is required: Zubehör für Winkelmessung Acessories for angle measurement (Katalog Seite C – 9/ catalogue page С – 9) Montageelemente Mounting components (Katalog Seite E-5 und E-9/ catalogue page E-5 and E-9)

54,15/ 2.25

Ø139,7/5.50

R77,8/R3.06R85,9/R3.38

157,9/ 6.34

52,21/ 2.06

für 3 M6 Schraubenfor 3 M6 screws

M - 1

ZLM 800 Mehrachssysteme Multi axis systems Drei-Achs-Kalibriersystem Three axis calibration system

LasermesskopfLaser measuring head269302-4040.026

ElektronikeinheitElectronic unit269302-4070.326

l

o

INTERFACE READY/GREEN

LWL - Achse 3Axis 3

LWL - Achse 2Axis 2

LWL - Achse 1Axis 1

LWL - ReferenzReference

MesskopfkabelMeasurement head cable269302-4040.124

LWL - ReferenzReference

LWL - Achse 1Axis 1

LWL

Gradientenlichtwellenleiter (3x)Gradient index fibre cable (3x)212.678

LWL - Achse 2Axis 2

LWL - Achse 3Axis 3

3 Achs- Reflektor 345Three axis reflektor 345269302-4034.524

Kompaktinterferometer 344Compact interferometer 344269302-4034.424

Zwei-Achs-System Two axis system

xy

Interferometer 2Polarisationsstrahlenteiler 101 (1x)Polarizing beam splitter 101 (1x)269302-4010.124

Tripelreflektor 102 (2x)Cube corner reflector 102 (2x)269302-4010.124

λ /4 - Platte 104 (1x)Quarter wave plate 104 (1x)269302-4010.424


Intensitätsteiler A 1:1Beam splitter A 1:1269302-4011.424Gradientenlichtwellenleiter (3x)

Gradient index fibre cable (3x)212.678


Interferometer 2Polarisationsstrahlenteiler 101 (1x)Polarizing beam splitter 101 (1x)269302-4010.124

Tripelreflektor 102 (2x)Cube corner reflector 102 (2x)269302-4010.124

λ /4 - Platte 104 (1x)Quarter wave plate 104 (1x)269302-4010.424

Elektronikeinheit Electronics unit269302-4070.226

M - 2

ZLM Mehrachssysteme Multi axis systems

Drei-Achs-System / Three axes system: Variante 1 in 2 Ebenen/ Variant 1 in two levels:

Fibre optics coupling 222 (1x)PlanspiegelPlane mirror

90 Umlenker 110

269302-4012.42490 reflecting mirror 110

Polarisationsteiler 101 (1x)

269302-4010.124Tripelreflektor 102 (2x)

269302-4010.124 /4 - Platte 104 1x)

269302-4010.424Quarter wave plate 104 (1x)

LWL Anschluss 222 (1x)

269302-4015.724Fibre optics coupling 222 (1x)

Polarizing beam splitter 101 (1x)

Cube corner reflector 102 (2x)

l

Interferometer 2

LWL




269302-4010.124 /4 - Platte 104 1x)



269302-4015.724


l

Interferometer 1


X

Z

Y

LWL



269302-4010.124 /4 - Platte 104 1x)

269302-4010.424

269302-4070.326ElektronikeinheitElectronics unit

Intensitätsteiler B 1:1Beam splitter B 1:1269302-4012.124

Intensitätsteiler A 2:1Beam splitter A 2:1269302-4011.724


Quarter wave plate 104 (1x)


Gradientenlichtwellenleiter (3x)Grandet index fibre cable (3x)

Interferometer 3

l

212.678

LWL

AUK

LASER

count II

ZLM 800 M

trigger

Stat

IF−in

Ref−out

Ref−in

LASER

AUK

IF−in

Stat

ef−in

Ref−out

IF−in

Stat

LASER

AUK

A−Q−Bin / out

count II count II

trigger

A−Q−Bin / out

trigger

A−Q−Bin / out

Ref−out

IF−in

Stat

LASER

AUK

count II

A−Q−Bin / out

Ref−out

ef−in ef−in

LAN

IOIO

IIO

IOI

EXT CD

-RO

M /H

DD

Drei-Achs-System / Three axes system: Variante 2 in 3 Ebenen/ Variant 2 in three levels:


90 Umlenker 110

269302-4012.42490 reflecting mirror 110



269302-4010.124 /4 - Platte 104 1x)






l

Interferometer 2LasermesskopfLaser measuring head269302-4040.026



269302-4010.124 /4 - Platte 104 1x)





l

Interferometer 1


X

Z

Y

LWL



269302-4010.124 /4 - Platte 104 1x)

269302-4010.424

269302-4070.326ElektronikeinheitElectronics unit

Intensitätsteiler B 1:1Beam splitter B 1:1269302-4012.124

Intensitätsteiler A 2:1Beam splitter A 2:1269302-4011.724


Quarter wave plate 104 (1x)


Gradientenlichtwellenleiter (3x)Grandet index fibre cable (3x)

Interferometer 3

l

212.678

LWL

AUK

LASER

count II

ZLM 800 M

trigger

Stat

IF−in

Ref−out

Ref−in

LASER

AUK

IF−in

Stat

ef−in

Ref−out

IF−in

Stat

LASER

AUK

A−Q−Bin / out

count II count II

trigger

A−Q−Bin / out

trigger

A−Q−Bin / out

Ref−out

IF−in

Stat

LASER

AUK

count II

A−Q−Bin / out

Ref−out

ef−in ef−in

LAN

IOIO

IIO

IOI

EXT C

D-R

OM

/HD

D

LWL


M - 3

ZLM 800 Elektronikeinheit - Mehrachser Unit - Multi axis system

Elektronikeinheit Electronics unit 1. AE 800cPCI-PXI 1 Netzteil Power supply

2 Messachsen - Einschub (Master) mit Lichtwellenleiteranschlüssen für Laser (Referenzsignal) und Primärinterferometer Schnittstellen: - 32 bit TTL / 16x12 bit ADC - A-Quad-B Signale input/output 2. Zähler - Vor - und Rückwärtszählimpulse Axis board (master) with fibre optics connector from laser (reference) and first interferometer Interface: - 32 bit TTL / 16x12 bit ADC - A-Quad-B signals input/output 2. counter - up and down pulses

3-5 Einschübe bis zu 3 Meßachsen (Slave) mit Lichtwellenleiteranschlüssen von Interferometern Schnittstellen: - 32 bit TTL / 16x12 bit ADC - A-Quad-B Signale input/output 2. Zähler - Vor - und Rückwärtszählimpulse Up to four axis boards (slave) with fibre optics connector from interferometers Interface: - 32 bit TTL / 16x12 bit ADC - A-Quad-B signals input/output 2. counter - up and down pulses 6

Prozessoreinschub CPU für cPCI (PXI) mit Pentium III, 850 MHz, Betriebssystem NT4.0/2000 Schnittstellen für Tastatur, Maus, Monitor, Ethernet, LAN, USB 1/2, RS 232, IEEE 488 Optional externes Laufwerk

Processor insert CPU for cPCI (PXI) with Pentium III, 850 MHz, operating system NT 4.0/2000 Interfaces for keybord, mouse, monitor, ethernet, LAN, USB 1/2,RS 232, IEEE 488 Optionally external floppy

ZLM 800

trigger

Stat

IF-in

Ref-out

Ref-in

LASER

AUK

IF-in

Stat

ef-in

Ref-out

IF-in

Stat

A-Q-Bin / out

Ref-out

IF-in

Stat

Ref-out

ef-in ef-in

LAN

IOIO

IIO

IOI

EXT CD

-RO

M /H

DD

488

132

256

1 2 3 4 5 6

trigger

LASER

AUK

A-Q-Bin / out

trigger

LASER

AUK

A-Q-Bin / out

trigger

LASER

AUK

A-Q-Bin / out

M - 4

ZLM 800 Elektronikeinheit - Mehrachser Unit - Multi axis system

Benennung Ausführung Bestell-Nr. / Order No.: Name Type 230 V 115 V ZLM 800/cPCI-PXI/1S 1 Achse one axis 269302-5070.126 269302-5071.126 ZLM 800/cPCI-PXI/2S 2 Achsen two axis 269302-5070.226 269302-5071.226 ZLM 800/cPCI-PXI/3S 3 Achsen three axis 269302-5070.326 269302-5071.326 ZLM 800/cPCI-PXI/4S 4 Achsen four axis 269302-5070.426 269302-5071.426 Elektronikeinheit Electronics unit 2. AE 800 PCI Mehrachs – System unter Verwendung von Industrie PC mit PCI-Bus-System Multi-Axial-System by usage from industry PC with PCI-BUS-system

AE 800 PCI / Master AE 800 PCI / Master


1 Messachsen – Slot-Einschub (Master) Mit Lichtwellenleiteranschlüssen für Laser (Referenzsignal) und Primärinterferometer Schnittstellen:

- 32bit TTL / 16x12 bit ADC - A-Quad-B Signale input/output 2. Zähler - Vor- und Rückwärtszählimpulse

1 Measuring Axis - Slot card (master) with fibre optics connector from laser (reference) and first interferometer Interfaces: - 32 bit TTL / 16x12 bit ADC

- A-Quad-B signals input/output 2. Counter - up and down pulses

AE 800 PCI / Slave

AE 800 PCI / Slave Bestell-Nr. / Order No.: 269302–5071.526

2-4 Messachsen - Einschub (Slave) mit Lichtwellenleiteranschlüssen der weiteren Interferometer Schnittstellen: - 32 bit TTL / 16x12 bit ADC

- A-Quad-B Signale input/output 2. Zähler - Vor - und Rückwärtszählimpulse

2-4 Measuring Axes:- Slot-card (slave) with fibre optics connector for another interferometers

Interfaces: - 32 bit TTL - A- Quad-B signals input/output 2. counter - up and down pulses

-

M - 5

ZLM 800 Montageelemente Mounting components

Justieraufnahme 588 für optische Komponenten □ 40 Adjustable mount 588 for optical components □ 40 Masse /Weight: 71g


72/

14,5/

32/

64/2.520

1.260

2.835

40/1.575

0.571

Justieraufnahme 589 für optische Komponenten □ 28 Adjustable mount 589 for optical components □ 28

Masse /Weight: 58g


55/

13/

20/

50/1.969

0.787

2.165

28/1.102

0.551

Justieraufnahme 590 für optische Komponenten □ 20 Adjustable mount 590 for optical components □ 20 Masse /Weight: 28g


42/

10/

15,5/

37,5/ 1.476

0.610

1.65322/0.866

0.394

M2,5

M - 6

ZLM 800 Montageelemente Mounting components

M - 7

ZLM 800 Lichtwellenleiteranschluss Fibre optics coupling

LWL - Anschluss 222 Fibre optics coupling 222 Masse / Weight: 106g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4015.724

LWL – Anschluss 223 Fibre optics coupling 223 Masse / Weight: 106g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4015.824

Einbaulage rechts oder links auf Bestellung (Dargestellt Einbaulage links) Installation position right or left by order (Graph installation position left

LWL - Anschluss für Parallelinterferometer 224 Fibre optics coupling for parallel interferometer


Anwendungsbeispiele / Application examples

37 /

15 /0.951

ø4,5 / 0.177

1.26032 /

1.536ø39 /

1.451

1.260

37/1.451

15 / 0.951

32 /ø4,5 / 0.177

ø39 /1.536

0.951

ø4,5/

15/

0.177 34/

1.575

37/ 1.451

40/

1.339

LWL

M4x10

for adjustmentzum Justieren

M - 8

ZLM 800 Lichtwellenleiteranschluss Fibre optics coupling

LWL - Anschluss 222 abgewinkelt Fibre optics coupling 222 bent Masse / Weight: 51g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4020.624

ø4,5/0.177

1.26032/

1.536ø39/

2.91473/ 0.74819/

LWL – Anschluss 223 abgewinkelt Fibre optics coupling 223 bent Masse / Weight: 51g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4020.924

Einbaulage rechts oder links auf Bestellung (Dargestellt Einbaulage links) Installation position right or left by order (Graph installation position left

1.26032/

ø4,5/0.177

ø39/1.536

2.91474/

0.74819/

LWL - Anschluss für Parallelinterferometer 224 abgewinkelt Fibre optics coupling for parallel interferometer bent Masse / Weight: 48g


ø4,5/0.177 34/

2.91474/

1.339

1.57540/

0.74819/

M - 9

ZLM Planspiegelreflektoren Plane mirror reflectors

Planspiegelreflektoren Plane mirror reflectors Reflexion R ≥ 99 % • alle optischen Gläser all optical glasses • Cerodur

Cerodur Längen „L“ bis ca. 800 mm lengths „L“ to c 800 mm

15

22L

nach Kundenwunsch by the individual customer´s design requirements Referenzspiegel 536 justierbar, mit HalterungReference mirror 536 adjustable, with holder (für Interferometer 301 (Seite C-17) oder Interferometer 356 (Seite M-14))


15/24/

24/12/

30/1.182

0.59

0.945

0.945

0.473

38/1.497

für M3 Schraubefor M3 Screw

M - 10

ZLM Kompaktinterferometer 344 für 3-Achs-Messung (Triangulation) Compact interferometer 344 for 3axis measurement (triangulation)

Kompaktinterferometer 344 mit separaten Lichtwellenleiteranschlüssen Compact interferometer 344 with separate fibre optic connectors Masse / Weight: 1512g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4034.426

1

3

2M4

88/3.465

32/1.260

60/2.362

62/2.441

25/0.984

15/0.591

10/0.394

15/0.591

Kompaktinterferometer 344 mit rücklaufenden Lichtstrahlen zum Lasermesskopf Compact interferometer 344 (laser beams are inject directly into the laser head) Masse / Weight: 1512g Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4034.424

1

88/

60/

2

3

25/

15/

10/

32/

M4

0.984

0.591

15/0.591

0.394

2.362

60/2.362

3.465

1.260

3 Achs - Reflektor 345 Three axis reflector 345 Masse / Weight: 306g


27/

52/

52/

2.047

2.047

1.063

0.591

0.591

0.39410/

15/

0.98425/

15/

90° Umlenker 346 90° beam bender 346 Masse / Weight: 1282g


60/2.352 60/2.352

74/2.913

M - 11

ZLM 800 3-Achs-Messung mit Kompaktinterferometer 344 3axis measurement by using Compact interferometer 344

Lasermesskopf für 3-Achs-Messung Laser measuring head for 3axis measurement Bestell-Nr. / Order No.: 269302–4001.426

A = austretender Laserstrahl Laser beam output 1; 2; 3 = aus dem Interferometer zurückkommende Laserstrahlen Laser beam input

12

3

A

AE 800 cPCI PXI

READY/GREEN

LM 500

.

240

0V

50

5

LED

Geräteanschlusskabel

Messkopfkabel

AE 800 PCI Master

READY/GREEN

LM 500

.

240

0V

50

5

LED

Geräteanschlusskabel

Messkopfkabel

AE 800 PCI

IF-in

tat

Ref-out

Ref-in

AUK

LASER

A-Q-Bin/outtrigger

AE 800 PCI Slave 1AE 800 PCI Slave 2

IF-in

tat

Ref-out

Ref-in

AUK

LASER

IF-in

tat

Ref-out

Ref-in

AUK

LASER

AE 800 cPCI PXI Master AE 800 cPCI PXI Slave 1

AE 800 cPCI PXI Slave 2

Aintrig

Aintrig

Zuordnung

LWL M IF - in MasterLWL S1 IF - in Slave1LWL S2 IF - in Slave 2 LWL R Ref - in

Zuordnung

LWL M IF - in MasterLWL S1 IF - in Slave1LWL S2 IF - in Slave 2 LWL R Ref - in

Measurment head cable

Instrument connecting cord

allocation

allocation

Instrument connecting cord

Measurment head cable

M - 12

ZLM Kompaktinterferometer 344 für 3-Achs-Messung (Triangulation) Compact interferometer 344 for 3axis measurement (triangulation)

AN

AUS

3-D-Lasermesskopf

269302-4041.4263- D-Laser Measuring Head

Kompaktinterferometer 344

26 93 02 - 4034.424Compact interferometer 344

pitch angle= Nickwinkel

= Gierwinkelyaw angle

= Position position

n

g

P

Drei - Achs - Reflektor 345

269302 - 4034.524three axis reflector 345

P

Y g

nZ

X

AN

AUS

ANAUS

3-D-Lasermesskopf

269302-4041.4263- D-Laser Measuring Head

P

Y

g

n

Z

X

Kompaktinterferometer 344

26 93 02 - 4034.424Compact interferometer 344

Drei - Achs - Reflektor 345

269302 - 4034.524three axis reflector 345

90° Umlenker 346

26 93 02 - 3634.62490° beam bender 346

pitch angle= Nickwinkel

= Gierwinkelyaw angle

= Position position

n

g

P

M - 13

ZLM 800 Kompakt-Planspiegel-Interferometer für 3 Achsen Compact plane mirror interferometer for three axes

yaw

pitch

3 outputs / IF1, IF2, IF3

reflection area forIF1IF2IF3

Compact plane mirror interferometer 348Kompakt-Planspiegel- Interferometer 348

with 3-interferometers internalresolution for each 1,25 nmfor triangulation and positionand angle measurement(reference mirrors are internal)resolution in sum 0,4 nmin position

enthält 3-Interferometer mitAuflösung jeweils 1,25 nmfür Triangulations-, Positions- und Winkelmessung (Referenzspiegel sind enthalten)Gesamtauflösung für Positions-messung beträgt 0,4 nm

Planspiegelreflektorplane mirror reflector

Position

X

(Y)

Strahldurchmesser 6mmbeam diameter 6 mm

position

(Z)

3 Ausgänge / IF1, IF2, IF3

Yaw angle - tilting about Z - axis

Pitch angle - tilting about Y - axis

gggg

nnnn


Nickwinkel - Verkippung um Y - Achsebeam inputStrahleintritt

Reflektionsbereich für

3-Achs-Kompakt-Planspiegel-Interferometer 348 3 axis compact plane mirror interferometer 348


ohne drei Anschlüsse für Lichtwellenleiter without three couplings for fibre optics cable

3.77992/25/0.988

10/ 0.394

62/2.442

2

15/ 0.591

15/0.591

1

3M4

3.943

1.26032/

M - 14


yaw

pitch


reflection area forIF1IF2IF3

Compact plane mirror interferometer 348Kompakt-Planspiegel- Interferometer 348

with 3-interferometers internalresolution for each 1,25 nmfor triangulation and positionand angle measurement(reference mirrors are internal)resolution in sum 0,4 nmin position


Planspiegelreflektorplane mirror reflector

Position

X

(Y)

Strahldurchmesser 6mmbeam diameter 6 mm

position

(Z)

3 Ausgänge / IF1, IF2, IF3



gggg

nnnn


Nickwinkel - Verkippung um Y - Achsebeam inputStrahleintritt

Reflektionsbereich für



mit drei Anschlüssen für Lichtwellenleiter with three couplings for fibre optics cable

3.77992/25/0.988

10/ 0.394

62/2.442

2

15/ 0.591

15/0.591

1

3M4

96/3.943

1.26032/

M – 15

ZLM 800 Parallel-Planspiegel-Interferometer Parallel plane mirror interferometer

Planspiegelreflektor

Parallel plane mirror interferometer 352

beam input

Position

X

(Y)

Strahldurchmesser 3mmStrahleintritt

beam diameter 3mm

position


Parallel-Planspiegel- Interferometer 352

Interferometer mit einer Auflösungvon 1,25 nmfür Positions- oder Winkelmessung

(Z)


interferometer with resolution for 1.25 nmfor position or angle measurement

beam output - fibre optic cableStrahlaustritt - Lichtwellenleiter

n

Pitch angle - tilting about Y - axisnnnn Nickwinkel - Verkippung um Y - Achse

Parallel-Planspiegel-Interferometer 352 Parallel plane mirror interferometer 352

mit 1,25nm Auflösung with 1.25nm resolution


24/

36/ 56/

10/

18/

0.394

0.708

0.945

2.2061.418

M - 16

ZLM 800 Parallel-Planspiegel-Interferometer Parallel plane mirror interferometer

PlanspiegelreflektorParallel plane mirror interferometer 356

beam input

Position

X

(Y)

gggg


Strahleintritt

beam diameter 3mm

position


Parallel-Planspiegel- Interferometer 356

Interferometer mit einer Auflösungvon 0,64 nmfür Positions- oder Winkelmessung

Yaw angle - tilting about Z - axisgggg

(Z)



interferometer with resolution for 0.64 nmfor position or angle measurement


Parallel-Planspiegel-Interferometer 356 Parallel plane mirror interferometer 356 mit 0,64nm Auflösung with 0.64nm resolution Masse /Weight: 620g


Ergänzend dazu Referenzspiegel 536 (Seite M-09) in addition to it: Reference mirror 536 (Page M-09)

50 /

62 / 70 /

15/

28 /

5 / 0.197

1.103

1.969

2.7572.442

0.59

5 / 0.197

5 / 0.197

M - 17

ZLM 800 Planspiegel-Interferometer Plane mirror interferometer

PlanspiegelreflektorPlane mirror interferometer 358

beam input

Interferometer with resolutionfor 0.64 nmfor position measurement in one axis(reference mirrors is internal)

Position

X


reflection area forIF1

Strahleintritt

beam diameter 3mm

position

Reflexionsfläche für


Planspiegel- Interferometer 358

Interferometer mit einer Auflösungvon 0,64 nm für Positionsmessung in einer Achse (Referenzspiegel ist enthalten)


(Y)

(Z)

Planspiegel-Interferometer 358 Plane mirror interferometer 358

mit 0,64nm Auflösung with 0.64nm resolution Masse /Weight: 386g


40

32

56 / 2.205

15/ 0.59

5 / 0.197

/ 1.261

5 / 0.197

5 / 0.197

/ 1.575

M - 18


with 3-interferometers internalresolution for each 1.25 nmfor triangulation and positionand angle measurement(reference mirrors are internal)resolution in sum 0.4 nmin position

PlanspiegelreflektorCompact plane mirror interferometer 360

beam input

Position

X

(Y)

g

n



reflection area for

IF1 IF2

IF3

Strahleintritt3 Ausgänge / IF1, IF2, IF3

beam diameter 3mm

position



Kompakt-Planspiegel- Interferometer 360




gggg

nnnn

(Z)


Nickwinkel - Verkippung um Y - Achse

3-Achs-Kompakt-Planspiegel-Interferometer 360 3 axes compact plane mirror interferometer 360

mit drei Anschlüssen für Lichtwellenleiter with three couplings for fibre optics Masse /Weight: 340g


46 /10 / 0.394

5 / 0.197

36 / 1.412

1.811

12

3

LWL

M – 19

ZLM 800 Kompakt-Planspiegel-Interferometer für 2 Achsen Compact plane mirror interferometer for two axes

PlanspiegelreflektorCompact plane mirror interferometer 362

beam input

with 2-interferometers internalresolution for each 1.25 nmfor position and angle measurement(reference mirrors are internal)resolution in sum 0.6 nmin position

Position

X

(Y)

g

2 outputs / IF1, IF2,


reflection area for

IF1 IF2

Strahleintritt2 Ausgänge / IF1, IF2,

beam diameter 3mm

position




enthält 2-Interferometer mit einerAuflösung von jeweils 1,25 nmfür Positions- und Winkelmessung (Referenzspiegel sind enthalten)Gesamtauflösung für Positions-messung beträgt 0,6 nm


(Z)


2-Achs-Kompakt-Planspiegel-Interferometer 362 2 axes compact plane mirror interferometer 362

mit zwei Anschlüssen für Lichtwellenleiter with two couplings for fibre optics Masse /Weight: 308g


46 /

5 / 0.197

36 / 1.412

1.811

12

LWL

M - 20

ZLM 800 Planspiegel-Interferometer Plane mirror interferometer

PlanspiegelreflektorPlane mirror interferometer 368

beam input

Interferometer with resolutionfor 1.25 nmfor position measurement in one axis(reference mirror is internal)

Position

XStrahldurchmesser 3mm

reflection area forIF1

Strahleintritt

beam diameter 3mm

position



Planspiegel- Interferometer 368

Interferometer mit einer Auflösungvon 1,25 nm für Positionsmessung in einer Achse (Referenzspiegel ist enthalten)

beam output coupling for fibre optic cableStrahlaustritt Anschluss für Lichtwellenleiter

(Y)

(Z)

Planspiegel-Interferometer 368 mit 1,25nm Auflösung Plane mirror interferometer 368 with 1.25nm resolution

mit einem Anschluss für Lichtwellenleiter with one coupling for fibre optics Masse /Weight: 102g


28 /

5 / 0.197

20 / 0.787

1.102

LichtwellenleiterFibre optic cable

M - 21

ZLM 800 Kompakt-Planspiegel-Interferometer für 2 Achsen Compact plane mirror interferometer for two axes

Planspiegelreflektor

Compact plane mirror interferometer 370

beam input

with 2-interferometers internalresolution for each 1.25 nmfor position and angle measurement(reference mirrors are internal)resolution in sum 0.6 nmin position Position

X

(Y)

g

2 outputs / IF1, IF2,


IF1 IF2

Strahleintritt2 Ausgänge / IF1, IF2,

beam diameter 6mm

position



enthält 2-Interferometer mit einerAuflösung von jeweils 1,25 nmfür Positions- und Winkelmessung (Referenzspiegel sind enthalten)Gesamtauflösung für Positions-messung beträgt 0,6 nm


(Z)


IF1 IF2



mit zwei Anschlüssen für Lichtwellenleiter with two couplings for fibre optics cable


46 / 15/0.59

56 / 2.205

1.811

1

2

60 / 2.362

15/0.59

15/0.5910/0.394

M - 22

42/

54/ 70/

28/

15/0.59

1.103

1.654

2.7572.127

ZLM Parallel-Planspiegel-Interferometer 608 Parallel plane mirror interferometer 608

Parallelinterferometer 608 Parallel Interferometer 608 Masse / Weight: 566g


42/

54/ 70/

15/

28/

15/0.59

1.103

1.654

2.7572.127

0.59

Parallelinterferometer 608 mit LWL - Einkopplung Parallel Interferometer 608 with Fibre optics coupling Masse / Weight: 587g


Parallelinterferometer 608mit LWL – Einkopplung und variabler Strahlführung Parallel Interferometer 608 with Fibre optics coupling and variable beam control Masse / Weight: 774g


42/

54/

99/

28/

15/0.59

1.103

1.654

3.898

2.127

Dieses Interferometer ist für Mehrachs-Systeme konzipiert. Es bietet verschiedene Möglichkeiten der Laser –Strahlführung. (siehe Seite M-23) Als Intensitätsteiler können die Teilungsverhältnisse 1:1; 2:1; 3:1; 1:2 und 1:3 verwendet werden. This interferometer is designed for multi-axis systems. It offers several possibilities of laser beam control. (see page M-23) Here are to use beam splitter with the division ratios of 1:1, 2:1, 3:1, 1:2 and 1:3.

M - 23

ZLM Parallel-Planspiegel-Interferometer 608 Parallel plane mirror interferometer 608

Mögliche Einbauvarianten des Parallelinterferometer s 608 Possible mounting variants of the parallel interferometer 608

V1

90° Umlenker links

90° beam bender left

V2

90° Umlenker links

90° beam bender right

V3

Intensitätsteiler

geradeaus - links

beam splitter straight on - left

V4

Intensitätsteiler

geradeaus - rechts

beam splitter straight on - right

V5

Intensitätsteiler

links - rechts

beam splitter left - right

V6

Intensitätsteiler

rechts - links

beam splitter right - left

Beispiel für Bestellangabe: Interferometer 608 / 269302-4018.924 V5 / 1:1 Example of order information: Interferometer 608 / 269302-4018.924 V5 / 1:1

N - 1

ZLM 900 LSI Lichtschlauchinterferometer ZLM900 LSI Light guide interferometer ZLM900 LSI

Elektronikeinheit AE 900 LSI Electronics unit AE 900 LSI



ZLM 900

930240

25VA

JENAer Meßtechnik

LSI – Einstrahlinterferometer für Positions- und Winkelmessung LSI Single Beam Interferometer for position and angle measuring enthält Strahllagesensor für Justierung contains beam position sensor for adjustment


70/2.756

28/1.102 100/2.756

N - 2

ZLM 900 LSI Reflektoren für LSI-Interferometer Reflectors for LSI-Interferometer

Positionsmessung im Einstrahl-Verfahren Position measurement by single beam process Winkelmessung im Einstrahl-Verfahren Angle measurement by single beam process

Positionsmessung

Winkelmessung

Magnet

Interferometer

Aufnahme für Tripelreflektoren

Winkelreflektor

Referenz - Messreflektorreference - measurement reflector

positions measurement

angle measurementholders for triple reflectors

angle reflector

Tripelreflektor 9mm (mit Haftmagnet) Triple Reflector 9mm (with magnetic clamp) Masse / Weight: 1,5g


11,5/0.453ø10/0.394

Winkelreflektor 9mm (mit Haftmagnet) Angle Reflector 9mm (with magnetic clamp) Masse / Weight: 3g


11,5/0.453ø10/0.394

0.86722/

N - 3

ZLM 900 LSI Übersicht LSI-Interferometer Overview of LSI-Interferometer

Einbausysteme: Planspiegel-Interferometer (für 6mm Strahldurchmesser) Fixed Mounting Systems: Plane mirror interferometer (for 6mm beam diameter) LSI 4-fach-Planspiegel-Interferometer 420 (geradeaus) LSI 4-fold-plane-mirror-interferometer 420 (straight)


LSI 4-fach Planspiegel-Interferometer 421 (90°, rechts) LSI 4-fold-plane-mirror-interferometer 421 (90°, right)


LSI 4-fach Planspiegel-Interferometer 422 (90°, links) LSI 4-fold-plane-mirror-interferometer 421 (90°, left)


LSI 8-fach Planspiegel-Interferometer 425 (geradeaus) LSI 8-fold-plane-mirror-interferometer 425 (straight)


LSI 8-fach Planspiegel-Interferometer 426 (rechts) LSI 8-fold-plane-mirror-interferometer 426 (right)


LSI 8-fach Planspiegel-Interferometer 427 (90°, links) LSI 8-fold-plane-mirror-interferometer 427 (90°, left)


N - 4


Einbausysteme: Mini-Planspiegel-Interferometer (für 3mm Strahldurchmesser) Fixed Mounting Systems: Small plane mirror interferometer (for 3mm beam diameter) LSI-Planspiegel-Interferometer 410 (mit interner Referenz) LSI-plane-mirror-interferometer 410 (with internal reference)


LSI Winkel-Interferometer 411 (mit interner Referenz) LSI angle-interferometer 411 (with internal reference)


LSI Planspiegel-Interferometer 415 LSI Plane-mirror-interferometer 415




N - 5


Einbausysteme: Mini-Interferometer für Tripelreflektoren (für 3mm Strahldurchmesser) Fixed Mounting Systems: Small interferometer for cube corner reflectors (for 3mm beam diameter) LSI-Planspiegel-Interferometer 412 (mit interner Referenz) LSI-plane-mirror-interferometer 412 (with internal reference)


LSI Winkel-Interferometer 414 (mit interner Referenz) LSI angle-interferometer 414 (with internal reference)




LSI Winkel-Interferometer 418 LSI angle-interferometer 418


N - 6


Mobile Systeme: Einstrahl-Interferometer (für 6mm Strahldurchmesser) Mobile Systems: Single beam interferometer (for 6mm beam diameter) LSI Winkel-Interferometer 407 mit interner Referenz und Justiersensor LSI Angle interferometer 407 with internal reference and sensor for adjusting


LSI Winkel-Interferometer 408 mit interner Referenz und Justiersensor, stellbar LSI Angle interferometer 408 with internal reference and sensor for adjusting, adjustable


LSI Winkel-Interferometer 405 mit Justiersensor und Libelle LSI Angle interferometer 405 with sensor for adjusting and bubble level


LSI Winkel-Interferometer 406 mit Justiersensor und Libelle, stellbar LSI Angle interferometer 406 with sensor for adjusting and bubble level, adjustable


4:1

4:1

N - 7


Mobile Systeme: Einstrahl-Interferometer (für 6mm Strahldurchmesser) Mobile Systems: Single beam interferometer (for 6mm beam diameter) LSI Winkel-Interferometer 403 mit Justiersensor LSI Angle interferometer 403 sensor for adjusting


4:1

LSI Winkel-Interferometer 404 mit Justiersensor, stellbar LSI Angle interferometer 404 sensor for adjusting, adjustable


4:1

LSI Winkel-Interferometer 401 LSI Angle interferometer 401


LSI Winkel-Interferometer 402, stellbar LSI Angle interferometer 402, adjustable


JENAer Meßtechnik GmbH Carl-Zeiss-Promenade 10 D – 07745 Jena / Germany

Tel.: +49 3641 / 21 53 26 +49 3641 / 64 29 78 Fax: +49 3641 / 64 26 03 Mobil: +49 171 5 22 66 54 e-mail: [email protected] homepage: http://www.jenaer-mt.de

30.04.2011

zweifrequenz - laserinterferometer zlm 700 / 800 /900 · 2012. 5. 21. · leistungsparameter zlm...

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