rs11-3128 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ prc-012a ulvac a69a-01745 2004年製...

アルバックテクノ株式会社【お客様用】中古品在庫リスト 2014年2月20現在

<油回転真空ポンプ>

中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS12-1063 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ PVD-180 ULVAC 1-73468 2002年製排気速度：150L/ｍ　吸気口：φ 28×φ 19ﾎﾟﾝﾌﾟ部分のみ（ﾓｰﾀｰ及びﾍﾞｰｽなし）

RS13-2195 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ D-650D ULVAC 1-03054排気速度：500L/m　吸気口：VG-40ﾎﾟﾝﾌﾟ部分のみ（ﾓｰﾀｰ及びﾍﾞｰｽ無し）

RS13-1012 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VD-301 ULVAC NB63A-52474排気速度：500L/m　吸気口　KF40変換ﾎﾟｰﾄﾞ付き排気口：VG-40　ｵｲﾙｲｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ付き　未整備

☆ RS13-8116-0A ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ VD-301 ULVAC A63A-01354排気速度：500L/m　吸気口：VG-40排気口：VG-40







☆ RS13-8123-0A ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ EC-803 ULVAC A22A-01694排気速度：1340L/m　吸気口：VG-50排気口：VG-40

RS10-2018 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VS-2401 ULVAC A36A-00854排気速度：4000L/m　吸気口：VG80　排気口：VG50油回収機構D付

RS10-2061 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VS-2401 ULVAC A36A-03120 排気速度：4000L/m　吸気口：VG80　排気口：VG50

RS10-2159 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VS-2401 ULVAC -排気速度：4000L/m　吸気口：VG80　排気口：VG50（2台、要無害化洗浄整備）

RS13-2013 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VS-2401 ULVAC A36A-05463排気速度：4000L/m　吸気口：VG80　排気口：VG50TCO装置のｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ。ITO付着




RS04-8052 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ 2010C1 ｱﾙｶﾃﾙ 334781 無害化処理が必要

RS11-1250 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ DW-720 佐藤真空製 1108091 2011年製排気速度：720L/min　到達圧力：6.7×10-2　Pa吸気口径：VG-40A新規購入後、一般空気を1day排気しただけのほぼ新古品

RS12-1441 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ SV-300 Leybold NSS59 2010年製未使用品。　排気速度：240m3/h、到達圧力：８Pa、電源：AC200V、重量：200ｋｇ、排気口：2"G(BPS)

RS12-1442 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ SV-300 Leybold NSS58 2010年製未使用品。　排気速度：240m3/h、到達圧力：８Pa、電源：AC200V、重量：200ｋｇ、排気口：2"G(BPS)

<油回転真空ポンプ部品>


RS11-1259 ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ【4個】 TM-2 ULVAC ｼﾘｱﾙ無し 2009年製 PKS-016用　ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ　ｵｲﾙｴﾚﾒﾝﾄ交換要　【全4台】

RS09-1573 ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ TMX-2 ULVAC

RS12-1064 ｺﾝﾃﾞﾝｻｰﾓｰﾀｰ TYPE　EFOU ULVAC - 2002年製状態良好

RS12-1065 ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ TYPE　EFOU ULVAC - 2002年製単相、100V、200W、4P、分相始動



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※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。


<油拡散ポンプ>


RS12-1247 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ ULK-06A ULVAC A43A-01500 2000年製排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、200V、1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）










RS13-2004 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ CDP-3700 ANELVA 1539 スパッタ装置SPC-530Hに使用。（水冷ﾊﾞｯﾌﾙ無し）

<メカニカルブースターポンプ>


RS10-2170 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PMB-012CM ULVAC A17A-01174排気速度：16700L/m　吸気口VG100大気駆動型　ﾌｫﾝﾌﾞﾘﾝ仕様（要無害化処理）

RS12-1443 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PMB-012CM ULVAC - 排気速度：16700L/m　吸気口VG100　大気駆動型

RS09-1418 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC 排気速度：16700L/m　吸気口VG100　美品

RS09-1419 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC 排気速度：16700L/m　吸気口VG100　美品

RS10-2112 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-01742 排気速度：16700L/m　吸気口VG100



RS10-2118 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-01173排気速度：16700L/m　吸気口VG100　ｲﾝﾊﾞｰﾀ付大気駆動型







RS11-3125 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-01774 2004年製排気速度：16700L/m　吸気口VG100　ｲﾝﾊﾞｰﾀ付大気駆動型






RS13-3083 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-02711 排気速度：16700L/m　吸気口：VG-100　付属品無し




RS11-2064 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012AS ULVAC 排気速度：16700L/m　吸気口VG100

RS11-2065 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012AS ULVAC 排気速度：16700L/m　吸気口VG100

RS12-1430 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PMB-024CM ULVAC A19A-00535排気速度：33300L/m　吸気口VG200　未整備ﾓｰﾀｰ380V

RS12-1223 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ EH500 EDWARDS 006700640

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<クライオポンプ　ULVAC製>


☆ RS13-8112-0A ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C15R ULVAC DE1401

☆ RS13-8115-0A ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C15V ULVAC -

RS13-3058 ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C30VR ULVAC XC1312G 付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ




















RS12-1172 ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰＣ30ＺＲ ULVAC ＣＳ1243

RS12-1173 ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰＣ30ＺＲ ULVAC ＣＳ1237

RS11-8089-0A ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C30ZR ULVAC CS1013

RS11-8135-0A ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C30Z ULVAC 97-008(CJ1033)

RS04-8067 ｸﾗｲｵﾌﾚｷﾎｰｽ 10m×2本 ULVAC

RS07-2659 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-6H ULVAC 0003095D 排気速度：750L/S　吸気口：VG150


RS08-2099 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-6H ULVAC 排気速度：750L/S　吸気口：VG150　未使用品

RS08-2699 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-6H ULVAC 排気速度：750L/S　吸気口：VG150



RS11-2375 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-6H ULVAC 98046830 排気速度：750L/S　吸気口：VG150　急速再生仕様LGﾓｰﾀｰ


RS11-2546 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ U-6H ULVAC U-6H用バンドヒータ　【2式】

RS11-8001 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-8H ULVAC 0512140D 排気速度：1700L/S　吸気口：ICF253　温度計：MBS

☆ RS13-8099-0A ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U8H ULVAC 0101098D 付属品：ﾊﾞﾝﾄﾞﾋｰﾀｰ（型式RBH-8）

RS04-8001 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-8H-U ULVAC 703506排気速度：1700L/S　吸気口：VG200温度計：H2VP　無害化洗浄必要

RS04-8062 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-8H-U ULVAC 9012074 排気速度：1700L/S　吸気口：VG200　温度計：H2VP

RS10-8057 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-10PU ULVAC 9803129MBS付、空きﾎﾟｰﾄに電磁弁+VLP-U１S付、空きﾎﾟｰﾄに大気確認器付。

RS07-2727 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-10PUS ULVAC 排気速度：2300L/S　吸気口：VG250　温度計：H2VP

RS09-1005 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-10PUS ULVAC 排気速度：2300L/S　吸気口：VG250　MBS付き　LGﾓｰﾀｰ

☆ RS13-8100-0A ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U10PUS ULVAC 0101221 付属品：再生用ﾊﾞﾝﾄﾞﾋｰﾀｰ（型式：RBH-10)

RS13-3035 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U12H-SP ULVAC 0609014 排気速度：4100L/S　付属品無し






















RS08-2698 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-12HSP ULVAC排気速度：4100L/S　吸気口：ﾒﾀﾙｶﾞｽｹｯﾄﾌﾗﾝｼﾞ低振動ﾓｰﾀｰ

RS10-2231 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-12HSP ULVAC 0007333/0009377 2003年製排気速度：4100L/S　吸気口：UVG300　美品【2台】

RS07-3001 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-22H ULVAC排気速度：17000L/S　吸気口：VG550ﾌﾚｷﾎｰｽ2本のみ付属　MBS付き

RS07-3002 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-22H ULVAC 排気速度：17000L/S　吸気口：VG550　本体のみ


RS11-8035 ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ温調器 STC-1（INV) ULVAC S-0823A 2005年製

☆ RS13-8104-0A ｸﾗｲｵﾒｰﾀｰ MBD ULVAC 00121836N

☆ RS13-8105-0A ｸﾗｲｵﾒｰﾀｰ MBD ULVAC 00121837N

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<クライオポンプ　他社製>


RS11-2238 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ CRYO-T8C HELIX S/N9912441 付属品S/N:RFB220LG

RS11-2237 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ ONBOAD　WATER　PUMP HELIX S/N：MK9709651

RS11-2235 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ ONBOAD10Ｆ HELIX S/NK07686623

RS11-2236 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ ONBOAD10Ｆ HELIX S/NQK9709711

RS11-2233 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ ONBOAD8 HELIX S/NG10898859

RS11-2231 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ Torr8F HELIX S/N70Ｃ9529467

RS11-2232 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ Torr8F HELIX S/N70C9530128

RS11-2230 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ Torr8F HELIX S/N:70H9638328 UFC-253

RS11-2240 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ NETWORK　K　TERMINAL HELIX S/N95H9703096

RS11-8108 ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ T8SN UCI 0706582

RS11-8109 ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ T8SN UCI 0103767

<ターボ分子ポンプ　ULVAC製>


RS13-2149 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-1001FWD3A ULVAC 1001F0081

CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ

RS13-2150 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-1001FWD3A ULVAC 1001F0083


☆ RS13-2226-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FW/D3BULVAC 2300F 0359 2008年製


☆ RS13-2227-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FW/D3BULVAC 2300F 0360 2008年製


☆ RS13-2228-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FW/D3BULVAC 2300F　0370 2008年製


☆ RS13-2229-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FW/D3BULVAC 2300F　0368 2008年製

CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 ｺﾝﾄﾛｰﾗ無し、ｹｰﾌﾞﾙ無し

RS13-2141 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0453
















RS13-2022 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0206CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6 。付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）








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RS13-2101 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWD3B ULVAC 2300F0412CVD非ガス雰囲気で使用。付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300WD3)、電源ｹｰﾌﾞﾙ、TMP/ｺﾝﾄﾛｰﾙ間（20ｍ）

RS13-2103 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWD3B ULVAC 2300F0396CVD非ガス雰囲気で使用。付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300WD3)、電源ｹｰﾌﾞﾙ、TMP/ｺﾝﾄﾛｰﾙ間（20ｍ）

RS13-2029 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3301FW/D1ZULVAC 3301F0201CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6 。付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-3301W)、ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）



RS11-3036 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3302FH/D1A ULVAC 3302H0282コントローラ付属なし　ﾌﾗﾝｼﾞｻｲｽﾞ：VG350履歴　：　MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用

RS11-3037 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3302FH/D1A ULVAC 3302H0284ﾌﾗﾝｼﾞｻｲｽﾞ：VG350　付属品：　コントローラ：FTI-3302W付（故障中・茅ヶ崎保管）コントローラ用電源ケーブル付 (1m)履歴　：　MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用

RS11-3039 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3302FH/D1A ULVAC 3302H0326ﾌﾗﾝｼﾞｻｲｽﾞ：VG350　付属品：　コントローラ：FTI-3302W付　コントローラ用電源ケーブル付（1ｍ）履歴　：　MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用




RS11-3044 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3302FH/D1AULVAC 3302H0289 2004年製ﾌﾗﾝｼﾞｻｲｽﾞ：VG350　付属品：　コントローラ：FTI-3302W付　コントローラ用電源ケーブル付（1ｍ）履歴　：　MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用


☆ RS13-2221-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3303FH/D3AULVAC 3303H 0452 2008年製


☆ RS13-2222-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3303FH/D3AULVAC 3303H　0626 2008年製

CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 ｺﾝﾄﾛｰﾗ無し、ｹｰﾌﾞﾙ無し

☆ RS13-2223-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3303FH/D3AULVAC 3303H　0701 2008年製

CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ付き、ｹｰﾌﾞﾙ無し

☆ RS13-8101-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM500 ULVAC O5OPS20

RS13-2179 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-500FW ULVAC 050F016 本体のみ、水冷式、吸気口：UFC-203(ﾒﾀﾙｶﾞｽｹｯﾄ）排気口：NW40

☆ RS13-2224-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ FTI-3301WーD3 ULVAC 3301F 0374 2008年製付属品：ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ

☆ RS13-2225-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ FTI-3301WーD3 ULVAC 3301F 0373 2008年製付属品：ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ

RS11-2535 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ UTM-1200FW ULVAC 動作未確認。軸ｵｲﾙは入っていない。　ｺﾝﾄﾛｰﾗｰｹｰﾌﾞﾙ付きフルセット

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<ターボ分子ポンプ　他社製>


RS11-1202 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ STP-300 ｴﾄﾞﾜｰｽﾞ 1084A 1997年製 ※UTM-50　VULP-65付属※良好

RS13-2181 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TG1810VM 大阪真空 G1810-1292本体のみ、水冷式、吸気口：VG250　排気口：NW40、ｵｲﾙ付き、取扱説明書無し

RS13-2186 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TG200 大阪真空 G200-966

空冷式。　吸気口：VG100　排気口：NW25 、取扱説明書無しコントローラ：ＴＣ－２００付き　ターボ／電源間ｹｰﾌﾞﾙ付き、電源ｹｰﾌﾞﾙ切断、ＩＯｹｰﾌﾞﾙ切断CVD装置の予備ポンプ

RS09-1474 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-202LM 島津製作所

RS13-2182 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP280 島津製作所 406134本体のみ、空冷式、吸気口：ICF152 排気口：NW25、ｵｲﾙ・Cuｶﾞｽｹｯﾄ付き、取説無し

RS13-2183 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP280 島津製作所 222本体のみ、空冷式、吸気口：ICF152排気口：NW25、ｵｲﾙ・Cuｶﾞｽｹｯﾄ付き、取説無し

RS13-2184 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP280LC 島津製作所 6309本体のみ、水冷式、吸気口：VG100　排気口：NW25、ｵｲﾙ付き、取説無し

RS08-8010 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-403LM 島津製作所 HZL026 O-ring　本体のみ

RS08-8011 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-403LM 島津製作所 FZL182 O-ring　本体のみ



RS10-8003 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-1003LM 島津製作所 MZM092 2006年製 ICF

RS11-8094 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-1003LM 島津製作所 FZM214 ICF　ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（EI-1003M)S/N:ZGA109　ﾊﾝﾄﾞﾋｰﾀｰ

RS11-8095 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-1003LM 島津製作所 MZM457 ICF　ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（EI-1003M)S/N:GZS160　ﾊﾝﾄﾞﾋｰﾀｰ

RS13-1011 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-1003LM 島津製作所 -

RS10-8002-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-1003LM 島津製作所 DZM031

RS11-8124 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ　　 TMP-1003LM 島津製作所 NZM230

☆ RS13-8015-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-2203-LM(O) 島津製作所 UZG035付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ　EI-R04M（S/N:URA458)、ｹｰﾌﾞﾙ（10ｍ）。ﾌﾟﾗｽﾞﾏ処理装置に使用。吸引ｶﾞｽ：Ar

RS11-2253 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TPU1501PC PFEIFFER S/N：13882198 ICF-306　NW-40　水冷　本体のみ　M/N：PMP03697

RS11-2254 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TPU1501PC PFEIFFER S/N：14072840 ICF-306　NW-40　水冷　本体のみ　M/N：PMP03697

RS13-2180 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TS440VW 大阪真空 S440-485

本体のみ、水冷式、吸気口：VG150　排気口：NW25 、取扱説明書無しコントローラ：TC-400付き。電源ｹｰﾌﾞﾙ切断、ＩＯｹｰﾌﾞﾙ切断CVD装置の予備ポンプ

RS09-1583 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TURBOVAC361C ﾗｲﾎﾞﾙﾄ

RS09-1199 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ - -

RS09-1487 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ EI-1003M 島津製作所

RS11-8131 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ EI-202M 島津製作所 AH60

RS11-8127 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ EI-303M 島津製作所 FZR138



RS11-8132 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ EI-D303M 島津製作所 LKB254

RS13-2191 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ TC200 大阪真空 A058678-47 ｺﾝﾄﾛｰﾗｰのみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し、取扱説明書無し

RS13-2193 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ TC200 大阪真空 A058678-58 ｺﾝﾄﾛｰﾗｰのみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し、取扱説明書無し

RS11-2246 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ TCP380 PFEIFFER S/N：7007900 本体のみ　M/N：PMC01490

RS10-2660 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ　 EI-D1303M 島津製作所【2台】

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<ドライポンプ>


RS11-1256 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ ER-150 ULVAC A96A-00016 排気速度 2500L/m　吸気口；NW50　排気口；NW40

RS12-1288 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00657排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40ｹｰﾌﾞﾙ切断／ｻｲﾚﾝｻ・ｺﾈｸﾀ付属　取扱説明書無し

RS13-2049 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00032排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）








RS13-2105 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00887排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40CVD使用品非プロセス室に使用

RS13-2106 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00924排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40CVD使用品非プロセス室に使用






☆ RS13-2216-0A ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-01068 2008年製排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40CVD使用品非プロセス室に使用





RS13-2033 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC NK03-2923-2排気速度 28000L/m　吸気口；VG150CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）


RS13-2036 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC CK04-6031-2排気速度 28000L/m　吸気口；VG150CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）




RS13-2044 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC NK03-2921-2排気速度 28000L/m　吸気口；VG150CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）


RS13-2046 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC YK04-0027-1排気速度 28000L/m　吸気口；VG150CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）



7




RS13-2038 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC A1034-10409排気速度 28000L/m　吸気口；VG150CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）


RS13-2040 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC YK04-0027-2排気速度 28000L/m　吸気口；VG150CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）

RS13-2172 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR1800特 ULVAC A85A-03232排気速度：28000L/m　吸気口：VG150　CVD使用品。付属品：ｺﾈｸﾀのみ。使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2

RS13-2173 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR1800特 ULVAC A85A-01233排気速度：　28000L/m　吸気口：VG150　CVD使用品。付属品：ｺﾈｸﾀのみ。使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2

RS13-2132 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR3601-TT ULVAC A128A-10237CVD使用品。付属品：ｺﾈｸﾀのみ。使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2





RS11-8146 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ PDR-090CLN ULVAC -排気速度 1800L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40本体のみ

RS08-8029 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ A30W EBARA C60132 排気速度：3000L/min　吸気口：NW50、ｺﾈｸﾀｰ破損

RS08-8030 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ A30W EBARA C61435 排気速度：3000L/min　吸気口：NW50

RS12-1126 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ A30W EBARA CA0200 2000年製排気速度：3000L/min　吸気口：NW50　RIE装置に使用。使用ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar

RS12-1128 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ A30W EBARA C70771 2000年製排気速度：3000L/min　吸気口：NW50　RIE装置に使用。使用ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar


RS12-1130 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ A30W EBARA CA0191 2000年製排気速度：3000L/min　吸気口：NW50　RIE装置に使用。使用ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar


RS12-1336 ﾀﾞｲｱﾌﾗﾑ DA-120D ｱﾙﾊﾞｯｸ機工 72315 排気速度：240L/min　吸気口：Odφ 16×Idφ 12

RS08-8032 ﾀﾞｲｱﾌﾗﾑﾎﾟﾝﾌﾟ DA-241S ｱﾙﾊﾞｯｸ機工 00153 排気速度：240L/min　吸気口：Odφ 16×Idφ 12

RS12-1284 ｽｸﾛｰﾙﾎﾟﾝﾌﾟ DVS-321 ｱﾙﾊﾞｯｸ機工 563532作動時間；12382.3hr吸気口；KF25　排気口；KF16ｹｰﾌﾞﾙ切断　取扱説明書無し

RS11-2527 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ DVSL-500B ｱﾈｽﾄ岩田

RS09-1478 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ QDP80 EBARA

RS09-1480 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ QDP80 EBARA

RS12-1134 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ RD90-1 樫山 02I0673 2002年製排気速度：1300Ｌ/min　到達圧力：2.7Pa　吸気口：NW50半導体、液晶製造装置の軽負荷ﾌﾟﾛｾｽ排気用ﾎﾟﾝﾌﾟﾊｰﾄﾞﾌﾟﾛｾｽ不向き。

RS12-1139 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ RD90-1 樫山 01B0410 2002年製排気速度：1300Ｌ/min　到達圧力：2.7Pa　吸気口：NW50半導体、液晶製造装置の軽負荷ﾌﾟﾛｾｽ排気用ﾎﾟﾝﾌﾟﾊｰﾄﾞﾌﾟﾛｾｽ不向き。

RS12-1325 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ SD60VⅡ 樫山排気速度：1000l/min　吸気口：VG40　排気口:NW40






<排気セット>


RS11-1156 超高真空排気装置 XYZｽﾃｰｼﾞ ULVAC ｼﾘｱﾙ無し CR（解放）保管。

RS09-2124 排気ｾｯﾄ DP40+EH250 EDWARDS 5274A/7270FF

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<真空バルブ　ULVAC製>


RS07-2852 ｵﾘﾌｨｽﾊﾞﾙﾌﾞ 12in ULVAC

RS08-2050 仕切弁 70×430 ULVAC

RS12-1077 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-01 ULVAC - 2002年製状態良好　圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ

RS12-1078 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-01 ULVAC - 2002年製状態良好　圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ

RS09-8077-0A 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-8R ULVAC 831734

RS09-8026-0A 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLPA-50KF ULVAC 000002

RS09-8027-0A 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLPA-50KF ULVAC 000004

RS11-2153 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U06AW ULVAC 068772 動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ

RS11-2154 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U06AW ULVAC 068771 動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ

RS11-2073 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U06SW-R ULVAC 070277 動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ

RS11-2074 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U06SW-R ULVAC 070276 動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ

RS11-2155 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U3/4S ULVAC 800456 圧空式　JIS規格 3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ

RS11-2156 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U3/4S ULVAC 800361 圧空式　JIS規格 3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ

RS12-1295 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U3/4S ULVAC 800111 2000年製動作未確認　圧空式　JIS規格 3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ

RS09-8028-0A 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U1 ULVAC 010427 圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ



RS09-8032-0A 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U1 ULVAC 021311 圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ　ｻｲﾚﾝｻｰ付き（ﾍﾞﾝﾄ用）


RS12-1274 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U1 1/2S ULVAC 517253 2000年製動作未確認　圧空式　JIS規格 1.5 inﾌﾗﾝｼﾞ

RS09-8038-0A 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U1_1/2 ULVAC 518203 圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ







RS12-1263 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U10S ULVAC 102579 2000年製動作未確認　圧空式　JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ







RS12-1108 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U1S ULVAC 1989年製圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ


RS09-8047-0A 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U1SW ULVAC 0170001 圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ





RS11-3142 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U2 ULVAC 028891 2004年製圧空式　JIS規格 2inﾌﾗﾝｼﾞ

RS09-8052-0A 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U2 ULVAC 027242 圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ










RS09-8061-0A 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U2S ULVAC 021536 圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ






RS12-1265 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U6Ｓ ULVAC 068673 2000年製動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ

RS12-1266 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U6Ｓ ULVAC 068671 2000年製動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ







RS11-1217 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VULP-100CM ULVAC P951302 1997年製良好。

RS11-2534 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VULP-150F ULVAC 未使用品

RS09-8075-0A 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VULP-200CM ULVAC P200075

RS11-1215 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VULP-25（旧型） ULVAC ｼﾘｱﾙ無し 1997年製良好。

RS11-1216 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VULP-25（旧型） ULVAC ｼﾘｱﾙ無し 1997年製良好。


RS09-1150 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VULP-25CM ULVAC

RS09-8069-0A 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VULP-25F ULVAC P250774






RS11-1014 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-200Ⅱ ULVAC 美品動作未確認　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ




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RS12-1432 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-200Ⅱ ULVAC MN03-0347-8 圧空式未使用　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ




RS12-1438 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-250Ⅱ ULVAC 000102 圧空式未使用　JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ

RS12-1437 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-250Ⅱ ULVAC 000098圧搾空気動作式真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ　未使用仕様書：無し取説：無し

RS12-1439 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-250Ⅱ ULVAC 000103 圧空式未使用　JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ

RS11-2147 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-300WⅡ ULVAC 000186 圧空式未使用　取扱説明書：なし






RS09-8067-0A 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VUGP-40 ULVAC P400182

RS09-8068-0A 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VULH-65C ULVAC H650189 UFC114　手動

RS12-1075 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VLH-2 ULVAC - 2002年製要無害化処理。

RS12-1076 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VLH-2 ULVAC - 2002年製

RS12-1074 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VLHC-3 ULVAC - 2002年製要無害化処理。

RS12-1068 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VUH-251C ULVAC - 2002年製 ICF-070

RS12-1069 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VUH-251C ULVAC - 2002年製 ICF-070

RS12-1070 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VUH-251C ULVAC - 2002年製 ICF-070 整備後、引渡し

RS12-1071 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VUH-651 ULVAC - 2002年製状態良好。

RS12-1072 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VULH-40 ULVAC - 2002年製要無害化処理。

RS09-2648 真空手動ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ ULVAC ICF070

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<真空バルブ　他社製>


☆ RS13-8009-0A 圧力制御ﾊﾞﾙﾌﾞ+ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ 656A100IKKVVN+655AD2BJMKS 017067580　+　017669753

☆ RS13-8012-0A 高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 12146-JA14 VAT 不明

☆ RS13-8010-0A 高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ（Oﾘﾝｸﾞ回転軸ｼｰﾙ）14048-JE44 VAT 不明

☆ RS13-8011-0A 高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ（Oﾘﾝｸﾞ回転軸ｼｰﾙ）14048-JE44 VAT 不明

RS10-8024 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ 1-800-345-1967 MKS 9928670041 Zi　LL室ﾒｲﾝﾊﾞﾙﾌﾞに使用

RS10-8025 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ 1-800-345-1967 MKS 9928670044 Zi　LL室ﾒｲﾝﾊﾞﾙﾌﾞに使用

RS09-8009-0A 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ 26328-KA11-0001VAT 0158 KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ







RS10-2762 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ KA21 VAT - 2000年製未使用品26132-KA21（NW40）2個、24128-KA21（NW25）2個、26124-KA21（NW16）2個

RS09-8016-0A 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ Series　24（KF-25)VAT F-24-60045-1077

RS09-8017-0A 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ Series　24（KF-25）VAT F-24-60045-1078





RS09-8023-0A 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ XLC-40-X559 SMC -

RS11-2163 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ XLG25 SMC ｼﾘｱﾙ無し NW25




RS09-8024-0A 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ XLG-25 SMC -

RS11-2082 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ XLG25-M9NC SMC NW25

RS11-2084 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ XLG63-M9NC SMC ｼﾘｱﾙ無し NW63

RS09-8025-0A 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ XLG-80 SMC -

RS09-8008-0A 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 10836-CE01-0004VAT 0692 ICF114 手動式ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ（ｸﾗﾝｸﾊﾝﾄﾞﾙ式）

RS11-2226 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 14036-CE44-AAC1 VAT F14-109375/3 本体のみ、高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ、ICF114、圧空駆動式

RS11-2227 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 14046-CE34-0005 VAT F14-96835/3 本体のみ、高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ、ICF253、圧空駆動式

RS11-2222 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 14048-CE34-0005 VAT F14-104723/2 本体のみ、高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ、ICF306、圧空駆動式

RS11-2067 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 16250-JA28 VAT 不明振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式







RS11-1160 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 48240-CE01 VAT 不明 CR（解放）保管。ｵｰﾙﾒﾀﾙｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ、ICF152、手動式

RS11-1158 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 48244-CE01 VAT 不明 CR（解放）保管。ｵｰﾙﾒﾀﾙｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ、ICF203、手動式

RS06-2823 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 64048-JE28-0006 VAT

RS11-2229 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 64246-CE52-0101 VAT F64-90562/0002 本体のみ、ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ、ICF253、ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ作動式

RS07-2961 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 64246-JE52-0101 VAT F64-10866　1/1



RS11-8017 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 64252-JE52-ANZ1+PM5 VAT

RS07-2931 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAT （ＩＳＯﾊﾞﾙﾌﾞ）

RS09-8006-0A 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 11210-0159 HVA 95-01971 ICF070　圧空作動式ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ

RS09-8007-0A 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 11220-0150X HVA 01-17156 ICF070　圧空作動式ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ

RS11-2257 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 1641431 ﾌｼﾞ精機 000012 2004年製

RS11-2077 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ IB6CS-SCC-STD(KITZ-SCT KITS-SCT ｼﾘｱﾙ無しガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ

RS11-2078 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ IB7CS-SCC-STD(KITZ-SCT KITS-SCT ｼﾘｱﾙ無しガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ

RS11-2171 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ XLH40 SMC ｼﾘｱﾙ無し NW40




RS09-1149 APCﾊﾞﾙﾌﾞ 253A-11792 MKS

RS11-2157 ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞSCV 316L 10K-3/8 STD（N.C 0.4～0.7Mpa）

BENKAN（KITZ-SCT）ｼﾘｱﾙ無しガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　N2流量計(TOKYO　KEISOMAX500L/min)付き

RS11-2158 ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞSCV 316L 10K-3/8 STD（N.C 0.4～0.7Mpa）

BENKAN（KITZ-SCT）ｼﾘｱﾙ無しガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　N2流量計(TOKYO　KEISOMAX500L/min)付き

☆ RS13-8013-0A ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 12146-JA14 VAT 不明

RS10-8026 ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ 20044-CE24-1001/0006 VAT A-249751 Zi　LL室ｺｱﾒｲﾝﾊﾞﾙﾌﾞに使用

RS09-8004-0A ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ 1021001 ﾌｼﾞ精機 100003 真空圧空式ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ（ﾎﾟｼﾞｼｮﾝ付き）

RS09-8005-0A ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ 1021002 ﾌｼﾞ精機 150006 真空圧空式ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ（故障表示有）

RS11-2216 ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ PM-5 VAT 本体のみ　FABR.NO641PM-16PM-0002/153



RS11-2460 ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ PM-5 VAT 102532-R1

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<ピラニ真空計>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS11-3073 ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN　BMR2 ULVAC 15001 非表示式（ホットカソードゲージ）




RS11-3083 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN　BPR2 ULVAC 15804 2004年製非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V

RS11-3090 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN　BPR2 ULVAC 15797 2004年製非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V

RS11-3112 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN　BPR2 ULVAC 15810 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V





RS08-2158 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN　BRP2 ULVAC 3363 ｹｰﾌﾞﾙ付属無し。SENSOR　CABLE　35m




RS11-3081 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN　BRP2 ULVAC 15803 2004年製非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
























RS11-8031 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN　BRP2 ULVAC 04284 ｹｰﾌﾞﾙ：30M校正

RS11-8073 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN　BRP2 ULVAC 04285 30M校正



RS11-2326 ﾋﾟﾗﾆ真空計 DV-6200 ULVAC 07240212184 ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品



RS13-2123 ﾋﾟﾗﾆ真空計 EM301 ULVAC PH860112CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、付属品：表示機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し

RS13-2124 ﾋﾟﾗﾆ真空計 EM301 ULVAC PH860212CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、付属品：表示機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し

☆ RS13-2230-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計 EM-301 ULVAC - 2008年製12CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、付属品：表示機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し

☆ RS13-2231-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計 EM-301 ULVAC - 2008年製12CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、付属品：表示機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し

RS11-2102 ﾋﾟﾗﾆ真空計 EM-301　8CH ULVAC PH1508 ＭＡＸ8点測定




☆ RS13-1082-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1000 ULVAC 14646 2000年製付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）

☆ RS13-1083-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1000 ULVAC 4049 付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）、ｾﾝｻｰｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）

☆ RS13-1084-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1000 ULVAC 14645 2000年製付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）、ｾﾝｻｰｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）

☆ RS13-1085-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1000 ULVAC 4048 付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）、ｾﾝｻｰｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）

☆ RS13-1086-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1000 ULVAC 14684 2000年製付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）、ｾﾝｻｰｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）

☆ RS13-1087-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1000 ULVAC 4047 付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）

☆ RS13-1088-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1000 ULVAC 14683 2000年製付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）

☆ RS13-1089-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1000 ULVAC 9174 付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）

☆ RS13-1090-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1000 ULVAC 11840 1999年製付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）、電源ﾃﾞｰﾌﾞﾙ。

RS12-1112 ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1SRY ULVAC 52780 アナログ表示　定温度型　ＳＥＴPOINT　2点　（ﾒｰﾀ：Aﾀｲﾌﾟ）

☆ RS13-1091-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1SRY ULVAC 53610 1999年製付属品：ﾒｰﾀｰ型式：GP-1SRY-C（S/N:99H220937）、ﾒｰﾀｰ⇔真空計間ｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ/WP-01　10mにて校正品



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☆ RS13-1094-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1SRY ULVAC 60391 1999年製付属品：ﾒｰﾀｰ型式：GP-1SRY-C（S/N:99E211921）、ﾒｰﾀｰ⇔真空計間ｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ/WP-01　10mにて校正品





☆ RS13-1099-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1SRY ULVAC 60389 1999年製付属品：ﾒｰﾀｰ型式：GP-1SRY-C（S/N:99H220923）、ﾒｰﾀｰ⇔真空計間ｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ/WPB-10　10mにて校正品

☆ RS13-1100-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1SRY ULVAC 60390 1999年製付属品：ﾒｰﾀｰ型式：GP-1SRY-C（S/N:99H220907）、ﾒｰﾀｰ⇔真空計間ｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ/WPB-10　10mにて校正品

☆ RS13-8102-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1SRY-C ULVAC 001283446

☆ RS13-8103-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1SRY-C ULVAC 001283423

RS11-1063 ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-2001 ULVAC

☆ RS13-1079-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-2A ULVAC 8495 2003年製付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、/WP-01　4ｍにて校正品。

☆ RS13-1078-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-2ARY ULVAC 00398 付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）/WP-01　4ｍにて校正品。

RS07-2783 ﾋﾟﾗﾆ真空計 G-TRAN　ISP ULVAC 00382 センサーユニット



RS11-2529 ﾋﾟﾗﾆ真空計 G-TRAN　SP1ｾﾝﾀｰﾕﾆｯﾄ ULVAC センサーユニット

RS11-2303 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 2131 0212188 ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品

RS11-2304 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 01 376 9017382 ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品






RS11-2310 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品

RS11-2311 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC ｼﾘｱﾙ無しＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品

RS11-2312 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 018140116196 ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品












13



<電離真空計>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS11-8076 電離真空計 BMR2 ULVAC 10207 非表示式（ホットカソードゲージ）

☆ RS13-1070-0A 電離真空計 GI-D7 ULVAC 00026 2001年製付属品無し。



☆ RS13-1064-0A 電離真空計 GI-M2 ULVAC 10491 2004年製付属品無し。

☆ RS13-1065-0A 電離真空計 GI-M2 ULVAC 22140 2006年製付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ、測定子ｹｰﾌﾞﾙ（14m）。





☆ RS13-2232-0A 電離真空計 GI-M2 ULVAC - 2008年製付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ付き






☆ RS13-1080-0A 電離真空計 GI-N7 ULVAC 3215 付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）

☆ RS13-1077-0A 電離真空計 GI-N8 ULVAC 01052 2005年製付属品無し。

☆ RS13-8098-0A 電離真空計 GI-TL3 ULVAC 0262 本体のみ

☆ RS13-1073-0A 電離真空計 GI-TL3RY ULVAC 5018 1999年製付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、　I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）

☆ RS13-1074-0A 電離真空計 GI-TL3RY ULVAC 4602 1999年製付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙのみ。

☆ RS13-1075-0A 電離真空計 GI-TL3RY ULVAC 5017 1999年製付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）

☆ RS13-1076-0A 電離真空計 GI-TL3RY ULVAC 4601 1999年製付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙのみ。

RS11-2332 電離真空計 IG-6200 ULVAC 014120116347 ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品、本体のみ

RS11-2333 電離真空計 IG-6200 ULVAC 013900115378 ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品








<バラトロン真空計>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS10-8044 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計 186B-BOJOAANV MKS 000,206,023 Ver1.20.15X

RS11-3007 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計 628A1TBF-S MKS 000065664 外観問題なし、動作未確認、ｹｰﾌﾞﾙ無。ﾚﾝｼﾞ：1Pa

RS10-2727 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計 MKS-127 MKS

RS11-2105 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計 PDR-CJ1C-BCD MKS 000759408

RS08-8015 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計 PDR-CJ1C-BCD MKS 001240828J 本体のみ、故障

RS08-8016 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計 PDR-CJ1C-BCD MKS 001240829J 本体のみ

RS08-8017 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計 PDR-CJ1C-BCD MKS 001240830J 本体のみ

☆ RS13-2238-0A ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗ 651CD2S1NJ MKS 2008年製付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ

☆ RS13-2239-0A ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗ 651CD2S1NJ MKS - 2008年製付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ




RS13-2175 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ 651CD2S1NJ MKS 016293679 付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ




RS10-2219 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計電源 PDR-C1-C（-BCD） MKS 000094997

RS09-1421 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ測定子 CMX-1110 CELERITY

<成膜コントローラー>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS11-1057 成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗ CRTM-7000 ULVAC 0977

RS11-2012 水晶振動式膜厚計 MDC-260 MAXTEK,INC 121 本体、ｹｰﾌﾞﾙのみ（ｾﾝｻｰ無し）

<ガス分析計>


RS13-1030-0A 残留ｶﾞｽﾓﾆﾀｰ OL-PS01-1A&SMPA7-5-2100C HORIBA - （OL-PS01-1A&SMPA7-5-2100C）

RS11-1169 質量ｶﾞｽ分析計 Transpector　2 - LOTT23B02800

RS11-1170 質量ｶﾞｽ分析計 Transpector　2 - 70003237 Transpector　2（911-242-G1U　H100M)

<リークテスト計>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS11-2208 Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀ HELIOT　302s特 ULVAC 3198 スニファー専用機器

14



<表面検査装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS12-1340 触針式表面形状測定器 DAKTAK3030 ULVAC ｼﾘｱﾙ無し保守不能機器　部品取り用

RS13-3018 ｳｪｰﾊ異物検査装置 - ﾀｲﾖｰ電機 -

RS12-1422 ｳｪｰﾊ表面検査装置 WM-1500 TOPCON 01250019 1997年製2013/4まで稼動し特に問題なく動作。型式詳細：6ｲﾝﾁ、８ｲﾝﾁ対応。仕様書：なし　取説：なし



RS12-1087 ｳｪｰﾊ表面検査装置 WM-2500 TOPCON 00110021 2001年製

RS12-1088 ｳｪｰﾊ表面検査装置 WM-2500 TOPCON 00110022 2001年製 Smif200mmｳｴﾊ専用　0.079μ mﾊﾟｰﾃｨｸﾙの測定が可能

RS12-1396 ｳｪｰﾊ表面検査装置 WM-300FOUP TOPCON 00350074

RS13-3032 ﾊﾟｰﾃｨｸﾙ検査装置 WM3 TOPCON 80873023正常動作確認済み。仕様書・取説・図面無し。

<EB電源>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS11-8009 EB電源 HPS-1600F ULVAC 20020014 電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様

RS11-8010 EB電源 HPS-1600F ULVAC 20020012 電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様

RS11-8048 EB電源 HPS-1600F ULVAC 20020011 電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様、ﾌｨﾗﾒﾝﾄBOX付属無し

RS11-8049 EB電源 HPS-1600F ULVAC 20020013 電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様、ﾌｨﾗﾒﾝﾄBOX付属無し

RS11-8050 EB電源 HPS-1600F ULVAC 20020010電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様、ﾌｨﾗﾒﾝﾄBOX・ﾛｰｶﾙBOX付属無し

RS10-8060-0A ﾋﾞｰﾑｽｲｰﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ PSG-004S ULVAC 19912145

RS10-8061-0A ﾋﾞｰﾑｽｲｰﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ PSG-004S ULVAC 19912146

RS12-1122 EB電源 JST-10F JEOL BS101108-74AEZ372 2003年製

EB電源：JST-10F　(ｱｰｸｽﾌﾟﾚｯｻｰ付属)EB蒸発源：EBG-203UB4H（4るつぼ仕様)電圧導入端子：ﾌｨﾗﾒﾝﾄ用　EBG-HV025G02　/　偏向ｺｲﾙ用　EBG-LV025G01高圧ｹｰﾌﾞﾙ(3m)

<RF電源>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS13-8026-0A RF電源 AX-1000LFⅢ AD-TEC 10154000085

1ｋｗ、400KHｚ M/BOX:AMV-1000-LF-DI-2（S/N:1090800003) RF出力ｹｰﾌﾞﾙ(8m) M/BOX⇔RF　CONTｹｰﾌﾞﾙ(10m) RF電源I/Oｹｰﾌﾞﾙ（3m) RF電源ｹｰﾌﾞﾙ(2m) ※RF　CONT無し。

RS13-8027-0A RF電源 AX-1000LFⅢ AD-TEC 10154000084

1ｋｗ、400KHｚ M/BOX:AMV-1000-LF-DI-2（S/N:1090800004） RF出力ｹｰﾌﾞﾙ(8m) M/BOX⇔RF　CONTｹｰﾌﾞﾙ(10m) RF電源I/Oｹｰﾌﾞﾙ（3m) RF電源ｹｰﾌﾞﾙ(2m) ※RF　CONT無し。

RS13-8024-0A RF電源 AX-2000Ⅲ AD-TEC 10155100518

２ｋｗ、13.56MHｚ M/BOX:AMVG-2000-DI（S/N:10224300003） RF　CONT：AMVG-RCM1-D1（S/N:10225800003） RF出力ｹｰﾌﾞﾙ(8m) M/BOX⇔RF　CONTｹｰﾌﾞﾙ(10m) RF電源I/Oｹｰﾌﾞﾙ（5m) RF電源ｹｰﾌﾞﾙ(2m) RF　CONT　I/Oｹｰﾌﾞﾙ(3m)

RS13-8025-0A RF電源 AX-2000Ⅲ AD-TEC 10155100519

２ｋｗ、13.56MHｚ M/BOX:AMVG-2000-DI（S/N:10224300002） RF　CONT：AMVG-RCM1-D1（S/N:10225800002） RF出力ｹｰﾌﾞﾙ(8m) M/BOX⇔RF　CONTｹｰﾌﾞﾙ(10m) RF電源I/Oｹｰﾌﾞﾙ（3m) RF電源ｹｰﾌﾞﾙ(2m) RF　CONT　I/Oｹｰﾌﾞﾙ(3m)

RS09-1042 RF電源 LF-10 AMAT

RS11-2212 RF電源 MCP-1010E ULVAC 1032 エッチング電源

RS09-1152 RF電源 RF-50 日本高周波

☆ RS13-8106-0A RF電源 RFK05ZFSW2 KYOSAN 0103037

RS11-2266 RF電源 RFK10Z-SK5 KYOSAN 0107014 2004年製本体のみ(1kw）

RS11-2267 RF電源 RFK10Z-SK5 KYOSAN 0107015 2004年製本体のみ(1kw）

☆ RS13-8108-0A RF電源 RFK50Z-SW1 KYOSAN 0104039

RS11-2288 RF電源 RFS-005 ULVAC 88004

☆ RS13-1043-0A RF電源 RFS-02CA ULVAC 595181付属品無し。 200W、13.56MHｚ




15



☆ RS13-1047-0A RF電源 RFS-02CA ULVAC 595137付属品無し。 200W、13.56MHｚ　ﾄﾘｶﾞｰｽｲｯﾁｶﾊﾞｰ無し。

☆ RS13-1048-0A RF電源 RFS-02CA ULVAC 595167付属品無し。 200W、13.56MHｚ　 RF　ON⇔OFFｽｲｯﾁｶﾊﾞｰ無し。






RS09-1302 RF電源 RFS-1205S ULVAC 出力:500W　12.56MHz

RS11-8119 RF電源 RFS-1305A ULVAC 出力：500W　13.56MHz

RS13-2060 RF電源 RFS-1305A ULVAC 202065出力；500W 13.56MHz付属品：M/BOX(MBX-1305A) ｹｰﾌﾞﾙ20m







RS13-2069 RF電源 RFS-1305A ULVAC 203041出力；500W 13.56MHz付属品なし、本体のみ





☆ RS13-2243-0A RF電源 RFS-1305A ULVAC - 2008年製出力:500W 13.56MHz付属品：M/BOX(MBX-1305A) ｹｰﾌﾞﾙ16m




RS13-2071 RF電源 RFS-1310A ULVAC 202006出力；1KW 13.56MHz付属品：M/BOX(MBX-1310A) ｹｰﾌﾞﾙ20m


RS13-2074 RF電源 RFS-1310A ULVAC 204005出力；1KW 13.56MHz付属品なし、本体のみ



RS13-2113 RF電源 RFS-1310A ULVAC 207006出力；1KW 13.56MHz付属品：M/BOX(MBX-1310A)　欠品：ｹｰﾌﾞﾙ




RS12-8047 RF電源 RFS-1310A ULVAC 201006/302007出力：１ＫＷ　13.56MHz　　　　MBX-10EA付き付属ｹｰﾌﾞﾙ：　EXT.CONT　2ｍ/RF OUT 12ｍ/VPP-VPP 8ｍ/AC100V 入力１ｍ

☆ RS13-2247-0A RF電源 RFS-1310A ULVAC - 2008年製出力；1KW 13.56MHz付属品：M/BOX(MBX-1310A) ｹｰﾌﾞﾙ16m


16





☆ RS13-2251-0A RF電源 RFS-1310A ULVAC 2008年製出力；1KW 13.56MHz付属品：M/BOX(MBX-1310A) ｹｰﾌﾞﾙ16m


RS13-2158 RF電源 RFS-1310L ULVAC 209009 出力:1KW 13.56MHz、付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m

RS13-2154 RF電源 RFS-13200F ULVAC 210006 出力:20KW 13.56MHz、付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m


RS12-8048 RF電源 RFS-1350U ULVAC 207004/306030

出力：５ＫＷ　13.56MHz　　　　MBX-1350U付き付属ｹｰﾌﾞﾙ：　AC 　POW（RFS)-POW　IN（AMC)　4m/AMC(AMC)-AMC(RFS) 4m/CONT（MBX)-CONT（AMC)8m/POW　OUT(AMC)-POW　IN（MBX)8m/VDC（MBX)-VDC　IN（VDC)12ｍ/AC100（MBX)3ｍ/ｱｰｽ50ｃｍ

RS09-1471 RF電源 RFS-20CB ULVAC出力；2kW 13.56MHz付属品：M/BOX (ｹｰﾌﾞﾙ無し)

RS06-2704 RF電源 RFS-2712K ULVAC 306001出力：1KW　27.12MHz、付属品：M/BOX（MBX-2712A）ｹｰﾌﾞﾙ無し




RS07-3026 RF電源 RFS-30CB ULVAC 出力；3kW 13.56MHz付属品：M/BOX (ｹｰﾌﾞﾙ無し)

RS12-1294 RF電源 RFS-50C ULVAC 200003/300004

出力：５ＫＷ　13.56MHz　　　　MBX-50EA付き１付属ｹｰﾌﾞﾙ：　CONT（RFP)-CONT（RFS)　4m/CONT（MBX）-CONT（AMC)　8m/POW OUT（AMC)-POW　IN（MBX)12m/VPP　IN-VPPMBX　8m/VDC　IN-VDC　MBX　8m/ｱｰｽｘ2本(3m、1m） ■Power Control　Monitorｹｰﾌﾞﾙ：　VDC　8m/MBX　8m/ﾄﾘｶﾞｰ8m/CONT　4m

RS07-2652 RF電源 RFXⅡ-3000 AE 140021 F/R C 3kw出力

RS11-2287 RF電源ｺﾝﾄﾛｰﾗ RFP-1A ULVAC 89023

RS11-2268 RF　ｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾟﾈﾙ SP-RKC KYOSAN L/N　WB3563 2004年製本体のみ

RS11-2269 RF　ｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾟﾈﾙ SP-RKC KYOSAN L/N　WB3563 2004年製本体のみ

RS11-2289 ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ AMC-1AR ULVAC 395008

RS11-2290 ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ AMC-1AR ULVAC 92005

RS09-1502 ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ RFP-05CA/VDC5A ULVAC

RS11-2272 ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ NAK5A KYOSAN 0107014 2004年製本体のみ



☆ RS13-1058-0A ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ AMC-6D ULVAC 399006 1999年製 VDCﾓﾆﾀｰ付属：VDC5A（S/N:395040）、ｹｰﾌﾞﾙ無し。


☆ RS13-1060-0A ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ AMC-6D ULVAC 395004 VDCﾓﾆﾀｰ付属：VDC5A（S/N:395001）、ｹｰﾌﾞﾙ無し。


☆ RS13-1081-0A ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ AMC-6D ULVAC 395041 VDCﾓﾆﾀｰ付属：VDC5A（S/N:395025）、ｹｰﾌﾞﾙ無し。

☆ RS13-1109-0A ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ AMC-6D ULVAC 398082 付属品：I/Oｺﾈｸﾀ

☆ RS13-1110-0A ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ AMC-6D ULVAC 392008 付属品無し。

☆ RS13-1111-0A ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ AMC-6D ULVAC 392009 付属品無し。

☆ RS13-1051-0A ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-05EA2 ULVAC 395079付属品無し 200W






☆ RS13-1105-0A ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-05EA2 ULVAC 397036 1998年製付属品無し 200W　内部錆あり（ﾊﾞﾘｺﾝ周り）

☆ RS13-1106-0A ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-05EA2 ULVAC 397034 1998年製付属品無し 200W　内部錆あり（ﾊﾞﾘｺﾝ周り）



RS13-2167 ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-1310L ULVAC 309010 1kw用

RS13-2163 ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-13200F ULVAC 308001 20kw用

RS13-2166 ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-1330L ULVAC 309107 3kw用

RS13-2162 ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-27200L ULVAC 310006 20kw、27.12MHz用

RS13-2160 ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-27400F ULVAC 310001 40kw、27.12MHz用

RS13-2161 ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-27400F ULVAC 310002 40kw、27.12MHz用

RS09-1297 ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ MBX-50A ULVAC 5kw用　

RS11-2291 VDCﾓﾆﾀ VDC-1A ULVAC 086008

RS11-2292 VDCﾓﾆﾀ VDC-1A ULVAC 91020

RS11-2273 ﾌｪｰｽﾞｼﾌﾀ PHS-2C-SK1 KYOSAN L/N　WB3569

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<DC電源>


RS09-1498 DC電源 DCR-1502A ULVAC 19922009 出力：１５ｋｗ

RS09-1499 DC電源 DCR-1502A ULVAC 19922010 出力：１５ｋｗ

☆ RS13-1063-0A DC電源 DCS-0052B ULVAC 197193 30,000

電源ｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）出力ｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）出力1KW（800V　1.25A) I/Oｹｰﾌﾞﾙ無し。

RS10-8036 DC電源 HAR-1N100-LOL MATUSADA 52933 出力：1kv　（負極性　100mA/100W）

RS10-8035 DC電源 HAR-1P100-L0L MATUSADA 52945 出力：1kv　（正極性　100mA/100W）

☆ RS13-8006-0A DC電源 HPK-03Z 京三 WA2434本体のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し。吸引ｶﾞｽ：Aｒ出力電力：3ｋｗ

RS13-1028 DC電源（4台） HPK-03Z他京三製作所 WA2433、2434、4264、4265

【4台】動作未確認、研究開発用途。

☆ RS13-8007-0A DC電源 HPK-10Z 京三 WA4264本体のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し。吸引ｶﾞｽ：Aｒ

☆ RS13-8008-0A DC電源 HPK-10Z 京三 WA4265本体のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し。吸引ｶﾞｽ：Aｒ

RS09-2804 DC電源 HPK-15ZI KYOSAN - 1998/01 ﾀﾝﾃﾞﾑ仕様（Mastor15kw）＋（Slave　15kw）=30kw出力

RS11-2286 DC電源 HPK-15ZI KYOSAN WA0789 ﾀﾝﾃﾞﾑ仕様（Mastor15kw）＋（Slave　15kw）=30kw出力

RS11-8086 DC電源 HPK-15ZI KYOSAN WA1267＋ＷＡ6036 ﾀﾝﾃﾞﾑ仕様（Mastor15kw）＋（Slave　15kw）=30kw出力

RS13-3096 DC電源 MDL-1001A ULVAC C609108 出力：１０ｋｗ、付属品：ｹｰﾌﾞﾙ類一式














RS08-2041 DC電源 MDL-15 ULVAC 145679F/RC 出力：１５ｋｗ

RS09-1162 DC電源 MDL-L6 AE

RS09-1161 DC電源 MDX-L6 AE

RS09-1289 DC電源 MDX-L6 AE

RS10-2721 DC電源 PAK20-18A/PAK10-70 KIKUSUI ※2台

RS11-2029 DC電源 PR-500-10LGB 松定ﾌﾟﾚｼｼﾞｮﾝ 045547S 2009年製新古品　5kw　（500V／10A仕様）

RS13-3101 ﾊﾟﾙｽDC電源 Sparc-le V AE C609412 出力：１２ｋｗ、付属品：　ｹｰﾌﾞﾙ類一式

RS13-3102 ﾊﾟﾙｽDC電源 Sparc-le　V AE C609413 出力：１２ｋｗ、付属品：　ｹｰﾌﾞﾙ類一式

RS13-3103 ﾊﾟﾙｽDC電源 Sparｃ-le　V AE C609414 出力：１２ｋｗ、付属品：　ｹｰﾌﾞﾙ類一式






<AC電源>


RS11-1189 AC電源 PE　Ⅱ　 AE 10KW SV-9040付属品。本体のみ、ｹｰﾌﾞﾙ等付属なし。

<アナライザーマグネット電源>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS04-8017 ｱﾅﾗｲｻﾞｰﾏｸﾞﾈｯﾄ電源 KS40-50S ULVAC 12762 中電流イオン注入装置

<マグネット電源>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS11-2278 ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源 MCP-1010SX ULVAC 2310



RS09-1496 ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源 MCP-1010E ULVAC

RS10-8043 ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源 MCP-1010E ULVAC 1092

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<加熱電源>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS13-2075 加熱電源 PSH-306C ULVAC U406-024 基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し


RS13-2077 加熱電源 PSH-306C ULVAC 410052-001 基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し

















RS09-2665 加熱電源 PSH-072SP ｼﾏﾃﾞﾝ基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し

RS09-2666 加熱電源 PSH-072SP ｼﾏﾃﾞﾝ基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し

RS11-8082 温度調節器 SR82-11-N-90-1166000 ｼﾏﾃﾞﾝ 11304810901-002

<その他電源>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS12-1020 ｉｏｎ　bombard　power　supply DCP-505 ULVAC 状態良好。要整備。

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<スパッタ装置　ULVAC製>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS10-2807 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 CERAUS　Z-1000 ULVAC ME00-7820

【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　2T基板：φ 6in　SP1：Metal　SP2：Metal加熱機構：：Infrared Lamp　制御：GPCS-300GT排気：TMP（旧型）+CryoTrap設置：階下置き仕様　※ 拡張性有り

RS10-2808 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 CERAUS　Z-1000 ULVAC ME00-7818

【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　2T基板：φ 6in　SP1：Metal　SP2：Metal加熱機構：：Infrared Lamp　制御：GPCS-300GT排気：TMP（旧型）+CryoTrap設置：階下置き仕様　※ 拡張性有り

RS12-1062 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 CERAUS　Z-1101 ULVAC ME93-5021 1994年製

【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　1E1T基板：φ 6in　Etch：ICP　SP：Metal加熱機構：：Infrared Lamp　制御：GPCS-300GT排気：TMP（旧型）+CryoTrap設置：階下置き仕様　※ 拡張性有り

RS12-1061 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 CERAUS　Z-1301 ULVAC ME02-8012 2002年製

【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　１E3T基板：φ 6in　Etch：ICP　SP1～3：Metal加熱機構：：Infrared Lamp　制御：GPCS-300GT排気：TMP（旧型）+CryoTrap設置：階下置き仕様　※ ﾌﾙﾁｬﾝﾊﾞｰ仕様　機能充実

RS12-1204 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 CERAUS　Zi-1000N ULVACME00-5001/SE00-5001-1

【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用4T1E1H　φ 8in ﾉｯﾁEtch：ICP　HEAT：Infrared LampSP1：Ta　SP2：Ta　SP3：FeO　SP4：Si排気系：TMP+CryoTrap

RS13-3017 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 CS-200 ULVAC MA07-1009

【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　実験・量産ｽﾊﾟｯﾀﾀﾞｳﾝ　φ 12in回転磁石型ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ（誘電体用）　1元SP電源：RF 3kwｘ1台排気系　TMP+DRP　基板ｻｲｽﾞ：φ 6in

RS12-1227 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 IBS-6000 ULVAC MB04-1012 2004年製【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　ｲｵﾝﾋﾞｰﾑｽﾊﾟｯﾀ装置動作確認済み　G-BOX付き使用頻度尐なく良好

RS12-1118 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 MLX-3000N ULVAC ME00-5016

【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　1E2T基板：φ 6in　Etch：2重極　SP1：Metal　SP2：Metal加熱系：Infrared Lamp　ｶｾｯﾄ室×2排気系：CRYO＋RP

☆ RS13-3127-0A ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 MLX-3000N ULVAC ME99-1017 【枚葉式】

RS13-2211 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 MPS-8000 ULVAC MB05-5013

【バッチ式】　実験装置処理基板　150ｍｍ　加熱：MAX300℃4inﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｽﾊﾟｯﾀ（3台）（Si、Ag、 ZnO）ｽﾊﾟｯﾀ電源　RFS-1305A　500W　DCS-0052B　500W逆ｽﾊﾟｯﾀ　200W 排気系：CRYO-U6H　D-330DKMFC：Ar100ｓｃｃｍ　N2：50ｓｃｃｍ　O2:50ｓｃｃｍ真空計　GI-M

RS13-2209-0A ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 PME-200LE ULVAC MA08-3536 2010年製

【枚様式】研究開発で使用された設備の為、使用頻度尐なく、また高年式の為状態良い。仕様書・取説・図面あり。

RS12-1197 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SBH-2206 ULVAC【ﾊﾞｯﾁ式】尐量生産φ 6inｶｿｰﾄﾞ ×2式　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱　ｽﾊﾟｯﾀUP

RS13-3124-0A ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SBH2306DE ULVAC RK92-1009 1993年製

RS12-1001 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SBH-5315 ULVAC MH60-0287 1985年製

【ﾊﾞｯﾁ式ｶﾙｰｾﾙ（ﾄﾞﾗﾑ）ﾀｲﾌﾟ】量産機□100基板2枚取り12面ﾄﾞﾗﾑ搭載。AC電源化、Dual ｶｿｰﾄﾞへの改造済み。装置は古いが、機能充実。

RS12-1301 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SH-350-C10 ULVAC MH90-5010(XW05-6514) 1990年製

【ﾊﾞｯﾁ式】　実験・尐量生産φ 4in ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×1元　ｽﾊﾟｯﾀ電源 DC×1(2.5kW）排気系：CRYO＋RPﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計：MKS　ｶﾞｽ系：Ar+O22004年度当社ﾘﾆｭｰｱﾙ販売品

RS13-2204 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SH-350-D06 ULVAC MH62-5073

【バッチ式】実験・尐量生産φ 150mmカソード　1元　（スパッタアップ）排気系：拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ欠品（ULK-06A) 、D-650Dスパッタ電源：ＤＣＧ－０５Ｃガス：２系統ｼｰｹﾝｻｰ：三菱製AOJ2

RS13-1009 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SH-350L ULVAC MH62-0058

【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　実験・尐量生産φ 4ｲﾝﾁｶｿｰﾄﾞｘ3式　RF/DC切替・逆ｽﾊﾟ付き。2010年ﾘﾆｭｰｱﾙ装置。　制御系ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ・ﾌﾙｵｰﾄ制御。仕様書・取説・図面あり。

RS12-1420 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SH-350-T08 ULVAC MA01-1045【ﾊﾞｯﾁ式】　実験・尐量生産φ 3in ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ ×3元　ｽﾊﾟｯﾀ電源 DCx1・RFx1逆ｽﾊﾟｯﾀ付(500W)　排気系：TMP＋RP

RS12-1405 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SH-450-C10 ULVAC MH61-0502(NH8978)【ﾊﾞｯﾁ式】　実験・尐量生産φ 6in ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ ×3元　ｽﾊﾟｯﾀ電源 DCx1・RFx1逆ｽﾊﾟｯﾀ付(500W)　排気系：CRYO＋RP

RS13-2210 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置（ﾊﾞｯﾁ式） SH-450-C12 ULVAC MA07-3717

【バッチ式】実験・尐量生産ｽﾊﾟｯﾀｱｯﾌﾟ　6in３元　ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｽﾊﾟｯﾀ　 DC電源　DCS-0402x3台排気系：CRYO-U-12HSP　V30V　D-950D真空計：GI-TL3　GI-TL3RY　GP-1SRYMFC　Ar 　1系統基板4in 8枚操作ﾊﾟﾈﾙ旧型（銀色）

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RS12-1051 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SH-550 ULVAC XT07-0489BB 2008年製【ﾊﾞｯﾁ式】　実験・尐量生産φ 6in ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ ×3元　ｽﾊﾟｯﾀ電源 DCx1・RFx1逆ｽﾊﾟｯﾀ付(500W)　排気系：CRYO＋RP

RS12-1391 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SH-550 ULVAC 1990年製【ﾊﾞｯﾁ式】　実験・尐量生産φ 8in ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ ×3元　ｽﾊﾟｯﾀ電源 DCx1・RFx1逆ｽﾊﾟｯﾀ付(500W)　排気系：CRYO＋RP

RS13-2001 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SH-550-D10 ULVAC MH63-5263【ﾊﾞｯﾁ式】　実験・尐量生産φ 8in ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ ×3元　ｽﾊﾟｯﾀ電源 DCx1逆ｽﾊﾟｯﾀ付(500W)　排気系：DP＋RP

RS11-2038 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SIH-4545 ULVAC MH63-0222 1988年製

【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　尐中量生産□5in×20in ｶｿｰﾄﾞ　3元　ｽﾊﾟｯﾀ電源：DCｽﾊﾟｯﾀUP 通過成膜方式動作確認済。故障個所無し。

RS11-1022 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SIV-850 ULVAC MA03-1012 2006年製

【ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式】　実験・尐量生産ｶﾞﾗｽ基板： □850×900 　ｶｿｰﾄﾞ3元搭載ｽﾊﾟｯﾀ電源：DC 片面　縦搬送通過成膜式排気系：CRYO+RP

RS11-1021 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置　 SIV-850 ULVAC MA06-1006 2006年製

【ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式】　実験・尐量生産ｶﾞﾗｽ基板： □850×900 　ｶｿｰﾄﾞ3元搭載ｽﾊﾟｯﾀ電源：RF 片面　縦搬送通過成膜式排気系：CRYO+RP

RS13-2207-0A ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SME-200LDM ULVAC MA08-3623 2010年製【枚様式】研究開発で使用された設備仕様書・取説・図面あり。

RS13-2208-0A ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SME-200LDM ULVAC MA08-3625 2010年製【枚葉式】研究開発で使用された設備の為、使用頻度尐なく、高年式のため状態良い。

RS13-1002 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SRH-420 ULVAC MA04-3429 2004年製【枚葉式（ｸﾗｽﾀｰﾀｲﾌﾟ）】　量産用　2C1E3T基板：φ 8in　SP1：Metal 　SP2：Metal　SP3：化合物Etch：RIE　薄ｳｪｰﾊにも対応

RS13-3030 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SRH-820 ULVAC MA00-1034

【枚葉式　静止成膜】　ｽﾊﾟｯﾀﾀﾞｳﾝ方式基板：200φ基板加熱室×１、基板ｸﾘｰﾆﾝｸﾞ室×1、ｽﾊﾟｯﾀ室×5ｶｿｰﾄﾞ：非磁性体金属ﾀｰｹﾞｯﾄ用×5

RS11-1186 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SV-9040-T14 ULVAC MA00-1013【ﾊﾞｯﾁ式ｶﾙｰｾﾙ（ﾄﾞﾗﾑ）ﾀｲﾌﾟ】量産機基板：ｶﾞﾗｽ　ｶｿｰﾄﾞ：5inｘ18in×3　ｽﾊﾟｯﾀ電源：DC排気系：TMP+RP

<スパッタ装置　他社製>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS11-1185 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 ENDURA AMAT 3843/E-No.6520【Multi_Chamber】量産用基板：φ 8in Etch×1　SP×３通電・試運転可能

RS11-1201 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 HSR-512A 島津製作所 1M9062 1994年製【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用（全手動操作）φ 4inｶｿｰﾄﾞ　3元　静止成膜　ｽﾊﾟｯﾀ電源：RF逆ｽﾊﾟｯﾀ：可能　小型実験装置

RS12-1228 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 L-350S-C ANELVA EVP-30577 1996年製【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用ｶｿｰﾄﾞ： 5元（DC３式＋RF２式）　ｲｵﾝ銃（ｸﾘｰﾆﾝｸﾞ用）

RS09-1008 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 NSP-17 昭和真空 96-4399 1997年製【ﾊﾞｯﾁ式】φ 5inｶｿｰﾄﾞ 3元

RS11-1184 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SPC-530H ANELVA EVP-13998-1 1983年製【ｶﾙｰｾﾙ（ﾄﾞﾗﾑ)式】ｶｿｰﾄﾞ：5in×15in　3元　DC/RF切替　排気系：DP2004年にｶｿｰﾄﾞ追加・基板ﾎﾙﾀﾞｰ改造実施

RS13-1006 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SPF-332 ANELVA 1990年製

【バッチ式】排気系（TMP・PR) 動作確認済み。取説あり、図面・仕様書無し。

RS12-2027 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SPF-540H ｱﾈﾙﾊﾞ EVP-24622【ﾊﾞｯﾁ式】ｶｿｰﾄﾞ：φ 6in× 3元

RS09-1024 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 SPS-503 ﾄｯｷ【ｶﾙｰｾﾙ(ﾄﾞﾗﾑ)式】　小量生産ｶｿｰﾄﾞ：3元（角ｶｿｰﾄﾞ）

RS10-2806 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 TDY-01298 東京電子冶金研究所不明【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用ｲｵﾝﾋﾞｰﾑｽﾊﾟｯﾀ装置

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<スパッタ装置部品　ULVAC　Ceraus>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS09-1483 RYB RYB1 ULVAC

RS09-1500 ｼｬｯﾀｰ - ULVAC

RS09-1501 ｼｬｯﾀｰ - ULVAC

RS09-1504 ｼｬｯﾀｰﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ SG6100S ULVAC

RS09-1505 ｼｬｯﾀｰﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ SG6100S ULVAC

RS09-1465 ﾌﾟﾛｾｽﾓｼﾞｭｰﾙｺﾝﾄﾛｰﾗ PMC-Ⅱ ULVAC

RS09-1484 真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ GS-IG ULVAC

RS12-1154 真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ GS-IG ULVAC P236







RS12-1161 真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ GS-IG ULVAC 445

RS12-1162 真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ GS-IG ULVAC 481

RS12-1151 真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ GS-PG ULVAC P128



RS11-8139 制御BOX ME-Ⅱ　① - ｼﾘｱﾙ無し

RS11-8140 制御BOX ME-Ⅱ　② - ｼﾘｱﾙ無し

RS11-8141 制御BOX ME-Ⅱ　③ - ｼﾘｱﾙ無し

RS11-8142 制御BOX ME-Ⅱ　④ - ｼﾘｱﾙ無し

RS11-8143 制御BOX ME-ⅡA　① - ｼﾘｱﾙ無し

RS11-8144 制御BOX ME-ⅡA　② - ｼﾘｱﾙ無し

RS10-8053 制御ﾎﾞｰﾄﾞ 1420A　TKK-5 Adme

RS10-8054 制御ﾎﾞｰﾄﾞ 1420A　TKK-6 Adme

RS10-8052 制御ﾎﾞｰﾄﾞ 1608ATKK-5 Adme

RS10-8051 制御ﾎﾞｰﾄﾞ KU80376 96-1500-27001　PMC-1

RS10-8048 制御ﾎﾞｰﾄﾞ PI-30 旭ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ

RS10-8049 制御ﾎﾞｰﾄﾞ PMC-6

RS10-8050 制御ﾎﾞｰﾄﾞ PVME-387 ｵﾝﾃｯｸ 980309-1　KEPB-372

RS10-8042 制御系 Contunit型式001-8185-05 ﾌﾞﾙｯｸｽ 9910-10099

RS10-8045 制御系 PMC-Ⅱ ULVAC ｽﾊﾟｯﾀ用

RS10-8046 制御系 PMC-Ⅱ ULVAC IPC用

RS10-8047 制御系 PMC-Ⅱ ULVAC ｱﾆｰﾙ用

RS10-8040 制御系 SYSTEM　I/F　BOX №2

RS10-8041 制御系 SYSTEM　I/F　BOX №1

RS10-8055 通信COM AT-MX10 Allied　ＴｅｌｅｓｙｎI

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<スパッタ装置部品　AMAT　ENDURA>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS09-1390 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置ﾁｬﾝﾊﾞｰ ENDURA5500ﾁｬﾝﾊﾞ　 AMJ ※改造に最適

RS09-1544 BLDG TO BLDG Transfer - AMAT

RS09-1509 CH-A 天板 - AMAT

RS09-1510 CH-B 天板 - AMAT

RS09-1527 CRYO PUMP CABLE - AMAT



RS12-2091 Endura　ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX他ﾊﾟｰﾂ一式 AMAT

RS12-2077 Hearter　ASSY　 0010-01465 AMAT -

RS09-1554 Hose Push-Lok 5/8　250PSI - AMAT

RS09-1555 Hose Push-Lok 5/8　300PSI - AMAT

RS09-1552 HoseGas/LIQ.500ID X .780 OD 200PSI SYNTH - AMAT

RS09-1522 ION GAUGE　CABLE - AMAT





RS09-1534 MAGNET - AMAT

RS09-1545 MFC AR100sccm - AMAT

RS09-1546 MFC AR100sccm - AMAT

RS09-1541 MFC N2200sccm　STEC - AMAT

RS09-1507 Nallow Load/Lock　LLA - AMAT

RS09-1508 Nallow Load/Lock　LLB - AMAT

RS09-1550 PVD HP LIFT - AMAT

RS09-1551 PVD HP LIFT - AMAT

RS09-1519 REMOTE/SYSTEM VIDEDO　ｹｰﾌﾞﾙ（MONITOR) - AMAT



RS09-1514 Shield 8" - AMAT

RS09-1515 Shield 8" - AMAT

RS09-1516 Shield Upper - AMAT

RS09-1539 SPACER INSULATOR LIFTER - AMAT

RS09-1540 SPLTR BOX　HELIX - AMAT

RS09-1512 STD Lifter - AMAT

RS09-1526 SYS.CONT. BULKHEAD CABLE - AMAT

RS09-1547 VAT 弁体+O/H Kit - AMAT



RS09-1513 Wide Chamber - AMAT

RS09-1536 WSHR INSULATOR LIFTER - AMAT

RS09-1537 WSHR INSULATOR LIFTER - AMAT

RS09-1538 WSHR INSULATOR LIFTER - NECｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ

RS09-1506 ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ　8510 Compressor - AMAT

RS09-1559 ﾊﾞｯｷﾝグﾌﾟﾚｰﾄ - AMAT ※中古

RS09-1560 ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ - AMAT ※中古

RS09-1517 ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ　ALﾀｰｹﾞｯﾄ付き - AMAT ※使用済み

RS09-1518 ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ　Ti　ﾀｰｹﾞｯﾄ付き - AMAT ※使用済み

RS09-1562 ﾌﾟﾘｸﾘｰﾝTMP取付配管 - AMAT

RS09-1558 真空配管類 - AMAT

RS09-1561 水冷ｺﾈｸﾀｰ、水冷ﾊﾟｰﾂ　 -

RS09-1557 中古ﾎｰｽ - AMAT

<スパッタ装置部品>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS11-2495 ｶｿｰﾄﾞ φ 4ｲﾝﾁﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ ULVAC 1994年製

RS07-2971 昇降機 H-18 ULVAC -

RS09-1262-0A ｲｵﾝﾎﾞｰﾄﾞ - -

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<蒸着装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS13-3016 蒸着重合装置 VEP-1000 ULVAC MF06-1008 【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　研究用

RS12-1080 蒸着装置 EBH-6 ULVAC MH62-5022 2005年製【ﾍﾞﾙｼﾞｬ式ﾊﾞｯﾁ装置】　研究用全手動操作　抵抗加熱式蒸発源　（欠品：ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ）

RS12-1196 蒸着装置 EBV-6CA ULVAC SE3403-10【ﾍﾞﾙｼﾞｬ式ﾊﾞｯﾁ装置】　研究用抵抗加熱式蒸発源　金属ﾍﾞﾙｼﾞｬ

RS12-1224 蒸着装置 EBX-8C ULVAC ME58-0136 1983年製

【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用真空槽：□500×600H　自公転治具（JPD-050C）蒸発源：抵抗加熱式(ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3）排気系；CP＋RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱　使用履歴；Au

RS12-1233 蒸着装置 EBX-8C ULVAC ME58-5039 1984年製

【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用真空槽：□500×600H　公転治具蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-206M）膜厚計：CRTM-9000排気系：CRYO ＋ RP

RS13-2099 蒸着装置 EBX-8C ULVAC ME58-5058

【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用真空槽：□500×600H　公転平板　□150ｶﾞﾗｽ基板蒸発源：抵抗加熱式(ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3）排気系；CP＋RP

RS12-1428 蒸着装置 EBX-8C ULVAC MH59-0112

【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用真空槽：□500×600H　自公転治具（φ 100用）蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ(EGL-35M)排気系：CRYO＋RP　（ｶﾞｽ導入:O2)　

RS10-2175 蒸着装置 EBX-10C ULVAC SE58-1359-4

【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用真空槽：φ 600W×800H蒸発源:電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M）　電源：10kw（真空管）排気系：CRYO ＋ RP

RS10-2682 蒸着装置 EBX-10C ULVAC

【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用真空槽：φ 650W×800H蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ（EGK-3）　電源：5kW(Solid)排気系：CRYO ＋ RP

RS13-1003 蒸着装置 EBX-10C ULVAC ME90-1073

【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用真空槽：φ 650W×800H　自公転治具蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M）　電源：10kW(真空管)排気系：CRYO ＋ RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱

RS11-3014 蒸着装置 EBX-10D ULVAC SE59-1362-4 1885年製

【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用真空槽：φ 650W×800H　治具無し蒸発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3）排気系：DP ＋ RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱

RS12-1419 蒸着装置 EBX-10D ULVAC SE56-1351-3

【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用真空槽：φ 650W×800H　治具無し蒸発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3）排気系：DP ＋ RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱

RS11-2397 蒸着装置 EX-550-C10 ULVAC MH96-1051 1996年製

【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用真空槽：φ 650W×800H　自公転治具蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M） ×2式（Au、Sn成膜）排気系：CRYO＋RP


【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用真空槽：φ 650W×800H蒸発源：未搭載（選択自由）排気系：CRYO＋RP

RS11-1191 蒸着装置 EX-550-D10-B ULVAC MH90-1086

【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用真空槽：φ 650W×800H蒸発源：未搭載（選択自由）排気系：DP（LN2ﾄﾗｯﾌﾟ）＋RP

RS13-2203 蒸着装置 ei-5k ULVAC MA06-3266

【前扉式バッチ装置】　中量生産抵抗加熱蒸発源：３元治具：JPD-075C 排気系：LR90+UTM-3302FH 膜厚計：CRTM-9000

RS11-1194 蒸着装置 EBX-2000C ULVAC MH97-1045 1998/01

【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　中量生産蒸着室：750W×750D×900H　自公転治具（φ 100用)蒸発源；電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-406M）排気系；蒸着室 CRYO

RS13-3131-0A 蒸着装置 EBX-2000C ULVAC MH97-1044 1998年製【ﾊﾞｯﾁ式】抵抗加熱式蒸発源

RS09-2143 蒸着装置 EX-650-C16 ULVAC MH97-5033

【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　中量生産真空槽：φ 750W×900H　自公転治具蒸発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ 10連回転駆動）排気系：CRYO ＋ RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱


【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　中量生産真空槽：φ 750W×900H　自公転治具蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-406M）排気系：CRYO ＋ RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱

RS05-2068 蒸着装置 ED-60000-D14 ULVAC MH96-5015

【ﾄﾞﾗﾑ式】　量産向き　両面同時成膜真空槽：φ 1000×1000L　ﾄﾞﾗﾑ横回転治具蒸発源：抵抗加熱式（内面用 10連/外面用 14連）排気系：DP＋RP

RS11-3206 蒸着装置 SOLCIET ULVAC MF95-5002有機薄膜形成装置有機EL 研究・生産装置

RS12-1314 蒸着装置 MC-500 ｼﾝｸﾛﾝ 960021 1996年製【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　研究用φ 4ｲﾝﾁ公転ﾄﾞｰﾑ　JEOL電子銃（TI・Au・Pt・Ta・Cu)

RS11-2022 蒸着装置 SEC-06D 昭和真空調査中【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　研究用蒸発源：抵抗2元+EGK-3M（X-Y偏向ｺｲﾙあり）排気系：DP＋RF

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☆ RS13-1038-0A 蒸着装置 EBS-10A特型 ULVAC XJ99-70010A 1999年製

【ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ式　ﾊﾞｯﾁ装置】排気系：U-12HSP(C30MT予防保全済）+PMB-003C+D-950DK　加熱源：赤外線ﾗﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ　ｽﾃｰｼﾞ回転：0～10ｒｐｍ蒸発源：抵抗蒸発源（Wﾌｨﾗﾒﾝﾄｘ4連ｘ6点切替方式）仕様書・取説・図面あり。

☆ RS13-3129-0A 蒸着装置 SEC-16C 昭和真空 99-4030

☆ RS13-3131-0A 蒸着装置 EBX-2000C ULVAC MH97-1044 1998年製【ﾊﾞｯﾁ式】

RS13-2205 蒸着装置（ﾊﾞｯﾁ式） EBS-10A ULVAC ME54-0003

【ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ式　ﾊﾞｯﾁ装置】2006年ﾘﾆｭｰｱﾙ操作系：ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ　真空動作：AUTO/MANUAL　成膜半自動蒸着材料：AL・In・Sn　公転ﾄﾞｰﾑ（JRA-050)　ﾜｰｸｻｲｽﾞ：50ｍｍｘ75ｍｍ　排気系：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ：Torr8/C30V　RP D-650　PMB-003C蒸発源：E/B　EGL-35M　HP1010SG　抵抗蒸発源：1元ﾎﾞﾝﾊﾞｰﾄﾞ電源付き　MFC Aｒ　100ｓｃｃｍ膜厚計CRTM-6000

RS13-2200 真空蒸着装置 SGC-22SA-RF 昭和真空 00-4561

【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　生産用φ 900ｘ1125H　SUS製　後方排気　水冷ﾊﾟｲﾌﾟ巻公転ﾄﾞｰﾑ蒸発源：EB蒸発源（JEOL)　JEBG-102UHO　15連ﾊｰｽ　電源JST-10F（10Kw) 排気系：RP(VS-2401)+PMB(PMB-006CM)+DP（SFD-22B・昭和）+ﾎﾟﾘｺﾞｰﾙﾄﾞ(PFC-550) その他：　RF誘導ﾊﾞｲｱｽ（３Kw)　京三 / 光学膜制御（SOCS-1α ）昭和/ CRTM-6000(ｼﾝｸﾞﾙｾﾝｻ） / ｼｰｽﾋ-ﾀｰ加熱

RS13-1035-0A 真空蒸着装置 SGC-22WA-RF 昭和真空 95-4293 1996年製

【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】※要整備 φ 900ｍｍ前扉式ﾁｬﾝﾊﾞｰ、DP:SFD-22、RP:VS-2401、MBP：PMB-006CM、蒸発源：JEBG-102UHO（ﾙﾂﾎﾞ15点）、　電源：JST-10F、RF印加機構付き（３Kw)、　光学ﾓﾆﾀｰSOCS-1α 、　膜厚計：CRTM-6000、 MFC：SEC-400MK3-Aｒ-100ｓｃｃｍ、　SEC-400MK3-O2-100ｓｃｃｍ

<蒸着装置部品>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS09-1309 EBｶﾞﾝ EGL-35 ULVAC

RS09-1576 EBｶﾞﾝ EGO-40M ULVAC

RS11-8162 EB蒸発源 EGK-3C ULVAC 183100264

RS11-8163 EB蒸発源 EGK-3C ULVAC 183100262

RS11-8164 EB蒸発源 EGL-35 ULVAC 177100197

RS11-2558 ｲｵﾝｿｰｽ LIS ULVAC 579883 ｲｵﾝｿｰｽ部　M/N:3151900-005A（ﾒｰｶｰ：AE)　程度良品ほぼ未使用

RS11-2559 ｲｵﾝｿｰｽ LIS ULVAC 579882 ｲｵﾝｿｰｽ部　M/N:3151900-005A（ﾒｰｶｰ：AE)　程度良品ほぼ未使用

RS11-8028 ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ CRTS-12NS ULVAC 134-134 Ver2.04 2005年製





RS11-1219 回転導入 TDU-08F ULVAC ｼﾘｱﾙ無し 1997年製良好。



RS10-8064 抵抗加熱蒸発源ﾕﾆｯﾄ ULVAC ｼﾘｱﾙ無し

RS11-2466 ｸﾞﾛｰﾌﾞﾎﾞｯｸｽ美和製作所 MF98-1018付属 1998年製

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<アッシング装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS12-2079 ｱｯｼﾝｸﾞ装置 UNA-2000 ULVAC XS06-4604 1992年製【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】電源：ﾏｲｸﾛ波　600～1000W　2450MHz±50MHz　　　高周波　200W　13.56MHz

RS11-2405 ｱｯｼﾝｸﾞ装置 UNA-2000N ULVAC RE93-1003【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】電源：ﾏｲｸﾛ波　600～1000W　2450MHz±50MHz　　　高周波　200W　13.56MHz

RS13-3123-0A ｱｯｼﾝｸﾞ装置 P-1000 GLEN TECHNOLOGIES 10271 2000年製仕様書・取説あり。

RS10-2204 ｱｯｼﾝｸﾞ装置 OPM2001CN 東京応化工業 C-9802050 1998年製【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】

RS10-2205 ｱｯｼﾝｸﾞ装置 OPM2001CN 東京応化工業 C-9401250 1994年製【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】

RS11-1026 ｱｯｼﾝｸﾞ装置 TCA3822 東京応化工業 T-9608455 1996年製【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】液晶画面が若干見にくいが、それ以外は問題なし。

<ＣＶＤ装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS13-2010-0A CVD装置 CME-200J ULVAC MA07-5012-0

【ＣｔｏＣ】　生産用　プラズマＣＶＤ156基板　《ｶﾞｽ》H2,　SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,　CO2, ｱﾓﾙﾌｧｽSi 《不足品》　防着板2室分、ｼｰﾙﾄﾞﾌﾞﾛｯｸ4ｘ2室分、ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ2枚、防着ﾏｽｸ4ｘ2室分

RS12-1145 CVD装置 CPD-1210 ULVAC -【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD基板：φ 200使用ｶﾞｽ：SiH4・・O2・N2

RS10-2769 CVD装置ＤＷＮＴ成膜装置 ULVAC MB03-7002 2003年製

【ﾊﾞｯﾁ式】　熱CVD　ｶｰﾎﾞﾝﾅﾉﾁｭｰﾌﾞ研究用加熱系：MAX1100℃排気系：RP　ｶﾞｽ：H2（10SLM）・Co（10SLM）基板：200mm×600mm

RS09-1003 CVD装置 PD-20N SAMCO

【ﾊﾞｯﾁ式】　ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD　研究用電極：平行平板電源：13.56MHｚ　150W　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ｼｰｹﾝｻｰ故障

RS11-1200 CVD装置 PD-240 SAMCO ｼﾘｱﾙ無し 1996年製【ﾊﾞｯﾁ式】　TEOS CVD　研究用電極：平行平板式電源：13.56MHｚ　300W

RS12-1318 CVD装置 PD-270STA ｻﾑｺ 2001年製【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　TEOS-CVD使用ｶﾞｽ：C2F6　Ar O2　N2

RS12-2004 CVD装置 HR-4421 太陽日酸 HN136-716 2002年製【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　拡散用 MO-CVD反応管：950×φ 257　ALNﾄﾚｲ（φ 160）加熱系：ｶｰﾎﾞﾝｻｾﾌﾟﾀ 400～1000℃　ｸﾞﾛｰﾌﾞﾎﾞｯｸｽ付

RS12-2005 CVD装置 SR-6420 太陽日酸 43006001-C 2006年製【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　Zn拡散用 MO-CVD反応炉：水冷箱型　φ 6in×1枚加熱系：抵抗加熱式　400～900℃

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<プラズマＣＶＤ装置部品　ＡＭＡＴ　Ｃｅｎｔｕｒａ>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS09-1267 15V　PWR　SUPPLY（CEN/END) REV.E AMAT

RS09-1041 200V　DEGAS　DRIVER 0010-20697 AMAT

RS09-1091 200V PVD DRIVER - AMAT

RS09-1067 4,5,6,”ROBOT - AMAT

RS09-1194 5相ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ - -

RS09-1213 5相ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ Wideｲﾝﾃﾞｸｻｰ -

RS09-1170 AI/Oボード ANALOG　INPUT/OUTPUT AMAT

RS09-1250 AI/Oボード - -

RS09-1251 AI/Oボード - -

RS09-1253 AI/Oボード - -

RS09-1257 AI/Oボード - -

RS09-1260 AI/Oボード - -

RS09-1151 ALｴｯﾁｬｰ P-5000 AMAT ※部品

RS09-1048 ANALOG　OUTPUT　BOARD - AMAT

RS09-1049 ANALOG　OUTPUT　BOARD - AMAT

RS09-1070 ASSY　RF　MATCH,ETCH - AMAT

RS09-1082 ASSY STORAGE ELEV WAFER CASSETTE HNDLR - AMAT

RS09-1095 ATP100 - AMAT

RS09-1066 BASE,DOUBLE　SEALING　RING　LAMP　MODULE - AMAT

RS09-1086 BASE,DOUBLE SEALING RING LAMP MODULE - AMAT

RS09-1556 Blaker,MC 一式　Gen-Rack, ﾒｸﾗ数,Gen-Psの台　ﾌﾞﾗｹｯﾄ - AMAT

RS09-1272 Bufferｶﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ - -

RS09-1196 Cable - -

RS09-1542 Cable Assy Source Water Manifold Ground　ｱｰｽ線 - AMAT

RS09-1543 Cable Assy Source Water Manifold Ground　ｱｰｽ線 - AMAT

RS09-1263 Centura ｲｵﾝﾍﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ - -



RS09-1223 Centura ﾌﾛﾝﾄﾊﾟﾈﾙ - -

RS09-1065 CHOPPER　DRIVER - AMAT

RS09-1286 Cntura Buffer Lid - -

RS09-1284 Cntura ｲﾝﾀｰｺﾈｸﾄ - -

RS09-1211 CRTﾓﾆﾀｰ - -

RS09-1212 CRTﾓﾆﾀｰ - -

RS09-1071 CVD　RF-MATCH - AMAT

RS09-1072 CVD　RF-MATCH - AMAT

RS09-1088 DC POWER SUPLY - AMAT

RS09-1164 DCPS DC24、DC12、DC15,DC5V電源 POWER STANDARD ELECTRONICS INC

RS09-1165 DCPS DC24、DC12、DC15,DC5V電源 POWER STANDARD ELECTRONICS INC

RS09-1224 DI/Oボード - -

RS09-1225 DI/Oボード - -

RS09-1227 DI/Oボード - -

RS09-1228 DI/Oボード - -

RS09-1229 DI/Oボード - -

RS09-1230 DI/Oボード - -

RS09-1231 DI/Oボード - -

RS09-1252 DI/Oボード - -

RS09-1254 DI/Oボード - -

RS09-1258 DI/Oボード - -

RS09-1261 DI/Oボード - -

RS09-1171 DI/Oボード DIGITAL　I/O　BOARD AMAT




RS09-1473 DIO K-380-02 ULVAC

RS09-1166 DRVER　BOX CH1,CH2のみDRVERあり -

RS09-1220 Dry　Pump A30W -

RS09-1044 Dura　Ｓｏｕｒｃｅ　13”　Ａｌ 0010-20328 AMAT

RS09-1043 Dura　Ｓｏｕｒｃｅ　13”JMW-1 0010-21206 AMAT

RS09-1135 FAN - AMAT

RS09-1106 FAN　PAC D299-857 AMAT

RS09-1075 HEATSINK,MODIFIED,THROTTLEDRIVE - AMAT

RS09-1167 IG　CONT 344VACUUM　GAUGE　CONTROLLER GRANVILLE　PHILLIPS

RS09-1168 IG　CONT 344VACUUM　GAUGE　CONTROLLER GRANVILLE　PHILLIPS

RS09-1178 INTERFACEボード CHAMBER INTERFACE BD AMAT

RS09-1177 INTERLOCKボード INTERLOCK　SELECT　BD AMAT

RS09-1179 INTERLOCKボード MAINFRAME　INTERLOCK AMAT

RS09-1185 INTERLOCKボード LOADLOCK　INTERLOCKS AMAT

RS09-1175 ISOLボード ISOLATION　AMPLIFTER BD AMAT

RS09-1181 ISOLボード ISOLATION　AMPLIFTER BD AMAT

RS09-1127 LAMBDA　LIS　7I-15 - AMAT

RS09-1062 LAMBDA　LIS-3I-12 - AMAT

RS09-1063 LAMBDA　LIS-7Ｉ-15 - AMAT



RS09-1279 LLC A,B Wide -

RS09-1222 LLｶﾊﾞｰ - -

RS09-1214 LLﾄﾞｱｶﾊﾞｰ - -

RS09-1186 LL室ｽﾃｰｼﾞ - AMAT ※2式

RS09-1187 LL室ｽﾃｰｼﾞ - AMAT ※2式

RS09-1209 MDX-12I-650 - -

RS09-1269 MDX-6L - -

RS09-1036 MDX-L12M MDX-L12M ADVANCED　ENERGY

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RS09-1037 MDX-L12M MDX-L12M ADVANCED　ENERGY

RS09-1270 MDX-L18M - -

RS09-1169 MODULE MFG 15V　PWR　SUPPLY（CEN/END) AMAT

RS09-1218 O/D Body - -

RS09-1275 O/D Body - -

RS09-1276 O/D Body - -

RS09-1219 O/D Lid - -

RS09-1273 O/D Lid - -

RS09-1274 O/D Lid - -

RS09-1039 PC1　MATCH　ASSY 0010-20441 AMAT

RS09-1050 PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O - AMAT





RS09-1079 PCB　ASSEMBLY　ENCODER　INTERFACE - AMAT

RS09-1059 PCB　ASSEMBLY　T,C,GAUGE　MONITOR - AMAT

RS09-1060 PCB　ASSEMBLY　T,C,GAUGE　MONITOR - AMAT

RS09-1061 PCB　ASSY　AI　MUX - AMAT

RS09-1078 PCB　ASSY　SBC　I/O　BREAKOUT - AMAT

RS09-1055 PCB　ASSY,ANALOG　INPUT - AMAT

RS09-1217 PC-I - -

RS09-1268 POWER STANDARD ELECTRONICS INC DC24、DC12、DC15,DC5V電源 -

RS09-1105 PRCOIｼﾞｪﾈﾚｰﾀｰ 1783 AMAT

RS09-1188 PVD Lid STD Lid -

RS09-1030 PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（centura） 0010-20764 AMAT

RS09-1031 PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（centura） 0010-20764 AMAT

RS09-1032 PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（ｾﾝﾁｭﾗ） 0010-20764 AMAT




RS09-1090 REDUCER BOX - AMAT

RS09-1176 RELAYボード RELAY　CONTROL　BD AMAT

RS09-1102 RF MATCH PHASE IV 26295-01A AMAT

RS09-1103 RF MATCH PHASE IV E01-027-03A AMAT

RS09-1040 RF　POWER　SOURCE CPS-1001/13 AMAT

RS09-1259 SBC - -

RS09-1101 SBC　BOARD 602599 AMAT

RS09-1256 SEI - -

RS09-1068 Slit　Valve　Assy - AMAT

RS09-1069 Slit　Ｖａｌｖｅ　Assy - AMAT

RS09-1025 SOLD　STATE　POWER　GENERATOR OEM-12A-21041-51 ENI



RS09-1288 STD Bode - -

RS09-1203 STD Body - -

RS09-1280 STD Lid - -

RS09-1281 STD ﾋﾝｼﾞ - -

RS09-1073 SUSCEPTOR　LIFT - AMAT

RS09-1077 SUSCEPTOR　LIFT - AMAT

RS09-1241 TC GAUGEボード TC GAUGE BD -

RS09-1326 THROTTLE VALVE ASSY, ETCH 0010-09019 AMAT

RS09-1046 VME　STEPPER　CONTROLLERⅠ - AMAT




RS09-1074 WAFER　LIFT - AMAT

RS09-1076 WAFER　LIFT - AMAT

RS09-1083 wASSY LAMP DRIVER,TESTED REP0190-09009 - AMAT

RS09-1084 wASSY LAMP DRIVER,TESTED REP0190-09009 - AMAT

RS09-1085 WMAGNET DRIVE ASSY - AMAT

RS09-1232 ｱｲｿﾚｰｼｮﾝｱﾝﾌﾟ ISOLATION　AMPLIFTER BD -

RS09-1206 ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ wide -

RS09-1233 ｲﾝﾀｰﾛｯｸｾﾚｸﾄBD INTERLOCK　SELECT　BD -

RS09-1202 ｴｱｵﾍﾟ - ﾌｼﾞｷﾝ

RS09-1192 ｵﾘｴﾝﾄﾃﾞｶﾞｽ O/D -

RS09-1193 ｵﾘｴﾝﾄﾃﾞｶﾞｽ O/D -

RS09-1195 ｶｾｯﾄ - -

RS09-1210 ｶｾｯﾄ - -

RS09-1204 ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ - VAT

RS09-1278 ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ - -

RS09-1283 ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ - -

RS09-1255 ｺﾝﾀｰｸﾀｲﾝﾀｰﾛｯｸ - -

RS09-1242 ｼｽﾃﾑﾘｾｯﾄ/ｲﾝﾀｰﾛｯｸｾﾚｸﾄ SYS　RESET/INTLK　SEL　BD -

RS09-1246 ｼﾘｱﾙｱｲｿﾚｰｼｮﾝ - -

RS09-1226 ｽﾃｯﾊﾟｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰﾎﾞｰﾄﾞ - -

RS09-1200 ｽﾘｯﾄAssy - -



RS09-1236 ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ CHAMBER INTERFACE BD -




RS09-1080 ﾃﾞｨｽｸﾄﾞﾗｲﾌﾞとﾎﾞｰﾄﾞ - AMAT

RS09-1093 ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ - AMAT

RS09-1482 ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ UDK514VN ULVAC

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RS09-1485 ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ UDK514VN ULVAC

RS09-1094 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ - AMAT

RS09-1081 ﾊﾟﾜｰｻﾌﾟﾗｲ - AMAT

RS09-1098 ﾋｰﾀｰ 0040-06421 AMAT

RS09-1099 ﾋｰﾀｰ 0040-06421 AMAT

RS09-1100 ﾋｰﾀｰ 0040-06421 AMAT

RS09-1197 ﾌﾞﾚｰｶｰ - -



RS09-1089 ﾌﾟﾛｾｽｷｯﾄ（CVD） - AMAT

RS09-1109 ﾎﾞｰﾄﾞ - AMAT

























RS09-1141 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ- - AMAT

RS09-1137 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ - AMAT









RS09-1096 ﾓﾆﾀｰ - AMAT

RS09-1092 ﾓﾆﾀｰﾍﾞｰｽ - AMAT

RS09-1221 ﾓﾆﾀｰ制御BOX（2個口） - -

RS09-1247 ﾘﾓｰﾄｻﾌﾟﾗｲﾁﾞｽﾄﾘﾋﾞｭｰｼｮﾝ - -



RS09-1234 ﾘﾚｰｺﾝﾄﾛｰﾙ　BD RELAY　CONTROL　BD -

RS09-1235 ﾘﾚｰｺﾝﾄﾛｰﾙ　BD RELAY　CONTROL　BD -

RS09-1238 ﾛｰﾄﾞﾛｯｸｲﾝﾀｰﾛｯｸ LOADLOCK　INTERLOCKS -

RS09-1087 ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ用ﾌｧﾝ - AMAT

RS09-1108 ﾛﾎﾞｯﾄ - AMAT

RS09-1201 信号Cable - -

RS09-1104 電源 0010-20000 AMAT

29



<プラズマＣＶＤ装置部品　ＡＭＡＴ　Ｐ－5000>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS09-1315 3103,THERMOCOUPLE,DXZ 0190-35413 AMAT

RS09-1316 3103,THERMOCOUPLE,DXZ 0190-35413 AMAT

RS09-1317 3連ﾌｧﾝ FSCM-03522 AMAT

RS09-1374 ASSEMBLY BEARING 0010-30583 AMAT

RS09-1329 ASSEMBLY, HEATER, 6", DXZ 0010-05256 AMAT

RS09-1356 ASSY CABLE, SYSTEM ELECTRONICS AC PWRCHO 0150-75202 AMAT

RS09-1312 ASSY RF MATCH BW ETCHBACK 0010-09490 AMAT

RS09-1348 BASE,RF 0020-34131 AMAT

RS09-1349 BRG LEADSCR&NUT ASSY .5DX.1LEADX4TRVLX 3690-03269 AMAT

RS09-1324 CABLE ASSY ENCODER FLAT FLEX 34 POS 0150-70018 AMAT

RS09-1351 CAP, BEARING, DXZ 0020-34726 AMAT

RS09-1352 CLAMP, ACME LEAD SCREW 0020-34727 AMAT

RS09-1330 CNTNR DEIONIZER TANK SST W/RESIN PACKAGE 3250-01007 AMAT

RS09-1331 CNTNR DEIONIZER TANK SST W/RESIN PACKAGE 3250-01007 AMAT

RS09-1376 COAXIAL RESISTOR 8860 TERMALINE

RS09-1386 ELECTROSTATIC CHUCK COVER AMAT部品 AMAT

RS09-1388 FACEPLATE, TEOS, DXZ DCVD 0021-00042 -

RS09-1344 FAN, MUFFIN 4"115CGFM 0600-01011 AMAT

RS09-1345 FAN, MUFFIN 4"115CGFM 0600-01011 AMAT

RS09-1346 GATE 5000 ZA SLITVALV 0190-09533 AMAT




RS09-1389 GAUGE SNSR PRESS TC 1/4" VCR FEM 3310-01074 VARIAN

RS09-1328 HARNESS ASSY,MOLDED POWER CORD 0140-09551 AMAT

RS09-1314 KIT, 6" MAINTENANCE ESC 0240-32135 AMAT

RS09-1357 MOTOR BRAKE ENCODER ASSY, CASS 0090-02980 AMAT

RS09-1358 MOTOR BRAKE ENCODER ASSY, CASS 0090-02980 AMAT

RS09-1321 PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP 0100-00084 AMAT



RS09-1381 PLATE, COVER, 6" HEATER, ALUMINUM NITRID 0200-36629 AMAT

RS09-1382 PLATE, GAS DISTRIBUTION HEWEB, 150MM 0020-30570 AMAT



RS09-1323 PROM KIT ASSY 0300-09055 AMAT

RS09-1369 SERIAL SIDE BOAD ASSY 0100-00165 AMAT

RS09-1327 THROTTLE VALVE ASSY, ETCH 0010-09019 AMAT

RS09-1320 VACUUM VALVE BENKAN AMAT

RS09-1365 VALVE PNEU 1.50 OD PORT KALREZ 3870-01455 NC

RS09-1366 VALVE PNEU 1.50 OD PORT KALREZ 3870-01455 NC

RS09-1360 VALVE PNEU BLWS 2 WAY MINI NC-1 3870-01245 ｽｴｼﾞﾛｯｸ

RS09-1371 VGA VIDEO CONTROLLER BOAD 0100-00793 AMAT

RS09-1350 WINDOW, SIDE, UV COATED, SAPPHIRE, DXZ 0200-09969 AMAT

RS09-1336 ｲﾝｼﾞｪｸｼｮﾝﾊﾞﾙﾌﾞ IV-2410AV STEC

RS09-1337 ｲﾝｼﾞｪｸｼｮﾝﾊﾞﾙﾌﾞ IV-2410AV STEC

RS09-1361 ｴｱｵﾍﾟﾊﾞﾙﾌﾞ FPR-UDDF-71-9.25-NL-UP ﾌｼﾞｷﾝ

RS09-1375 ｵｰﾌﾞﾝﾕﾆｯﾄ IFGG7005M-C 大日本ｽｸﾘｰﾝ

RS09-1387 ｶﾊﾞｰﾘﾝｸﾞ（絶縁ﾘﾝｸﾞ？） AMAT部品 AMAT

RS09-1377 ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ 00410117E326119423 AMAT




RS09-1359 ｽﾛｯﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 0190-09663 AMAT

RS09-1385 ﾄｯﾌﾟﾌﾟﾚｰﾄ AMAT部品 AMAT

RS09-1367 ﾌﾛﾒｰﾀｰ FM-PX25W-111-B3-SW-TI 東京ﾌﾛｺｰﾎﾟﾚｰｼｮﾝ

RS09-1368 ﾌﾛﾒｰﾀｰ FM-PX25W-111-B3-SW-TI 東京ﾌﾛｺｰﾎﾟﾚｰｼｮﾝ

RS09-1313 ﾎｯﾄﾊﾞﾙﾌﾞﾋｰﾀｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰﾍﾞｰｶﾝﾕｰﾃｨﾐｰ AMAT

RS09-1334 ﾎﾟﾝﾌﾟﾓｼﾞｭｰﾙ DBM-P21（DBM-K4PC) AISIN

RS09-1335 ﾎﾟﾝﾌﾟﾓｼﾞｭｰﾙ DBM-P21（DBM-K4PC) AISIN

RS09-1338 ﾏｽﾌﾛ 1159B-00020RU-S MKS

RS09-1339 ﾏｽﾌﾛ SEC-4400M STEC





RS13-2002 ﾏｽﾌﾛｰ SEC-400MK3 STEC - Ar　50SCCM、ｹｰﾌﾞﾙ付

RS13-2003 ﾏｽﾌﾛｰ電源 PAC-3E STEC 3系統ﾀｲﾌﾟ

RS09-1332 ﾏﾙﾁﾌｧﾝｸｼｮﾝ　ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ 3155077-003A AE

RS09-1333 ﾏﾙﾁﾌｧﾝｸｼｮﾝ　ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ 3155094-003A AE

RS09-1362 手動ﾊﾞﾙﾌﾞ SS-BNVS1-AB NUPRO

RS09-1363 電磁弁 AB31-2N-2-04A OKD

RS09-1364 電磁弁 AB31-2N-2-04A OKD

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<ドライエッチング装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS12-1304 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 CE-300I ULVAC MA03-1008 2004年製

【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　ICP方式電源：Antenna 1kW 13.56MHｚ排気系：TMP・DRP・APC基板：φ 150mm　（ESCﾎｰﾙﾄﾞ）使用ｶﾞｽ：CF４/C3F8/SF6/He/Ar/O2

RS12-2047 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 CSE-1000 ULVAC RE92-1023

【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式電源：500W 13.56MHｚ排気系：ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ＋油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ基板：φ 200mm　（平置き）

RS10-2784 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 CSE-1110 ULVAC MH58-0012 1983年製

【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式電源：500W 13.56MHｚ排気系：ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ＋油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ基板：φ 200mm　（平置き）

RS11-2399 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 CSE-1210 ULVAC

【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式電源：500W 13.56MHｚ排気系：DP＋PMB＋RP基板：φ 200mm　（平置き）　ｶﾞｽ系：4系統

RS13-2097 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 NE-5500 ULVAC MV02-5006-0

【CtoCﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　量産用　ISM方式電源：Antenna 1kW 13.56MHｚ／BIAS 300W 12.5MHｚ排気系：TMP・DRP・APC基板：φ 50mm　（ESCﾎｰﾙﾄﾞ）使用ｶﾞｽ：CF４/Cｌ２/SF6/He/Ar/O2

RS12-1208 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 NLD-500 ULVAC MV03-1022 2005年製

【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　NLD方式（Deep Etch）電源：Antenna 1kW ／Bias 500W　13.56MHｚ排気系：TMP・DRP・APC基板：φ 150mm　（ﾒｶﾁｬｯｸ）使用ｶﾞｽ：C4F6/CH2F2/O2

RS12-1312 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 NLD-6000 ULVAC MV99-1003

【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　NLD方式（Deep Etch）電源：Antenna 2kW ／Bias 1kW　13.56MHｚ排気系：TMP・DRP・APC基板：φ 100mm　（ﾒｶﾁｬｯｸ）使用ｶﾞｽ：C4F6/CH2F2/O

RS09-2186 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 NLD-800 ULVAC MV97-1003

【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　NLD方式（Deep Etch）電源：Antenna 2kW ／Bias 1kW　13.56MHｚ排気系：TMP・DRP・APC基板：φ 150mm　（ﾒｶﾁｬｯｸ）使用ｶﾞｽ：C4F6/CH2F2/O2

RS10-2789 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 DEM-451 ANELVA EVP-16956 1987年製【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式基板：φ 150mm　平置き

RS11-2028 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 L-210H-WS ANELVA EVP-35058 2000年製【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　RIE方式使用ｶﾞｽ：O2　CF4：Ａｒ　CHF3　C4F8　SF8排気系：R/P×2台　TMP×1台

RS12-2072 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 RIE-10N SAMCO E9302147 1993年製【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式電源故障・要修理

RS12-1311 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 DES-320E YAC【枚葉式】　生産向け　RIE方式基板：φ 4ﾄﾚｲ搬送　ﾁｬﾝﾊﾞｰ2室

RS12-1386 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 VPE-4F ｻﾑｺ 28A2081 2006年製【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　卓上簡易式　XeF2用犠牲層ｴｯﾁﾝｸﾞ（非ﾌﾟﾗｽﾞﾏ雰囲気）

RS10-2182 ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 CDE-80N 芝浦ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ WFX0013【枚葉式】　生産向け　ｹﾐｶﾙｴｯﾁﾝｸﾞ方式電源：ﾏｲｸﾛ波 2. 45GHz　1 kW基板：φ 200mm　（裏面ｴｯﾁﾝｸﾞ）

☆ RS13-3128-0A ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置 DEA-506 ANELVA EVP-26588

RS12-1029 ﾎｯﾄﾌﾟﾚｰﾄ - ULVAC 2004ＡＡ003634-101 2001年製 NE-5500付属　2ｲﾝﾁ用ﾎｯﾄﾌﾟﾚｰﾄ

RS12-1030 蛍光温度計 FT1410GA Takaoka ＴＡ01140075 2001年製 NE-5500付属品。ｹｰﾌﾞﾙ無し。測定部分無し。

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<イオン注入装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS07-2983 ｲｵﾝ注入装置 IMX-3500 ULVAC MI98-0001 中電流ｲｵﾝ注入装置 (MAX Energy 200KeV)基板：4in 1枚仕込（ｻｲｽﾞ変更可能）

<イオン注入装置部品>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS04-8081 ACCEL/DECEL　P/S MDL-2/10 52609 ｲｵﾝｿｰｽ部

RS04-8084 ARC/FIL　P/S Ｖｅｒ.5　TAP80V/変圧器150V用 110838 ｲｵﾝｿｰｽ部

RS04-8092 CPU　BOX 60055 ﾌﾞﾗｳﾝ管ﾓﾆﾀｰ

RS04-8021 ＨＶ　P/S PS/UL180P5X1222 GLASSMAN/高砂高圧電源（180ｋV）

RS04-8087 ＨＶ P/S PS/UL180P5X1222 GLASSMAN/高砂 880258 高圧電源（180ｋV）

RS04-8022 HV　P/S（DEC　P/S） PS/ER30N10.0-10(-30KV/10mA） M669040-01C　V　930630 ﾃﾞｨｾﾙ電源

RS04-8088 ＨＶ P/S(DEC　P/S） PS/ER30N10.0-10(-30kV/10mA） GLASSMAN/高砂 S/N:99993103 ﾃﾞｨｾﾙ電源

RS04-8023 HV　P/S(EXT　P/S) PS/UL-3517G1254(-35kv/17mＡ) GLASSMAN/高砂 M674070-01DW930922 引出電源（30ｋV）

RS04-8089 HV　P/S(EXT　P/S) PS/UL-3517G1254(-35kV/17mA） GLASSMAN/高砂 S/N:2900392 引出電源（30ｋV）

RS04-8025 Q-LENS　P/S PS/UL-15-2G1255 GLASSMAN/高砂 Qﾚﾝｽﾞ電源（15kV）

RS04-8091 Q-LENS　P/S PS/UL-15-2G1255 GLASSMAN/高砂 S/N:2930099 Qﾚﾝｽﾞ電源（15kV）

RS04-8026 ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ CPU　BOX 演算制御部

RS04-8027 ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ DOSE　DISPLEY 演算制御部

RS04-8093 ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ DOSE　DISPLEY 60055 演算制御部

RS04-8034 ｺｯｸﾛﾌﾄ - 高圧電圧昇圧

RS04-8071 ｻﾌﾞﾚｯｼｮﾝﾊﾞｲｱｽ電源 ULVAC IDZ-8000用　動作い確認

<その他真空装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS10-2602 誘導加熱式真空高温炉 FHT-75S ULVAC MF99-1131【ﾊﾞｯﾁ式】　実験用金属焼結等　（MAX1800℃･･･ｶﾀﾛｸﾞ値）排気系：RP＋PMB

RS11-3222 凍結乾燥装置 DF-05H ULVAC ZF93-5301 1994年製棚面積：０．４９ｍ2、予備凍結温度：－３５～－４０℃、乾燥時加熱温度：常温～８０℃（打点記録計は故障中）

RS13-2201-0A 凍結真空乾燥装置 DFM-09A-S ULVAC MF99-5104

【円筒形棚段式前面扉開閉式】棚面積：０．９m2棚冷却到達温度：約－４５℃以下棚温度調節可能範囲：＋６０℃～ー３０℃

RS12-2056 赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱装置 RTA-6000 ｱﾙﾊﾞｯｸ理工 2010年製

【C to C】　大気ﾛﾎﾞｯﾄ搬送　量産用加熱室：赤外線ｺﾞｰﾙﾄﾞｲﾒｰｼﾞ炉（2式）加熱温度　800℃（MAX 1000℃）　φ 100in基板用ｶﾞｽ系　O2　N2　ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ付属

RS12-1044 真空ｱﾆｰﾙ炉 TYPE　BH ｱﾕﾐ工業 VF01-16 2002年製【ﾊﾞｯﾁ式】　実験用排気系：CRYO PumP ＋ RP

RS13-1010 分子線ｴﾋﾟｷﾀｼｰ装置 - Eico - 2009年製【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　蒸発源ｾﾙｘ6式のMBE装置

<その他加熱装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS12-1316 1連式横型管状炉 A-T-H ﾉﾘﾀｹ φ 4ｲﾝﾁ　～1300℃

RS12-1315 3連式横型管状炉 A-T-H ﾉﾘﾀｹ φ 4ｲﾝﾁ　～1250℃

RS12-1338 ﾍﾞｰｸ炉各種ﾔﾏﾄ □350mm内径　200℃　大気ｵｰﾌﾞﾝ・DG82(ﾔﾏﾄ)

RS12-1339 ﾍﾞｰｸ炉

RS12-1320 縦型ﾁｭｰﾌﾞ電気炉 VF-2000 KOYOｻｰﾓｼｽﾃﾑｵｰﾄﾛｰﾀﾞ　φ ４X36枚　～1200℃

RS12-1373 電気炉

<ＵＶ装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS12-1379 UV照射装置 UV-1F ｻﾑｺ 24A1643 2003年製

<ディスペンサー装置>


RS11-2027 ﾃﾞｨｽﾍﾟﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ MS-1 武蔵ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ 1M010002412 2010年製 15時間程度使用後、保管状態。

<アライナー>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS12-2087 ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ MPA-600Super CANON UM031046 2004年製

RS10-2788 ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ PLA-501 CANON 91092827 1991年製

RS11-1245 TFE電子ﾋﾞｰﾑ描画装置 ELS7500EX ｴﾘｵﾆｸｽ H35-019

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<その他装置>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

☆ RS11-2213 コータ－･デベロッパＭａｒｋ-Ⅴｚ　 TEL 616540

RS12-1376 CMP SPP600S 岡本工作機械 7039 1999年製

RS09-1021 SOGｺｰﾀｰ TMR6100 東京応化

RS12-1392 ｳｪﾊ洗浄装置 EVG301 EVGｼﾞｬﾊﾟﾝ S050012 2005

☆ RS13-3130-0A ごみ検査装置 WM-1700 TOPCON 207013

RS12-1310 ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔ

RS12-2065 ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔｰ ST-270 ｾﾐﾂｰﾙ U/A ※6ｲﾝﾁ仕様

RS09-1394 ｽﾌﾟﾚｰ洗浄機 SST-F-221-280KF SEMI-TOOL F123982 1998年製

RS12-1378 超臨界乾燥装置 SCRD4 ﾚｸﾞｻﾞﾑ 3.011 2008年製

RS12-1317 ﾃﾞｨｯﾌﾟ式自動洗浄装置 ETN-1100-110 ETS H9903-0437 2槽式(ﾌｯ素・水）

RS12-1368 ﾃﾞｼｹｰﾀｰ

RS12-1389 凍結割断ﾚﾌﾟﾘｶ作製装置 JFD-310 日本電子ﾃﾞｰﾀﾑ JK121026-129 2002年製生物試料や軟試料、溶液試料を電子顕微鏡観察するための試料作製装置

RS13-3121-0A ﾎﾞﾝﾄﾞｱﾗｲﾅｰ装置 EVG620 EVG S020115 2003年製装置停止時期：2013/12/初旬仕様書・取説あり。

RS13-3019 ﾚｼﾞｽﾄｺｰﾀｰｽﾞｰｽﾏｲｸﾛﾃｯｸ - 取説あり。

RS12-1375 ﾚｼﾞｽﾄ保管用冷蔵庫 U/N SANYO

RS12-1385 卓上型現象装置ﾐｶｻ 2006年製

RS11-1036 両面ｽｸﾗﾊﾞｰ SS-W60A-AR 大日本ｽｸﾘｰﾝ 55700-6949 装置検品済みで状態問題なし。

<顕微鏡>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS09-1400 MM07ﾛｰﾀﾞ WL-300-Mac/Mic-AT 伊藤忠ＭＭ０７　顕微鏡用

RS12-1413 ｵｰﾄﾌｧｲﾝｺｰﾀｰ JFC-1600 日本電子 SM78250082 非導電性試料へ金属ｺｰﾃｨﾝｸﾞをするｲｵﾝｽﾊﾟｯﾀ装置

RS12-1414 ｸﾛｽｾｸｼｮﾝﾎﾟﾘｼｬｰ SM-09010 日本電子 SM39050050ｲｵﾝﾋﾞｰﾑと遮蔽板を用いて試料の断面を加工する断面試料作製装置

RS12-1412 電界放出形走査電子顕微鏡 JSM-7500FA 日本電子 SM17500037程度良好・動作確認済み。　取説あり。付属品：透過電子検出器（74240RTED)・冷却水循環装置（78130CWC)・ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟ電源（UPS7.5KVA)・ﾊﾞｯｸｱﾌﾟ電源（UPS1.2KVA)

RS12-1323 ﾓﾆﾀｰ付顕微鏡 L-200N NIKON 421174 2011年製 ECLIPSE

RS13-3125-0A 簡易測定顕微鏡ﾒｼﾞｬｰNAVI 中央精機 GDA0110 2001年製取説あり。通電確認済み。

RS13-3126-0A 簡易測定顕微鏡ﾒｼﾞｬｰNAVI 中央精機 GDA0112 2001年製取説あり。通電確認済み。

RS12-1341 顕微鏡 AVT-45NC 明立精機汎用顕微鏡

RS11-2380 顕微鏡 BH2MJLA-10+AL-1MBL ｵﾘﾝﾊﾟｽｼﾘｱﾙ無し



RS09-1406 顕微鏡 ERGOLUX ﾗｲｶ

RS12-1345 顕微鏡 MM-22 NIKON 10031 汎用顕微鏡

RS12-1347 顕微鏡 OPTIPHOTO-150SNIKON 9102843 汎用顕微鏡

RS12-1322 顕微鏡 S-3000H HITACHI 電子顕微鏡（ＳＥＭ）

RS09-1401 顕微鏡 WL-300-Mac/Mic-AT 伊藤忠 MM07

<その他計測器>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

☆ RS13-1040-0A 飛行時間型二次ｲｵﾝ質量分析装置 TOF-SIMS TFS-2100（ﾊﾞｯﾁ式）ｱﾙﾊﾞｯｸﾌｧｲ - 1997年製2014/1/末まで通電・使用。欠品・不具合なし。

RS12-1374 FTIR IRP　restige-21 島津製作所 2004年製フーリエ変換型赤外分光光度計別途PCあり

RS12-1404 FT-IR Nicolet4700 Thermo AFZ0400155 フーリエ変換型赤外分光光度計

RS10-2179 psﾒｰﾀｰ VR-120 国際電気 52061-003 付属品：電源ケーブルのみ通電確認したところ異常なし

RS12-2022 X線解析装置 X　ｐｅｒｔ　MRD Panalytical DY2576 2001年製状態良好。

RS04-8096-0A ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ SS-7602(20Mｈｚ） IWATSU 52277869

RS04-8097-0A ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ SS-7602（20Mhz) IWATSU 52277872

RS12-1387 ﾅﾉｲﾝﾌﾟﾘﾝﾄ装置 NM-0402 明昌機工

RS12-1384 ﾅﾉ断面形状観察装置（FIB) SMI3050 SII 11.100.367.000.007 2006年製

RS12-1369 ﾌﾟﾘｽﾞﾑｶﾌﾟﾗﾌﾟﾘｽﾞﾑとﾚｰｻﾞｰで試料の屈折率や損失を測定

RS09-1398 気中ﾊﾟｰﾃｨｸﾙｶｳﾝﾀｰ TS3700 日立計測ｻｰﾋﾞｽ 897834

RS09-1399 気中ﾊﾟｰﾃｨｸﾙｶｳﾝﾀｰ TS3700 日立計測ｻｰﾋﾞｽ 907939

RS12-2067 全自動4探針装置 WS-8800 ﾅﾌﾟｿﾝ U/A 2012年製購入後未開封で未使用の装置

RS12-1408 熱分析装置 TG8120 ﾘｶﾞｸ ZT006809

RS12-1411 非接触三次元測定装置 NAFS3070P 日本技術ｾﾝﾀｰ 17591007 2007年製

RS12-1410 微小領域観察ｼｭﾘｰﾚﾝ装置 - 溝尻工学ｼﾘｱﾙ無し

RS12-2062 魔境検査装置 MSI-110 ｺﾍﾞﾙｺ技研ﾚｵ M-002 2003年製魔境の原理を用いて、ｳｴｰﾊの鏡面加工された試料表面の目に見えない凹凸を濃淡画面で表示する。

RS13-3020 両面位置ｽﾞﾚ測定装置 DCM60 ﾕﾆｵﾝ光学 -

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<ガス制御>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS13-3013-0A ｶﾞｽ処理設備一式 - 日本ﾊﾟｲｵﾆｸｽ -

RS12-1361 ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ IUCHI （1200Wｘ650Dｘ1800H)

RS12-1362 ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ IUCHI （1200Wｘ650Dｘ180０H)

RS12-1363 ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ IUCHI （1200Wｘ650Dｘ1800）

RS12-1364 ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ IUCHI （1200Wｘ650Dｘ1800H)

RS12-1365 ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ IUCHI （1200Wｘ650Dｘ1800H）

RS12-1366 ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ（1200Wｘ650Dｘ1800H)

RS12-1033 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ FC-770AC Aere 2001年製ｹｰﾌﾞﾙ無し。電源無し（4式ｾｯﾄ)　Ar100sccm(S/N:26F0276)、CF450sccm(S/N:26F0358)、Sicl4　20sccm(S/N:26F0278)、O250sccm(S/N:26F0275)

RS09-1028 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ FC780C Aere

RS09-1029 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ FC780C Aere

RS09-1038 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ FC780C Aera

RS11-2177 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-4400M（MK3) STEC 291502488 2001年製 Ar 200sccm　VCR継手

RS11-1168 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-4400M STEC 3424592121 CH4 10sccm　VCR継手

RS11-2086 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-4400M（MK3) SMC 291502493 2001年製 O2 10sccm　VCR継手→Swagelok Venkan Valve付

RS11-2087 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-4400M（MK3) SMC 291502489 2001年製 Ar 500sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付

RS11-2092 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-4400M（MK3) STEC 3458018281 2007年製 Ar 500sccm　VCR継手→Swagelok Kits Valve付

RS11-2093 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-4400M（MK3) STEC 3422582475 2007年製 Ar 1000sccm　VCR継手→Swagelok Kits Valve付

RS11-2178 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-4400M（MK3) STEC 291502487 2001年製 Ar 200sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付

RS11-2179 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-4400M（MK3) STEC 291502492 2001年製 O2 5sccm　VCR継手→Swagelok Venkan Valve付

RS11-2182 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-4400M（MK3) STEC 291502490 2001年製 Ar 1000sccm　VCR継手→Swagelok Venkan Valve付

RS11-1166 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-E440J STEC 3430014434 Co 10sccm　VCR継手

RS11-1167 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-E440J STEC 3463572997 H2 10sccm　VCR継手

RS09-2672 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-F740MCA1 STEC 2451023 Ar　2SLM　VCR継手　Fujikin Valve付

RS11-2180-0A ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ SEC-4400M（MK3)STEC 291502486

RS11-2175 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ電源 PAC-3HS-01 STEC 4168320105 2001年製

RS11-2176 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ電源 PAC-3HS-01 STEC 4168320143 2001年製

RS11-2160 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ電源 PAC-3HS-01 STEC 4168320104

RS09-1304 ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ電源 PS-74DA ｱｴﾗ

RS11-2083 ﾚｷﾞｭﾚｰﾀｰﾕﾆｯﾄ W3000 CKD 1808

RS12-1370 除害装置



RS11-2118 電磁弁ﾕﾆｯﾄ SQｼﾘｰｽﾞ SMC ｼﾘｱﾙ無し

<搬送ロボット>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS09-2604 ｵｰﾄﾛｰﾀﾞｰ 31RU8141-002-001 RORZE

RS11-2496 真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄｱﾙﾌｧｰｽⅡ ULVAC 1994年製ULVAC製ｽﾊﾟｯﾀ装置 MLX-3000 搭載真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄﾄﾚｲ搬送用ﾋﾟｯｸｱｯﾌﾟﾊﾝﾄﾞ

RS09-2670 真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ KEYTRANⅢ ULVAC -ULVAC製ｽﾊﾟｯﾀ装置 ZX-1000 搭載真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄﾄﾚｲ搬送用ﾋﾟｯｸｱｯﾌﾟﾊﾝﾄﾞ

RS11-1254 真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ ULSTA-2400 ULVAC WD05-1001ULVAC製ｽﾊﾟｯﾀ装置 SMD-2400 搭載大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄﾃｽﾄ運転済

RS08-8028 真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ MAG６ｂｒｏｏｋｓ製造番号未確認

RS10-8028 真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ MＡＧ７ｂｒｏｏｋｓ 9911-10601 型003-1600-11

RS08-8038 真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ SPR-301-X501 ﾀﾞｲﾍﾝ X1501Y3994301ULVAC製ｽﾊﾟｯﾀ装置 SME-200 搭載真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄﾄﾚｲ搬送用ﾋﾟｯｸｱｯﾌﾟﾊﾝﾄﾞ

RS04-8076 大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄ UT0150 MECS 3軸

RS04-8077 大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄ UT0150 MECS 3軸

RS08-8027 大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄ UTMF5000 ASYST A06260950-1

RS08-8026 大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄ UTV-UTV-F2620W ASYST 502000000159

RS10-8031 ﾃｨｰﾁﾝｸﾞﾍﾟﾝﾀﾞﾝﾄＫＥＹＴＲＡＮ用 ULVAC R11862-717-01 JZMQZ-TB38A　KEYTRAN-4ZEX-172用

RS10-8029 ﾃｨｰﾁﾝｸﾞﾍﾟﾝﾀﾞﾝﾄ Mag7用ｂｒｏｏｋｓ HH135074 型式001-1984-07

RS10-8030 搬送ﾛﾎﾞｯﾄｱｰﾑ Mag7用ｂｒｏｏｋｓ 9911-10602 型式002-0015-50

RS10-2672 搬送ﾛﾎﾞｯﾄ SPR-801-X0980 ﾀﾞｲﾍﾝ X0538Y3742701B

<電気制御系>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS04-8056 ｷｰﾎﾞｰﾄﾞ PC9801Sの付属品

RS04-8014 ｼｰｹﾝｻｰ CYCMAC　C1000H ｵﾑﾛﾝ

RS04-8080 ｼｰｹﾝｻｰ CYCMAC　C1000H ｵﾑﾛﾝ

RS04-8012 ｼｰｹﾝｻｰＣＹＣＭＡＣ　C500-PS221 ｵﾑﾛﾝ

RS04-8013 ｼｰｹﾝｻｰ CYCMAC　C500-PS222 ｵﾑﾛﾝ

RS11-2117 ｼｰｹﾝｻｰ三菱Qｼﾘｰｽﾞ三菱 901090

RS11-8036 ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ GP2600-TC11 Pro-face 053930J007499

RS04-8053 ﾊﾟｿｺﾝ PC9801S NEC S369148CA

RS04-8054 ﾊﾟｿｺﾝ PC9801S NEC S369146CA

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<ユーティリティー設備>中古品番号品名型式メーカー製造番号製造年備考

RS12-1350 ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ明立精機

RS12-1351 ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ NIKON





RS11-3162 水冷ﾁﾗｰ RKS-400V-A ORION 2503011

RS08-2013 水冷ﾁﾗｰ CH-5500WS ﾀｲﾃｯｸ

RS10-2799 水冷ﾁﾗｰ CS1500NR ﾘｯｼｰ 9607002

RS10-2800 水冷ﾁﾗｰ CS1500NR-B ﾘｯｼｰ 9803021

RS10-2801 水冷ﾁﾗｰ MMR-101 ﾘｯｼｰ 0707467

RS10-2802 水冷ﾁﾗｰ MMR-101 ﾘｯｼｰ 0708575

RS10-2803 水冷ﾁﾗｰ MMR-101 ﾘｯｼｰ 0707466

RS12-1049 水冷ﾁﾗｰ SCS-3WAT ｽﾃｯﾌﾟｻｲｴﾝｽ 9904132 2004年製

RS13-2095 水冷ﾁﾗｰ RKE-5500A-VW ORION 601003 仕様書・取説・図面無し

RS13-2096 水冷ﾁﾗｰ RKE-5500A-VW ORION 602031 仕様書・取説・図面無し

RS12-1324 ﾁﾗｰﾕﾆｯﾄ各種ﾘｯｼｰ CS1000ｘ1台　CS6000ｘ1台

RS12-1048 超純水製造装置 PURIC-MXⅡ-LS ｵﾙｶﾞﾉ㈱ MLD2173321 2004年製

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rs11-3128 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ prc-012a ulvac a69a-01745 2004年製...

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