稽核實務及一致性研討會 - bsmi.gov.tw€¦ · 以外之可性粉塵...
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1
張 福 慶
安全衛生技術中心
03-5835885107 cfcsahtechorg
OHSAS 18001TOSHMS
稽核實務及一致性研討會
44
15
16 7
18 標示
部分容器未標示
部分儲槽未標示
標示未以中文為主 標示不全不清楚
未更新
其他（如發電機柴油桶未標示罐裝柴油未標示馬達用柴油貯桶未標示汽油採樣瓶未標示重油槽區未標示等）
「容器標示」違反事實之五種類型
2
「容器標示」違反案例(1)
部分容器未標示 部分儲槽未標示
「容器標示」違反案例(2)
標示未以中文為主 標示不全不清楚未更新
3
其他（如柴油桶未標示汽油採樣瓶未標示）
「容器標示」違反案例(3)
下列各圖有何問題
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管路顏色之標示
如何辨識合格鋼瓶
紅
藍
白
黃
紫
綠
水壓識別環六種顏色循環使用
鋼瓶水壓檢驗合格識別環位置圖
5
氣體鋼瓶之塗色
我國容器檢查基準就高壓氣體之種類及性質分別依下表之規定顏
色塗敷於該容器外面（以絕熱材被覆時為於該絕熱材料之外面）
之易見處所其大小應佔該容器表面積二分之一以上或寬度30公分
以上之色帶表示
高壓氣體種類
塗色
氧
黑色
氫
紅色
二氧化碳
綠色
氨
白色
氯
黃色
乙炔
褐色
其他種類之氣體
灰色
防毒面具之濾毒罐種類
吸收罐可能由濾材吸收劑催化劑或以上任意組合所構成
可濾除空氣中特定的氣狀污染物
6
下列各圖有何問題
大 綱
工廠電氣防爆之稽核實務探討
危險性工作場所製程安全評估之稽核
實務探討
TOSHMS驗證標準(CNS 15506)之稽核基
準草案
7
輕油裂解廠壓縮機控制盤氣爆事故現場狀況
工廠電氣防爆
之稽核實務探討
第177條
雇主對於作業場所有易燃液體之蒸氣可燃性氣體或爆燃性粉塵
以外之可燃性粉塵滯留而有爆炸火災之虞者應依危險特性
採取通風換氣除塵等措施外並依下列規定辦理
一指定專人對於前述蒸氣氣體之濃度於作業前測定之
二蒸氣或氣體之濃度達爆炸下限值之百分之三十以上時應即
刻使勞工退避至安全場所並停止使用煙火及其他為點火
源之虞之機具並應加強通風
三使用之電氣機械器具或設備應具有適合於其設置場所危
險區域劃分使用之防爆性能構造
前項第三款所稱電氣機械器具或設備係指包括電動機變壓
器連接裝置開關分電盤配電盤等電流流通之機械器具
或設備及非屬配線或移動電線之其他類似設備
勞工安全衛生設施規則
8
第177條之1
雇主對於有爆燃性粉塵存在而有爆炸火災之虞之場所
使用之電氣機械器具或設備應具有適合於其設置場
所危險區域劃分使用之防爆性能構造
第177條之2
雇主對於前二條所定應有防爆性能構造之電氣機械器具
設備於中央主管機關公告後新安裝或換裝者應使用
符合中央主管機關指定之國家標準國際標準或團體標準
規定之合格品
前項合格品指經中央主管機關認可公告之機構實施型式
認證合格並張貼認證合格標識者
勞工安全衛生設施規則
防爆電氣設備型式檢定
99年12月27日行政院勞工委員會勞安2字第
09901467020號公告
主旨公告新安裝或換裝之防爆燈具防爆電動機防爆開
關箱等防爆電氣設備應自中華民國一百零一年一月一日起
使用經本會認可公告之機構實施型式認證合格並張貼認證
合格標識之合格品
依據勞工安全衛生設施規則第一百七十七條之二
型式檢定機構100年1月1日至102年12月31日期間勞委會委託「財團法人工業技術研究院」
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職業安全衛生法
第7條
製造者輸入者供應者或雇主對於中央主管機關指
定之機械設備或器具其構造性能及防護非符合安
全標準者不得產製運出廠場輸入租賃供應或設
置hellip
第8條
製造者或輸入者對於中央主管機關公告列入型式驗證之
機械設備或器具非經中央主管機關認可之驗證機構
實施型式驗證合格及張貼合格標章不得產製運出廠場
或輸入hellip
第110條
用於氣體類之防爆電氣設備其性能構造試驗標
示及危險區域劃分等應符合國家標準 CNS 3376系列
國際標準IEC 60079系列或與其同等之標準規定
第111條
用於粉塵類之防爆電氣設備其性能構造試驗標
示及塵爆場所區域劃分等應符合國際標準 IEC 61241
系列或與其同等之標準規定
機械器具安全防護標準
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CNS 3376-0 爆炸性氣體環境用電機設備-一般要求
CNS 3376-1 爆炸性氣體環境用電機設備-耐壓防爆外殼ldquodrdquo
CNS 3376-2 爆炸性氣體環境用電機設備-正壓外殼ldquoprdquo
CNS 3376-5 爆炸性氣體環境用電機設備-填粉防爆構造ldquoqrdquo
CNS 3376-6 爆炸性氣體環境用電機設備-油浸構造ldquoordquo
CNS 3376-7 爆炸性氣體環境用電機設備-增加安全ldquoerdquo
CNS 3376-10 爆炸性氣體環境用電機設備-危險區域劃分
CNS 3376-11 爆炸性氣體環境用電機設備-本質安全ldquoirdquo
CNS 3376-15 爆炸性氣體環境用電機設備-保護型式ldquonrdquo
helliphelliphellip
CNS 3376-20 爆炸性氣體環境用電機設備-與使用電機設備有
關之可燃性氣體與蒸氣之資料
國家標準CNS 3376系列標準
危險區域等級劃分目的
分析並劃分可能產生爆炸性氣體環境並考量氣體
種類及溫度等級以幫助選用及安裝可使用於該環境
之電機設備
許多實際情況都會使用易燃性物質所以很難確保爆炸性
氣體環境絕不會發生也很難確保設備絕不會成為點火源
若產生爆炸性氣體環境的可能性降低時可使用較不嚴格
的標準去架設設備
修改設備或操作程序變更可能使原有區域等級劃分失效
必須確定設備在重新組裝時及組裝後是否破壞了原
始設計或影響到區域等級劃分
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危險區域等級劃分作業流程
易燃性物質性質確認
設備洩漏源確認
洩漏源等級確認
洩漏範圍確認
通風狀況考量
相鄰區域判定
完成區域劃分圖
危險區域等級劃分作業流程
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洩漏等級分類
連續洩漏等級
洩漏是連續性的或預期長時間發生者
主要洩漏等級
洩漏預期週期性發生或在正常時偶而會發生者
次要洩漏等級
洩漏不預期在正常時會發生如果發生亦不時
常發生且時間很短者
通風等級分類
高度通風 (VH)
可使由來源釋出的爆炸性氣體濃度馬上減少並可保持在
爆炸下限(LEL)以下
中度通風 (VM)
可控制氣體的集中使邊界區域形成濃度低於LEL並
且當洩漏停止後爆炸性氣體也不會殘留
低度通風 (VL)
當洩漏時並不能對釋出氣體濃度加以控制並且或
當洩漏停止後不能防止易燃性氣體的滯留
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通風設備的有效性
良好
室外自然通風下最小風速05ms會持續出現
通風設備實際上可穩定連續的運轉(具備份設計)
中等
通風設備在正常操作情況下運轉但允許短暫時
段不連續運轉(具連鎖功能如自動停止製程)
差
通風不如良好與中等的情況但是不能長時段發
生不連續運轉
危險區域等級判定參考例
Zone 0
Zone 2
Zone 1
Zone 0
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危險區域等級判定參考例
a從通氣口處周圍3 m
b從屋頂上部3 m
c從桶槽水平距離3 m
易燃性液體儲槽位於室外為固定式屋頂且內部無浮 動頂槽時
主要影響區域形式和範圍之因素
通 風 狀 況
通風形式 自然通風
通風等級 中度
通風有效性 良好
洩漏源 洩漏等級
液體表面 連續
通氣口和其它屋頂上之開口 主要
法蘭桶槽滿溢之防溢堤內部
次要
產品物質特性
閃火點 低於製程溫度和室溫
蒸汽密度 比空氣重
世界各國有關危險區域之分類比較
系統別 級別
日本 (JIS)
美國 (NEC)
歐洲 (IEC)
台灣 (CNS)
0 0種 Class I
Division 1
Zone 0 0區(Zone 0)
1 1種 Zone 1 1區(Zone 1)
2 2種 Class I
Division 2 Zone 2 2區(Zone 2)
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常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
1 泵浦
2 泵浦 (高密閉)
3 壓縮機
4 洩放口或取樣口
1m
15 m
1m
3 m
3 m5 m
1m
3 m
1m
3 m
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
5 管路接頭
6 通風口
7 溢出池
8 坑槽
或分離器
3 m5 m
1m
45 m
3 m
1m
75 m
3m
1 m
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
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型式 耐壓
防爆
增加安全防爆
本質安全防爆
正壓防爆
油浸防爆
填粉防爆
模鑄防爆
n
型
保護
特殊防爆
代號 d e i p o q m n s
適用區域場所
1
2
1
2
0
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
2
0
1
2
CNS
編號
3376
-1
3376
-7
3376
-11
3376
-2
3376
-6
3376
-5
3376
-18
3376
-15
一般工廠最常見的防爆電氣構造設備為
耐壓防爆增加安全本質安全正壓防爆
n型防護
防爆電氣構造及適用之防爆區域對照表
防爆電氣之標示
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日本
(JIS)
歐洲台灣
(IECCNS)
美國
(NEC)
1 IIA D
C
2 IIB B
3 3a 3b
3c 3n
IIC A
CNS 3376-20 與使用電機設備有關之可燃性氣體與蒸氣之資料
易燃
程
度
Zone 0 1 and 2
I (eg甲烷)
IIA (eg 丙烷)
IIB (eg乙烯)
IIC (eg 乙炔及氫氣)
氣體族群分類
氣體族群分類 定 義
I 最小引火能量為260J
IIA 最小引火能量為160J
MESG≧09mm
IIB 最小引火能量為80J
05mmltMESGlt09mm
IIC 最小引火能量為20J
MESG≦05mm
氣體族群分類
MESG最大安全實驗間隙（Maximum Experimental Safety Gap ）之間隙大小即不能引燃殼體爆炸性 氣體混合物的外殼接合面之間的最大間隙
MIE最小引火能量(Minimum Ignition Energy)使引火性液體之蒸氣可燃性氣體或可燃性粉塵著火需要最低著火能量通常係用電容器放出不同能量的火花來試驗能量以毫焦耳為單位
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發火
溫度
()
日本構造規格 美國(NEC) 歐洲(IEC)
台灣(CNS)
發火度
機器的溫度
上升限度()
機器的溫度上升值
()
溫度等級 表面最高溫度 溫度
等級
表面最高
溫度()
超過 450 G1 360 320 T1 450 T1 450以下
300~450 G2 240 200
T2 300
T2 300以下 T2A 280 T2C 230
T2B 260 T2D 215
200~300 G3 160 120 T3 200 T3B 165
T3 200以下 T3A 180 T3C 160
135~200 G4 110 70 T4 135 T4A 120 T4 135以下
100~135 G5 80 40 T5 100 T5 100以下
85~100 - - - T6 85 T6 85以下
溫度等級分類
國內型式檢定標章
Ex d IIC T6 (X 或 U)
防爆代號 防爆型式 氣體族群 溫度等級
合格編號XXXXXX
你選對了嗎
型式檢定合格網址
httpwwwmepeccditriorgtwexplotype01htm
X必須配合特殊狀況才能使用
如因電源部分無防爆必須於非防爆區充電
U指元件驗證必須組裝完成後再測試功能是否完整
如搭配防爆接頭
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bull 耐壓防爆(Type d) Ex d
將爆炸侷限於內部
bull 本安防爆(Type i) Ex ia Ex ib
抑制點火能力
bull 正(內)壓防爆(Type p) Ex px Ex py Ex pz
bull 油入防爆(Type o) Ex o
bull 模鑄防爆(Type m) Ex ma Ex mb
隔離點火源
bull 安全增防爆(Type e) Ex e 增加安全度
電氣設備防爆化的各種方法
耐壓防爆 Ex d(適用於12 區)
原理
1器殼內裝有如 NFB (無熔絲
開關)等在正常操作下會發
生火花之一般電氣設備
2若有危險氣體進入可能引火爆炸 而器殼能承受爆炸壓力 且可防止火燄從接合面溢出 避免引燃外界危險氣體產生爆炸
應用 分電盤 控制盤 馬達 變壓器 照明
耐壓器殼
能防止火焰穿透 的接合面間隙
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
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原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
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配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
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防爆功能失效之安裝
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自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
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使用非防爆設備
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製程電控室如何防護
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63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
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危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
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危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
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一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
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附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
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附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
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當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
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二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
2
「容器標示」違反案例(1)
部分容器未標示 部分儲槽未標示
「容器標示」違反案例(2)
標示未以中文為主 標示不全不清楚未更新
3
其他（如柴油桶未標示汽油採樣瓶未標示）
「容器標示」違反案例(3)
下列各圖有何問題
4
管路顏色之標示
如何辨識合格鋼瓶
紅
藍
白
黃
紫
綠
水壓識別環六種顏色循環使用
鋼瓶水壓檢驗合格識別環位置圖
5
氣體鋼瓶之塗色
我國容器檢查基準就高壓氣體之種類及性質分別依下表之規定顏
色塗敷於該容器外面（以絕熱材被覆時為於該絕熱材料之外面）
之易見處所其大小應佔該容器表面積二分之一以上或寬度30公分
以上之色帶表示
高壓氣體種類
塗色
氧
黑色
氫
紅色
二氧化碳
綠色
氨
白色
氯
黃色
乙炔
褐色
其他種類之氣體
灰色
防毒面具之濾毒罐種類
吸收罐可能由濾材吸收劑催化劑或以上任意組合所構成
可濾除空氣中特定的氣狀污染物
6
下列各圖有何問題
大 綱
工廠電氣防爆之稽核實務探討
危險性工作場所製程安全評估之稽核
實務探討
TOSHMS驗證標準(CNS 15506)之稽核基
準草案
7
輕油裂解廠壓縮機控制盤氣爆事故現場狀況
工廠電氣防爆
之稽核實務探討
第177條
雇主對於作業場所有易燃液體之蒸氣可燃性氣體或爆燃性粉塵
以外之可燃性粉塵滯留而有爆炸火災之虞者應依危險特性
採取通風換氣除塵等措施外並依下列規定辦理
一指定專人對於前述蒸氣氣體之濃度於作業前測定之
二蒸氣或氣體之濃度達爆炸下限值之百分之三十以上時應即
刻使勞工退避至安全場所並停止使用煙火及其他為點火
源之虞之機具並應加強通風
三使用之電氣機械器具或設備應具有適合於其設置場所危
險區域劃分使用之防爆性能構造
前項第三款所稱電氣機械器具或設備係指包括電動機變壓
器連接裝置開關分電盤配電盤等電流流通之機械器具
或設備及非屬配線或移動電線之其他類似設備
勞工安全衛生設施規則
8
第177條之1
雇主對於有爆燃性粉塵存在而有爆炸火災之虞之場所
使用之電氣機械器具或設備應具有適合於其設置場
所危險區域劃分使用之防爆性能構造
第177條之2
雇主對於前二條所定應有防爆性能構造之電氣機械器具
設備於中央主管機關公告後新安裝或換裝者應使用
符合中央主管機關指定之國家標準國際標準或團體標準
規定之合格品
前項合格品指經中央主管機關認可公告之機構實施型式
認證合格並張貼認證合格標識者
勞工安全衛生設施規則
防爆電氣設備型式檢定
99年12月27日行政院勞工委員會勞安2字第
09901467020號公告
主旨公告新安裝或換裝之防爆燈具防爆電動機防爆開
關箱等防爆電氣設備應自中華民國一百零一年一月一日起
使用經本會認可公告之機構實施型式認證合格並張貼認證
合格標識之合格品
依據勞工安全衛生設施規則第一百七十七條之二
型式檢定機構100年1月1日至102年12月31日期間勞委會委託「財團法人工業技術研究院」
9
職業安全衛生法
第7條
製造者輸入者供應者或雇主對於中央主管機關指
定之機械設備或器具其構造性能及防護非符合安
全標準者不得產製運出廠場輸入租賃供應或設
置hellip
第8條
製造者或輸入者對於中央主管機關公告列入型式驗證之
機械設備或器具非經中央主管機關認可之驗證機構
實施型式驗證合格及張貼合格標章不得產製運出廠場
或輸入hellip
第110條
用於氣體類之防爆電氣設備其性能構造試驗標
示及危險區域劃分等應符合國家標準 CNS 3376系列
國際標準IEC 60079系列或與其同等之標準規定
第111條
用於粉塵類之防爆電氣設備其性能構造試驗標
示及塵爆場所區域劃分等應符合國際標準 IEC 61241
系列或與其同等之標準規定
機械器具安全防護標準
10
CNS 3376-0 爆炸性氣體環境用電機設備-一般要求
CNS 3376-1 爆炸性氣體環境用電機設備-耐壓防爆外殼ldquodrdquo
CNS 3376-2 爆炸性氣體環境用電機設備-正壓外殼ldquoprdquo
CNS 3376-5 爆炸性氣體環境用電機設備-填粉防爆構造ldquoqrdquo
CNS 3376-6 爆炸性氣體環境用電機設備-油浸構造ldquoordquo
CNS 3376-7 爆炸性氣體環境用電機設備-增加安全ldquoerdquo
CNS 3376-10 爆炸性氣體環境用電機設備-危險區域劃分
CNS 3376-11 爆炸性氣體環境用電機設備-本質安全ldquoirdquo
CNS 3376-15 爆炸性氣體環境用電機設備-保護型式ldquonrdquo
helliphelliphellip
CNS 3376-20 爆炸性氣體環境用電機設備-與使用電機設備有
關之可燃性氣體與蒸氣之資料
國家標準CNS 3376系列標準
危險區域等級劃分目的
分析並劃分可能產生爆炸性氣體環境並考量氣體
種類及溫度等級以幫助選用及安裝可使用於該環境
之電機設備
許多實際情況都會使用易燃性物質所以很難確保爆炸性
氣體環境絕不會發生也很難確保設備絕不會成為點火源
若產生爆炸性氣體環境的可能性降低時可使用較不嚴格
的標準去架設設備
修改設備或操作程序變更可能使原有區域等級劃分失效
必須確定設備在重新組裝時及組裝後是否破壞了原
始設計或影響到區域等級劃分
11
危險區域等級劃分作業流程
易燃性物質性質確認
設備洩漏源確認
洩漏源等級確認
洩漏範圍確認
通風狀況考量
相鄰區域判定
完成區域劃分圖
危險區域等級劃分作業流程
12
洩漏等級分類
連續洩漏等級
洩漏是連續性的或預期長時間發生者
主要洩漏等級
洩漏預期週期性發生或在正常時偶而會發生者
次要洩漏等級
洩漏不預期在正常時會發生如果發生亦不時
常發生且時間很短者
通風等級分類
高度通風 (VH)
可使由來源釋出的爆炸性氣體濃度馬上減少並可保持在
爆炸下限(LEL)以下
中度通風 (VM)
可控制氣體的集中使邊界區域形成濃度低於LEL並
且當洩漏停止後爆炸性氣體也不會殘留
低度通風 (VL)
當洩漏時並不能對釋出氣體濃度加以控制並且或
當洩漏停止後不能防止易燃性氣體的滯留
13
通風設備的有效性
良好
室外自然通風下最小風速05ms會持續出現
通風設備實際上可穩定連續的運轉(具備份設計)
中等
通風設備在正常操作情況下運轉但允許短暫時
段不連續運轉(具連鎖功能如自動停止製程)
差
通風不如良好與中等的情況但是不能長時段發
生不連續運轉
危險區域等級判定參考例
Zone 0
Zone 2
Zone 1
Zone 0
14
危險區域等級判定參考例
a從通氣口處周圍3 m
b從屋頂上部3 m
c從桶槽水平距離3 m
易燃性液體儲槽位於室外為固定式屋頂且內部無浮 動頂槽時
主要影響區域形式和範圍之因素
通 風 狀 況
通風形式 自然通風
通風等級 中度
通風有效性 良好
洩漏源 洩漏等級
液體表面 連續
通氣口和其它屋頂上之開口 主要
法蘭桶槽滿溢之防溢堤內部
次要
產品物質特性
閃火點 低於製程溫度和室溫
蒸汽密度 比空氣重
世界各國有關危險區域之分類比較
系統別 級別
日本 (JIS)
美國 (NEC)
歐洲 (IEC)
台灣 (CNS)
0 0種 Class I
Division 1
Zone 0 0區(Zone 0)
1 1種 Zone 1 1區(Zone 1)
2 2種 Class I
Division 2 Zone 2 2區(Zone 2)
15
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
1 泵浦
2 泵浦 (高密閉)
3 壓縮機
4 洩放口或取樣口
1m
15 m
1m
3 m
3 m5 m
1m
3 m
1m
3 m
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
5 管路接頭
6 通風口
7 溢出池
8 坑槽
或分離器
3 m5 m
1m
45 m
3 m
1m
75 m
3m
1 m
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
16
型式 耐壓
防爆
增加安全防爆
本質安全防爆
正壓防爆
油浸防爆
填粉防爆
模鑄防爆
n
型
保護
特殊防爆
代號 d e i p o q m n s
適用區域場所
1
2
1
2
0
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
2
0
1
2
CNS
編號
3376
-1
3376
-7
3376
-11
3376
-2
3376
-6
3376
-5
3376
-18
3376
-15
一般工廠最常見的防爆電氣構造設備為
耐壓防爆增加安全本質安全正壓防爆
n型防護
防爆電氣構造及適用之防爆區域對照表
防爆電氣之標示
17
日本
(JIS)
歐洲台灣
(IECCNS)
美國
(NEC)
1 IIA D
C
2 IIB B
3 3a 3b
3c 3n
IIC A
CNS 3376-20 與使用電機設備有關之可燃性氣體與蒸氣之資料
易燃
程
度
Zone 0 1 and 2
I (eg甲烷)
IIA (eg 丙烷)
IIB (eg乙烯)
IIC (eg 乙炔及氫氣)
氣體族群分類
氣體族群分類 定 義
I 最小引火能量為260J
IIA 最小引火能量為160J
MESG≧09mm
IIB 最小引火能量為80J
05mmltMESGlt09mm
IIC 最小引火能量為20J
MESG≦05mm
氣體族群分類
MESG最大安全實驗間隙（Maximum Experimental Safety Gap ）之間隙大小即不能引燃殼體爆炸性 氣體混合物的外殼接合面之間的最大間隙
MIE最小引火能量(Minimum Ignition Energy)使引火性液體之蒸氣可燃性氣體或可燃性粉塵著火需要最低著火能量通常係用電容器放出不同能量的火花來試驗能量以毫焦耳為單位
18
發火
溫度
()
日本構造規格 美國(NEC) 歐洲(IEC)
台灣(CNS)
發火度
機器的溫度
上升限度()
機器的溫度上升值
()
溫度等級 表面最高溫度 溫度
等級
表面最高
溫度()
超過 450 G1 360 320 T1 450 T1 450以下
300~450 G2 240 200
T2 300
T2 300以下 T2A 280 T2C 230
T2B 260 T2D 215
200~300 G3 160 120 T3 200 T3B 165
T3 200以下 T3A 180 T3C 160
135~200 G4 110 70 T4 135 T4A 120 T4 135以下
100~135 G5 80 40 T5 100 T5 100以下
85~100 - - - T6 85 T6 85以下
溫度等級分類
國內型式檢定標章
Ex d IIC T6 (X 或 U)
防爆代號 防爆型式 氣體族群 溫度等級
合格編號XXXXXX
你選對了嗎
型式檢定合格網址
httpwwwmepeccditriorgtwexplotype01htm
X必須配合特殊狀況才能使用
如因電源部分無防爆必須於非防爆區充電
U指元件驗證必須組裝完成後再測試功能是否完整
如搭配防爆接頭
19
bull 耐壓防爆(Type d) Ex d
將爆炸侷限於內部
bull 本安防爆(Type i) Ex ia Ex ib
抑制點火能力
bull 正(內)壓防爆(Type p) Ex px Ex py Ex pz
bull 油入防爆(Type o) Ex o
bull 模鑄防爆(Type m) Ex ma Ex mb
隔離點火源
bull 安全增防爆(Type e) Ex e 增加安全度
電氣設備防爆化的各種方法
耐壓防爆 Ex d(適用於12 區)
原理
1器殼內裝有如 NFB (無熔絲
開關)等在正常操作下會發
生火花之一般電氣設備
2若有危險氣體進入可能引火爆炸 而器殼能承受爆炸壓力 且可防止火燄從接合面溢出 避免引燃外界危險氣體產生爆炸
應用 分電盤 控制盤 馬達 變壓器 照明
耐壓器殼
能防止火焰穿透 的接合面間隙
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
3
其他（如柴油桶未標示汽油採樣瓶未標示）
「容器標示」違反案例(3)
下列各圖有何問題
4
管路顏色之標示
如何辨識合格鋼瓶
紅
藍
白
黃
紫
綠
水壓識別環六種顏色循環使用
鋼瓶水壓檢驗合格識別環位置圖
5
氣體鋼瓶之塗色
我國容器檢查基準就高壓氣體之種類及性質分別依下表之規定顏
色塗敷於該容器外面（以絕熱材被覆時為於該絕熱材料之外面）
之易見處所其大小應佔該容器表面積二分之一以上或寬度30公分
以上之色帶表示
高壓氣體種類
塗色
氧
黑色
氫
紅色
二氧化碳
綠色
氨
白色
氯
黃色
乙炔
褐色
其他種類之氣體
灰色
防毒面具之濾毒罐種類
吸收罐可能由濾材吸收劑催化劑或以上任意組合所構成
可濾除空氣中特定的氣狀污染物
6
下列各圖有何問題
大 綱
工廠電氣防爆之稽核實務探討
危險性工作場所製程安全評估之稽核
實務探討
TOSHMS驗證標準(CNS 15506)之稽核基
準草案
7
輕油裂解廠壓縮機控制盤氣爆事故現場狀況
工廠電氣防爆
之稽核實務探討
第177條
雇主對於作業場所有易燃液體之蒸氣可燃性氣體或爆燃性粉塵
以外之可燃性粉塵滯留而有爆炸火災之虞者應依危險特性
採取通風換氣除塵等措施外並依下列規定辦理
一指定專人對於前述蒸氣氣體之濃度於作業前測定之
二蒸氣或氣體之濃度達爆炸下限值之百分之三十以上時應即
刻使勞工退避至安全場所並停止使用煙火及其他為點火
源之虞之機具並應加強通風
三使用之電氣機械器具或設備應具有適合於其設置場所危
險區域劃分使用之防爆性能構造
前項第三款所稱電氣機械器具或設備係指包括電動機變壓
器連接裝置開關分電盤配電盤等電流流通之機械器具
或設備及非屬配線或移動電線之其他類似設備
勞工安全衛生設施規則
8
第177條之1
雇主對於有爆燃性粉塵存在而有爆炸火災之虞之場所
使用之電氣機械器具或設備應具有適合於其設置場
所危險區域劃分使用之防爆性能構造
第177條之2
雇主對於前二條所定應有防爆性能構造之電氣機械器具
設備於中央主管機關公告後新安裝或換裝者應使用
符合中央主管機關指定之國家標準國際標準或團體標準
規定之合格品
前項合格品指經中央主管機關認可公告之機構實施型式
認證合格並張貼認證合格標識者
勞工安全衛生設施規則
防爆電氣設備型式檢定
99年12月27日行政院勞工委員會勞安2字第
09901467020號公告
主旨公告新安裝或換裝之防爆燈具防爆電動機防爆開
關箱等防爆電氣設備應自中華民國一百零一年一月一日起
使用經本會認可公告之機構實施型式認證合格並張貼認證
合格標識之合格品
依據勞工安全衛生設施規則第一百七十七條之二
型式檢定機構100年1月1日至102年12月31日期間勞委會委託「財團法人工業技術研究院」
9
職業安全衛生法
第7條
製造者輸入者供應者或雇主對於中央主管機關指
定之機械設備或器具其構造性能及防護非符合安
全標準者不得產製運出廠場輸入租賃供應或設
置hellip
第8條
製造者或輸入者對於中央主管機關公告列入型式驗證之
機械設備或器具非經中央主管機關認可之驗證機構
實施型式驗證合格及張貼合格標章不得產製運出廠場
或輸入hellip
第110條
用於氣體類之防爆電氣設備其性能構造試驗標
示及危險區域劃分等應符合國家標準 CNS 3376系列
國際標準IEC 60079系列或與其同等之標準規定
第111條
用於粉塵類之防爆電氣設備其性能構造試驗標
示及塵爆場所區域劃分等應符合國際標準 IEC 61241
系列或與其同等之標準規定
機械器具安全防護標準
10
CNS 3376-0 爆炸性氣體環境用電機設備-一般要求
CNS 3376-1 爆炸性氣體環境用電機設備-耐壓防爆外殼ldquodrdquo
CNS 3376-2 爆炸性氣體環境用電機設備-正壓外殼ldquoprdquo
CNS 3376-5 爆炸性氣體環境用電機設備-填粉防爆構造ldquoqrdquo
CNS 3376-6 爆炸性氣體環境用電機設備-油浸構造ldquoordquo
CNS 3376-7 爆炸性氣體環境用電機設備-增加安全ldquoerdquo
CNS 3376-10 爆炸性氣體環境用電機設備-危險區域劃分
CNS 3376-11 爆炸性氣體環境用電機設備-本質安全ldquoirdquo
CNS 3376-15 爆炸性氣體環境用電機設備-保護型式ldquonrdquo
helliphelliphellip
CNS 3376-20 爆炸性氣體環境用電機設備-與使用電機設備有
關之可燃性氣體與蒸氣之資料
國家標準CNS 3376系列標準
危險區域等級劃分目的
分析並劃分可能產生爆炸性氣體環境並考量氣體
種類及溫度等級以幫助選用及安裝可使用於該環境
之電機設備
許多實際情況都會使用易燃性物質所以很難確保爆炸性
氣體環境絕不會發生也很難確保設備絕不會成為點火源
若產生爆炸性氣體環境的可能性降低時可使用較不嚴格
的標準去架設設備
修改設備或操作程序變更可能使原有區域等級劃分失效
必須確定設備在重新組裝時及組裝後是否破壞了原
始設計或影響到區域等級劃分
11
危險區域等級劃分作業流程
易燃性物質性質確認
設備洩漏源確認
洩漏源等級確認
洩漏範圍確認
通風狀況考量
相鄰區域判定
完成區域劃分圖
危險區域等級劃分作業流程
12
洩漏等級分類
連續洩漏等級
洩漏是連續性的或預期長時間發生者
主要洩漏等級
洩漏預期週期性發生或在正常時偶而會發生者
次要洩漏等級
洩漏不預期在正常時會發生如果發生亦不時
常發生且時間很短者
通風等級分類
高度通風 (VH)
可使由來源釋出的爆炸性氣體濃度馬上減少並可保持在
爆炸下限(LEL)以下
中度通風 (VM)
可控制氣體的集中使邊界區域形成濃度低於LEL並
且當洩漏停止後爆炸性氣體也不會殘留
低度通風 (VL)
當洩漏時並不能對釋出氣體濃度加以控制並且或
當洩漏停止後不能防止易燃性氣體的滯留
13
通風設備的有效性
良好
室外自然通風下最小風速05ms會持續出現
通風設備實際上可穩定連續的運轉(具備份設計)
中等
通風設備在正常操作情況下運轉但允許短暫時
段不連續運轉(具連鎖功能如自動停止製程)
差
通風不如良好與中等的情況但是不能長時段發
生不連續運轉
危險區域等級判定參考例
Zone 0
Zone 2
Zone 1
Zone 0
14
危險區域等級判定參考例
a從通氣口處周圍3 m
b從屋頂上部3 m
c從桶槽水平距離3 m
易燃性液體儲槽位於室外為固定式屋頂且內部無浮 動頂槽時
主要影響區域形式和範圍之因素
通 風 狀 況
通風形式 自然通風
通風等級 中度
通風有效性 良好
洩漏源 洩漏等級
液體表面 連續
通氣口和其它屋頂上之開口 主要
法蘭桶槽滿溢之防溢堤內部
次要
產品物質特性
閃火點 低於製程溫度和室溫
蒸汽密度 比空氣重
世界各國有關危險區域之分類比較
系統別 級別
日本 (JIS)
美國 (NEC)
歐洲 (IEC)
台灣 (CNS)
0 0種 Class I
Division 1
Zone 0 0區(Zone 0)
1 1種 Zone 1 1區(Zone 1)
2 2種 Class I
Division 2 Zone 2 2區(Zone 2)
15
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
1 泵浦
2 泵浦 (高密閉)
3 壓縮機
4 洩放口或取樣口
1m
15 m
1m
3 m
3 m5 m
1m
3 m
1m
3 m
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
5 管路接頭
6 通風口
7 溢出池
8 坑槽
或分離器
3 m5 m
1m
45 m
3 m
1m
75 m
3m
1 m
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
16
型式 耐壓
防爆
增加安全防爆
本質安全防爆
正壓防爆
油浸防爆
填粉防爆
模鑄防爆
n
型
保護
特殊防爆
代號 d e i p o q m n s
適用區域場所
1
2
1
2
0
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
2
0
1
2
CNS
編號
3376
-1
3376
-7
3376
-11
3376
-2
3376
-6
3376
-5
3376
-18
3376
-15
一般工廠最常見的防爆電氣構造設備為
耐壓防爆增加安全本質安全正壓防爆
n型防護
防爆電氣構造及適用之防爆區域對照表
防爆電氣之標示
17
日本
(JIS)
歐洲台灣
(IECCNS)
美國
(NEC)
1 IIA D
C
2 IIB B
3 3a 3b
3c 3n
IIC A
CNS 3376-20 與使用電機設備有關之可燃性氣體與蒸氣之資料
易燃
程
度
Zone 0 1 and 2
I (eg甲烷)
IIA (eg 丙烷)
IIB (eg乙烯)
IIC (eg 乙炔及氫氣)
氣體族群分類
氣體族群分類 定 義
I 最小引火能量為260J
IIA 最小引火能量為160J
MESG≧09mm
IIB 最小引火能量為80J
05mmltMESGlt09mm
IIC 最小引火能量為20J
MESG≦05mm
氣體族群分類
MESG最大安全實驗間隙（Maximum Experimental Safety Gap ）之間隙大小即不能引燃殼體爆炸性 氣體混合物的外殼接合面之間的最大間隙
MIE最小引火能量(Minimum Ignition Energy)使引火性液體之蒸氣可燃性氣體或可燃性粉塵著火需要最低著火能量通常係用電容器放出不同能量的火花來試驗能量以毫焦耳為單位
18
發火
溫度
()
日本構造規格 美國(NEC) 歐洲(IEC)
台灣(CNS)
發火度
機器的溫度
上升限度()
機器的溫度上升值
()
溫度等級 表面最高溫度 溫度
等級
表面最高
溫度()
超過 450 G1 360 320 T1 450 T1 450以下
300~450 G2 240 200
T2 300
T2 300以下 T2A 280 T2C 230
T2B 260 T2D 215
200~300 G3 160 120 T3 200 T3B 165
T3 200以下 T3A 180 T3C 160
135~200 G4 110 70 T4 135 T4A 120 T4 135以下
100~135 G5 80 40 T5 100 T5 100以下
85~100 - - - T6 85 T6 85以下
溫度等級分類
國內型式檢定標章
Ex d IIC T6 (X 或 U)
防爆代號 防爆型式 氣體族群 溫度等級
合格編號XXXXXX
你選對了嗎
型式檢定合格網址
httpwwwmepeccditriorgtwexplotype01htm
X必須配合特殊狀況才能使用
如因電源部分無防爆必須於非防爆區充電
U指元件驗證必須組裝完成後再測試功能是否完整
如搭配防爆接頭
19
bull 耐壓防爆(Type d) Ex d
將爆炸侷限於內部
bull 本安防爆(Type i) Ex ia Ex ib
抑制點火能力
bull 正(內)壓防爆(Type p) Ex px Ex py Ex pz
bull 油入防爆(Type o) Ex o
bull 模鑄防爆(Type m) Ex ma Ex mb
隔離點火源
bull 安全增防爆(Type e) Ex e 增加安全度
電氣設備防爆化的各種方法
耐壓防爆 Ex d(適用於12 區)
原理
1器殼內裝有如 NFB (無熔絲
開關)等在正常操作下會發
生火花之一般電氣設備
2若有危險氣體進入可能引火爆炸 而器殼能承受爆炸壓力 且可防止火燄從接合面溢出 避免引燃外界危險氣體產生爆炸
應用 分電盤 控制盤 馬達 變壓器 照明
耐壓器殼
能防止火焰穿透 的接合面間隙
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
4
管路顏色之標示
如何辨識合格鋼瓶
紅
藍
白
黃
紫
綠
水壓識別環六種顏色循環使用
鋼瓶水壓檢驗合格識別環位置圖
5
氣體鋼瓶之塗色
我國容器檢查基準就高壓氣體之種類及性質分別依下表之規定顏
色塗敷於該容器外面（以絕熱材被覆時為於該絕熱材料之外面）
之易見處所其大小應佔該容器表面積二分之一以上或寬度30公分
以上之色帶表示
高壓氣體種類
塗色
氧
黑色
氫
紅色
二氧化碳
綠色
氨
白色
氯
黃色
乙炔
褐色
其他種類之氣體
灰色
防毒面具之濾毒罐種類
吸收罐可能由濾材吸收劑催化劑或以上任意組合所構成
可濾除空氣中特定的氣狀污染物
6
下列各圖有何問題
大 綱
工廠電氣防爆之稽核實務探討
危險性工作場所製程安全評估之稽核
實務探討
TOSHMS驗證標準(CNS 15506)之稽核基
準草案
7
輕油裂解廠壓縮機控制盤氣爆事故現場狀況
工廠電氣防爆
之稽核實務探討
第177條
雇主對於作業場所有易燃液體之蒸氣可燃性氣體或爆燃性粉塵
以外之可燃性粉塵滯留而有爆炸火災之虞者應依危險特性
採取通風換氣除塵等措施外並依下列規定辦理
一指定專人對於前述蒸氣氣體之濃度於作業前測定之
二蒸氣或氣體之濃度達爆炸下限值之百分之三十以上時應即
刻使勞工退避至安全場所並停止使用煙火及其他為點火
源之虞之機具並應加強通風
三使用之電氣機械器具或設備應具有適合於其設置場所危
險區域劃分使用之防爆性能構造
前項第三款所稱電氣機械器具或設備係指包括電動機變壓
器連接裝置開關分電盤配電盤等電流流通之機械器具
或設備及非屬配線或移動電線之其他類似設備
勞工安全衛生設施規則
8
第177條之1
雇主對於有爆燃性粉塵存在而有爆炸火災之虞之場所
使用之電氣機械器具或設備應具有適合於其設置場
所危險區域劃分使用之防爆性能構造
第177條之2
雇主對於前二條所定應有防爆性能構造之電氣機械器具
設備於中央主管機關公告後新安裝或換裝者應使用
符合中央主管機關指定之國家標準國際標準或團體標準
規定之合格品
前項合格品指經中央主管機關認可公告之機構實施型式
認證合格並張貼認證合格標識者
勞工安全衛生設施規則
防爆電氣設備型式檢定
99年12月27日行政院勞工委員會勞安2字第
09901467020號公告
主旨公告新安裝或換裝之防爆燈具防爆電動機防爆開
關箱等防爆電氣設備應自中華民國一百零一年一月一日起
使用經本會認可公告之機構實施型式認證合格並張貼認證
合格標識之合格品
依據勞工安全衛生設施規則第一百七十七條之二
型式檢定機構100年1月1日至102年12月31日期間勞委會委託「財團法人工業技術研究院」
9
職業安全衛生法
第7條
製造者輸入者供應者或雇主對於中央主管機關指
定之機械設備或器具其構造性能及防護非符合安
全標準者不得產製運出廠場輸入租賃供應或設
置hellip
第8條
製造者或輸入者對於中央主管機關公告列入型式驗證之
機械設備或器具非經中央主管機關認可之驗證機構
實施型式驗證合格及張貼合格標章不得產製運出廠場
或輸入hellip
第110條
用於氣體類之防爆電氣設備其性能構造試驗標
示及危險區域劃分等應符合國家標準 CNS 3376系列
國際標準IEC 60079系列或與其同等之標準規定
第111條
用於粉塵類之防爆電氣設備其性能構造試驗標
示及塵爆場所區域劃分等應符合國際標準 IEC 61241
系列或與其同等之標準規定
機械器具安全防護標準
10
CNS 3376-0 爆炸性氣體環境用電機設備-一般要求
CNS 3376-1 爆炸性氣體環境用電機設備-耐壓防爆外殼ldquodrdquo
CNS 3376-2 爆炸性氣體環境用電機設備-正壓外殼ldquoprdquo
CNS 3376-5 爆炸性氣體環境用電機設備-填粉防爆構造ldquoqrdquo
CNS 3376-6 爆炸性氣體環境用電機設備-油浸構造ldquoordquo
CNS 3376-7 爆炸性氣體環境用電機設備-增加安全ldquoerdquo
CNS 3376-10 爆炸性氣體環境用電機設備-危險區域劃分
CNS 3376-11 爆炸性氣體環境用電機設備-本質安全ldquoirdquo
CNS 3376-15 爆炸性氣體環境用電機設備-保護型式ldquonrdquo
helliphelliphellip
CNS 3376-20 爆炸性氣體環境用電機設備-與使用電機設備有
關之可燃性氣體與蒸氣之資料
國家標準CNS 3376系列標準
危險區域等級劃分目的
分析並劃分可能產生爆炸性氣體環境並考量氣體
種類及溫度等級以幫助選用及安裝可使用於該環境
之電機設備
許多實際情況都會使用易燃性物質所以很難確保爆炸性
氣體環境絕不會發生也很難確保設備絕不會成為點火源
若產生爆炸性氣體環境的可能性降低時可使用較不嚴格
的標準去架設設備
修改設備或操作程序變更可能使原有區域等級劃分失效
必須確定設備在重新組裝時及組裝後是否破壞了原
始設計或影響到區域等級劃分
11
危險區域等級劃分作業流程
易燃性物質性質確認
設備洩漏源確認
洩漏源等級確認
洩漏範圍確認
通風狀況考量
相鄰區域判定
完成區域劃分圖
危險區域等級劃分作業流程
12
洩漏等級分類
連續洩漏等級
洩漏是連續性的或預期長時間發生者
主要洩漏等級
洩漏預期週期性發生或在正常時偶而會發生者
次要洩漏等級
洩漏不預期在正常時會發生如果發生亦不時
常發生且時間很短者
通風等級分類
高度通風 (VH)
可使由來源釋出的爆炸性氣體濃度馬上減少並可保持在
爆炸下限(LEL)以下
中度通風 (VM)
可控制氣體的集中使邊界區域形成濃度低於LEL並
且當洩漏停止後爆炸性氣體也不會殘留
低度通風 (VL)
當洩漏時並不能對釋出氣體濃度加以控制並且或
當洩漏停止後不能防止易燃性氣體的滯留
13
通風設備的有效性
良好
室外自然通風下最小風速05ms會持續出現
通風設備實際上可穩定連續的運轉(具備份設計)
中等
通風設備在正常操作情況下運轉但允許短暫時
段不連續運轉(具連鎖功能如自動停止製程)
差
通風不如良好與中等的情況但是不能長時段發
生不連續運轉
危險區域等級判定參考例
Zone 0
Zone 2
Zone 1
Zone 0
14
危險區域等級判定參考例
a從通氣口處周圍3 m
b從屋頂上部3 m
c從桶槽水平距離3 m
易燃性液體儲槽位於室外為固定式屋頂且內部無浮 動頂槽時
主要影響區域形式和範圍之因素
通 風 狀 況
通風形式 自然通風
通風等級 中度
通風有效性 良好
洩漏源 洩漏等級
液體表面 連續
通氣口和其它屋頂上之開口 主要
法蘭桶槽滿溢之防溢堤內部
次要
產品物質特性
閃火點 低於製程溫度和室溫
蒸汽密度 比空氣重
世界各國有關危險區域之分類比較
系統別 級別
日本 (JIS)
美國 (NEC)
歐洲 (IEC)
台灣 (CNS)
0 0種 Class I
Division 1
Zone 0 0區(Zone 0)
1 1種 Zone 1 1區(Zone 1)
2 2種 Class I
Division 2 Zone 2 2區(Zone 2)
15
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
1 泵浦
2 泵浦 (高密閉)
3 壓縮機
4 洩放口或取樣口
1m
15 m
1m
3 m
3 m5 m
1m
3 m
1m
3 m
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
5 管路接頭
6 通風口
7 溢出池
8 坑槽
或分離器
3 m5 m
1m
45 m
3 m
1m
75 m
3m
1 m
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
16
型式 耐壓
防爆
增加安全防爆
本質安全防爆
正壓防爆
油浸防爆
填粉防爆
模鑄防爆
n
型
保護
特殊防爆
代號 d e i p o q m n s
適用區域場所
1
2
1
2
0
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
2
0
1
2
CNS
編號
3376
-1
3376
-7
3376
-11
3376
-2
3376
-6
3376
-5
3376
-18
3376
-15
一般工廠最常見的防爆電氣構造設備為
耐壓防爆增加安全本質安全正壓防爆
n型防護
防爆電氣構造及適用之防爆區域對照表
防爆電氣之標示
17
日本
(JIS)
歐洲台灣
(IECCNS)
美國
(NEC)
1 IIA D
C
2 IIB B
3 3a 3b
3c 3n
IIC A
CNS 3376-20 與使用電機設備有關之可燃性氣體與蒸氣之資料
易燃
程
度
Zone 0 1 and 2
I (eg甲烷)
IIA (eg 丙烷)
IIB (eg乙烯)
IIC (eg 乙炔及氫氣)
氣體族群分類
氣體族群分類 定 義
I 最小引火能量為260J
IIA 最小引火能量為160J
MESG≧09mm
IIB 最小引火能量為80J
05mmltMESGlt09mm
IIC 最小引火能量為20J
MESG≦05mm
氣體族群分類
MESG最大安全實驗間隙（Maximum Experimental Safety Gap ）之間隙大小即不能引燃殼體爆炸性 氣體混合物的外殼接合面之間的最大間隙
MIE最小引火能量(Minimum Ignition Energy)使引火性液體之蒸氣可燃性氣體或可燃性粉塵著火需要最低著火能量通常係用電容器放出不同能量的火花來試驗能量以毫焦耳為單位
18
發火
溫度
()
日本構造規格 美國(NEC) 歐洲(IEC)
台灣(CNS)
發火度
機器的溫度
上升限度()
機器的溫度上升值
()
溫度等級 表面最高溫度 溫度
等級
表面最高
溫度()
超過 450 G1 360 320 T1 450 T1 450以下
300~450 G2 240 200
T2 300
T2 300以下 T2A 280 T2C 230
T2B 260 T2D 215
200~300 G3 160 120 T3 200 T3B 165
T3 200以下 T3A 180 T3C 160
135~200 G4 110 70 T4 135 T4A 120 T4 135以下
100~135 G5 80 40 T5 100 T5 100以下
85~100 - - - T6 85 T6 85以下
溫度等級分類
國內型式檢定標章
Ex d IIC T6 (X 或 U)
防爆代號 防爆型式 氣體族群 溫度等級
合格編號XXXXXX
你選對了嗎
型式檢定合格網址
httpwwwmepeccditriorgtwexplotype01htm
X必須配合特殊狀況才能使用
如因電源部分無防爆必須於非防爆區充電
U指元件驗證必須組裝完成後再測試功能是否完整
如搭配防爆接頭
19
bull 耐壓防爆(Type d) Ex d
將爆炸侷限於內部
bull 本安防爆(Type i) Ex ia Ex ib
抑制點火能力
bull 正(內)壓防爆(Type p) Ex px Ex py Ex pz
bull 油入防爆(Type o) Ex o
bull 模鑄防爆(Type m) Ex ma Ex mb
隔離點火源
bull 安全增防爆(Type e) Ex e 增加安全度
電氣設備防爆化的各種方法
耐壓防爆 Ex d(適用於12 區)
原理
1器殼內裝有如 NFB (無熔絲
開關)等在正常操作下會發
生火花之一般電氣設備
2若有危險氣體進入可能引火爆炸 而器殼能承受爆炸壓力 且可防止火燄從接合面溢出 避免引燃外界危險氣體產生爆炸
應用 分電盤 控制盤 馬達 變壓器 照明
耐壓器殼
能防止火焰穿透 的接合面間隙
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
5
氣體鋼瓶之塗色
我國容器檢查基準就高壓氣體之種類及性質分別依下表之規定顏
色塗敷於該容器外面（以絕熱材被覆時為於該絕熱材料之外面）
之易見處所其大小應佔該容器表面積二分之一以上或寬度30公分
以上之色帶表示
高壓氣體種類
塗色
氧
黑色
氫
紅色
二氧化碳
綠色
氨
白色
氯
黃色
乙炔
褐色
其他種類之氣體
灰色
防毒面具之濾毒罐種類
吸收罐可能由濾材吸收劑催化劑或以上任意組合所構成
可濾除空氣中特定的氣狀污染物
6
下列各圖有何問題
大 綱
工廠電氣防爆之稽核實務探討
危險性工作場所製程安全評估之稽核
實務探討
TOSHMS驗證標準(CNS 15506)之稽核基
準草案
7
輕油裂解廠壓縮機控制盤氣爆事故現場狀況
工廠電氣防爆
之稽核實務探討
第177條
雇主對於作業場所有易燃液體之蒸氣可燃性氣體或爆燃性粉塵
以外之可燃性粉塵滯留而有爆炸火災之虞者應依危險特性
採取通風換氣除塵等措施外並依下列規定辦理
一指定專人對於前述蒸氣氣體之濃度於作業前測定之
二蒸氣或氣體之濃度達爆炸下限值之百分之三十以上時應即
刻使勞工退避至安全場所並停止使用煙火及其他為點火
源之虞之機具並應加強通風
三使用之電氣機械器具或設備應具有適合於其設置場所危
險區域劃分使用之防爆性能構造
前項第三款所稱電氣機械器具或設備係指包括電動機變壓
器連接裝置開關分電盤配電盤等電流流通之機械器具
或設備及非屬配線或移動電線之其他類似設備
勞工安全衛生設施規則
8
第177條之1
雇主對於有爆燃性粉塵存在而有爆炸火災之虞之場所
使用之電氣機械器具或設備應具有適合於其設置場
所危險區域劃分使用之防爆性能構造
第177條之2
雇主對於前二條所定應有防爆性能構造之電氣機械器具
設備於中央主管機關公告後新安裝或換裝者應使用
符合中央主管機關指定之國家標準國際標準或團體標準
規定之合格品
前項合格品指經中央主管機關認可公告之機構實施型式
認證合格並張貼認證合格標識者
勞工安全衛生設施規則
防爆電氣設備型式檢定
99年12月27日行政院勞工委員會勞安2字第
09901467020號公告
主旨公告新安裝或換裝之防爆燈具防爆電動機防爆開
關箱等防爆電氣設備應自中華民國一百零一年一月一日起
使用經本會認可公告之機構實施型式認證合格並張貼認證
合格標識之合格品
依據勞工安全衛生設施規則第一百七十七條之二
型式檢定機構100年1月1日至102年12月31日期間勞委會委託「財團法人工業技術研究院」
9
職業安全衛生法
第7條
製造者輸入者供應者或雇主對於中央主管機關指
定之機械設備或器具其構造性能及防護非符合安
全標準者不得產製運出廠場輸入租賃供應或設
置hellip
第8條
製造者或輸入者對於中央主管機關公告列入型式驗證之
機械設備或器具非經中央主管機關認可之驗證機構
實施型式驗證合格及張貼合格標章不得產製運出廠場
或輸入hellip
第110條
用於氣體類之防爆電氣設備其性能構造試驗標
示及危險區域劃分等應符合國家標準 CNS 3376系列
國際標準IEC 60079系列或與其同等之標準規定
第111條
用於粉塵類之防爆電氣設備其性能構造試驗標
示及塵爆場所區域劃分等應符合國際標準 IEC 61241
系列或與其同等之標準規定
機械器具安全防護標準
10
CNS 3376-0 爆炸性氣體環境用電機設備-一般要求
CNS 3376-1 爆炸性氣體環境用電機設備-耐壓防爆外殼ldquodrdquo
CNS 3376-2 爆炸性氣體環境用電機設備-正壓外殼ldquoprdquo
CNS 3376-5 爆炸性氣體環境用電機設備-填粉防爆構造ldquoqrdquo
CNS 3376-6 爆炸性氣體環境用電機設備-油浸構造ldquoordquo
CNS 3376-7 爆炸性氣體環境用電機設備-增加安全ldquoerdquo
CNS 3376-10 爆炸性氣體環境用電機設備-危險區域劃分
CNS 3376-11 爆炸性氣體環境用電機設備-本質安全ldquoirdquo
CNS 3376-15 爆炸性氣體環境用電機設備-保護型式ldquonrdquo
helliphelliphellip
CNS 3376-20 爆炸性氣體環境用電機設備-與使用電機設備有
關之可燃性氣體與蒸氣之資料
國家標準CNS 3376系列標準
危險區域等級劃分目的
分析並劃分可能產生爆炸性氣體環境並考量氣體
種類及溫度等級以幫助選用及安裝可使用於該環境
之電機設備
許多實際情況都會使用易燃性物質所以很難確保爆炸性
氣體環境絕不會發生也很難確保設備絕不會成為點火源
若產生爆炸性氣體環境的可能性降低時可使用較不嚴格
的標準去架設設備
修改設備或操作程序變更可能使原有區域等級劃分失效
必須確定設備在重新組裝時及組裝後是否破壞了原
始設計或影響到區域等級劃分
11
危險區域等級劃分作業流程
易燃性物質性質確認
設備洩漏源確認
洩漏源等級確認
洩漏範圍確認
通風狀況考量
相鄰區域判定
完成區域劃分圖
危險區域等級劃分作業流程
12
洩漏等級分類
連續洩漏等級
洩漏是連續性的或預期長時間發生者
主要洩漏等級
洩漏預期週期性發生或在正常時偶而會發生者
次要洩漏等級
洩漏不預期在正常時會發生如果發生亦不時
常發生且時間很短者
通風等級分類
高度通風 (VH)
可使由來源釋出的爆炸性氣體濃度馬上減少並可保持在
爆炸下限(LEL)以下
中度通風 (VM)
可控制氣體的集中使邊界區域形成濃度低於LEL並
且當洩漏停止後爆炸性氣體也不會殘留
低度通風 (VL)
當洩漏時並不能對釋出氣體濃度加以控制並且或
當洩漏停止後不能防止易燃性氣體的滯留
13
通風設備的有效性
良好
室外自然通風下最小風速05ms會持續出現
通風設備實際上可穩定連續的運轉(具備份設計)
中等
通風設備在正常操作情況下運轉但允許短暫時
段不連續運轉(具連鎖功能如自動停止製程)
差
通風不如良好與中等的情況但是不能長時段發
生不連續運轉
危險區域等級判定參考例
Zone 0
Zone 2
Zone 1
Zone 0
14
危險區域等級判定參考例
a從通氣口處周圍3 m
b從屋頂上部3 m
c從桶槽水平距離3 m
易燃性液體儲槽位於室外為固定式屋頂且內部無浮 動頂槽時
主要影響區域形式和範圍之因素
通 風 狀 況
通風形式 自然通風
通風等級 中度
通風有效性 良好
洩漏源 洩漏等級
液體表面 連續
通氣口和其它屋頂上之開口 主要
法蘭桶槽滿溢之防溢堤內部
次要
產品物質特性
閃火點 低於製程溫度和室溫
蒸汽密度 比空氣重
世界各國有關危險區域之分類比較
系統別 級別
日本 (JIS)
美國 (NEC)
歐洲 (IEC)
台灣 (CNS)
0 0種 Class I
Division 1
Zone 0 0區(Zone 0)
1 1種 Zone 1 1區(Zone 1)
2 2種 Class I
Division 2 Zone 2 2區(Zone 2)
15
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
1 泵浦
2 泵浦 (高密閉)
3 壓縮機
4 洩放口或取樣口
1m
15 m
1m
3 m
3 m5 m
1m
3 m
1m
3 m
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
5 管路接頭
6 通風口
7 溢出池
8 坑槽
或分離器
3 m5 m
1m
45 m
3 m
1m
75 m
3m
1 m
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
16
型式 耐壓
防爆
增加安全防爆
本質安全防爆
正壓防爆
油浸防爆
填粉防爆
模鑄防爆
n
型
保護
特殊防爆
代號 d e i p o q m n s
適用區域場所
1
2
1
2
0
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
2
0
1
2
CNS
編號
3376
-1
3376
-7
3376
-11
3376
-2
3376
-6
3376
-5
3376
-18
3376
-15
一般工廠最常見的防爆電氣構造設備為
耐壓防爆增加安全本質安全正壓防爆
n型防護
防爆電氣構造及適用之防爆區域對照表
防爆電氣之標示
17
日本
(JIS)
歐洲台灣
(IECCNS)
美國
(NEC)
1 IIA D
C
2 IIB B
3 3a 3b
3c 3n
IIC A
CNS 3376-20 與使用電機設備有關之可燃性氣體與蒸氣之資料
易燃
程
度
Zone 0 1 and 2
I (eg甲烷)
IIA (eg 丙烷)
IIB (eg乙烯)
IIC (eg 乙炔及氫氣)
氣體族群分類
氣體族群分類 定 義
I 最小引火能量為260J
IIA 最小引火能量為160J
MESG≧09mm
IIB 最小引火能量為80J
05mmltMESGlt09mm
IIC 最小引火能量為20J
MESG≦05mm
氣體族群分類
MESG最大安全實驗間隙（Maximum Experimental Safety Gap ）之間隙大小即不能引燃殼體爆炸性 氣體混合物的外殼接合面之間的最大間隙
MIE最小引火能量(Minimum Ignition Energy)使引火性液體之蒸氣可燃性氣體或可燃性粉塵著火需要最低著火能量通常係用電容器放出不同能量的火花來試驗能量以毫焦耳為單位
18
發火
溫度
()
日本構造規格 美國(NEC) 歐洲(IEC)
台灣(CNS)
發火度
機器的溫度
上升限度()
機器的溫度上升值
()
溫度等級 表面最高溫度 溫度
等級
表面最高
溫度()
超過 450 G1 360 320 T1 450 T1 450以下
300~450 G2 240 200
T2 300
T2 300以下 T2A 280 T2C 230
T2B 260 T2D 215
200~300 G3 160 120 T3 200 T3B 165
T3 200以下 T3A 180 T3C 160
135~200 G4 110 70 T4 135 T4A 120 T4 135以下
100~135 G5 80 40 T5 100 T5 100以下
85~100 - - - T6 85 T6 85以下
溫度等級分類
國內型式檢定標章
Ex d IIC T6 (X 或 U)
防爆代號 防爆型式 氣體族群 溫度等級
合格編號XXXXXX
你選對了嗎
型式檢定合格網址
httpwwwmepeccditriorgtwexplotype01htm
X必須配合特殊狀況才能使用
如因電源部分無防爆必須於非防爆區充電
U指元件驗證必須組裝完成後再測試功能是否完整
如搭配防爆接頭
19
bull 耐壓防爆(Type d) Ex d
將爆炸侷限於內部
bull 本安防爆(Type i) Ex ia Ex ib
抑制點火能力
bull 正(內)壓防爆(Type p) Ex px Ex py Ex pz
bull 油入防爆(Type o) Ex o
bull 模鑄防爆(Type m) Ex ma Ex mb
隔離點火源
bull 安全增防爆(Type e) Ex e 增加安全度
電氣設備防爆化的各種方法
耐壓防爆 Ex d(適用於12 區)
原理
1器殼內裝有如 NFB (無熔絲
開關)等在正常操作下會發
生火花之一般電氣設備
2若有危險氣體進入可能引火爆炸 而器殼能承受爆炸壓力 且可防止火燄從接合面溢出 避免引燃外界危險氣體產生爆炸
應用 分電盤 控制盤 馬達 變壓器 照明
耐壓器殼
能防止火焰穿透 的接合面間隙
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
6
下列各圖有何問題
大 綱
工廠電氣防爆之稽核實務探討
危險性工作場所製程安全評估之稽核
實務探討
TOSHMS驗證標準(CNS 15506)之稽核基
準草案
7
輕油裂解廠壓縮機控制盤氣爆事故現場狀況
工廠電氣防爆
之稽核實務探討
第177條
雇主對於作業場所有易燃液體之蒸氣可燃性氣體或爆燃性粉塵
以外之可燃性粉塵滯留而有爆炸火災之虞者應依危險特性
採取通風換氣除塵等措施外並依下列規定辦理
一指定專人對於前述蒸氣氣體之濃度於作業前測定之
二蒸氣或氣體之濃度達爆炸下限值之百分之三十以上時應即
刻使勞工退避至安全場所並停止使用煙火及其他為點火
源之虞之機具並應加強通風
三使用之電氣機械器具或設備應具有適合於其設置場所危
險區域劃分使用之防爆性能構造
前項第三款所稱電氣機械器具或設備係指包括電動機變壓
器連接裝置開關分電盤配電盤等電流流通之機械器具
或設備及非屬配線或移動電線之其他類似設備
勞工安全衛生設施規則
8
第177條之1
雇主對於有爆燃性粉塵存在而有爆炸火災之虞之場所
使用之電氣機械器具或設備應具有適合於其設置場
所危險區域劃分使用之防爆性能構造
第177條之2
雇主對於前二條所定應有防爆性能構造之電氣機械器具
設備於中央主管機關公告後新安裝或換裝者應使用
符合中央主管機關指定之國家標準國際標準或團體標準
規定之合格品
前項合格品指經中央主管機關認可公告之機構實施型式
認證合格並張貼認證合格標識者
勞工安全衛生設施規則
防爆電氣設備型式檢定
99年12月27日行政院勞工委員會勞安2字第
09901467020號公告
主旨公告新安裝或換裝之防爆燈具防爆電動機防爆開
關箱等防爆電氣設備應自中華民國一百零一年一月一日起
使用經本會認可公告之機構實施型式認證合格並張貼認證
合格標識之合格品
依據勞工安全衛生設施規則第一百七十七條之二
型式檢定機構100年1月1日至102年12月31日期間勞委會委託「財團法人工業技術研究院」
9
職業安全衛生法
第7條
製造者輸入者供應者或雇主對於中央主管機關指
定之機械設備或器具其構造性能及防護非符合安
全標準者不得產製運出廠場輸入租賃供應或設
置hellip
第8條
製造者或輸入者對於中央主管機關公告列入型式驗證之
機械設備或器具非經中央主管機關認可之驗證機構
實施型式驗證合格及張貼合格標章不得產製運出廠場
或輸入hellip
第110條
用於氣體類之防爆電氣設備其性能構造試驗標
示及危險區域劃分等應符合國家標準 CNS 3376系列
國際標準IEC 60079系列或與其同等之標準規定
第111條
用於粉塵類之防爆電氣設備其性能構造試驗標
示及塵爆場所區域劃分等應符合國際標準 IEC 61241
系列或與其同等之標準規定
機械器具安全防護標準
10
CNS 3376-0 爆炸性氣體環境用電機設備-一般要求
CNS 3376-1 爆炸性氣體環境用電機設備-耐壓防爆外殼ldquodrdquo
CNS 3376-2 爆炸性氣體環境用電機設備-正壓外殼ldquoprdquo
CNS 3376-5 爆炸性氣體環境用電機設備-填粉防爆構造ldquoqrdquo
CNS 3376-6 爆炸性氣體環境用電機設備-油浸構造ldquoordquo
CNS 3376-7 爆炸性氣體環境用電機設備-增加安全ldquoerdquo
CNS 3376-10 爆炸性氣體環境用電機設備-危險區域劃分
CNS 3376-11 爆炸性氣體環境用電機設備-本質安全ldquoirdquo
CNS 3376-15 爆炸性氣體環境用電機設備-保護型式ldquonrdquo
helliphelliphellip
CNS 3376-20 爆炸性氣體環境用電機設備-與使用電機設備有
關之可燃性氣體與蒸氣之資料
國家標準CNS 3376系列標準
危險區域等級劃分目的
分析並劃分可能產生爆炸性氣體環境並考量氣體
種類及溫度等級以幫助選用及安裝可使用於該環境
之電機設備
許多實際情況都會使用易燃性物質所以很難確保爆炸性
氣體環境絕不會發生也很難確保設備絕不會成為點火源
若產生爆炸性氣體環境的可能性降低時可使用較不嚴格
的標準去架設設備
修改設備或操作程序變更可能使原有區域等級劃分失效
必須確定設備在重新組裝時及組裝後是否破壞了原
始設計或影響到區域等級劃分
11
危險區域等級劃分作業流程
易燃性物質性質確認
設備洩漏源確認
洩漏源等級確認
洩漏範圍確認
通風狀況考量
相鄰區域判定
完成區域劃分圖
危險區域等級劃分作業流程
12
洩漏等級分類
連續洩漏等級
洩漏是連續性的或預期長時間發生者
主要洩漏等級
洩漏預期週期性發生或在正常時偶而會發生者
次要洩漏等級
洩漏不預期在正常時會發生如果發生亦不時
常發生且時間很短者
通風等級分類
高度通風 (VH)
可使由來源釋出的爆炸性氣體濃度馬上減少並可保持在
爆炸下限(LEL)以下
中度通風 (VM)
可控制氣體的集中使邊界區域形成濃度低於LEL並
且當洩漏停止後爆炸性氣體也不會殘留
低度通風 (VL)
當洩漏時並不能對釋出氣體濃度加以控制並且或
當洩漏停止後不能防止易燃性氣體的滯留
13
通風設備的有效性
良好
室外自然通風下最小風速05ms會持續出現
通風設備實際上可穩定連續的運轉(具備份設計)
中等
通風設備在正常操作情況下運轉但允許短暫時
段不連續運轉(具連鎖功能如自動停止製程)
差
通風不如良好與中等的情況但是不能長時段發
生不連續運轉
危險區域等級判定參考例
Zone 0
Zone 2
Zone 1
Zone 0
14
危險區域等級判定參考例
a從通氣口處周圍3 m
b從屋頂上部3 m
c從桶槽水平距離3 m
易燃性液體儲槽位於室外為固定式屋頂且內部無浮 動頂槽時
主要影響區域形式和範圍之因素
通 風 狀 況
通風形式 自然通風
通風等級 中度
通風有效性 良好
洩漏源 洩漏等級
液體表面 連續
通氣口和其它屋頂上之開口 主要
法蘭桶槽滿溢之防溢堤內部
次要
產品物質特性
閃火點 低於製程溫度和室溫
蒸汽密度 比空氣重
世界各國有關危險區域之分類比較
系統別 級別
日本 (JIS)
美國 (NEC)
歐洲 (IEC)
台灣 (CNS)
0 0種 Class I
Division 1
Zone 0 0區(Zone 0)
1 1種 Zone 1 1區(Zone 1)
2 2種 Class I
Division 2 Zone 2 2區(Zone 2)
15
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
1 泵浦
2 泵浦 (高密閉)
3 壓縮機
4 洩放口或取樣口
1m
15 m
1m
3 m
3 m5 m
1m
3 m
1m
3 m
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
5 管路接頭
6 通風口
7 溢出池
8 坑槽
或分離器
3 m5 m
1m
45 m
3 m
1m
75 m
3m
1 m
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
16
型式 耐壓
防爆
增加安全防爆
本質安全防爆
正壓防爆
油浸防爆
填粉防爆
模鑄防爆
n
型
保護
特殊防爆
代號 d e i p o q m n s
適用區域場所
1
2
1
2
0
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
2
0
1
2
CNS
編號
3376
-1
3376
-7
3376
-11
3376
-2
3376
-6
3376
-5
3376
-18
3376
-15
一般工廠最常見的防爆電氣構造設備為
耐壓防爆增加安全本質安全正壓防爆
n型防護
防爆電氣構造及適用之防爆區域對照表
防爆電氣之標示
17
日本
(JIS)
歐洲台灣
(IECCNS)
美國
(NEC)
1 IIA D
C
2 IIB B
3 3a 3b
3c 3n
IIC A
CNS 3376-20 與使用電機設備有關之可燃性氣體與蒸氣之資料
易燃
程
度
Zone 0 1 and 2
I (eg甲烷)
IIA (eg 丙烷)
IIB (eg乙烯)
IIC (eg 乙炔及氫氣)
氣體族群分類
氣體族群分類 定 義
I 最小引火能量為260J
IIA 最小引火能量為160J
MESG≧09mm
IIB 最小引火能量為80J
05mmltMESGlt09mm
IIC 最小引火能量為20J
MESG≦05mm
氣體族群分類
MESG最大安全實驗間隙（Maximum Experimental Safety Gap ）之間隙大小即不能引燃殼體爆炸性 氣體混合物的外殼接合面之間的最大間隙
MIE最小引火能量(Minimum Ignition Energy)使引火性液體之蒸氣可燃性氣體或可燃性粉塵著火需要最低著火能量通常係用電容器放出不同能量的火花來試驗能量以毫焦耳為單位
18
發火
溫度
()
日本構造規格 美國(NEC) 歐洲(IEC)
台灣(CNS)
發火度
機器的溫度
上升限度()
機器的溫度上升值
()
溫度等級 表面最高溫度 溫度
等級
表面最高
溫度()
超過 450 G1 360 320 T1 450 T1 450以下
300~450 G2 240 200
T2 300
T2 300以下 T2A 280 T2C 230
T2B 260 T2D 215
200~300 G3 160 120 T3 200 T3B 165
T3 200以下 T3A 180 T3C 160
135~200 G4 110 70 T4 135 T4A 120 T4 135以下
100~135 G5 80 40 T5 100 T5 100以下
85~100 - - - T6 85 T6 85以下
溫度等級分類
國內型式檢定標章
Ex d IIC T6 (X 或 U)
防爆代號 防爆型式 氣體族群 溫度等級
合格編號XXXXXX
你選對了嗎
型式檢定合格網址
httpwwwmepeccditriorgtwexplotype01htm
X必須配合特殊狀況才能使用
如因電源部分無防爆必須於非防爆區充電
U指元件驗證必須組裝完成後再測試功能是否完整
如搭配防爆接頭
19
bull 耐壓防爆(Type d) Ex d
將爆炸侷限於內部
bull 本安防爆(Type i) Ex ia Ex ib
抑制點火能力
bull 正(內)壓防爆(Type p) Ex px Ex py Ex pz
bull 油入防爆(Type o) Ex o
bull 模鑄防爆(Type m) Ex ma Ex mb
隔離點火源
bull 安全增防爆(Type e) Ex e 增加安全度
電氣設備防爆化的各種方法
耐壓防爆 Ex d(適用於12 區)
原理
1器殼內裝有如 NFB (無熔絲
開關)等在正常操作下會發
生火花之一般電氣設備
2若有危險氣體進入可能引火爆炸 而器殼能承受爆炸壓力 且可防止火燄從接合面溢出 避免引燃外界危險氣體產生爆炸
應用 分電盤 控制盤 馬達 變壓器 照明
耐壓器殼
能防止火焰穿透 的接合面間隙
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
7
輕油裂解廠壓縮機控制盤氣爆事故現場狀況
工廠電氣防爆
之稽核實務探討
第177條
雇主對於作業場所有易燃液體之蒸氣可燃性氣體或爆燃性粉塵
以外之可燃性粉塵滯留而有爆炸火災之虞者應依危險特性
採取通風換氣除塵等措施外並依下列規定辦理
一指定專人對於前述蒸氣氣體之濃度於作業前測定之
二蒸氣或氣體之濃度達爆炸下限值之百分之三十以上時應即
刻使勞工退避至安全場所並停止使用煙火及其他為點火
源之虞之機具並應加強通風
三使用之電氣機械器具或設備應具有適合於其設置場所危
險區域劃分使用之防爆性能構造
前項第三款所稱電氣機械器具或設備係指包括電動機變壓
器連接裝置開關分電盤配電盤等電流流通之機械器具
或設備及非屬配線或移動電線之其他類似設備
勞工安全衛生設施規則
8
第177條之1
雇主對於有爆燃性粉塵存在而有爆炸火災之虞之場所
使用之電氣機械器具或設備應具有適合於其設置場
所危險區域劃分使用之防爆性能構造
第177條之2
雇主對於前二條所定應有防爆性能構造之電氣機械器具
設備於中央主管機關公告後新安裝或換裝者應使用
符合中央主管機關指定之國家標準國際標準或團體標準
規定之合格品
前項合格品指經中央主管機關認可公告之機構實施型式
認證合格並張貼認證合格標識者
勞工安全衛生設施規則
防爆電氣設備型式檢定
99年12月27日行政院勞工委員會勞安2字第
09901467020號公告
主旨公告新安裝或換裝之防爆燈具防爆電動機防爆開
關箱等防爆電氣設備應自中華民國一百零一年一月一日起
使用經本會認可公告之機構實施型式認證合格並張貼認證
合格標識之合格品
依據勞工安全衛生設施規則第一百七十七條之二
型式檢定機構100年1月1日至102年12月31日期間勞委會委託「財團法人工業技術研究院」
9
職業安全衛生法
第7條
製造者輸入者供應者或雇主對於中央主管機關指
定之機械設備或器具其構造性能及防護非符合安
全標準者不得產製運出廠場輸入租賃供應或設
置hellip
第8條
製造者或輸入者對於中央主管機關公告列入型式驗證之
機械設備或器具非經中央主管機關認可之驗證機構
實施型式驗證合格及張貼合格標章不得產製運出廠場
或輸入hellip
第110條
用於氣體類之防爆電氣設備其性能構造試驗標
示及危險區域劃分等應符合國家標準 CNS 3376系列
國際標準IEC 60079系列或與其同等之標準規定
第111條
用於粉塵類之防爆電氣設備其性能構造試驗標
示及塵爆場所區域劃分等應符合國際標準 IEC 61241
系列或與其同等之標準規定
機械器具安全防護標準
10
CNS 3376-0 爆炸性氣體環境用電機設備-一般要求
CNS 3376-1 爆炸性氣體環境用電機設備-耐壓防爆外殼ldquodrdquo
CNS 3376-2 爆炸性氣體環境用電機設備-正壓外殼ldquoprdquo
CNS 3376-5 爆炸性氣體環境用電機設備-填粉防爆構造ldquoqrdquo
CNS 3376-6 爆炸性氣體環境用電機設備-油浸構造ldquoordquo
CNS 3376-7 爆炸性氣體環境用電機設備-增加安全ldquoerdquo
CNS 3376-10 爆炸性氣體環境用電機設備-危險區域劃分
CNS 3376-11 爆炸性氣體環境用電機設備-本質安全ldquoirdquo
CNS 3376-15 爆炸性氣體環境用電機設備-保護型式ldquonrdquo
helliphelliphellip
CNS 3376-20 爆炸性氣體環境用電機設備-與使用電機設備有
關之可燃性氣體與蒸氣之資料
國家標準CNS 3376系列標準
危險區域等級劃分目的
分析並劃分可能產生爆炸性氣體環境並考量氣體
種類及溫度等級以幫助選用及安裝可使用於該環境
之電機設備
許多實際情況都會使用易燃性物質所以很難確保爆炸性
氣體環境絕不會發生也很難確保設備絕不會成為點火源
若產生爆炸性氣體環境的可能性降低時可使用較不嚴格
的標準去架設設備
修改設備或操作程序變更可能使原有區域等級劃分失效
必須確定設備在重新組裝時及組裝後是否破壞了原
始設計或影響到區域等級劃分
11
危險區域等級劃分作業流程
易燃性物質性質確認
設備洩漏源確認
洩漏源等級確認
洩漏範圍確認
通風狀況考量
相鄰區域判定
完成區域劃分圖
危險區域等級劃分作業流程
12
洩漏等級分類
連續洩漏等級
洩漏是連續性的或預期長時間發生者
主要洩漏等級
洩漏預期週期性發生或在正常時偶而會發生者
次要洩漏等級
洩漏不預期在正常時會發生如果發生亦不時
常發生且時間很短者
通風等級分類
高度通風 (VH)
可使由來源釋出的爆炸性氣體濃度馬上減少並可保持在
爆炸下限(LEL)以下
中度通風 (VM)
可控制氣體的集中使邊界區域形成濃度低於LEL並
且當洩漏停止後爆炸性氣體也不會殘留
低度通風 (VL)
當洩漏時並不能對釋出氣體濃度加以控制並且或
當洩漏停止後不能防止易燃性氣體的滯留
13
通風設備的有效性
良好
室外自然通風下最小風速05ms會持續出現
通風設備實際上可穩定連續的運轉(具備份設計)
中等
通風設備在正常操作情況下運轉但允許短暫時
段不連續運轉(具連鎖功能如自動停止製程)
差
通風不如良好與中等的情況但是不能長時段發
生不連續運轉
危險區域等級判定參考例
Zone 0
Zone 2
Zone 1
Zone 0
14
危險區域等級判定參考例
a從通氣口處周圍3 m
b從屋頂上部3 m
c從桶槽水平距離3 m
易燃性液體儲槽位於室外為固定式屋頂且內部無浮 動頂槽時
主要影響區域形式和範圍之因素
通 風 狀 況
通風形式 自然通風
通風等級 中度
通風有效性 良好
洩漏源 洩漏等級
液體表面 連續
通氣口和其它屋頂上之開口 主要
法蘭桶槽滿溢之防溢堤內部
次要
產品物質特性
閃火點 低於製程溫度和室溫
蒸汽密度 比空氣重
世界各國有關危險區域之分類比較
系統別 級別
日本 (JIS)
美國 (NEC)
歐洲 (IEC)
台灣 (CNS)
0 0種 Class I
Division 1
Zone 0 0區(Zone 0)
1 1種 Zone 1 1區(Zone 1)
2 2種 Class I
Division 2 Zone 2 2區(Zone 2)
15
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
1 泵浦
2 泵浦 (高密閉)
3 壓縮機
4 洩放口或取樣口
1m
15 m
1m
3 m
3 m5 m
1m
3 m
1m
3 m
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
5 管路接頭
6 通風口
7 溢出池
8 坑槽
或分離器
3 m5 m
1m
45 m
3 m
1m
75 m
3m
1 m
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
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型式 耐壓
防爆
增加安全防爆
本質安全防爆
正壓防爆
油浸防爆
填粉防爆
模鑄防爆
n
型
保護
特殊防爆
代號 d e i p o q m n s
適用區域場所
1
2
1
2
0
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
2
0
1
2
CNS
編號
3376
-1
3376
-7
3376
-11
3376
-2
3376
-6
3376
-5
3376
-18
3376
-15
一般工廠最常見的防爆電氣構造設備為
耐壓防爆增加安全本質安全正壓防爆
n型防護
防爆電氣構造及適用之防爆區域對照表
防爆電氣之標示
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日本
(JIS)
歐洲台灣
(IECCNS)
美國
(NEC)
1 IIA D
C
2 IIB B
3 3a 3b
3c 3n
IIC A
CNS 3376-20 與使用電機設備有關之可燃性氣體與蒸氣之資料
易燃
程
度
Zone 0 1 and 2
I (eg甲烷)
IIA (eg 丙烷)
IIB (eg乙烯)
IIC (eg 乙炔及氫氣)
氣體族群分類
氣體族群分類 定 義
I 最小引火能量為260J
IIA 最小引火能量為160J
MESG≧09mm
IIB 最小引火能量為80J
05mmltMESGlt09mm
IIC 最小引火能量為20J
MESG≦05mm
氣體族群分類
MESG最大安全實驗間隙（Maximum Experimental Safety Gap ）之間隙大小即不能引燃殼體爆炸性 氣體混合物的外殼接合面之間的最大間隙
MIE最小引火能量(Minimum Ignition Energy)使引火性液體之蒸氣可燃性氣體或可燃性粉塵著火需要最低著火能量通常係用電容器放出不同能量的火花來試驗能量以毫焦耳為單位
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發火
溫度
()
日本構造規格 美國(NEC) 歐洲(IEC)
台灣(CNS)
發火度
機器的溫度
上升限度()
機器的溫度上升值
()
溫度等級 表面最高溫度 溫度
等級
表面最高
溫度()
超過 450 G1 360 320 T1 450 T1 450以下
300~450 G2 240 200
T2 300
T2 300以下 T2A 280 T2C 230
T2B 260 T2D 215
200~300 G3 160 120 T3 200 T3B 165
T3 200以下 T3A 180 T3C 160
135~200 G4 110 70 T4 135 T4A 120 T4 135以下
100~135 G5 80 40 T5 100 T5 100以下
85~100 - - - T6 85 T6 85以下
溫度等級分類
國內型式檢定標章
Ex d IIC T6 (X 或 U)
防爆代號 防爆型式 氣體族群 溫度等級
合格編號XXXXXX
你選對了嗎
型式檢定合格網址
httpwwwmepeccditriorgtwexplotype01htm
X必須配合特殊狀況才能使用
如因電源部分無防爆必須於非防爆區充電
U指元件驗證必須組裝完成後再測試功能是否完整
如搭配防爆接頭
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bull 耐壓防爆(Type d) Ex d
將爆炸侷限於內部
bull 本安防爆(Type i) Ex ia Ex ib
抑制點火能力
bull 正(內)壓防爆(Type p) Ex px Ex py Ex pz
bull 油入防爆(Type o) Ex o
bull 模鑄防爆(Type m) Ex ma Ex mb
隔離點火源
bull 安全增防爆(Type e) Ex e 增加安全度
電氣設備防爆化的各種方法
耐壓防爆 Ex d(適用於12 區)
原理
1器殼內裝有如 NFB (無熔絲
開關)等在正常操作下會發
生火花之一般電氣設備
2若有危險氣體進入可能引火爆炸 而器殼能承受爆炸壓力 且可防止火燄從接合面溢出 避免引燃外界危險氣體產生爆炸
應用 分電盤 控制盤 馬達 變壓器 照明
耐壓器殼
能防止火焰穿透 的接合面間隙
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
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危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
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當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
8
第177條之1
雇主對於有爆燃性粉塵存在而有爆炸火災之虞之場所
使用之電氣機械器具或設備應具有適合於其設置場
所危險區域劃分使用之防爆性能構造
第177條之2
雇主對於前二條所定應有防爆性能構造之電氣機械器具
設備於中央主管機關公告後新安裝或換裝者應使用
符合中央主管機關指定之國家標準國際標準或團體標準
規定之合格品
前項合格品指經中央主管機關認可公告之機構實施型式
認證合格並張貼認證合格標識者
勞工安全衛生設施規則
防爆電氣設備型式檢定
99年12月27日行政院勞工委員會勞安2字第
09901467020號公告
主旨公告新安裝或換裝之防爆燈具防爆電動機防爆開
關箱等防爆電氣設備應自中華民國一百零一年一月一日起
使用經本會認可公告之機構實施型式認證合格並張貼認證
合格標識之合格品
依據勞工安全衛生設施規則第一百七十七條之二
型式檢定機構100年1月1日至102年12月31日期間勞委會委託「財團法人工業技術研究院」
9
職業安全衛生法
第7條
製造者輸入者供應者或雇主對於中央主管機關指
定之機械設備或器具其構造性能及防護非符合安
全標準者不得產製運出廠場輸入租賃供應或設
置hellip
第8條
製造者或輸入者對於中央主管機關公告列入型式驗證之
機械設備或器具非經中央主管機關認可之驗證機構
實施型式驗證合格及張貼合格標章不得產製運出廠場
或輸入hellip
第110條
用於氣體類之防爆電氣設備其性能構造試驗標
示及危險區域劃分等應符合國家標準 CNS 3376系列
國際標準IEC 60079系列或與其同等之標準規定
第111條
用於粉塵類之防爆電氣設備其性能構造試驗標
示及塵爆場所區域劃分等應符合國際標準 IEC 61241
系列或與其同等之標準規定
機械器具安全防護標準
10
CNS 3376-0 爆炸性氣體環境用電機設備-一般要求
CNS 3376-1 爆炸性氣體環境用電機設備-耐壓防爆外殼ldquodrdquo
CNS 3376-2 爆炸性氣體環境用電機設備-正壓外殼ldquoprdquo
CNS 3376-5 爆炸性氣體環境用電機設備-填粉防爆構造ldquoqrdquo
CNS 3376-6 爆炸性氣體環境用電機設備-油浸構造ldquoordquo
CNS 3376-7 爆炸性氣體環境用電機設備-增加安全ldquoerdquo
CNS 3376-10 爆炸性氣體環境用電機設備-危險區域劃分
CNS 3376-11 爆炸性氣體環境用電機設備-本質安全ldquoirdquo
CNS 3376-15 爆炸性氣體環境用電機設備-保護型式ldquonrdquo
helliphelliphellip
CNS 3376-20 爆炸性氣體環境用電機設備-與使用電機設備有
關之可燃性氣體與蒸氣之資料
國家標準CNS 3376系列標準
危險區域等級劃分目的
分析並劃分可能產生爆炸性氣體環境並考量氣體
種類及溫度等級以幫助選用及安裝可使用於該環境
之電機設備
許多實際情況都會使用易燃性物質所以很難確保爆炸性
氣體環境絕不會發生也很難確保設備絕不會成為點火源
若產生爆炸性氣體環境的可能性降低時可使用較不嚴格
的標準去架設設備
修改設備或操作程序變更可能使原有區域等級劃分失效
必須確定設備在重新組裝時及組裝後是否破壞了原
始設計或影響到區域等級劃分
11
危險區域等級劃分作業流程
易燃性物質性質確認
設備洩漏源確認
洩漏源等級確認
洩漏範圍確認
通風狀況考量
相鄰區域判定
完成區域劃分圖
危險區域等級劃分作業流程
12
洩漏等級分類
連續洩漏等級
洩漏是連續性的或預期長時間發生者
主要洩漏等級
洩漏預期週期性發生或在正常時偶而會發生者
次要洩漏等級
洩漏不預期在正常時會發生如果發生亦不時
常發生且時間很短者
通風等級分類
高度通風 (VH)
可使由來源釋出的爆炸性氣體濃度馬上減少並可保持在
爆炸下限(LEL)以下
中度通風 (VM)
可控制氣體的集中使邊界區域形成濃度低於LEL並
且當洩漏停止後爆炸性氣體也不會殘留
低度通風 (VL)
當洩漏時並不能對釋出氣體濃度加以控制並且或
當洩漏停止後不能防止易燃性氣體的滯留
13
通風設備的有效性
良好
室外自然通風下最小風速05ms會持續出現
通風設備實際上可穩定連續的運轉(具備份設計)
中等
通風設備在正常操作情況下運轉但允許短暫時
段不連續運轉(具連鎖功能如自動停止製程)
差
通風不如良好與中等的情況但是不能長時段發
生不連續運轉
危險區域等級判定參考例
Zone 0
Zone 2
Zone 1
Zone 0
14
危險區域等級判定參考例
a從通氣口處周圍3 m
b從屋頂上部3 m
c從桶槽水平距離3 m
易燃性液體儲槽位於室外為固定式屋頂且內部無浮 動頂槽時
主要影響區域形式和範圍之因素
通 風 狀 況
通風形式 自然通風
通風等級 中度
通風有效性 良好
洩漏源 洩漏等級
液體表面 連續
通氣口和其它屋頂上之開口 主要
法蘭桶槽滿溢之防溢堤內部
次要
產品物質特性
閃火點 低於製程溫度和室溫
蒸汽密度 比空氣重
世界各國有關危險區域之分類比較
系統別 級別
日本 (JIS)
美國 (NEC)
歐洲 (IEC)
台灣 (CNS)
0 0種 Class I
Division 1
Zone 0 0區(Zone 0)
1 1種 Zone 1 1區(Zone 1)
2 2種 Class I
Division 2 Zone 2 2區(Zone 2)
15
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
1 泵浦
2 泵浦 (高密閉)
3 壓縮機
4 洩放口或取樣口
1m
15 m
1m
3 m
3 m5 m
1m
3 m
1m
3 m
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
5 管路接頭
6 通風口
7 溢出池
8 坑槽
或分離器
3 m5 m
1m
45 m
3 m
1m
75 m
3m
1 m
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
16
型式 耐壓
防爆
增加安全防爆
本質安全防爆
正壓防爆
油浸防爆
填粉防爆
模鑄防爆
n
型
保護
特殊防爆
代號 d e i p o q m n s
適用區域場所
1
2
1
2
0
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
2
0
1
2
CNS
編號
3376
-1
3376
-7
3376
-11
3376
-2
3376
-6
3376
-5
3376
-18
3376
-15
一般工廠最常見的防爆電氣構造設備為
耐壓防爆增加安全本質安全正壓防爆
n型防護
防爆電氣構造及適用之防爆區域對照表
防爆電氣之標示
17
日本
(JIS)
歐洲台灣
(IECCNS)
美國
(NEC)
1 IIA D
C
2 IIB B
3 3a 3b
3c 3n
IIC A
CNS 3376-20 與使用電機設備有關之可燃性氣體與蒸氣之資料
易燃
程
度
Zone 0 1 and 2
I (eg甲烷)
IIA (eg 丙烷)
IIB (eg乙烯)
IIC (eg 乙炔及氫氣)
氣體族群分類
氣體族群分類 定 義
I 最小引火能量為260J
IIA 最小引火能量為160J
MESG≧09mm
IIB 最小引火能量為80J
05mmltMESGlt09mm
IIC 最小引火能量為20J
MESG≦05mm
氣體族群分類
MESG最大安全實驗間隙（Maximum Experimental Safety Gap ）之間隙大小即不能引燃殼體爆炸性 氣體混合物的外殼接合面之間的最大間隙
MIE最小引火能量(Minimum Ignition Energy)使引火性液體之蒸氣可燃性氣體或可燃性粉塵著火需要最低著火能量通常係用電容器放出不同能量的火花來試驗能量以毫焦耳為單位
18
發火
溫度
()
日本構造規格 美國(NEC) 歐洲(IEC)
台灣(CNS)
發火度
機器的溫度
上升限度()
機器的溫度上升值
()
溫度等級 表面最高溫度 溫度
等級
表面最高
溫度()
超過 450 G1 360 320 T1 450 T1 450以下
300~450 G2 240 200
T2 300
T2 300以下 T2A 280 T2C 230
T2B 260 T2D 215
200~300 G3 160 120 T3 200 T3B 165
T3 200以下 T3A 180 T3C 160
135~200 G4 110 70 T4 135 T4A 120 T4 135以下
100~135 G5 80 40 T5 100 T5 100以下
85~100 - - - T6 85 T6 85以下
溫度等級分類
國內型式檢定標章
Ex d IIC T6 (X 或 U)
防爆代號 防爆型式 氣體族群 溫度等級
合格編號XXXXXX
你選對了嗎
型式檢定合格網址
httpwwwmepeccditriorgtwexplotype01htm
X必須配合特殊狀況才能使用
如因電源部分無防爆必須於非防爆區充電
U指元件驗證必須組裝完成後再測試功能是否完整
如搭配防爆接頭
19
bull 耐壓防爆(Type d) Ex d
將爆炸侷限於內部
bull 本安防爆(Type i) Ex ia Ex ib
抑制點火能力
bull 正(內)壓防爆(Type p) Ex px Ex py Ex pz
bull 油入防爆(Type o) Ex o
bull 模鑄防爆(Type m) Ex ma Ex mb
隔離點火源
bull 安全增防爆(Type e) Ex e 增加安全度
電氣設備防爆化的各種方法
耐壓防爆 Ex d(適用於12 區)
原理
1器殼內裝有如 NFB (無熔絲
開關)等在正常操作下會發
生火花之一般電氣設備
2若有危險氣體進入可能引火爆炸 而器殼能承受爆炸壓力 且可防止火燄從接合面溢出 避免引燃外界危險氣體產生爆炸
應用 分電盤 控制盤 馬達 變壓器 照明
耐壓器殼
能防止火焰穿透 的接合面間隙
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
9
職業安全衛生法
第7條
製造者輸入者供應者或雇主對於中央主管機關指
定之機械設備或器具其構造性能及防護非符合安
全標準者不得產製運出廠場輸入租賃供應或設
置hellip
第8條
製造者或輸入者對於中央主管機關公告列入型式驗證之
機械設備或器具非經中央主管機關認可之驗證機構
實施型式驗證合格及張貼合格標章不得產製運出廠場
或輸入hellip
第110條
用於氣體類之防爆電氣設備其性能構造試驗標
示及危險區域劃分等應符合國家標準 CNS 3376系列
國際標準IEC 60079系列或與其同等之標準規定
第111條
用於粉塵類之防爆電氣設備其性能構造試驗標
示及塵爆場所區域劃分等應符合國際標準 IEC 61241
系列或與其同等之標準規定
機械器具安全防護標準
10
CNS 3376-0 爆炸性氣體環境用電機設備-一般要求
CNS 3376-1 爆炸性氣體環境用電機設備-耐壓防爆外殼ldquodrdquo
CNS 3376-2 爆炸性氣體環境用電機設備-正壓外殼ldquoprdquo
CNS 3376-5 爆炸性氣體環境用電機設備-填粉防爆構造ldquoqrdquo
CNS 3376-6 爆炸性氣體環境用電機設備-油浸構造ldquoordquo
CNS 3376-7 爆炸性氣體環境用電機設備-增加安全ldquoerdquo
CNS 3376-10 爆炸性氣體環境用電機設備-危險區域劃分
CNS 3376-11 爆炸性氣體環境用電機設備-本質安全ldquoirdquo
CNS 3376-15 爆炸性氣體環境用電機設備-保護型式ldquonrdquo
helliphelliphellip
CNS 3376-20 爆炸性氣體環境用電機設備-與使用電機設備有
關之可燃性氣體與蒸氣之資料
國家標準CNS 3376系列標準
危險區域等級劃分目的
分析並劃分可能產生爆炸性氣體環境並考量氣體
種類及溫度等級以幫助選用及安裝可使用於該環境
之電機設備
許多實際情況都會使用易燃性物質所以很難確保爆炸性
氣體環境絕不會發生也很難確保設備絕不會成為點火源
若產生爆炸性氣體環境的可能性降低時可使用較不嚴格
的標準去架設設備
修改設備或操作程序變更可能使原有區域等級劃分失效
必須確定設備在重新組裝時及組裝後是否破壞了原
始設計或影響到區域等級劃分
11
危險區域等級劃分作業流程
易燃性物質性質確認
設備洩漏源確認
洩漏源等級確認
洩漏範圍確認
通風狀況考量
相鄰區域判定
完成區域劃分圖
危險區域等級劃分作業流程
12
洩漏等級分類
連續洩漏等級
洩漏是連續性的或預期長時間發生者
主要洩漏等級
洩漏預期週期性發生或在正常時偶而會發生者
次要洩漏等級
洩漏不預期在正常時會發生如果發生亦不時
常發生且時間很短者
通風等級分類
高度通風 (VH)
可使由來源釋出的爆炸性氣體濃度馬上減少並可保持在
爆炸下限(LEL)以下
中度通風 (VM)
可控制氣體的集中使邊界區域形成濃度低於LEL並
且當洩漏停止後爆炸性氣體也不會殘留
低度通風 (VL)
當洩漏時並不能對釋出氣體濃度加以控制並且或
當洩漏停止後不能防止易燃性氣體的滯留
13
通風設備的有效性
良好
室外自然通風下最小風速05ms會持續出現
通風設備實際上可穩定連續的運轉(具備份設計)
中等
通風設備在正常操作情況下運轉但允許短暫時
段不連續運轉(具連鎖功能如自動停止製程)
差
通風不如良好與中等的情況但是不能長時段發
生不連續運轉
危險區域等級判定參考例
Zone 0
Zone 2
Zone 1
Zone 0
14
危險區域等級判定參考例
a從通氣口處周圍3 m
b從屋頂上部3 m
c從桶槽水平距離3 m
易燃性液體儲槽位於室外為固定式屋頂且內部無浮 動頂槽時
主要影響區域形式和範圍之因素
通 風 狀 況
通風形式 自然通風
通風等級 中度
通風有效性 良好
洩漏源 洩漏等級
液體表面 連續
通氣口和其它屋頂上之開口 主要
法蘭桶槽滿溢之防溢堤內部
次要
產品物質特性
閃火點 低於製程溫度和室溫
蒸汽密度 比空氣重
世界各國有關危險區域之分類比較
系統別 級別
日本 (JIS)
美國 (NEC)
歐洲 (IEC)
台灣 (CNS)
0 0種 Class I
Division 1
Zone 0 0區(Zone 0)
1 1種 Zone 1 1區(Zone 1)
2 2種 Class I
Division 2 Zone 2 2區(Zone 2)
15
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
1 泵浦
2 泵浦 (高密閉)
3 壓縮機
4 洩放口或取樣口
1m
15 m
1m
3 m
3 m5 m
1m
3 m
1m
3 m
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
5 管路接頭
6 通風口
7 溢出池
8 坑槽
或分離器
3 m5 m
1m
45 m
3 m
1m
75 m
3m
1 m
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
16
型式 耐壓
防爆
增加安全防爆
本質安全防爆
正壓防爆
油浸防爆
填粉防爆
模鑄防爆
n
型
保護
特殊防爆
代號 d e i p o q m n s
適用區域場所
1
2
1
2
0
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
2
0
1
2
CNS
編號
3376
-1
3376
-7
3376
-11
3376
-2
3376
-6
3376
-5
3376
-18
3376
-15
一般工廠最常見的防爆電氣構造設備為
耐壓防爆增加安全本質安全正壓防爆
n型防護
防爆電氣構造及適用之防爆區域對照表
防爆電氣之標示
17
日本
(JIS)
歐洲台灣
(IECCNS)
美國
(NEC)
1 IIA D
C
2 IIB B
3 3a 3b
3c 3n
IIC A
CNS 3376-20 與使用電機設備有關之可燃性氣體與蒸氣之資料
易燃
程
度
Zone 0 1 and 2
I (eg甲烷)
IIA (eg 丙烷)
IIB (eg乙烯)
IIC (eg 乙炔及氫氣)
氣體族群分類
氣體族群分類 定 義
I 最小引火能量為260J
IIA 最小引火能量為160J
MESG≧09mm
IIB 最小引火能量為80J
05mmltMESGlt09mm
IIC 最小引火能量為20J
MESG≦05mm
氣體族群分類
MESG最大安全實驗間隙（Maximum Experimental Safety Gap ）之間隙大小即不能引燃殼體爆炸性 氣體混合物的外殼接合面之間的最大間隙
MIE最小引火能量(Minimum Ignition Energy)使引火性液體之蒸氣可燃性氣體或可燃性粉塵著火需要最低著火能量通常係用電容器放出不同能量的火花來試驗能量以毫焦耳為單位
18
發火
溫度
()
日本構造規格 美國(NEC) 歐洲(IEC)
台灣(CNS)
發火度
機器的溫度
上升限度()
機器的溫度上升值
()
溫度等級 表面最高溫度 溫度
等級
表面最高
溫度()
超過 450 G1 360 320 T1 450 T1 450以下
300~450 G2 240 200
T2 300
T2 300以下 T2A 280 T2C 230
T2B 260 T2D 215
200~300 G3 160 120 T3 200 T3B 165
T3 200以下 T3A 180 T3C 160
135~200 G4 110 70 T4 135 T4A 120 T4 135以下
100~135 G5 80 40 T5 100 T5 100以下
85~100 - - - T6 85 T6 85以下
溫度等級分類
國內型式檢定標章
Ex d IIC T6 (X 或 U)
防爆代號 防爆型式 氣體族群 溫度等級
合格編號XXXXXX
你選對了嗎
型式檢定合格網址
httpwwwmepeccditriorgtwexplotype01htm
X必須配合特殊狀況才能使用
如因電源部分無防爆必須於非防爆區充電
U指元件驗證必須組裝完成後再測試功能是否完整
如搭配防爆接頭
19
bull 耐壓防爆(Type d) Ex d
將爆炸侷限於內部
bull 本安防爆(Type i) Ex ia Ex ib
抑制點火能力
bull 正(內)壓防爆(Type p) Ex px Ex py Ex pz
bull 油入防爆(Type o) Ex o
bull 模鑄防爆(Type m) Ex ma Ex mb
隔離點火源
bull 安全增防爆(Type e) Ex e 增加安全度
電氣設備防爆化的各種方法
耐壓防爆 Ex d(適用於12 區)
原理
1器殼內裝有如 NFB (無熔絲
開關)等在正常操作下會發
生火花之一般電氣設備
2若有危險氣體進入可能引火爆炸 而器殼能承受爆炸壓力 且可防止火燄從接合面溢出 避免引燃外界危險氣體產生爆炸
應用 分電盤 控制盤 馬達 變壓器 照明
耐壓器殼
能防止火焰穿透 的接合面間隙
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
10
CNS 3376-0 爆炸性氣體環境用電機設備-一般要求
CNS 3376-1 爆炸性氣體環境用電機設備-耐壓防爆外殼ldquodrdquo
CNS 3376-2 爆炸性氣體環境用電機設備-正壓外殼ldquoprdquo
CNS 3376-5 爆炸性氣體環境用電機設備-填粉防爆構造ldquoqrdquo
CNS 3376-6 爆炸性氣體環境用電機設備-油浸構造ldquoordquo
CNS 3376-7 爆炸性氣體環境用電機設備-增加安全ldquoerdquo
CNS 3376-10 爆炸性氣體環境用電機設備-危險區域劃分
CNS 3376-11 爆炸性氣體環境用電機設備-本質安全ldquoirdquo
CNS 3376-15 爆炸性氣體環境用電機設備-保護型式ldquonrdquo
helliphelliphellip
CNS 3376-20 爆炸性氣體環境用電機設備-與使用電機設備有
關之可燃性氣體與蒸氣之資料
國家標準CNS 3376系列標準
危險區域等級劃分目的
分析並劃分可能產生爆炸性氣體環境並考量氣體
種類及溫度等級以幫助選用及安裝可使用於該環境
之電機設備
許多實際情況都會使用易燃性物質所以很難確保爆炸性
氣體環境絕不會發生也很難確保設備絕不會成為點火源
若產生爆炸性氣體環境的可能性降低時可使用較不嚴格
的標準去架設設備
修改設備或操作程序變更可能使原有區域等級劃分失效
必須確定設備在重新組裝時及組裝後是否破壞了原
始設計或影響到區域等級劃分
11
危險區域等級劃分作業流程
易燃性物質性質確認
設備洩漏源確認
洩漏源等級確認
洩漏範圍確認
通風狀況考量
相鄰區域判定
完成區域劃分圖
危險區域等級劃分作業流程
12
洩漏等級分類
連續洩漏等級
洩漏是連續性的或預期長時間發生者
主要洩漏等級
洩漏預期週期性發生或在正常時偶而會發生者
次要洩漏等級
洩漏不預期在正常時會發生如果發生亦不時
常發生且時間很短者
通風等級分類
高度通風 (VH)
可使由來源釋出的爆炸性氣體濃度馬上減少並可保持在
爆炸下限(LEL)以下
中度通風 (VM)
可控制氣體的集中使邊界區域形成濃度低於LEL並
且當洩漏停止後爆炸性氣體也不會殘留
低度通風 (VL)
當洩漏時並不能對釋出氣體濃度加以控制並且或
當洩漏停止後不能防止易燃性氣體的滯留
13
通風設備的有效性
良好
室外自然通風下最小風速05ms會持續出現
通風設備實際上可穩定連續的運轉(具備份設計)
中等
通風設備在正常操作情況下運轉但允許短暫時
段不連續運轉(具連鎖功能如自動停止製程)
差
通風不如良好與中等的情況但是不能長時段發
生不連續運轉
危險區域等級判定參考例
Zone 0
Zone 2
Zone 1
Zone 0
14
危險區域等級判定參考例
a從通氣口處周圍3 m
b從屋頂上部3 m
c從桶槽水平距離3 m
易燃性液體儲槽位於室外為固定式屋頂且內部無浮 動頂槽時
主要影響區域形式和範圍之因素
通 風 狀 況
通風形式 自然通風
通風等級 中度
通風有效性 良好
洩漏源 洩漏等級
液體表面 連續
通氣口和其它屋頂上之開口 主要
法蘭桶槽滿溢之防溢堤內部
次要
產品物質特性
閃火點 低於製程溫度和室溫
蒸汽密度 比空氣重
世界各國有關危險區域之分類比較
系統別 級別
日本 (JIS)
美國 (NEC)
歐洲 (IEC)
台灣 (CNS)
0 0種 Class I
Division 1
Zone 0 0區(Zone 0)
1 1種 Zone 1 1區(Zone 1)
2 2種 Class I
Division 2 Zone 2 2區(Zone 2)
15
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
1 泵浦
2 泵浦 (高密閉)
3 壓縮機
4 洩放口或取樣口
1m
15 m
1m
3 m
3 m5 m
1m
3 m
1m
3 m
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
5 管路接頭
6 通風口
7 溢出池
8 坑槽
或分離器
3 m5 m
1m
45 m
3 m
1m
75 m
3m
1 m
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
16
型式 耐壓
防爆
增加安全防爆
本質安全防爆
正壓防爆
油浸防爆
填粉防爆
模鑄防爆
n
型
保護
特殊防爆
代號 d e i p o q m n s
適用區域場所
1
2
1
2
0
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
2
0
1
2
CNS
編號
3376
-1
3376
-7
3376
-11
3376
-2
3376
-6
3376
-5
3376
-18
3376
-15
一般工廠最常見的防爆電氣構造設備為
耐壓防爆增加安全本質安全正壓防爆
n型防護
防爆電氣構造及適用之防爆區域對照表
防爆電氣之標示
17
日本
(JIS)
歐洲台灣
(IECCNS)
美國
(NEC)
1 IIA D
C
2 IIB B
3 3a 3b
3c 3n
IIC A
CNS 3376-20 與使用電機設備有關之可燃性氣體與蒸氣之資料
易燃
程
度
Zone 0 1 and 2
I (eg甲烷)
IIA (eg 丙烷)
IIB (eg乙烯)
IIC (eg 乙炔及氫氣)
氣體族群分類
氣體族群分類 定 義
I 最小引火能量為260J
IIA 最小引火能量為160J
MESG≧09mm
IIB 最小引火能量為80J
05mmltMESGlt09mm
IIC 最小引火能量為20J
MESG≦05mm
氣體族群分類
MESG最大安全實驗間隙（Maximum Experimental Safety Gap ）之間隙大小即不能引燃殼體爆炸性 氣體混合物的外殼接合面之間的最大間隙
MIE最小引火能量(Minimum Ignition Energy)使引火性液體之蒸氣可燃性氣體或可燃性粉塵著火需要最低著火能量通常係用電容器放出不同能量的火花來試驗能量以毫焦耳為單位
18
發火
溫度
()
日本構造規格 美國(NEC) 歐洲(IEC)
台灣(CNS)
發火度
機器的溫度
上升限度()
機器的溫度上升值
()
溫度等級 表面最高溫度 溫度
等級
表面最高
溫度()
超過 450 G1 360 320 T1 450 T1 450以下
300~450 G2 240 200
T2 300
T2 300以下 T2A 280 T2C 230
T2B 260 T2D 215
200~300 G3 160 120 T3 200 T3B 165
T3 200以下 T3A 180 T3C 160
135~200 G4 110 70 T4 135 T4A 120 T4 135以下
100~135 G5 80 40 T5 100 T5 100以下
85~100 - - - T6 85 T6 85以下
溫度等級分類
國內型式檢定標章
Ex d IIC T6 (X 或 U)
防爆代號 防爆型式 氣體族群 溫度等級
合格編號XXXXXX
你選對了嗎
型式檢定合格網址
httpwwwmepeccditriorgtwexplotype01htm
X必須配合特殊狀況才能使用
如因電源部分無防爆必須於非防爆區充電
U指元件驗證必須組裝完成後再測試功能是否完整
如搭配防爆接頭
19
bull 耐壓防爆(Type d) Ex d
將爆炸侷限於內部
bull 本安防爆(Type i) Ex ia Ex ib
抑制點火能力
bull 正(內)壓防爆(Type p) Ex px Ex py Ex pz
bull 油入防爆(Type o) Ex o
bull 模鑄防爆(Type m) Ex ma Ex mb
隔離點火源
bull 安全增防爆(Type e) Ex e 增加安全度
電氣設備防爆化的各種方法
耐壓防爆 Ex d(適用於12 區)
原理
1器殼內裝有如 NFB (無熔絲
開關)等在正常操作下會發
生火花之一般電氣設備
2若有危險氣體進入可能引火爆炸 而器殼能承受爆炸壓力 且可防止火燄從接合面溢出 避免引燃外界危險氣體產生爆炸
應用 分電盤 控制盤 馬達 變壓器 照明
耐壓器殼
能防止火焰穿透 的接合面間隙
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
11
危險區域等級劃分作業流程
易燃性物質性質確認
設備洩漏源確認
洩漏源等級確認
洩漏範圍確認
通風狀況考量
相鄰區域判定
完成區域劃分圖
危險區域等級劃分作業流程
12
洩漏等級分類
連續洩漏等級
洩漏是連續性的或預期長時間發生者
主要洩漏等級
洩漏預期週期性發生或在正常時偶而會發生者
次要洩漏等級
洩漏不預期在正常時會發生如果發生亦不時
常發生且時間很短者
通風等級分類
高度通風 (VH)
可使由來源釋出的爆炸性氣體濃度馬上減少並可保持在
爆炸下限(LEL)以下
中度通風 (VM)
可控制氣體的集中使邊界區域形成濃度低於LEL並
且當洩漏停止後爆炸性氣體也不會殘留
低度通風 (VL)
當洩漏時並不能對釋出氣體濃度加以控制並且或
當洩漏停止後不能防止易燃性氣體的滯留
13
通風設備的有效性
良好
室外自然通風下最小風速05ms會持續出現
通風設備實際上可穩定連續的運轉(具備份設計)
中等
通風設備在正常操作情況下運轉但允許短暫時
段不連續運轉(具連鎖功能如自動停止製程)
差
通風不如良好與中等的情況但是不能長時段發
生不連續運轉
危險區域等級判定參考例
Zone 0
Zone 2
Zone 1
Zone 0
14
危險區域等級判定參考例
a從通氣口處周圍3 m
b從屋頂上部3 m
c從桶槽水平距離3 m
易燃性液體儲槽位於室外為固定式屋頂且內部無浮 動頂槽時
主要影響區域形式和範圍之因素
通 風 狀 況
通風形式 自然通風
通風等級 中度
通風有效性 良好
洩漏源 洩漏等級
液體表面 連續
通氣口和其它屋頂上之開口 主要
法蘭桶槽滿溢之防溢堤內部
次要
產品物質特性
閃火點 低於製程溫度和室溫
蒸汽密度 比空氣重
世界各國有關危險區域之分類比較
系統別 級別
日本 (JIS)
美國 (NEC)
歐洲 (IEC)
台灣 (CNS)
0 0種 Class I
Division 1
Zone 0 0區(Zone 0)
1 1種 Zone 1 1區(Zone 1)
2 2種 Class I
Division 2 Zone 2 2區(Zone 2)
15
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
1 泵浦
2 泵浦 (高密閉)
3 壓縮機
4 洩放口或取樣口
1m
15 m
1m
3 m
3 m5 m
1m
3 m
1m
3 m
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
5 管路接頭
6 通風口
7 溢出池
8 坑槽
或分離器
3 m5 m
1m
45 m
3 m
1m
75 m
3m
1 m
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
16
型式 耐壓
防爆
增加安全防爆
本質安全防爆
正壓防爆
油浸防爆
填粉防爆
模鑄防爆
n
型
保護
特殊防爆
代號 d e i p o q m n s
適用區域場所
1
2
1
2
0
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
2
0
1
2
CNS
編號
3376
-1
3376
-7
3376
-11
3376
-2
3376
-6
3376
-5
3376
-18
3376
-15
一般工廠最常見的防爆電氣構造設備為
耐壓防爆增加安全本質安全正壓防爆
n型防護
防爆電氣構造及適用之防爆區域對照表
防爆電氣之標示
17
日本
(JIS)
歐洲台灣
(IECCNS)
美國
(NEC)
1 IIA D
C
2 IIB B
3 3a 3b
3c 3n
IIC A
CNS 3376-20 與使用電機設備有關之可燃性氣體與蒸氣之資料
易燃
程
度
Zone 0 1 and 2
I (eg甲烷)
IIA (eg 丙烷)
IIB (eg乙烯)
IIC (eg 乙炔及氫氣)
氣體族群分類
氣體族群分類 定 義
I 最小引火能量為260J
IIA 最小引火能量為160J
MESG≧09mm
IIB 最小引火能量為80J
05mmltMESGlt09mm
IIC 最小引火能量為20J
MESG≦05mm
氣體族群分類
MESG最大安全實驗間隙（Maximum Experimental Safety Gap ）之間隙大小即不能引燃殼體爆炸性 氣體混合物的外殼接合面之間的最大間隙
MIE最小引火能量(Minimum Ignition Energy)使引火性液體之蒸氣可燃性氣體或可燃性粉塵著火需要最低著火能量通常係用電容器放出不同能量的火花來試驗能量以毫焦耳為單位
18
發火
溫度
()
日本構造規格 美國(NEC) 歐洲(IEC)
台灣(CNS)
發火度
機器的溫度
上升限度()
機器的溫度上升值
()
溫度等級 表面最高溫度 溫度
等級
表面最高
溫度()
超過 450 G1 360 320 T1 450 T1 450以下
300~450 G2 240 200
T2 300
T2 300以下 T2A 280 T2C 230
T2B 260 T2D 215
200~300 G3 160 120 T3 200 T3B 165
T3 200以下 T3A 180 T3C 160
135~200 G4 110 70 T4 135 T4A 120 T4 135以下
100~135 G5 80 40 T5 100 T5 100以下
85~100 - - - T6 85 T6 85以下
溫度等級分類
國內型式檢定標章
Ex d IIC T6 (X 或 U)
防爆代號 防爆型式 氣體族群 溫度等級
合格編號XXXXXX
你選對了嗎
型式檢定合格網址
httpwwwmepeccditriorgtwexplotype01htm
X必須配合特殊狀況才能使用
如因電源部分無防爆必須於非防爆區充電
U指元件驗證必須組裝完成後再測試功能是否完整
如搭配防爆接頭
19
bull 耐壓防爆(Type d) Ex d
將爆炸侷限於內部
bull 本安防爆(Type i) Ex ia Ex ib
抑制點火能力
bull 正(內)壓防爆(Type p) Ex px Ex py Ex pz
bull 油入防爆(Type o) Ex o
bull 模鑄防爆(Type m) Ex ma Ex mb
隔離點火源
bull 安全增防爆(Type e) Ex e 增加安全度
電氣設備防爆化的各種方法
耐壓防爆 Ex d(適用於12 區)
原理
1器殼內裝有如 NFB (無熔絲
開關)等在正常操作下會發
生火花之一般電氣設備
2若有危險氣體進入可能引火爆炸 而器殼能承受爆炸壓力 且可防止火燄從接合面溢出 避免引燃外界危險氣體產生爆炸
應用 分電盤 控制盤 馬達 變壓器 照明
耐壓器殼
能防止火焰穿透 的接合面間隙
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
12
洩漏等級分類
連續洩漏等級
洩漏是連續性的或預期長時間發生者
主要洩漏等級
洩漏預期週期性發生或在正常時偶而會發生者
次要洩漏等級
洩漏不預期在正常時會發生如果發生亦不時
常發生且時間很短者
通風等級分類
高度通風 (VH)
可使由來源釋出的爆炸性氣體濃度馬上減少並可保持在
爆炸下限(LEL)以下
中度通風 (VM)
可控制氣體的集中使邊界區域形成濃度低於LEL並
且當洩漏停止後爆炸性氣體也不會殘留
低度通風 (VL)
當洩漏時並不能對釋出氣體濃度加以控制並且或
當洩漏停止後不能防止易燃性氣體的滯留
13
通風設備的有效性
良好
室外自然通風下最小風速05ms會持續出現
通風設備實際上可穩定連續的運轉(具備份設計)
中等
通風設備在正常操作情況下運轉但允許短暫時
段不連續運轉(具連鎖功能如自動停止製程)
差
通風不如良好與中等的情況但是不能長時段發
生不連續運轉
危險區域等級判定參考例
Zone 0
Zone 2
Zone 1
Zone 0
14
危險區域等級判定參考例
a從通氣口處周圍3 m
b從屋頂上部3 m
c從桶槽水平距離3 m
易燃性液體儲槽位於室外為固定式屋頂且內部無浮 動頂槽時
主要影響區域形式和範圍之因素
通 風 狀 況
通風形式 自然通風
通風等級 中度
通風有效性 良好
洩漏源 洩漏等級
液體表面 連續
通氣口和其它屋頂上之開口 主要
法蘭桶槽滿溢之防溢堤內部
次要
產品物質特性
閃火點 低於製程溫度和室溫
蒸汽密度 比空氣重
世界各國有關危險區域之分類比較
系統別 級別
日本 (JIS)
美國 (NEC)
歐洲 (IEC)
台灣 (CNS)
0 0種 Class I
Division 1
Zone 0 0區(Zone 0)
1 1種 Zone 1 1區(Zone 1)
2 2種 Class I
Division 2 Zone 2 2區(Zone 2)
15
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
1 泵浦
2 泵浦 (高密閉)
3 壓縮機
4 洩放口或取樣口
1m
15 m
1m
3 m
3 m5 m
1m
3 m
1m
3 m
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
5 管路接頭
6 通風口
7 溢出池
8 坑槽
或分離器
3 m5 m
1m
45 m
3 m
1m
75 m
3m
1 m
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
16
型式 耐壓
防爆
增加安全防爆
本質安全防爆
正壓防爆
油浸防爆
填粉防爆
模鑄防爆
n
型
保護
特殊防爆
代號 d e i p o q m n s
適用區域場所
1
2
1
2
0
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
2
0
1
2
CNS
編號
3376
-1
3376
-7
3376
-11
3376
-2
3376
-6
3376
-5
3376
-18
3376
-15
一般工廠最常見的防爆電氣構造設備為
耐壓防爆增加安全本質安全正壓防爆
n型防護
防爆電氣構造及適用之防爆區域對照表
防爆電氣之標示
17
日本
(JIS)
歐洲台灣
(IECCNS)
美國
(NEC)
1 IIA D
C
2 IIB B
3 3a 3b
3c 3n
IIC A
CNS 3376-20 與使用電機設備有關之可燃性氣體與蒸氣之資料
易燃
程
度
Zone 0 1 and 2
I (eg甲烷)
IIA (eg 丙烷)
IIB (eg乙烯)
IIC (eg 乙炔及氫氣)
氣體族群分類
氣體族群分類 定 義
I 最小引火能量為260J
IIA 最小引火能量為160J
MESG≧09mm
IIB 最小引火能量為80J
05mmltMESGlt09mm
IIC 最小引火能量為20J
MESG≦05mm
氣體族群分類
MESG最大安全實驗間隙（Maximum Experimental Safety Gap ）之間隙大小即不能引燃殼體爆炸性 氣體混合物的外殼接合面之間的最大間隙
MIE最小引火能量(Minimum Ignition Energy)使引火性液體之蒸氣可燃性氣體或可燃性粉塵著火需要最低著火能量通常係用電容器放出不同能量的火花來試驗能量以毫焦耳為單位
18
發火
溫度
()
日本構造規格 美國(NEC) 歐洲(IEC)
台灣(CNS)
發火度
機器的溫度
上升限度()
機器的溫度上升值
()
溫度等級 表面最高溫度 溫度
等級
表面最高
溫度()
超過 450 G1 360 320 T1 450 T1 450以下
300~450 G2 240 200
T2 300
T2 300以下 T2A 280 T2C 230
T2B 260 T2D 215
200~300 G3 160 120 T3 200 T3B 165
T3 200以下 T3A 180 T3C 160
135~200 G4 110 70 T4 135 T4A 120 T4 135以下
100~135 G5 80 40 T5 100 T5 100以下
85~100 - - - T6 85 T6 85以下
溫度等級分類
國內型式檢定標章
Ex d IIC T6 (X 或 U)
防爆代號 防爆型式 氣體族群 溫度等級
合格編號XXXXXX
你選對了嗎
型式檢定合格網址
httpwwwmepeccditriorgtwexplotype01htm
X必須配合特殊狀況才能使用
如因電源部分無防爆必須於非防爆區充電
U指元件驗證必須組裝完成後再測試功能是否完整
如搭配防爆接頭
19
bull 耐壓防爆(Type d) Ex d
將爆炸侷限於內部
bull 本安防爆(Type i) Ex ia Ex ib
抑制點火能力
bull 正(內)壓防爆(Type p) Ex px Ex py Ex pz
bull 油入防爆(Type o) Ex o
bull 模鑄防爆(Type m) Ex ma Ex mb
隔離點火源
bull 安全增防爆(Type e) Ex e 增加安全度
電氣設備防爆化的各種方法
耐壓防爆 Ex d(適用於12 區)
原理
1器殼內裝有如 NFB (無熔絲
開關)等在正常操作下會發
生火花之一般電氣設備
2若有危險氣體進入可能引火爆炸 而器殼能承受爆炸壓力 且可防止火燄從接合面溢出 避免引燃外界危險氣體產生爆炸
應用 分電盤 控制盤 馬達 變壓器 照明
耐壓器殼
能防止火焰穿透 的接合面間隙
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
13
通風設備的有效性
良好
室外自然通風下最小風速05ms會持續出現
通風設備實際上可穩定連續的運轉(具備份設計)
中等
通風設備在正常操作情況下運轉但允許短暫時
段不連續運轉(具連鎖功能如自動停止製程)
差
通風不如良好與中等的情況但是不能長時段發
生不連續運轉
危險區域等級判定參考例
Zone 0
Zone 2
Zone 1
Zone 0
14
危險區域等級判定參考例
a從通氣口處周圍3 m
b從屋頂上部3 m
c從桶槽水平距離3 m
易燃性液體儲槽位於室外為固定式屋頂且內部無浮 動頂槽時
主要影響區域形式和範圍之因素
通 風 狀 況
通風形式 自然通風
通風等級 中度
通風有效性 良好
洩漏源 洩漏等級
液體表面 連續
通氣口和其它屋頂上之開口 主要
法蘭桶槽滿溢之防溢堤內部
次要
產品物質特性
閃火點 低於製程溫度和室溫
蒸汽密度 比空氣重
世界各國有關危險區域之分類比較
系統別 級別
日本 (JIS)
美國 (NEC)
歐洲 (IEC)
台灣 (CNS)
0 0種 Class I
Division 1
Zone 0 0區(Zone 0)
1 1種 Zone 1 1區(Zone 1)
2 2種 Class I
Division 2 Zone 2 2區(Zone 2)
15
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
1 泵浦
2 泵浦 (高密閉)
3 壓縮機
4 洩放口或取樣口
1m
15 m
1m
3 m
3 m5 m
1m
3 m
1m
3 m
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
5 管路接頭
6 通風口
7 溢出池
8 坑槽
或分離器
3 m5 m
1m
45 m
3 m
1m
75 m
3m
1 m
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
16
型式 耐壓
防爆
增加安全防爆
本質安全防爆
正壓防爆
油浸防爆
填粉防爆
模鑄防爆
n
型
保護
特殊防爆
代號 d e i p o q m n s
適用區域場所
1
2
1
2
0
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
2
0
1
2
CNS
編號
3376
-1
3376
-7
3376
-11
3376
-2
3376
-6
3376
-5
3376
-18
3376
-15
一般工廠最常見的防爆電氣構造設備為
耐壓防爆增加安全本質安全正壓防爆
n型防護
防爆電氣構造及適用之防爆區域對照表
防爆電氣之標示
17
日本
(JIS)
歐洲台灣
(IECCNS)
美國
(NEC)
1 IIA D
C
2 IIB B
3 3a 3b
3c 3n
IIC A
CNS 3376-20 與使用電機設備有關之可燃性氣體與蒸氣之資料
易燃
程
度
Zone 0 1 and 2
I (eg甲烷)
IIA (eg 丙烷)
IIB (eg乙烯)
IIC (eg 乙炔及氫氣)
氣體族群分類
氣體族群分類 定 義
I 最小引火能量為260J
IIA 最小引火能量為160J
MESG≧09mm
IIB 最小引火能量為80J
05mmltMESGlt09mm
IIC 最小引火能量為20J
MESG≦05mm
氣體族群分類
MESG最大安全實驗間隙（Maximum Experimental Safety Gap ）之間隙大小即不能引燃殼體爆炸性 氣體混合物的外殼接合面之間的最大間隙
MIE最小引火能量(Minimum Ignition Energy)使引火性液體之蒸氣可燃性氣體或可燃性粉塵著火需要最低著火能量通常係用電容器放出不同能量的火花來試驗能量以毫焦耳為單位
18
發火
溫度
()
日本構造規格 美國(NEC) 歐洲(IEC)
台灣(CNS)
發火度
機器的溫度
上升限度()
機器的溫度上升值
()
溫度等級 表面最高溫度 溫度
等級
表面最高
溫度()
超過 450 G1 360 320 T1 450 T1 450以下
300~450 G2 240 200
T2 300
T2 300以下 T2A 280 T2C 230
T2B 260 T2D 215
200~300 G3 160 120 T3 200 T3B 165
T3 200以下 T3A 180 T3C 160
135~200 G4 110 70 T4 135 T4A 120 T4 135以下
100~135 G5 80 40 T5 100 T5 100以下
85~100 - - - T6 85 T6 85以下
溫度等級分類
國內型式檢定標章
Ex d IIC T6 (X 或 U)
防爆代號 防爆型式 氣體族群 溫度等級
合格編號XXXXXX
你選對了嗎
型式檢定合格網址
httpwwwmepeccditriorgtwexplotype01htm
X必須配合特殊狀況才能使用
如因電源部分無防爆必須於非防爆區充電
U指元件驗證必須組裝完成後再測試功能是否完整
如搭配防爆接頭
19
bull 耐壓防爆(Type d) Ex d
將爆炸侷限於內部
bull 本安防爆(Type i) Ex ia Ex ib
抑制點火能力
bull 正(內)壓防爆(Type p) Ex px Ex py Ex pz
bull 油入防爆(Type o) Ex o
bull 模鑄防爆(Type m) Ex ma Ex mb
隔離點火源
bull 安全增防爆(Type e) Ex e 增加安全度
電氣設備防爆化的各種方法
耐壓防爆 Ex d(適用於12 區)
原理
1器殼內裝有如 NFB (無熔絲
開關)等在正常操作下會發
生火花之一般電氣設備
2若有危險氣體進入可能引火爆炸 而器殼能承受爆炸壓力 且可防止火燄從接合面溢出 避免引燃外界危險氣體產生爆炸
應用 分電盤 控制盤 馬達 變壓器 照明
耐壓器殼
能防止火焰穿透 的接合面間隙
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
14
危險區域等級判定參考例
a從通氣口處周圍3 m
b從屋頂上部3 m
c從桶槽水平距離3 m
易燃性液體儲槽位於室外為固定式屋頂且內部無浮 動頂槽時
主要影響區域形式和範圍之因素
通 風 狀 況
通風形式 自然通風
通風等級 中度
通風有效性 良好
洩漏源 洩漏等級
液體表面 連續
通氣口和其它屋頂上之開口 主要
法蘭桶槽滿溢之防溢堤內部
次要
產品物質特性
閃火點 低於製程溫度和室溫
蒸汽密度 比空氣重
世界各國有關危險區域之分類比較
系統別 級別
日本 (JIS)
美國 (NEC)
歐洲 (IEC)
台灣 (CNS)
0 0種 Class I
Division 1
Zone 0 0區(Zone 0)
1 1種 Zone 1 1區(Zone 1)
2 2種 Class I
Division 2 Zone 2 2區(Zone 2)
15
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
1 泵浦
2 泵浦 (高密閉)
3 壓縮機
4 洩放口或取樣口
1m
15 m
1m
3 m
3 m5 m
1m
3 m
1m
3 m
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
5 管路接頭
6 通風口
7 溢出池
8 坑槽
或分離器
3 m5 m
1m
45 m
3 m
1m
75 m
3m
1 m
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
16
型式 耐壓
防爆
增加安全防爆
本質安全防爆
正壓防爆
油浸防爆
填粉防爆
模鑄防爆
n
型
保護
特殊防爆
代號 d e i p o q m n s
適用區域場所
1
2
1
2
0
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
2
0
1
2
CNS
編號
3376
-1
3376
-7
3376
-11
3376
-2
3376
-6
3376
-5
3376
-18
3376
-15
一般工廠最常見的防爆電氣構造設備為
耐壓防爆增加安全本質安全正壓防爆
n型防護
防爆電氣構造及適用之防爆區域對照表
防爆電氣之標示
17
日本
(JIS)
歐洲台灣
(IECCNS)
美國
(NEC)
1 IIA D
C
2 IIB B
3 3a 3b
3c 3n
IIC A
CNS 3376-20 與使用電機設備有關之可燃性氣體與蒸氣之資料
易燃
程
度
Zone 0 1 and 2
I (eg甲烷)
IIA (eg 丙烷)
IIB (eg乙烯)
IIC (eg 乙炔及氫氣)
氣體族群分類
氣體族群分類 定 義
I 最小引火能量為260J
IIA 最小引火能量為160J
MESG≧09mm
IIB 最小引火能量為80J
05mmltMESGlt09mm
IIC 最小引火能量為20J
MESG≦05mm
氣體族群分類
MESG最大安全實驗間隙（Maximum Experimental Safety Gap ）之間隙大小即不能引燃殼體爆炸性 氣體混合物的外殼接合面之間的最大間隙
MIE最小引火能量(Minimum Ignition Energy)使引火性液體之蒸氣可燃性氣體或可燃性粉塵著火需要最低著火能量通常係用電容器放出不同能量的火花來試驗能量以毫焦耳為單位
18
發火
溫度
()
日本構造規格 美國(NEC) 歐洲(IEC)
台灣(CNS)
發火度
機器的溫度
上升限度()
機器的溫度上升值
()
溫度等級 表面最高溫度 溫度
等級
表面最高
溫度()
超過 450 G1 360 320 T1 450 T1 450以下
300~450 G2 240 200
T2 300
T2 300以下 T2A 280 T2C 230
T2B 260 T2D 215
200~300 G3 160 120 T3 200 T3B 165
T3 200以下 T3A 180 T3C 160
135~200 G4 110 70 T4 135 T4A 120 T4 135以下
100~135 G5 80 40 T5 100 T5 100以下
85~100 - - - T6 85 T6 85以下
溫度等級分類
國內型式檢定標章
Ex d IIC T6 (X 或 U)
防爆代號 防爆型式 氣體族群 溫度等級
合格編號XXXXXX
你選對了嗎
型式檢定合格網址
httpwwwmepeccditriorgtwexplotype01htm
X必須配合特殊狀況才能使用
如因電源部分無防爆必須於非防爆區充電
U指元件驗證必須組裝完成後再測試功能是否完整
如搭配防爆接頭
19
bull 耐壓防爆(Type d) Ex d
將爆炸侷限於內部
bull 本安防爆(Type i) Ex ia Ex ib
抑制點火能力
bull 正(內)壓防爆(Type p) Ex px Ex py Ex pz
bull 油入防爆(Type o) Ex o
bull 模鑄防爆(Type m) Ex ma Ex mb
隔離點火源
bull 安全增防爆(Type e) Ex e 增加安全度
電氣設備防爆化的各種方法
耐壓防爆 Ex d(適用於12 區)
原理
1器殼內裝有如 NFB (無熔絲
開關)等在正常操作下會發
生火花之一般電氣設備
2若有危險氣體進入可能引火爆炸 而器殼能承受爆炸壓力 且可防止火燄從接合面溢出 避免引燃外界危險氣體產生爆炸
應用 分電盤 控制盤 馬達 變壓器 照明
耐壓器殼
能防止火焰穿透 的接合面間隙
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
15
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
1 泵浦
2 泵浦 (高密閉)
3 壓縮機
4 洩放口或取樣口
1m
15 m
1m
3 m
3 m5 m
1m
3 m
1m
3 m
項目 製程設備 0區範圍 1區範圍 2區範圍
5 管路接頭
6 通風口
7 溢出池
8 坑槽
或分離器
3 m5 m
1m
45 m
3 m
1m
75 m
3m
1 m
常見洩漏源區域劃分原則(氣體蒸汽和液體)
－通風良好之情形
16
型式 耐壓
防爆
增加安全防爆
本質安全防爆
正壓防爆
油浸防爆
填粉防爆
模鑄防爆
n
型
保護
特殊防爆
代號 d e i p o q m n s
適用區域場所
1
2
1
2
0
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
2
0
1
2
CNS
編號
3376
-1
3376
-7
3376
-11
3376
-2
3376
-6
3376
-5
3376
-18
3376
-15
一般工廠最常見的防爆電氣構造設備為
耐壓防爆增加安全本質安全正壓防爆
n型防護
防爆電氣構造及適用之防爆區域對照表
防爆電氣之標示
17
日本
(JIS)
歐洲台灣
(IECCNS)
美國
(NEC)
1 IIA D
C
2 IIB B
3 3a 3b
3c 3n
IIC A
CNS 3376-20 與使用電機設備有關之可燃性氣體與蒸氣之資料
易燃
程
度
Zone 0 1 and 2
I (eg甲烷)
IIA (eg 丙烷)
IIB (eg乙烯)
IIC (eg 乙炔及氫氣)
氣體族群分類
氣體族群分類 定 義
I 最小引火能量為260J
IIA 最小引火能量為160J
MESG≧09mm
IIB 最小引火能量為80J
05mmltMESGlt09mm
IIC 最小引火能量為20J
MESG≦05mm
氣體族群分類
MESG最大安全實驗間隙（Maximum Experimental Safety Gap ）之間隙大小即不能引燃殼體爆炸性 氣體混合物的外殼接合面之間的最大間隙
MIE最小引火能量(Minimum Ignition Energy)使引火性液體之蒸氣可燃性氣體或可燃性粉塵著火需要最低著火能量通常係用電容器放出不同能量的火花來試驗能量以毫焦耳為單位
18
發火
溫度
()
日本構造規格 美國(NEC) 歐洲(IEC)
台灣(CNS)
發火度
機器的溫度
上升限度()
機器的溫度上升值
()
溫度等級 表面最高溫度 溫度
等級
表面最高
溫度()
超過 450 G1 360 320 T1 450 T1 450以下
300~450 G2 240 200
T2 300
T2 300以下 T2A 280 T2C 230
T2B 260 T2D 215
200~300 G3 160 120 T3 200 T3B 165
T3 200以下 T3A 180 T3C 160
135~200 G4 110 70 T4 135 T4A 120 T4 135以下
100~135 G5 80 40 T5 100 T5 100以下
85~100 - - - T6 85 T6 85以下
溫度等級分類
國內型式檢定標章
Ex d IIC T6 (X 或 U)
防爆代號 防爆型式 氣體族群 溫度等級
合格編號XXXXXX
你選對了嗎
型式檢定合格網址
httpwwwmepeccditriorgtwexplotype01htm
X必須配合特殊狀況才能使用
如因電源部分無防爆必須於非防爆區充電
U指元件驗證必須組裝完成後再測試功能是否完整
如搭配防爆接頭
19
bull 耐壓防爆(Type d) Ex d
將爆炸侷限於內部
bull 本安防爆(Type i) Ex ia Ex ib
抑制點火能力
bull 正(內)壓防爆(Type p) Ex px Ex py Ex pz
bull 油入防爆(Type o) Ex o
bull 模鑄防爆(Type m) Ex ma Ex mb
隔離點火源
bull 安全增防爆(Type e) Ex e 增加安全度
電氣設備防爆化的各種方法
耐壓防爆 Ex d(適用於12 區)
原理
1器殼內裝有如 NFB (無熔絲
開關)等在正常操作下會發
生火花之一般電氣設備
2若有危險氣體進入可能引火爆炸 而器殼能承受爆炸壓力 且可防止火燄從接合面溢出 避免引燃外界危險氣體產生爆炸
應用 分電盤 控制盤 馬達 變壓器 照明
耐壓器殼
能防止火焰穿透 的接合面間隙
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
16
型式 耐壓
防爆
增加安全防爆
本質安全防爆
正壓防爆
油浸防爆
填粉防爆
模鑄防爆
n
型
保護
特殊防爆
代號 d e i p o q m n s
適用區域場所
1
2
1
2
0
1
2
1
2
1
2
1
2
1
2
2
0
1
2
CNS
編號
3376
-1
3376
-7
3376
-11
3376
-2
3376
-6
3376
-5
3376
-18
3376
-15
一般工廠最常見的防爆電氣構造設備為
耐壓防爆增加安全本質安全正壓防爆
n型防護
防爆電氣構造及適用之防爆區域對照表
防爆電氣之標示
17
日本
(JIS)
歐洲台灣
(IECCNS)
美國
(NEC)
1 IIA D
C
2 IIB B
3 3a 3b
3c 3n
IIC A
CNS 3376-20 與使用電機設備有關之可燃性氣體與蒸氣之資料
易燃
程
度
Zone 0 1 and 2
I (eg甲烷)
IIA (eg 丙烷)
IIB (eg乙烯)
IIC (eg 乙炔及氫氣)
氣體族群分類
氣體族群分類 定 義
I 最小引火能量為260J
IIA 最小引火能量為160J
MESG≧09mm
IIB 最小引火能量為80J
05mmltMESGlt09mm
IIC 最小引火能量為20J
MESG≦05mm
氣體族群分類
MESG最大安全實驗間隙（Maximum Experimental Safety Gap ）之間隙大小即不能引燃殼體爆炸性 氣體混合物的外殼接合面之間的最大間隙
MIE最小引火能量(Minimum Ignition Energy)使引火性液體之蒸氣可燃性氣體或可燃性粉塵著火需要最低著火能量通常係用電容器放出不同能量的火花來試驗能量以毫焦耳為單位
18
發火
溫度
()
日本構造規格 美國(NEC) 歐洲(IEC)
台灣(CNS)
發火度
機器的溫度
上升限度()
機器的溫度上升值
()
溫度等級 表面最高溫度 溫度
等級
表面最高
溫度()
超過 450 G1 360 320 T1 450 T1 450以下
300~450 G2 240 200
T2 300
T2 300以下 T2A 280 T2C 230
T2B 260 T2D 215
200~300 G3 160 120 T3 200 T3B 165
T3 200以下 T3A 180 T3C 160
135~200 G4 110 70 T4 135 T4A 120 T4 135以下
100~135 G5 80 40 T5 100 T5 100以下
85~100 - - - T6 85 T6 85以下
溫度等級分類
國內型式檢定標章
Ex d IIC T6 (X 或 U)
防爆代號 防爆型式 氣體族群 溫度等級
合格編號XXXXXX
你選對了嗎
型式檢定合格網址
httpwwwmepeccditriorgtwexplotype01htm
X必須配合特殊狀況才能使用
如因電源部分無防爆必須於非防爆區充電
U指元件驗證必須組裝完成後再測試功能是否完整
如搭配防爆接頭
19
bull 耐壓防爆(Type d) Ex d
將爆炸侷限於內部
bull 本安防爆(Type i) Ex ia Ex ib
抑制點火能力
bull 正(內)壓防爆(Type p) Ex px Ex py Ex pz
bull 油入防爆(Type o) Ex o
bull 模鑄防爆(Type m) Ex ma Ex mb
隔離點火源
bull 安全增防爆(Type e) Ex e 增加安全度
電氣設備防爆化的各種方法
耐壓防爆 Ex d(適用於12 區)
原理
1器殼內裝有如 NFB (無熔絲
開關)等在正常操作下會發
生火花之一般電氣設備
2若有危險氣體進入可能引火爆炸 而器殼能承受爆炸壓力 且可防止火燄從接合面溢出 避免引燃外界危險氣體產生爆炸
應用 分電盤 控制盤 馬達 變壓器 照明
耐壓器殼
能防止火焰穿透 的接合面間隙
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
17
日本
(JIS)
歐洲台灣
(IECCNS)
美國
(NEC)
1 IIA D
C
2 IIB B
3 3a 3b
3c 3n
IIC A
CNS 3376-20 與使用電機設備有關之可燃性氣體與蒸氣之資料
易燃
程
度
Zone 0 1 and 2
I (eg甲烷)
IIA (eg 丙烷)
IIB (eg乙烯)
IIC (eg 乙炔及氫氣)
氣體族群分類
氣體族群分類 定 義
I 最小引火能量為260J
IIA 最小引火能量為160J
MESG≧09mm
IIB 最小引火能量為80J
05mmltMESGlt09mm
IIC 最小引火能量為20J
MESG≦05mm
氣體族群分類
MESG最大安全實驗間隙（Maximum Experimental Safety Gap ）之間隙大小即不能引燃殼體爆炸性 氣體混合物的外殼接合面之間的最大間隙
MIE最小引火能量(Minimum Ignition Energy)使引火性液體之蒸氣可燃性氣體或可燃性粉塵著火需要最低著火能量通常係用電容器放出不同能量的火花來試驗能量以毫焦耳為單位
18
發火
溫度
()
日本構造規格 美國(NEC) 歐洲(IEC)
台灣(CNS)
發火度
機器的溫度
上升限度()
機器的溫度上升值
()
溫度等級 表面最高溫度 溫度
等級
表面最高
溫度()
超過 450 G1 360 320 T1 450 T1 450以下
300~450 G2 240 200
T2 300
T2 300以下 T2A 280 T2C 230
T2B 260 T2D 215
200~300 G3 160 120 T3 200 T3B 165
T3 200以下 T3A 180 T3C 160
135~200 G4 110 70 T4 135 T4A 120 T4 135以下
100~135 G5 80 40 T5 100 T5 100以下
85~100 - - - T6 85 T6 85以下
溫度等級分類
國內型式檢定標章
Ex d IIC T6 (X 或 U)
防爆代號 防爆型式 氣體族群 溫度等級
合格編號XXXXXX
你選對了嗎
型式檢定合格網址
httpwwwmepeccditriorgtwexplotype01htm
X必須配合特殊狀況才能使用
如因電源部分無防爆必須於非防爆區充電
U指元件驗證必須組裝完成後再測試功能是否完整
如搭配防爆接頭
19
bull 耐壓防爆(Type d) Ex d
將爆炸侷限於內部
bull 本安防爆(Type i) Ex ia Ex ib
抑制點火能力
bull 正(內)壓防爆(Type p) Ex px Ex py Ex pz
bull 油入防爆(Type o) Ex o
bull 模鑄防爆(Type m) Ex ma Ex mb
隔離點火源
bull 安全增防爆(Type e) Ex e 增加安全度
電氣設備防爆化的各種方法
耐壓防爆 Ex d(適用於12 區)
原理
1器殼內裝有如 NFB (無熔絲
開關)等在正常操作下會發
生火花之一般電氣設備
2若有危險氣體進入可能引火爆炸 而器殼能承受爆炸壓力 且可防止火燄從接合面溢出 避免引燃外界危險氣體產生爆炸
應用 分電盤 控制盤 馬達 變壓器 照明
耐壓器殼
能防止火焰穿透 的接合面間隙
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
18
發火
溫度
()
日本構造規格 美國(NEC) 歐洲(IEC)
台灣(CNS)
發火度
機器的溫度
上升限度()
機器的溫度上升值
()
溫度等級 表面最高溫度 溫度
等級
表面最高
溫度()
超過 450 G1 360 320 T1 450 T1 450以下
300~450 G2 240 200
T2 300
T2 300以下 T2A 280 T2C 230
T2B 260 T2D 215
200~300 G3 160 120 T3 200 T3B 165
T3 200以下 T3A 180 T3C 160
135~200 G4 110 70 T4 135 T4A 120 T4 135以下
100~135 G5 80 40 T5 100 T5 100以下
85~100 - - - T6 85 T6 85以下
溫度等級分類
國內型式檢定標章
Ex d IIC T6 (X 或 U)
防爆代號 防爆型式 氣體族群 溫度等級
合格編號XXXXXX
你選對了嗎
型式檢定合格網址
httpwwwmepeccditriorgtwexplotype01htm
X必須配合特殊狀況才能使用
如因電源部分無防爆必須於非防爆區充電
U指元件驗證必須組裝完成後再測試功能是否完整
如搭配防爆接頭
19
bull 耐壓防爆(Type d) Ex d
將爆炸侷限於內部
bull 本安防爆(Type i) Ex ia Ex ib
抑制點火能力
bull 正(內)壓防爆(Type p) Ex px Ex py Ex pz
bull 油入防爆(Type o) Ex o
bull 模鑄防爆(Type m) Ex ma Ex mb
隔離點火源
bull 安全增防爆(Type e) Ex e 增加安全度
電氣設備防爆化的各種方法
耐壓防爆 Ex d(適用於12 區)
原理
1器殼內裝有如 NFB (無熔絲
開關)等在正常操作下會發
生火花之一般電氣設備
2若有危險氣體進入可能引火爆炸 而器殼能承受爆炸壓力 且可防止火燄從接合面溢出 避免引燃外界危險氣體產生爆炸
應用 分電盤 控制盤 馬達 變壓器 照明
耐壓器殼
能防止火焰穿透 的接合面間隙
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
19
bull 耐壓防爆(Type d) Ex d
將爆炸侷限於內部
bull 本安防爆(Type i) Ex ia Ex ib
抑制點火能力
bull 正(內)壓防爆(Type p) Ex px Ex py Ex pz
bull 油入防爆(Type o) Ex o
bull 模鑄防爆(Type m) Ex ma Ex mb
隔離點火源
bull 安全增防爆(Type e) Ex e 增加安全度
電氣設備防爆化的各種方法
耐壓防爆 Ex d(適用於12 區)
原理
1器殼內裝有如 NFB (無熔絲
開關)等在正常操作下會發
生火花之一般電氣設備
2若有危險氣體進入可能引火爆炸 而器殼能承受爆炸壓力 且可防止火燄從接合面溢出 避免引燃外界危險氣體產生爆炸
應用 分電盤 控制盤 馬達 變壓器 照明
耐壓器殼
能防止火焰穿透 的接合面間隙
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
20
原理
在最危險場所 Zone 0 只有本
質安全設備(ia)可安裝運用
電子線路設計抑制電路中的能
量低於危險氣體引爆點所以
不論是正常或異常操作下都不
致於使儀器或電路周圍的危險
氣體產生爆炸
應用 儀錶電控箱體電路元件
本質安全防爆 Ex i (適用於012 區)
釋放能量很小不會成為引火源
ldquoiardquo當有兩個失誤發生時於正常狀況下線路仍不會造成引火
ldquoibrdquo當有一個失誤發生時於正常狀況下線路不會造成引火此種失誤包含最嚴重之狀況
本安保持器(safety
barrier)
與配線為水藍色
原理
以增加壓力的方式使配電箱體內
部的電子元件與箱體外周圍空氣
完全隔離 箱體內的壓力略高於
大氣壓力 以連續性氣體流通
(稀釋式)或是在系統內部保持靜
態正壓(持壓式)達成保護效果
需預留掃氣時間(啟動費時)且搭配安
全連鎖(interlock)
應用 端子箱 接線箱 DCS 電控室內部 大設備安裝之開關
P
正壓防爆 Ex p (適用於12 區)
內部壓力gt50 Pa
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
21
原理
安全增防爆採取一些附加措
施(如控制工作溫度保證電
氣連接的可靠性增加絕緣
效果以及提高外殼防護等級)
以提高其安全程度防止其
內部和外部部件可能出現危
險溫度電弧和火花的可能
性的防爆型式
應用 接線箱鼠籠式馬達照明燈具
安全增防爆 Ex e (主要用於2 區部分適用1區)
正常狀態下不會成為引火源
器殼間隙 （IP保護等級）
油浸防爆 (o)
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
22
填粉防爆 (q)
N型防爆 (n)
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
23
模鑄防爆 (m)
46
下圖裝置有何問題
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
24
47
下圖有何問題
下圖有何問題
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
25
下圖有何問題
50
標示查核
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
26
51
標示查核
52
標示查核
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
27
53
標示查核
54
安裝查核
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
28
55
安裝與標示查核
56
配線查核
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
29
57
配線查核
58
配線查核
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
30
59
防爆功能失效之安裝
60
自主安裝非防爆認證之正壓防護
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
31
61
使用非防爆設備
62
製程電控室如何防護
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
32
63
防爆電氣設備無落實保養防護
防爆電氣工程常見之缺失
危險場所及其區域劃分不良或未事先規劃
危險場所未使用防爆電氣設備
使用未經檢定合格之防爆電氣設備
未依物質特性選用適合的之防爆電氣設備
施工標準不一致－採用電纜配線(cable system)卻使用
厚鋼管(conduit system)
施工缺失
未裝設阻止盒(sealing fitting)
阻止盒內未填充防爆泥(compound)
阻止盒裝設位置不良
維修保養不良
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
33
危險性工作場所製程安全評估
之稽核實務探討
危險性工作場所相關法規
法規 發布日期
勞動檢查法 8223 公布
勞動檢查法施行細則 82825 發布
86416 第一次修正
90117 第二次修正
91320 第三次修正
911231 第四次修正
危險性工作場所審查暨檢查
辦法
835 2 發布
86618 第一次修正
88630 第二次修正
91710 第三次修正
94610 第四次修正
10171 第五次修正
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
34
危險性工作場所審查暨檢查法源相關性
勞動檢查法施行細則第25-29條-主要針對符合第二十六條第一項每款危險性工作場所之定義說明
勞動
檢查法
第26條第二項 -危
險性工作場所審查
暨檢查辦法
適用第二十六條第一項之危險性工作場所分為甲乙丙及丁類審查及檢查事項
第二十六條第一項-危險性工作場所
適用範圍
勞動檢查法第二十六條
下列危險性工作場所非經勞動檢查機構審查或檢查合
格事業單位不得使勞工在該場所作業
一從事石油裂解之石化工業之工作場所
二農藥製造工作場所
三爆竹煙火工廠及火藥類製造工作場所
四設置高壓氣體類壓力容器或蒸汽鍋爐其壓力或容量達中央主管機關規定者之工作場所
五製造處置使用危險物有害物之數量達中央主管機關規定數量之工作場所
六中央主管機關會商目的事業主管機關指定之營造工程之工作場所
七其他中央主管機關指定之工作場所
前項工作場所審查或檢查之事項由中央主管機關定之
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
35
一甲類係指下列工作場所
(一) 從事石油產品之裂解反應以製造石化基本原料之工作場
所
(二) 製造處置使用危險物有害物之數量達本法施行細則
附表一及附表二規定數量之工作場所
二乙類係指下列工作場所或工廠
(一) 使用異氰酸甲酯氯化氫氨甲醛過氧化氫或吡啶
從事農藥原體合成之工作場所
(二) 利用氯酸鹽類過氯酸鹽類硝酸鹽類硫硫化物磷
化物木炭粉金屬粉末及其他原料製造爆竹煙火類物品
之爆竹煙火工廠
(三) 從事以化學物質製造爆炸性物品之火藥類製造工作場所
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(12)
三丙類係指蒸汽鍋爐之傳熱面積在五百平方公尺以上或高壓氣
體類壓力容器一日之冷凍能力在一百五十公噸以上或處理
能力符合左列規定之一者
(一)一千立方公尺以上之氧氣有毒性及可燃性高壓氣體
(二) 五千立方公尺以上之前款以外之高壓氣體
四丁類係指下列之營造工程
(一)建築物頂樓樓板高度在五十公尺以上之建築工程
(二)橋墩中心與橋墩中心之距離在五十公尺以上之橋樑工程
(三)採用壓氣施工作業之工程
(四)長度一千公尺以上或需開挖十五公尺以上之豎坑之隧道工程
(五)開挖深度達十五公尺以上或地下室為四層樓以上且開挖面
積達五百平方公尺之工程
(六)工程中模板支撐高度七公尺以上面積達一百平方公尺以上
且佔該層模板支撐面積百分之六十以上者
五其他經中央主管機關指定公告者
危險性工作場所審查暨檢查辦法第二條(22)
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
36
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
過氧化丁酮 Methyl ethyl Ketone
peroxide 2000
過氧化二苯
甲醯 Dibenzoyl Peroxide 3000
環氧丙烷 Propylene oxide 10000
環氧乙烷 Ethylene oxide 5000
二硫化碳 Carbon Disulphide 5000
乙炔 Acetylene 5000
氫氣 Hydrogen 5000
過氧化氫 Hydrogen peroxide 5000
矽甲烷 Silane 50
硝化乙二醇 Nitroglycol 1000
硝化甘油 Nitroglycerin 1000
附表一 製造處置使用危險物之名稱數量(續)
危險物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
硝化纖維(含氮量大於百分之十二六)
Nitrocellulose 10000
三硝基苯 Trinitrobenzene 5000
三硝基甲苯 Trinitrotoluene 5000
三硝基酚 Trinitrophenol 5000
過醋酸 Peracetic acid 5000
氯酸鈉 Sodium chlorate 25000
雷泵 Mercury fulminate 1000
疊氮化鉛 Lead azide 5000
史蒂芬酸鉛 Triphenyl lead 5000
丙烯睛 Acrylonitrile 20000
重氮硝基酚 Diazodinitrophenol 1000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連
接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
37
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
黃磷火柴 Yellow phosphorus match 1
含苯膠糊 Glue that contains benzene 1
二氯甲基醚 Bis-chloromethyl ether 1
二氯聯苯胺及其鹽類 Dichlorobenzidine and its salts 10
--奈胺及其鹽類 -Naphthylamine and its salts 10
鄰--二甲基聯苯胺及其鹽類 O-Tolidine and its salts 10
二甲氧基聯苯胺及其鹽類 Dianisidine and its salts 10
鈹及其化合物 Beryllium and its componds 10
氯甲基甲基醚 Chloromethyl methyl ether 300
四羰化鎳 Nickel Carbonyl 100
--丙內酯 -Propiolactone 100
氯 Chlorine 5000
氰化氫 Hydrogen Cyanide 1000
次乙亞胺 Ethyleneimine 500
磷化氫 Phosphine 50
有害物名稱 數量
(公斤) 中文 英文
異氰酸甲酯 Methyl isocyanate 300
氟化氫 Hydrogen fluoride 1000
四甲基鉛 Tetramethyl lead 1000
四乙基鉛 Tetraethyl lead 5000
氨 Ammonia 50000
氯化氫 Hydrogen Chloride 5000
二氧化硫 Sulfur dioxide 1000
光氣 Phosgene 100
甲醛 Formaldehyde 5000
丙烯醛 Acrolein 150
臭氧 Ozone 100
砷化氫 Arsine 50
溴 Bromine 1000
溴化甲烷 Methyl bromide 2000
其他中央主管機關指定公告者
註事業場所內有二以上從事製造處置使用危險物有害物時其數量應以各該場所間距在五百公尺以內者合併計算前述間距係指連接各該工作場所中心點之工作場所內緣之距離
附表二 製造處置使用有害物之名稱數量(續)
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
38
當地勞動檢查機構審查
填具申請書及彙整各項應赴檢之資料
可使勞工在該危險性工作場所作業
製程修改時或至少每五年對各項應檢附資料重新評估一次
審查
檢查(必要時) 審查
邀請相關主管機關學術機構相關團體專家
書面通知
資料更新及記錄
項目不符規定
項目符合規定
不合格
合格
2
作業流程
一事業單位組織系統圖
二危險物及有害物之管理
三勞工作業環境測定及監督計畫
四危險性之機械或設備之管理
五醫療衛生及勞工健康管理
六勞工安全衛生組織人員設置及運作
七勞工安全衛生管理規章
八自動檢查計畫
九承攬管理計畫
十勞工教育訓練計畫
十一事故調查處理制度
十二工作場所之平面配置圖並標示下列規定事項平面配置圖之比例尺以能辨識其標示內容為度
(一)危險性之機械或設備所在位置及名稱數量
(二)危險物及有害物所在位置及名稱數量
(三)控制室所在位置
(四)消防系統所在位置
(五)可能從事作業勞工承攬人勞工及外來訪客之位置及人數
一安全衛生管理基本資料
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
39
二製程安全評估報告書
一製程說明
(一)工作場所流程圖 (二)製程設計規範
(三)機械設備規格明細 (四)製程操作手冊
(五)維修保養制度
二實施初步危害分析(PreliminaryHazardAnalysis)以分析發掘工作
場所重大潛在危害並針對重大潛在危害實施下列之一之安
全評估方法實施過程應予記錄並將改善建議彙整
(一)檢核表(Checklist)
(二)如果-結果分析(WhatIf)
(三)危害及可操作性分析(HazardandOperabilityStudies)
(四)故障樹分析(FaultTreeAnalysis)
(五)失誤模式與影響分析(FailureModesandEffectsAnalysis)
(六)其他經中央主管機關認可具有上列同等功能之安全評估方法
三製程危害控制
四參與製程安全評估人員應於報告書中具名簽認(註明單位職
稱姓名其為執業技師者應加蓋技師執業圖記)及本辦法
第六條規定之相關證明資格文件
製程修改安全計畫至少應含下列事項
一製程修改程序
二安全衛生影響評估措施
三製程操作手冊修正措施
四製程資料更新措施
五勞工教育訓練措施
六其他配合措施
三製程修改安全計畫
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
40
緊急應變計畫至少應含下列事項
一緊急應變運作流程與組織
(一)應變組織架構與權責
(二)緊急應變控制中心位置與設施
(三)緊急應變運作流程與說明
二緊急應變設備之置備與外援單位之聯繫
三緊急應變演練計畫與演練記錄(演練模擬一般及
最嚴重危害之狀況)
四緊急應變計畫之修正
四緊急應變計畫
稽核管理計畫至少應含下列事項
一稽核事項
(一)製程安全評估 (二)正常操作程序
(三)緊急操作程序 (四)製程修改安全計畫
(五)勞工教育訓練計畫 (六)自動檢查計畫
(七)承攬管理計畫 (八)緊急應變計畫
二稽核程序
(一)稽核組織與職責
(二)稽核紀錄及追蹤處理
五稽核管理計畫
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
41
源法勞工安全衛生法
職業安全衛生法 (立法院於102年6月18日三讀通過勞工安全衛生法修正
案7月3日經總統令公布施行日期由行政院定之)
第十五條 有下列情事之一之工作場所事業單位應依中央主管機關規定之
期限定期實施製程安全評估並製作製程安全評估報告及採取
必要之預防措施製程修改時亦同
一從事石油裂解之石化工業
二從事製造處置或使用危害性之化學品數量達中央主管機關
規定量以上
前項製程安全評估報告事業單位應報請勞動檢查機構備查
前二項危害性之化學品數量製程安全評估方法評估報告內容
要項報請備查之期限項目方式及其他應遵行事項之辦法
由中央主管機關定之
第五條 雇主使勞工從事工作應在合理可行範圍內採取必要之預防設備
或措施使勞工免於發生職業災害
機械設備器具原料材料等物件之設計製造或輸入者及
工程之設計或施工者應於設計製造輸入或施工規劃階段實施
風險評估致力防止此等物件於使用或工程施工時發生職業災害
職業安全衛生法影響
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
42
2014615
危險性工作場所審查暨檢查辦法修正草案
資料來源勞委會103年2月12日研商「危險性
工作場所審查暨檢查辦法第一條
第 八條修正草案」會議紀錄
危險性工作場所主要潛在危害(18)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
1石油裂解工作
場所
裂解爐加熱爐 因操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
造成火災或爆炸
反應器 失控反應導致溫度壓力過高造成可
燃性物質外洩
蒸餾塔真空蒸餾塔
吸收塔萃取塔吸附
塔等
因操作不當導致壓力過高安全閥跳脫
造成可燃性物質外洩
熱交換器及冷卻加熱
等塔槽
因腐蝕等原因導致塔槽破損造成可燃
性物質外洩
鍋爐 操作不當或爐管破裂引起爐膛爆炸
泵浦壓縮機轉動機
械 因機械損壞造成可燃性物質外洩
製程容器緩衝槽中
間槽氣液分離槽
因腐蝕等原因導致槽體破裂造成可燃
性物質外洩
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
43
危險性工作場所主要潛在危害(28)
工作場所
類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置 使 用危 險 物 有 害 物 工作場所
(1)化學品儲存區
容器安全
容器之結構強度或防護不足因地震或外力破壞
容器本體或配件之材質或設計不良發生腐蝕脫落洩漏
儲存場所安全
化學品具不相容性不安定性發生不預期化學反應
因腐蝕或破裂導致漏洩發生異類化學品反應
防火區劃或電氣防爆等級不當
火源管制不良
通風不良洩漏物質滯留
安全防護設施（監測警報遮斷）不足
消防應變能量不足
化學品裝卸作業
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
火源管制不良
未依SOP作業
危險性工作場所主要潛在危害(38)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(2)製程區 高放熱反應 氧化硝化鹵化有機金屬化偶氮化氫化裂解熱分解聚合磺化等反應
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
公用設備供應異常
緊急遮斷停車系統失效或不足
操作不當
加溫加壓操作
溫度壓力控制不當
溫度計或壓力計故障
公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
緊急遮斷裝置失效或不足
安全閥警報裝置失效
高溫高壓造成設備管線之破壞
低溫真空操作 公用設備供應異常無法維持操作溫度壓力
溫度壓力控制不當
低溫真空造成設備管線之破壞
批式製程
失控反應
安全裝置警報裝置失效
緊急釋放系統失效或不足
冷卻系統失效或不足
操作不當
混合攪拌作業 攪拌器異常
可燃性或有害氣體揮發滯留
粉狀物料處置 粉塵爆炸
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
44
危險性工作場所主要潛在危害(48)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
2製造處置使用危險物有害物工作場所
(3)後處理區 管線輸送
耐震設計及安全防護設施不良
腐蝕洩漏
接頭或法蘭墊圈洩漏
排放或洩漏控制
阻絕設施不良
洗滌系統失效
除毒設備或回收系統失效
燃燒塔功能失效
廠內運輸搬運 動線管制或標示不當
安全防護設施不良
(4)成品區
防火區劃電氣防爆等級不良
安全防護設施不足
偵測及警報系統失效
火源管制不當
(5)非例行性作業 維(檢)修清理作業
人員機具管制不當
作業(動火入槽等)管制不當
槽內管線可燃性或有害氣體未確實清除
安全防護設施（盲封標示上鎖等）不良
開車停車程序 未落實作業安全分析
操作不當
人員動力管制不良
危險性工作場所主要潛在危害(58)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
3 農藥原體合成工作場所
(1)原物料儲放
容器破損導致洩漏造成中毒火災爆炸
不相容物質產生誤混合
儲放溫度不當產生化學反應
(2)原體合成
原物料輸送異常(成份及流量)
未依SOP作業產生異常反應
反應溫度壓力異常
安全防護設施(安全閥抑制劑冷卻水緊急遮斷閥安全洩放設備等)失效
備用電力失效
反應器管件及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良
清槽作業局限空間之危害
取樣作業化學品接觸之危害
(3)有機溶劑回收 蒸餾設備及閥件因腐蝕耐壓不足或密接不良導致洩漏火災爆炸
(4)成品分裝 分裝作業洩漏中毒
成品儲放不當洩漏中毒
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
45
危險性工作場所主要潛在危害(68)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
4火藥類製造工廠
(1)火炸藥庫儲存
因受熱摩擦撞擊或靜電引爆
禁水性物質因受潮分解
安全量距不足
火炸藥庫之位置構造及設備不良
電氣防爆構造不良
儲存方式不當
避雷裝置不當
煙火管制不當
溫溼度控制不當
(2)火炸藥調配及製造加工
擋牆或掩護體防護不足
爆炸性粉塵或蒸氣滯留
加工用機械器具及容器摩擦
電氣防爆構造不良
接地靜電防止設施不良
作業量管制不當
煙火管制不當
未依SOP或操作不慎
(3)引炸物(導火索雷管等)製造 過熱受潮摩擦接觸油污等引燃
(4)成品半成品處置
火炸藥與引炸物類共儲
裝儲之容器不當
搬運不當
危險性工作場所主要潛在危害(78)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
5設置蒸汽鍋爐工作場所
(1)鍋爐設置
基礎結構不良
鍋爐房設施不良
可燃性物料管制不良
緊急避難設施不良
管線配置與結構不良
燃料儲存設施不良
(2)鍋爐操作管理
供水及水處理系統異常
燃燒系統異常
蒸汽供應系統異常
腐蝕裂化
自動控制與安全裝置異常
點火操作及檢修不當
(3)鍋爐檢修 入槽作業不當
管制作業不當
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
46
危險性工作場所主要潛在危害(88)
工作場所類型 主要製程或作業項目 重大潛在危害情形
6設置高壓氣體類壓力容器工作場所
(1)場所及設施
基礎結構不良
安全防護設施不足
火源管制電氣防爆構造不良
(2)運轉管理
製造方法不當
設施管理不當
操作或異常處理不當
洩漏偵測警報及遮斷系統不當
(3)維修保養作業 動火入槽管制不當
人員機具管制不當
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
47
我國危險性工作場所之初步危害分析
本質危害分析
確認化學物質之危害特性使用或處置之適當方法及須注意之事項等
檢核表A化學物質危害性檢核表
檢討化學物質的易燃性 安定性毒性及健康危害等
檢核表B化學物質相容性檢核表
檢討化學品與化學品及與設備材質間相容性是否彼此在製程中不正常接
觸時會有化學反應發生
檢核表C化學物質處理方法檢核表
考慮化學物質危害對裝置製程系統設計的可能需求
系統作用危害分析
依製程實務劃分各系統單元例如儲槽區調配區反應區蒸餾
區萃取區分離區乾燥區等再依其化學品處理量操作溫度lsquo操
作壓力等特性決定是否具有潛在重大危害區域
半導體機台相對危害等級分析
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
檢核表A化學物質危害性檢核表
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
48
物質危害檢核表常見的缺失與問題
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
49
1-丁醇和砒啶爆炸範圍完全一樣
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
50
現場有無此問題
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
51
氫氟酸只會灼傷皮膚
檢核表B化學物質相容性檢核表
物質不相容性未有完整檢驗或探討
結構材料未依製程之實際材質完整探討
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
52
會怎樣
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
53
檢核表C化學物質處理方法檢核表
處理方法檢核表常見的缺失與問題
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
54
處理方法檢核表常見的缺失與問題
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
55
儲存
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
56
現場怎麼作
化工相關製程之重大潛在危害區域分析
Q＞20 TQ
高放熱反應氧化(Oxidation)硝化(Nitration)鹵化
(Halogenation)有機金屬化(Organmetallics)偶氮化
(Diazotization)氫化(Hydrogenation)裂解熱分解(Thermal
Decomposition)聚合(Polymerization)磺化(Sulphonation)縮合
(Condensation)
製程中之組成在爆炸下限(LEL)以上爆炸上限(UEL)以下或濃
度在此範圍附近者
具有在100以下熱不安定性或與一般物質如空氣水其
他可能污染物接觸後起反應之物質P10psig(175atm Abs)
T＞AIT或為易燃性氣體
P20kgcm2 或 P500mmHg
製程中有明顯之高低壓差P(上游壓力)4(下游壓力)
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
57
相關符號說明
符號 說 明
Q 製程區域中瞬間可能出現之危險物或有害物的最大量概估該製程區內塔槽與管線中的總量單位為kg
TQ 勞動檢查法施行細則附表一中危險物的法定限量或附表二中有害物的法定限量
T 製程區中的最大操作溫度
AIT 可燃性或易燃性液體的自燃溫度
P 製程區中的最大操作壓力
P 製程中上下游的操作壓差
重大危害辨識參考例
項次 區 域 圖 號 說 明 是否為重大 潛在危害區
1 儲槽區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
2 配料區 2307-02-01 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
3 反應區 2307-02-02 高放熱反應－硝化反應 是
4 慢煮區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
5 醋酸回收區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
6 結晶區 2307-02-02 製程特性或條件均不符合系統作用危害分析之判定條件
否
7 成品暫存區 2307-02-02 易因撞擊或摩擦而發生爆炸 是
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
58
半導體機台相對危害等級分析
綜合考量化學物質外洩所造成之火災爆炸及毒性
危害用以評定各機台之相對危害等級大小作
為確立後續所需評估頻率和深度的基礎
考量五種因子
物質本質危害(立即健康危害物質火災爆炸本質危害)
蒸氣量
通風系統
製程危害
人員設備財產曝露
半導體機台相對危害等級分析流程圖
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
59
毒性暴露指數評估
(1)立即健康危害
立即健康危害受到以下兩種因素的影響即物質具有之立即性毒性濃度
及產生驅動力使其揮發並將物質維持於大氣中的蒸氣壓針對此等級數
的目的以ppm表示之緊急應變計畫指數(ERPG-2)用來作為毒性量度
揮發性由蒸汽壓來量度蒸氣壓以mmHg為單位於25下最高至
760mmHg立即健康危害因子為將ERPG-2濃度乘上760再除以蒸氣壓求
出即下列公式
立即健康危害因子＝ERPG-2(ppm)times760(mmHg)蒸氣壓(mmHg)
立即健康危害因子依下列範圍來指定其等級數
5－0～099 4－1～99 3－10～99
2－100～999 1－1000～100000 0－＞100000
若物質無ERPG-2值可取物質之短時間時量平均容許濃度(STEL)或
最高容許濃度(CEILING)亦可採用時量平均容許濃度(TWA)之3倍
若物質於常溫常壓下為液態且其NFPA危害等級中的Nh(健康危害性)
為4(如HF)則取等級數為其Nh值而蒸氣量則取其最大洩漏量
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏或蒸
發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障失控反
應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意假設100的
內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 －＞10kg
3 －1～10kg
2 －100g～999g
1 －＜100g
若物質於常溫常壓下為液態且具腐蝕性則蒸氣量取其
最大洩漏量
毒性暴露指數評估
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
60
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣流
直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物質易
被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且不
易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
毒性暴露指數評估
(4)製程危害
若系統之壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定性
或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等接觸會
起反應則因子值取
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種因
子存在因子值取4若上述因子均不存在則因子值
取1
若機台之操作採人工方式且人員有直接接觸化學物質之
虞者則因子值取4
毒性暴露指數評估
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
61
(5)人員曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員曝露
的可能
3－ FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或其
他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區域
2－ 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作
1－ 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作
毒性暴露指數評估
火災爆炸危害指數評估
(1)物質火災爆炸本質危害
取物質之NFPA危害等級中的Nf(易燃性)值為其因子值其數值範
圍為0～4數值愈大代表危害性愈高
若物質之Nr(反應性)值≧3則取Nf與Nr數值較大者為其因子值
若物質無法查得其Nf值可依下表決定其Nf值
Nf值 條件
4 1易燃性氣體 2自燃性物質
3閃火點＜228(73)且沸點＜378(100)之物質
3 1閃火點＜228(73)且沸點≧378(100)之液體
2閃火點≧228(73)且沸點＜378(100)之液體
2 378(100)＜閃火點＜934(200)之液體
1 閃火點＞934(200)之液體
0 非可燃性
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
62
火災爆炸危害指數評估
(2)蒸氣量
選擇物質在可能之ldquo最壞狀況rdquo15分鐘內會以氣態洩漏
或蒸發的最大量選擇可能之壓力溫度機械故障
失控反應污染或人為失誤的最壞狀況但不要任意
假設100的內含物在15分鐘內會洩光並完全蒸發
4 － ＞10kg
3 － 1～10kg
2 － 100g～999g
1 － ＜100g
若物質火災爆炸本質危害考量反應性則蒸氣量
取其最大洩漏量
(3)通風系統
洩漏物質之擴散直接受到所在地點之通風系統的影響
2 － 一般室內通風系統如化學品庫房氣體房等
15 － 回風區(RAP或SUB-FAB)內有強制通風對流氣
流直接經由側面之回風系統排出因此洩漏的物
質易被稀釋且不易滯留
1 － FAB內有強制通風對流氣流直接經由高架地板帶
至下層之回風系統因此洩漏的物質易被稀釋且
不易滯留
1 － 室外洩漏的物質易被稀釋且不易滯留
若物質具有自燃性則此項危害點數取3
火災爆炸危害指數評估
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
63
火災爆炸危害指數評估
(4)製程危害
若系統壓力超過10psig(175絕對大氣壓)因子值取2
若物質在100以下為熱不安定或可能具有熱不安定
性或與一般物質如空氣水或其他可能之污染物等
接觸會起反應則因子值取2
若所考量的易燃性物質本身也具有毒性特性(Nh≧2)
於發生洩漏時恐會影響緊急處置能力則因子值取2
若有上述兩種因子存在因子值取3若有上述三種
因子存在因子值取4若上述因子均不存在則因
子值取1
若物質於機台中為液態且有加熱裝置則因子值取4
火災爆炸危害指數評估
(5)人員設備財產曝露
為考量所評估的單元或機台發生洩漏時附近人員設備
財產曝露的可能
3 － FAB內由於一天24小時皆有作業人員維修人員或
其他相關人員工作可考量為人員最可能曝露的區
域FAB內各式機台排列密集財產價值昂貴
2 － 回風區(RAP或SUB-FAB)有部份作業人員在內工作
且設備維修人員須執行PM工作回風區內有部份機
台鋼瓶及設施財產價值較高
1 － 化學品庫房氣體房內作業人員需更換酸桶鋼瓶有
一些例行性操作化學品庫房氣體房內僅有供酸機
台或氣瓶櫃財產價值較低
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
64
毒性物質曝露等級
毒性物質曝露指數範圍 毒性物質曝露等級
0-5 0
6-15 1
16-35 2
36-70 3
＞70 4
火災爆炸危害等級
火災爆炸危害指數範圍 火災爆炸危害等級
0-10 0
11-35 1
36-60 2
61-100 3
＞100 4
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
65
機台危害程度
機台相對危害等級範圍 危害程度
0-1 低度
2-3 中度
4-5 高度
取毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級較高
者為機台相對危害等級
若毒性物質曝露等級與火災爆炸危害等級兩者
均大於或等於3則取較高之等級加1作為機台
相對危害等級
日期
工廠國聯三廠 評估人員廖宏章沈晉旭謝興文
模組磊晶 毒性物質PH3 可燃性物質 PH3
機台Aixtron 2400 一毒性物質曝露 二火災爆炸危害
1立即健康危害(0-5)物質火災爆炸本質危害(0-4) 5 4
2蒸氣量(1-4) 2 2
3通風系統(1-3) 15 3
4製程危害(1-4) 3 4
5人員設備財產曝露(1-3) 3 3
毒性物質曝露指數火災爆炸危害指數 135 288
毒性物質曝露等級(0-4)火災爆炸危害等級(0-4) 4 4
機台相對危害等級(0-5) 5
機台危害程度 高度
改善建議補充說明
半導體機台相對危害等級分析參考例
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
66
危害與可操作性分析(HAZOP)
利用偏離引導字(Guidewords)與製程參數組合後發展
出有意義的製程偏離(Process Deviation)以檢驗製
程區段之異常偏離是否會發生發生的原因為何發
生後的後果及危害是什麼並辨識系統既有的防護措
施和設計是否足以保護風險是否可接受
引導字 ＋ 製程參數操作 ＝ 製程偏離
潛在危害
何謂製程偏離
運用引導字配合製程參數與操作建立製程偏離以
模擬偏離原先設計安全或正常操作範圍的異常情況
(相對於設計目的)
偏離
偏離 設計目標
正常操作範圍
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
67
製程偏離範例
引導字 ＋ 製程參數 = 製程偏離
(Guideword) (Process Parameter) (Process Deviation)
無 ＋ 流量 = 無流量
較多 ＋ 壓力 = 高 壓
不僅hellip又 ＋ 一相 = 兩 相
除hellip之外 ＋ 程序 = 錯誤動作
常見製程偏離矩陣
Guide Words
process parameter
No Not None
Less Low Short
More High Long
Part of As well As
Also Reverse Other Than
Flow
無流量 （NO Flow）
低流量（Low Rate） 低總流量（Low Total）
高流量（High Rage） 高總流量（High Total）
缺少某成份原料（Missing Ingredient）
流動方向錯誤（Misdirection）含不純物（Impurities）
逆流（Back flow） 錯誤的流動物質（Wrong Material）
Pressure 與大氣連通（open To Atmosphere）
低壓力 （Low pressure）
高壓力（High pressure）
真空（Vacuum）
Temperature
結冰（Freezing） 低溫度 （Low Temperature）
高溫度（High Temperature）
自發冷凍（Autorefrigeration）
Level 空的（Empty） 低液位
（Low Level） 高液位（High Level）
低界面（Low Interface）
高界面（High Interface）
Agitation 未混合 （No Mixing）
混合效果差 （poor Mixing）
過度混合（Excessive Mixing）
混合過程突然中斷（Mixing Interruption）
起泡現象（Foaming）
相分離（phase separation）
Reaction 無反應 （No Reaction）
反應速率過慢（Low Reaction）
失控反應（Runaway Reaction）
部份反應（partial Reaction）
副反應（side Reaction）
解離反應（Decomposition）
非預期的反應（Wrong Reaction）
Time procedure
未執行（skipped） 或程序內容有缺失不完整（Missing）
較快或較早（sooner or Faster）時間太短（Too short）定量的減小（Too Little）
較慢或較晚（Later or Slower）時間太長（Too Long）定量的增加（Too Much）
部份動作未執行（Action Skipped）
執行額外的動作 Extra Actions （Shortcuts）
未依照規定序執行步驟（Out of order）或邏輯上相反的（opposite）
錯讓的動作（Wrong Action）
Speed 停止運轉（Stopped）
轉速太慢（Too Slow）
轉速太快（Too Fast）
非同步運轉（Out of Synch）
運轉方向錯誤（Backward）
皮帶斷裂（Belt Break）
Special 公用系統故障無供應（Utility Failure）
外漏（External Leak）
外部破裂（External Rupture）
管子漏（Tube Leak）
管子破裂（Tube Rupture）
開車停車維修
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
68
偏 離 製 程 區 段
塔槽 貯槽容器 管線 熱交換器
高流量 － － －
低無流量 － － －
逆錯流 － － －
高液位 － －
低無液位 － －
高界面 － － －
低無界面 － － －
高壓力 －
低壓力 －
高溫度 －
低溫度 －
高濃度 －
低濃度 －
內管洩漏 － － －
內管破裂 － － －
洩漏破裂
其他
製程區段切題之偏離資料庫參考例
危害與可操作性分析工作表
製程名稱液氯進料系統
管線或設備描述10管線－從儲槽至進料槽之氯供應管線
所含管線與設備編號MV-1HCV-1HCV-2MV-2
設計目的利用氮氣將液氯由液氯儲槽輸送至液氯進料槽每刺進料量 1 噸
圖號CFL-1
項目 製程
偏離
可 能
原 因 可能危害後果 防護措施補充說明
嚴重
性
可能
性
風險
等級 改善建議
11 高流量
1液氯儲槽高壓
力(氮氣系統故
障PCV-1 設定
太高)
A-縮短進料時
間嚴重時
液氯進料槽液
位或壓力過
高液氯由
SV-2排至洗滌
塔導致氯氣
外洩
1儲槽設有壓力指示
針及安全閥 SV-1
(1)
2液氯進料槽設有液
位指示及高液位警
報(A)
3洗滌塔排放管線設
有氯氣偵測器(A)
4訂有氯氣外洩緊急
處理程序(A)
5 2 3
1考慮在液氯
進料槽安裝
高液位連鎖
停止進料系
統
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
69
選擇一個
製程區段
解釋製程區段
的設計目的
重複所有
製程區段
選擇一個
製程參數
將引導字用在製程
參數上以發展出
有意義的偏離
檢驗與偏離相關
的後果(假設所有
的保護均失效)
列出偏離
可能的原因
重複所有
製程參數
重複所有
的引導字
發 展
改善計畫
根據後果
原因和保護措施來
評估風險的可
接受性
辨識防止偏離
或減輕後果之
既存的安全措施
是
否
危
害
與
可
操
作
性
分
析
之
作
業
流
程
辨識後果
起始 原因事件 (本節點)
防護措施 失效
單元內 之後果
其他地方 之後果
系統內 之後果
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
70
估計後果發生可能性
原因 聯鎖系統 失效 1
備用系統 失效 2
無法洩放 3
最終後果 最終後果 的可能性
時間序列
可能性是起始事件發生的頻率及事故序列自防護措施
失效至最終後果的機率之組合
風險評估基準mdash後果嚴重度
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
71
風險評估基準mdash可能性
5 經常的相似工場操作中一年一次或數次
4 可能的相似工場操作中約一年十年發生一次或
十家相似工場一年至少發生一次以上
3 也許的相似工場操作中約十年至百年發生一次
或百家相似工場一年至少發生一次以上
2 稀少的相似工場操作中約百年以上發生一次或
百家相似工場一年發生一次以下
1 極少的不大可能發生的
風險評估基準mdash風險等級
後 果 後 果 可 能 性
嚴重性 5 4 3 2 1
5 5 5 4 3 2
4 4 4 3 2 2
3 3 3 2 2 2
2 2 2 2 2 2
1 1 1 1 1 1
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
72
風險等級判定標準之參考例
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
101 高壓
入口壓力過高
1 V-101壓力過大
2 V -101液位增加
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
2 由安全閥SV-101
排放
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
2 定期測試SV-
101之作動
102 低壓
入口閥開度不足
1 V-101壓力不足
2 V -101液位減少
1 由PCV-101控制V-101入口壓力
D 3 4
1 定期測試PCV-
101之作動
103 高液位 無具危害之發現
無 無 E 2 4
104 滴液位
入口氫氣濃度過高
1 導致上塔液位上升液化效果不佳
2 造成出口氫氣含量增加
1 增加PCV-102A
之比例控制
D 3 4
1 設定上塔液位Alarm監控
製程操作程序名稱 研討節點描述1-Cold Box高壓分離段 管線設被編號 設計目的分離氫氣 圖號
HAZOP分析案例一
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告
73
HAZOP分析案例二
項目
製程
偏離 可能原因
可能危害後果
防護措施 嚴重性
可能性
風險等級
改善建議
41 高流量 無具危害發現
42 低流量
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
43 無流量 無具危害發現
44 高溫
1 供應來源異常
1 影響後段溫度控制
2 產品揮發影響後段處理系統
1設有TI-301302
D 3 4
45 低溫 無具危害發現
製程操作程序名稱 反應系統 研討節點描述4- E-301冷卻水供應系統 管線設被編號E-301及其相關管線 設計目的移除R-301反應熱 圖號
等級 發 生 機 率
1 10年發生不到1次
2 約5-10年發生1次
3 約1-5年發生1次
4 每年發生數次
5 每月發生1次以上
可能性及嚴重性分級案例
嚴重度分級 人員 設備設施 洩漏
1 重大 1人以上死亡 系統或設施損失 化學品釋放具有立即及持續的環境或公眾健康的衝擊
2 嚴重 殘廢傷害疾病 主要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放具有暫時的環境或公眾健康的衝擊
3 中度 醫療處理或須限制其工作活動
次要的次系統損失或設施損壞
化學品釋放有須對外報告
4 輕度 僅需一般醫藥處理
不嚴重的設備或設施損壞
化學品釋放只需要例行的清除不須要報告