CCM-iBIS

温 度 制 御 方 式

使 用 温 度 範 囲

温 度 制 御 範 囲

温 度 変 動 幅

温　 度　 分　 布

メ イ ン ヒ ーター

扉 ヒ ー タ ー

外 形 寸 法

ディッシュ収納枚数

チャンバー内寸法

加 湿 方 式

電 源

本 体 重 量

（W）527mm×（D）744mm×（H）398mm ※突起部を含む

60mm GPS ディッシュ 9枚

（W）70mm×（D）88mm×（H）17mm　容積：約105ml

無加湿方式

AC100V,5A,50/60Hz

約50kg

デジタルＰＩＤ方式

24℃～30℃

室温+7℃～40℃

±0.3℃（室内28℃時）

±0.3℃（室内28℃時）

ガラスヒーター

シリコンゴムヒーター50W

本

体

温

度

制

御

形　　　　　　　式

移 動 範 囲

分 解 能

最 高 速 度

繰返位置決め精度

移 動 範 囲

分 解 能

最 高 速 度

繰返位置決め精度

カ メ ラ

対 物 レ ン ズ

照 明 用 光 源

画 像 保 存 形 式

画 像 保 存 方 式

ア ナ ロ グ 出 力

接 点 出 力

ガ ス 供 給 方 式

モ ニ タ ー 表 示

ガス濃度表示制度

ミックスガスを供給

CO2：0.0～20.0%,O2：0.0～21.0%

±0.2％（マニュアルキャル実施時）

±100mm（X軸） ±150mm（Y軸）

12μm/step

30mm/sec以上

±10μm以内

±5mm

0.5μm/step

5mm/sec

±0.3μm以内

130万画素CMOSカメラ

10Ｘ

赤色LED照明

JPEG形式

NAS（ミラーリング機能付き 4TBｘ2）

温度（チャンバー×3、外扉、フロア温度）、CO2濃度、O2濃度SMPコネクタ８ピン（JST製）

アラーム発生時にCLOSE、電源OFFでCLOSESMPコネクタ４ピン（JST製）

XYステージ

Zステージ

外

部

出

力

光

学

系画

像

ガス仕様