液晶ガラス基板搬送用ロボットLCD PANEL HANDLING ROBOTS

SR8651（5.5G LCD用）

スカラタイプ Scara type

真空用液晶ガラス基板搬送用ロボット　Vacuum Environment LCD Panel Handling Robots

SR8651（5.5G LCD用）/SR8652（6G LCD/5.5G Solar用）

●常温から高温まで対応する多種のエンドファクタを準備●駆動部をユニット化することでメンテナンスを容易化●長いZストロークで3段LLに対応可能●コントローラが小型軽●独自のクーリングシステムを採用し、高い温度環境に対応●R部と本体が分割容易で保守点検／チャンバーへの入れ込み簡略化●セラミックハンド使用で高いモーメントに対応可能●高い精度部品とハイブリッドベルトを使用したアーム駆動機構●R軸をリニア駆動とすることで高い直進性を確保(SR8653シリーズ)

●Different types of end effectors to meet different temperature requirements.●Module structure drive units for easy maintenance.●Ability to access up to three-layer Load Lock with long Z-stroke .●Small and lightweight controllers with common structure for easy maintenance.●Sankyo's original cooling system to meet high temperature requirement.●Easy to separate R-axis unit from Manipulator for simple maintenance and installation. ●Seramic hands available to meet high moment.●High-precision parts and hybrid belts used for arm drive units.●Linear drive R-axis to achieve high straight line accuracy. (SR8653 series)

自由度 Degree of freedom

動作範囲 Working range

RR/RL軸 RR/RL axis

Z軸 Z axis

θ軸 Theta axis

最高速度 Maximum speed

RR/RL軸 RR/RL axis

Z軸 Z axis

θ軸 Theta axis

繰り返し精度 Repeatability

騒音 Noise generation

ガラスサイズ Glass size

真空度 Vaccum-resistance level

1100x1300mm t=3.1～5.2mm

1.33×10-2Pa5-AXIS(all AC-servo controlled)

2400mm(+/-1200mm)

3370mm/sec

450mm+140～ -185deg.

300mm/s2.09rads/s+/- 0.2mm80dB or less

SR8653（ 8G LCD用）

リニアガイドタイプ Linear Guide type

SR8652（6G LCD/5.5G Solar用）

1100x1300mm t=4～5mm(Solar)1500x1850mm t=0.5～1.1mm(LCD)

1.33×10-2Pa5-AXIS(all AC-servo controlled)

2720mm

2474mm/sec

465(Solar)/670(LCD)mm+140～ -185deg.

400mm/s2.09rads/s+/- 0.2mm80dB or less

SR8653（8G LCD用）

太陽電池 SOLAR CELL

特長Features

2200x2500mm t=0.5～0.7mm

1.33x10-2Pa5-AXIS(all AC-servo controlled)

3620mm

2700mm/sec

820mm+140～ -185deg.

500mm/s2.09rads/s+/- 0.25mm

85dB or less

液晶 LCD OLED

真空用FOR VACUUM ENVIRONMENT

自由度 Degree of freedom

動作範囲 Working range

RR/RL軸 RR/RL axis

Z軸 Z axis

θ軸 Theta axis

最高速度 Maximum speed

RR/RL軸 RR/RL axis

Z軸 Z axis

θ軸 Theta axis

繰り返し精度 Repeatability

騒音 Noise generation

ガラスサイズ Glass size

真空度 Vaccum-resistance level

●上記製品の一部にはカスタム対応品となるものがございます。Some products listed above are exclusive for specific customers

●上記製品に関するお問い合わせは49ページの“お問い合わせ先”をご参照ください。For additional information, please contact the offices listed on page 49.

●上記製品の一部にはカスタム対応品となるものがございます。Some products listed above are exclusive for specific customers

●上記製品に関するお問い合わせは49ページの”お問い合わせ先“をご参照ください。For additional information, please contact the offices listed on page 49.

CO

NTA

CT

半導体ウェハー搬送用ロボットWAFER HANDLING ROBOTS

SR8607

真空用半導体ウェハー搬送用ロボットVacuum Environment Wafer Handling Robots

SR8607

●Φ300mmまでのウェハーに対応するエンドエフェクタ付き●高スループットを実現する2アーム×2エンドエフェクタ●高い直進性を確保●高分解能アブソリュートエンコーダ付きの交流サーボモータ使用●安全性向上・高速/高機能化したSC5000コントローラを使用●ブーメランアームで最小回転半径確保（小さなフットプリントを実現）

●End-effectors for wafers up to Φ300mm●Dual arm version and double plate end-effector insure max. throughput●Excellent straight line accuracy●AC servo motors with absolute encoders for easy maintenance●The enhanced safety・high speed/performance commonly usedSC5000 robot controller●Smaller radius of gyration with boomerang arm application

動作範囲 Working range

RR/RL軸 RR/RL axis

θ軸 Theta axis

Z軸 Z axis

最高速度 Maximum speed

RR/RL軸 RR/RL axis

θ轴 Theta axis

Z軸 Z axis

繰り返し精度 Repeatability

騒音 Noise generation

本体重量 Manipular weight

リーク率　Leak Rate

本体外装　Outer Sheath

真空度 Vaccum-resistance level

自由度 Degree of freedom

3x10-6Pa5-AXIS

-300～+425mm.360deg(endless)

225deg(1900mm/sec)225deg/s

215mm

100mm/s+/- 0.1mm80dB or less

240Kg(include hand)1x10-6Pa・ｍ３/sec

SUS cover ,Aluminum cover運転条件　Operation Conditions 0～40℃,30～90％保存条件　Storage Conditions -30～70℃,10～95％

SR8608ブーメランタイプ Boomerang type

SR8608

動作範囲 Working range

RR/RL軸 RR/RL axis

θ軸 Theta axis

Z軸 Z axis

最高速度 Maximum speed

RR/RL軸 RR/RL axis

θ軸 Theta axis

Z軸 Z axis

繰り返し精度 Repeatability

騒音 Noise generation

本体重量 Manipular weight

リーク率　Leak Rate

本体外装　Outer Sheath

真空度 Vaccum-resistance level

自由度 Degree of freedom

3x10-6Pa4-AXIS

-340～+360mm.-95～＋185deg

275deg(3260mm/sec)275deg/s

150mm

150mm/s+/- 0.1mm70dB or less

180Kg(include hand)1x10-6Pa・ｍ３/sec

SUS cover ,Aluminum cover運転条件　Operation Conditions 0～40℃,30～90％保存条件　Storage Conditions -30～70℃,10～95％

特長Features

真空用FOR VACUUM ENVIRONMENT

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モータ

モータ駆動ユニット

カードリーダ

産業用ロボット

プラスチック成形品

センサ

精密ボールねじ

クリーン環境機器

オルゴール

サンキョーカタログ2013.indd 35 13/03/14 17:05