institute of applied physics problems, belarussian state university, minsk, belarus

ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНЫ

Х ФИЗИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ

ИМ АН СЕВЧЕНКО БГУ ЛАБОРАТОРИЯ ЭЛИОНИКИ

ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНЫХ Ф

ИЗИЧЕСКИХ ПРОБЛЕМ ИМ

АН СЕВЧЕНКО БГУ ЛАБОРАТОРИЯ ЭЛИОНИКИ

11

ELECTROPHYSICAL COMPLEX ON BASISOF THE ELECTROSTATIC ACCELERATOR ESA-2FOR FUNDAMENTAL AND APPLIED INVESTIGATIONS

Institute of Applied Physics ProblemsBelarussian State University Minsk Belarus e-mail Lagutinbsuby

Lagutin AE Boyko EB Kamyshan AS Komarov FF







22

УСКОРИТЕЛЬ ЭСУ-2

ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ УСКОРИТЕЛИ ИОНОВЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ УСКОРИТЕЛИ ИОНОВ

УСКОРИТЕЛЬ HVEE AN-2500

диапазон энергий кэВ 180 divide 1000

ускоряемые ионы от Н+ до Ar+

стабильность энергии plusmn 01

ток на мишени до 40 мкА

диапазон энергий кэВ1000divide2500

ускоряемые ионы Н+ Не+









33

Имплантационный модульИмплантационный модуль

1) тип имплантируемых ионов H+ H2+ N+ N2

+ Ar+

2) энергия имплантируемых ионов H+ H2+ (200

1000) кэВN+ N2

+ (200 1000) кэВ

Ar+ (200 800) кэВ3) немонохроматичность ионного пучка 05 4) полный ток на мишени до 40 мкА5) минимальный диаметр пятна на мишени 7 мм6) диаметр обрабатываемых пластин до 100 мм7) тип развертки ионного пучка электростатический8) вакуум в мишенной камере не более 7105 Па9) диапазон температуры мишени (25 500)deg С

Параметры имплантера







44

Ионно-лучевая модификация материаловИонно-лучевая модификация материаловФормирование скрытых высокоомных термостабильных слоев в Формирование скрытых высокоомных термостабильных слоев в кремнии субстехиометрической имплантацией азотакремнии субстехиометрической имплантацией азота

Первая (ldquoгорячаяrdquo) имплантацияУсловияУсловия t= 400 C энергия N2

+ 400 280 200 кэВ дозы 65middot1016 33middot1016 и 31middot1016 ионсм2 соответственно Концентрация азота в скрытом слое составляет в среднем 11divide14

Энергетические спектры РОР ионов He+ с энергией15 МэВ кристалла Si после имплантации ионов N2

+ 1 ndash осевой lt100gt спектримплантация в исходный Si 270 кэВ 5middot1015 ионсм2 при t = 25deg C2 - осевой lt100gt спектр 230 кэВ 5middot1016 ионсм2

при 400deg C + 270 кэВ 5middot1015 ион см2 при t = 25deg C(- - -) ndash осевой lt100gt для исходного Si(minus) ndash случайный спектр

Вторая (ldquoхолоднаяrdquo) имплантация УсловияУсловия энергия ndash 400 и 200 кэВ доза ndash 065middot1016 и 031middot1016 ионсм2 соответственно Постимплантационный отжиг t= 900 divide 950deg C в азоте в течение 30 мин Получено- среднее значение удельного сопротивления 11middot106 Омmiddotсм- толщина скрытого слоя - около 300 нм- толщина приповерхностного рабочего слоя - около 160 нм







55

Изменение оптических характеристик органических Изменение оптических характеристик органических материаловматериалов

000

020

040

060

080

1E+12 1E+13 1E+14 1E+15Доза ион

Отн

изм

енен

ие то

лщин

ы

14

15

16

17

18

1E+12 1E+13 1E+14 1E+15Доза ион

К-нт

пре

лом

лени

я

Дозовые зависимости изменения толщины Δ dd пленок ПММА

Дозовые зависимости изменения коэффициента преломления пленок ПММА

Пленки полиметилметакрилата [C5H8O2]n

УсловияУсловия N2+ c энергией 300 кэВ и дозами 1012 divide1015 ионсм2

Ионно-лучевая модификация материаловИонно-лучевая модификация материалов

см2

см2







66

Энергия ионовH+ кэВ

50 130 220 300 400

Доза ионсм2 42middot1013

53middot1013 62middot1013

80middot1013

1middot1014

Режимы имплантации при комнатной температуре

Создание вертикальной изоляции в арсениде галлияСоздание вертикальной изоляции в арсениде галлия

Удельное сопротивление изоляции 3∙103∙1088 Ом∙см Ом∙см

Зависимость удельного сопротивления облученного эпитаксиального слоя GaAs c начальным сопротивлением 055 Ом∙см от температуры


0 1 2 3 41017

1018

1019

1020

54321

Конц

ентр

ация

вак

анси

й (с

м-3)

Глубина (мкм)







77

АНАЛИТИЧЕСКИЙ МОДУЛЬ РЕЗЕРФОРДОВСКОГО ОБРАТНОГО РАССЕЯНИЯ ИОНОВ

Аналитический модуль РОР с ЭСААналитический модуль РОР с ЭСА

Параметры ЭСА1 Угол поворота ионного пучка Ф е = 900

2 Радиус кривизны r0 = 30 cм r2 ndash r1 = 08 cм3 Телесный угол стягиваемый детектором ΔΩ = 1310-4 ср4 Потенциал на электродах ЭСА от plusmn 45 до plusmn 7500 В5 Диапазон анализируемых энергий от 40 до 281 кэВ6 Энергетическое разрешение 1

Электростатический анализатор энергии







88

Электростатический анализатор энергииЭлектростатический анализатор энергии

Энергетический спектр обратно рассеянных протонов с энергией 240 кэВ пленкой хрома (1) и производная dNdE высокоэнергетической границы спектра (2)

780 800 820 840 86000

02

04

06

08

10

2

1

Нор

мир

ован

ный

выхо

д

Номер канала

720 760 800 84000

03

06

09

12

2

1

Нор

мир

ован

ный

выхо

д


Энергетический спектр обратно рассеянных протонов с энергией 240 кэВ пленкой золота (1) и производная dNdE высокоэнергетической границы спектра (2)







99

Применение спектрометра РОР с ЭСАПрименение спектрометра РОР с ЭСАИсследование процессов сегрегации ионно-имплантированнойИсследование процессов сегрегации ионно-имплантированной

примеси на границе раздела кремний ndash оксид кремнияпримеси на границе раздела кремний ndash оксид кремния

ОбразецОбразец Si имплантация As с энергией 32 кэВ доза 1015 ионсм2 отжиг t = 1050deg C в течение 10 с

600 640 680 7200

100

200

300

400

As

Si

O

х10

Вы

ход

отсч

етов


УсловияУсловия анализирующий пучок ndash Н+энергия пучка - 210 divide 240 кэВугол регистрации протонов ndash 164degвакуум в камере ndash 10-4 Па

Спектр РОР с ЭСА Н+ с энергией 214 кэВ

Осевой () и ldquoслучайныйrdquo () спектр РОР ионов Не+ с энергией 1 МэВ

60 80 100 120 140 160 180 200 2200

2000

4000

6000

8000

As

Si

O

x30

Вы

ход

отсч

етов








1010

0 10 20 30 40 50 60 7000

01

02

03

04

05

06

07

08

Конц

ентр

ация

Глубина нматcм2 Si As O

45middot1016 333 0 667

10middot1016 975 25 0

20middot1017 9965 035 0

10middot1017 9985 015 0

infin 100 0 0

Послойный состав структуры

Применение спектрометра РОР с ЭСАПрименение спектрометра РОР с ЭСА

Расчетный профиль распределения мышьяка по глубине







1111

730 740 750 760 770 78000

02

04

06

08

10

21

Нор

мир

ован

ный

выхо

дНомер канала

ЕусккэВ Еизм кэВ ∆Е кэВ

Ширина энергетического распределения ионов ΔЕ

фактопределяется

ΔЕфакт

= (ΔЕ2изм

- ΔЕ2кал

)12

Энергетический спектр рассеянных ионов атомарного водорода с энергией 222 кэВ никелевой мишенью (1) и производная от края спектра (2)

Измеренные параметры ионного пучка

Применение спектрометра РОР с ЭСАПрименение спектрометра РОР с ЭСАИзмерение энергетических распределений ионов в пучке Измерение энергетических распределений ионов в пучке

нейтронного генератора НГ-12 ГНУ laquoОИЭЯИ-Сосныraquoнейтронного генератора НГ-12 ГНУ laquoОИЭЯИ-Сосныraquo







1212

Применение спектрометра РОР с ЭСАПрименение спектрометра РОР с ЭСАКонтроль качества поверхности Si с различной степенью

шероховатости

-6 -4 -2 0 2 4 600

02

04

06

08

10Н

орм

иров

анны

й вы

ход

Энергетическое разрешение кэв

полированный шлифованный ( 1 мкм) шлифованный ( 4 мкм)

Энергетические спектры РОР поверхности кремния с различной степенью шероховатости







1313

Экспериментальная установкаЭкспериментальная установка

Параметры установки

1)Измеренная угловая расходимость зондирующего пучка plusmn 210-

2 град при немонохроматичности менее 01

2)скорость сканирования угловых распределений не превышает 2510-3 градс

3)диапазон сканирования 0 divide 70 град

4) полное измеренное энергетическое разрешение системы регистрации 19 кэВ

УСТАНОВКА ДЛЯ ИЗУЧЕНИЯ ПРОЦЕССОВ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ С ТВЕРДЫМ ТЕЛОМ







1414

Взаимодействие протонов с кремниемВзаимодействие протонов с кремнием

Угловые распределения энергетических потерь протонов в lt111gt кристалле Si толщиной 13 (а) и 2 мкм (б) Угол между кристаллографической осью и пучком 0deg







1515

Угловые распределения отраженных поверхностью кремния протонов с энергией 380 кэВ при углах падения 03ordm (1) и 05ordm (2)


240 280 320 360 40000

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д

Энергия кэВ

полированный шлифованный (1 мкм)

00 04 08 12 16 20 24 2800

02

04

06

08

102

1

0005101520253000

02

04

06

08

10

Выход отнед

Угол сканирования град

Нор

мир

ован

ный

выхо

д


Энергетические спектры отраженных поверхностью (111) кремния протонов с энергией 380 кэВ при угле влета относительно поверхности 05deg и угле регистрации 1deg







1616

-006 -003 000 003 00600

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д


Угловые распределения протонов с энергией 240 кэВпри прохождении стеклянного капилляра длиной 60 мм и диаметром 05 мм

Прохождение протонов через капиллярыПрохождение протонов через капилляры







1717

ВыводыВыводы- создан спектрометр РОР с энергетическим разрешением 1 за счет

использования разработанного электростатического анализатора энергии для измерения профилей концентрации мелкозалегающей примеси

- разработана установка для исследования процессов взаимодействия заряженных частиц с твердым телом

- разработан высокоэнергетический имплантационный модуль для ионно-лучевой модификации приповерхностных слоев твердотельных материаловНа основе созданного исследовательско-имплантационного комплекса экспериментально изучены

ndash процессы сегрегации имплантированной примеси на границе раздела кремний-оксид кремния происходящие в результате быстрого термического отжига

ndash процессы формирования скрытых высокоомных термостабильных слоев в кремнии вертикальной изоляции в арсениде галлия модификации оптических характеристик диэлектрических материалов

- процессы взаимодействия ускоренных ионов водорода с монокристаллами кремния в режимах движения на просвет и отражение при углах падения ионов на поверхность мишени близких к углу Линдхарда (до 2divide3 ΨL)

Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17







22

УСКОРИТЕЛЬ ЭСУ-2

ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ УСКОРИТЕЛИ ИОНОВЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ УСКОРИТЕЛИ ИОНОВ

УСКОРИТЕЛЬ HVEE AN-2500

диапазон энергий кэВ 180 divide 1000

ускоряемые ионы от Н+ до Ar+



диапазон энергий кэВ1000divide2500

ускоряемые ионы Н+ Не+









33



+ Ar+


1000) кэВN+ N2

+ (200 1000) кэВ









44














55


000

020

040

060

080

1E+12 1E+13 1E+14 1E+15Доза ион

Отн

изм

енен

ие то

лщин

ы

14

15

16

17

18

1E+12 1E+13 1E+14 1E+15Доза ион

К-нт

пре

лом

лени

я






см2

см2







66


50 130 220 300 400



80middot1013

1middot1014






0 1 2 3 41017

1018

1019

1020

54321

Конц

ентр

ация

вак

анси

й (с

м-3)








77












88



780 800 820 840 86000

02

04

06

08

10

2

1

Нор

мир

ован

ный

выхо

д


720 760 800 84000

03

06

09

12

2

1

Нор

мир

ован

ный

выхо

д









99




600 640 680 7200

100

200

300

400

As

Si

O

х10

Вы

ход

отсч

етов





60 80 100 120 140 160 180 200 2200

2000

4000

6000

8000

As

Si

O

x30

Вы

ход

отсч

етов








1010

0 10 20 30 40 50 60 7000

01

02

03

04

05

06

07

08

Конц

ентр

ация


45middot1016 333 0 667

10middot1016 975 25 0

20middot1017 9965 035 0

10middot1017 9985 015 0

infin 100 0 0










1111

730 740 750 760 770 78000

02

04

06

08

10

21

Нор

мир

ован

ный

выхо





ΔЕфакт

= (ΔЕ2изм

- ΔЕ2кал

)12











1212



-6 -4 -2 0 2 4 600

02

04

06

08

10Н

орм

иров

анны

й вы

ход










1313















1414









1515



240 280 320 360 40000

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д



00 04 08 12 16 20 24 2800

02

04

06

08

102

1

0005101520253000

02

04

06

08

10



Нор

мир

ован

ный

выхо

д









1616

-006 -003 000 003 00600

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д










1717








Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17







33



+ Ar+


1000) кэВN+ N2

+ (200 1000) кэВ









44














55


000

020

040

060

080

1E+12 1E+13 1E+14 1E+15Доза ион

Отн

изм

енен

ие то

лщин

ы

14

15

16

17

18

1E+12 1E+13 1E+14 1E+15Доза ион

К-нт

пре

лом

лени

я






см2

см2







66


50 130 220 300 400



80middot1013

1middot1014






0 1 2 3 41017

1018

1019

1020

54321

Конц

ентр

ация

вак

анси

й (с

м-3)








77












88



780 800 820 840 86000

02

04

06

08

10

2

1

Нор

мир

ован

ный

выхо

д


720 760 800 84000

03

06

09

12

2

1

Нор

мир

ован

ный

выхо

д









99




600 640 680 7200

100

200

300

400

As

Si

O

х10

Вы

ход

отсч

етов





60 80 100 120 140 160 180 200 2200

2000

4000

6000

8000

As

Si

O

x30

Вы

ход

отсч

етов








1010

0 10 20 30 40 50 60 7000

01

02

03

04

05

06

07

08

Конц

ентр

ация


45middot1016 333 0 667

10middot1016 975 25 0

20middot1017 9965 035 0

10middot1017 9985 015 0

infin 100 0 0










1111

730 740 750 760 770 78000

02

04

06

08

10

21

Нор

мир

ован

ный

выхо





ΔЕфакт

= (ΔЕ2изм

- ΔЕ2кал

)12











1212



-6 -4 -2 0 2 4 600

02

04

06

08

10Н

орм

иров

анны

й вы

ход










1313















1414









1515



240 280 320 360 40000

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д



00 04 08 12 16 20 24 2800

02

04

06

08

102

1

0005101520253000

02

04

06

08

10



Нор

мир

ован

ный

выхо

д









1616

-006 -003 000 003 00600

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д










1717








Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17







44














55


000

020

040

060

080

1E+12 1E+13 1E+14 1E+15Доза ион

Отн

изм

енен

ие то

лщин

ы

14

15

16

17

18

1E+12 1E+13 1E+14 1E+15Доза ион

К-нт

пре

лом

лени

я






см2

см2







66


50 130 220 300 400



80middot1013

1middot1014






0 1 2 3 41017

1018

1019

1020

54321

Конц

ентр

ация

вак

анси

й (с

м-3)








77












88



780 800 820 840 86000

02

04

06

08

10

2

1

Нор

мир

ован

ный

выхо

д


720 760 800 84000

03

06

09

12

2

1

Нор

мир

ован

ный

выхо

д









99




600 640 680 7200

100

200

300

400

As

Si

O

х10

Вы

ход

отсч

етов





60 80 100 120 140 160 180 200 2200

2000

4000

6000

8000

As

Si

O

x30

Вы

ход

отсч

етов








1010

0 10 20 30 40 50 60 7000

01

02

03

04

05

06

07

08

Конц

ентр

ация


45middot1016 333 0 667

10middot1016 975 25 0

20middot1017 9965 035 0

10middot1017 9985 015 0

infin 100 0 0










1111

730 740 750 760 770 78000

02

04

06

08

10

21

Нор

мир

ован

ный

выхо





ΔЕфакт

= (ΔЕ2изм

- ΔЕ2кал

)12











1212



-6 -4 -2 0 2 4 600

02

04

06

08

10Н

орм

иров

анны

й вы

ход










1313















1414









1515



240 280 320 360 40000

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д



00 04 08 12 16 20 24 2800

02

04

06

08

102

1

0005101520253000

02

04

06

08

10



Нор

мир

ован

ный

выхо

д









1616

-006 -003 000 003 00600

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д










1717








Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17







55


000

020

040

060

080

1E+12 1E+13 1E+14 1E+15Доза ион

Отн

изм

енен

ие то

лщин

ы

14

15

16

17

18

1E+12 1E+13 1E+14 1E+15Доза ион

К-нт

пре

лом

лени

я






см2

см2







66


50 130 220 300 400



80middot1013

1middot1014






0 1 2 3 41017

1018

1019

1020

54321

Конц

ентр

ация

вак

анси

й (с

м-3)








77












88



780 800 820 840 86000

02

04

06

08

10

2

1

Нор

мир

ован

ный

выхо

д


720 760 800 84000

03

06

09

12

2

1

Нор

мир

ован

ный

выхо

д









99




600 640 680 7200

100

200

300

400

As

Si

O

х10

Вы

ход

отсч

етов





60 80 100 120 140 160 180 200 2200

2000

4000

6000

8000

As

Si

O

x30

Вы

ход

отсч

етов








1010

0 10 20 30 40 50 60 7000

01

02

03

04

05

06

07

08

Конц

ентр

ация


45middot1016 333 0 667

10middot1016 975 25 0

20middot1017 9965 035 0

10middot1017 9985 015 0

infin 100 0 0










1111

730 740 750 760 770 78000

02

04

06

08

10

21

Нор

мир

ован

ный

выхо





ΔЕфакт

= (ΔЕ2изм

- ΔЕ2кал

)12











1212



-6 -4 -2 0 2 4 600

02

04

06

08

10Н

орм

иров

анны

й вы

ход










1313















1414









1515



240 280 320 360 40000

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д



00 04 08 12 16 20 24 2800

02

04

06

08

102

1

0005101520253000

02

04

06

08

10



Нор

мир

ован

ный

выхо

д









1616

-006 -003 000 003 00600

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д










1717








Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17







66


50 130 220 300 400



80middot1013

1middot1014






0 1 2 3 41017

1018

1019

1020

54321

Конц

ентр

ация

вак

анси

й (с

м-3)








77












88



780 800 820 840 86000

02

04

06

08

10

2

1

Нор

мир

ован

ный

выхо

д


720 760 800 84000

03

06

09

12

2

1

Нор

мир

ован

ный

выхо

д









99




600 640 680 7200

100

200

300

400

As

Si

O

х10

Вы

ход

отсч

етов





60 80 100 120 140 160 180 200 2200

2000

4000

6000

8000

As

Si

O

x30

Вы

ход

отсч

етов








1010

0 10 20 30 40 50 60 7000

01

02

03

04

05

06

07

08

Конц

ентр

ация


45middot1016 333 0 667

10middot1016 975 25 0

20middot1017 9965 035 0

10middot1017 9985 015 0

infin 100 0 0










1111

730 740 750 760 770 78000

02

04

06

08

10

21

Нор

мир

ован

ный

выхо





ΔЕфакт

= (ΔЕ2изм

- ΔЕ2кал

)12











1212



-6 -4 -2 0 2 4 600

02

04

06

08

10Н

орм

иров

анны

й вы

ход










1313















1414









1515



240 280 320 360 40000

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д



00 04 08 12 16 20 24 2800

02

04

06

08

102

1

0005101520253000

02

04

06

08

10



Нор

мир

ован

ный

выхо

д









1616

-006 -003 000 003 00600

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д










1717








Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17







77












88



780 800 820 840 86000

02

04

06

08

10

2

1

Нор

мир

ован

ный

выхо

д


720 760 800 84000

03

06

09

12

2

1

Нор

мир

ован

ный

выхо

д









99




600 640 680 7200

100

200

300

400

As

Si

O

х10

Вы

ход

отсч

етов





60 80 100 120 140 160 180 200 2200

2000

4000

6000

8000

As

Si

O

x30

Вы

ход

отсч

етов








1010

0 10 20 30 40 50 60 7000

01

02

03

04

05

06

07

08

Конц

ентр

ация


45middot1016 333 0 667

10middot1016 975 25 0

20middot1017 9965 035 0

10middot1017 9985 015 0

infin 100 0 0










1111

730 740 750 760 770 78000

02

04

06

08

10

21

Нор

мир

ован

ный

выхо





ΔЕфакт

= (ΔЕ2изм

- ΔЕ2кал

)12











1212



-6 -4 -2 0 2 4 600

02

04

06

08

10Н

орм

иров

анны

й вы

ход










1313















1414









1515



240 280 320 360 40000

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д



00 04 08 12 16 20 24 2800

02

04

06

08

102

1

0005101520253000

02

04

06

08

10



Нор

мир

ован

ный

выхо

д









1616

-006 -003 000 003 00600

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д










1717








Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17







88



780 800 820 840 86000

02

04

06

08

10

2

1

Нор

мир

ован

ный

выхо

д


720 760 800 84000

03

06

09

12

2

1

Нор

мир

ован

ный

выхо

д









99




600 640 680 7200

100

200

300

400

As

Si

O

х10

Вы

ход

отсч

етов





60 80 100 120 140 160 180 200 2200

2000

4000

6000

8000

As

Si

O

x30

Вы

ход

отсч

етов








1010

0 10 20 30 40 50 60 7000

01

02

03

04

05

06

07

08

Конц

ентр

ация


45middot1016 333 0 667

10middot1016 975 25 0

20middot1017 9965 035 0

10middot1017 9985 015 0

infin 100 0 0










1111

730 740 750 760 770 78000

02

04

06

08

10

21

Нор

мир

ован

ный

выхо





ΔЕфакт

= (ΔЕ2изм

- ΔЕ2кал

)12











1212



-6 -4 -2 0 2 4 600

02

04

06

08

10Н

орм

иров

анны

й вы

ход










1313















1414









1515



240 280 320 360 40000

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д



00 04 08 12 16 20 24 2800

02

04

06

08

102

1

0005101520253000

02

04

06

08

10



Нор

мир

ован

ный

выхо

д









1616

-006 -003 000 003 00600

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д










1717








Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17







99




600 640 680 7200

100

200

300

400

As

Si

O

х10

Вы

ход

отсч

етов





60 80 100 120 140 160 180 200 2200

2000

4000

6000

8000

As

Si

O

x30

Вы

ход

отсч

етов








1010

0 10 20 30 40 50 60 7000

01

02

03

04

05

06

07

08

Конц

ентр

ация


45middot1016 333 0 667

10middot1016 975 25 0

20middot1017 9965 035 0

10middot1017 9985 015 0

infin 100 0 0










1111

730 740 750 760 770 78000

02

04

06

08

10

21

Нор

мир

ован

ный

выхо





ΔЕфакт

= (ΔЕ2изм

- ΔЕ2кал

)12











1212



-6 -4 -2 0 2 4 600

02

04

06

08

10Н

орм

иров

анны

й вы

ход










1313















1414









1515



240 280 320 360 40000

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д



00 04 08 12 16 20 24 2800

02

04

06

08

102

1

0005101520253000

02

04

06

08

10



Нор

мир

ован

ный

выхо

д









1616

-006 -003 000 003 00600

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д










1717








Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17







1010

0 10 20 30 40 50 60 7000

01

02

03

04

05

06

07

08

Конц

ентр

ация


45middot1016 333 0 667

10middot1016 975 25 0

20middot1017 9965 035 0

10middot1017 9985 015 0

infin 100 0 0










1111

730 740 750 760 770 78000

02

04

06

08

10

21

Нор

мир

ован

ный

выхо





ΔЕфакт

= (ΔЕ2изм

- ΔЕ2кал

)12











1212



-6 -4 -2 0 2 4 600

02

04

06

08

10Н

орм

иров

анны

й вы

ход










1313















1414









1515



240 280 320 360 40000

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д



00 04 08 12 16 20 24 2800

02

04

06

08

102

1

0005101520253000

02

04

06

08

10



Нор

мир

ован

ный

выхо

д









1616

-006 -003 000 003 00600

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д










1717








Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17







1111

730 740 750 760 770 78000

02

04

06

08

10

21

Нор

мир

ован

ный

выхо





ΔЕфакт

= (ΔЕ2изм

- ΔЕ2кал

)12











1212



-6 -4 -2 0 2 4 600

02

04

06

08

10Н

орм

иров

анны

й вы

ход










1313















1414









1515



240 280 320 360 40000

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д



00 04 08 12 16 20 24 2800

02

04

06

08

102

1

0005101520253000

02

04

06

08

10



Нор

мир

ован

ный

выхо

д









1616

-006 -003 000 003 00600

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д










1717








Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17







1212



-6 -4 -2 0 2 4 600

02

04

06

08

10Н

орм

иров

анны

й вы

ход










1313















1414









1515



240 280 320 360 40000

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д



00 04 08 12 16 20 24 2800

02

04

06

08

102

1

0005101520253000

02

04

06

08

10



Нор

мир

ован

ный

выхо

д









1616

-006 -003 000 003 00600

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д










1717








Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17







1313















1414









1515



240 280 320 360 40000

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д



00 04 08 12 16 20 24 2800

02

04

06

08

102

1

0005101520253000

02

04

06

08

10



Нор

мир

ован

ный

выхо

д









1616

-006 -003 000 003 00600

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д










1717








Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17







1414









1515



240 280 320 360 40000

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д



00 04 08 12 16 20 24 2800

02

04

06

08

102

1

0005101520253000

02

04

06

08

10



Нор

мир

ован

ный

выхо

д









1616

-006 -003 000 003 00600

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д










1717








Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17







1515



240 280 320 360 40000

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д



00 04 08 12 16 20 24 2800

02

04

06

08

102

1

0005101520253000

02

04

06

08

10



Нор

мир

ован

ный

выхо

д









1616

-006 -003 000 003 00600

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д










1717








Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17







1616

-006 -003 000 003 00600

02

04

06

08

10

Нор

мир

ован

ный

выхо

д










1717








Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17







1717








Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

institute of applied physics problems, belarussian state university, minsk, belarus

Documents