msq series - smc corporationca01.smcworld.com/catalog/best-5-jp/pdf/4-p0297-0322-msq.pdf0.001 0.0015...

26
MSQ Series ロータリテーブル/ラックピニオンタイプ サイズ: 1, 2, 3, 7, 10, 20, 30, 50, 70, 100, 200 297 CRB2 -Z CRBU2 CRB1 MSU CRJ CRA1 -Z CRA1 CRQ2 MSZ CRQ2X MSQX MRQ D- MSQ

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MSQ Series

ロータリテーブル/ラックピニオンタイプ

サイズ:1, 2, 3, 7, 10, 20, 30, 50, 70, 100, 200

297

CRB2-Z

CRBU2

CRB1

MSU

CRJCRA1-Z

CRA1

CRQ2

MSQ

MSZCRQ2XMSQX

MRQ

D-

MSQ

テーブル面の高さをおさえた薄形タイプの大型の転がり軸受3~4倍の軸荷重(CRQシリーズとの比較)

ワークの取付が容易●テーブル内径/外径公差 基本形 :MSQB H9/h9 高精度形:MSQA H8/h8●位置決めピン穴●中空軸 テーブルに設置した機器の配線、 配管を収納

角度調整範囲:0~190°内部アブソーバ付2~5倍の運動エネルギー(アジャストボルト付との比較)

テーブルのラジアル・スラスト方向への移動量:0.01mm以下高精度軸受を採用。テーブルのラジアル・スラスト方向への移動量を低減。

基準径(穴) ピン穴

ピン穴

本体の取付が容易●基準径:ボス,穴●位置決めピン穴

●2方向からの取付

基準径(ボス)

高精度形MSQA

基本形MSQB

端面・側面方向からの配管設置条件に応じて配管位置が選べます。

転がり軸受

高精度軸受

高精度形

中空軸

テーブル内外径回転中心とワークの芯だし用

位置決めピン穴回転方向の位置決め用

サイズ中空径

1ø3.5

2ø3.8

3ø5

7ø6

サイズ中空径

10ø6

20ø9

30ø12

50ø13

70ø16

200ø24

100ø19

端面方向

Aポート側面

方向

Bポート

側面方向

BポートAポ

ート

298

ロータリテーブル

MSQ Seriesラック&ピニオンタイプ

左右対称形

外部ショックアブソーバ付外部ショックアブソーバ付

小型シリーズ/サイズ 1,2,3,7

長手方向の寸法を短縮アジャストボルト、内部アブソーバの出っ張りがないため長手方向の設置スペースを削減。

4~10倍の許容運動エネルギー(内部アブソーバ付との比較)

低エネルギー用と高エネルギー用の2種類のショックアブソーバを用意。

0.2 0.3 0.4 0.60.5 1.00.90.80.7揺動時間 (s/90°)

慣性モーメント(kg・m2)

1

0.1

0.01

0.001

0.0001

アジャストボルト付

内部アブソーバ付

高エネルギー

低エネルギー

外部アブソーバ付

許容運動エネルギー比較(サイズ30の場合)

テーブル高さはアジャストボルト付、内部アブソーバ付と同一

標準形90°

180° 対称形

優れた設置性ボディの小型化だけでなく、配線、配管処理も含めて省スペース化を実現。小型ボディのメリットを最大限に活かした設置が可能。

揺動角度:90°、180°

小型・軽量

本体取付時の芯出しが容易フリーマウント側面取付底面取付上面取付

基準径(穴)ピン穴

小型シリーズ/サイズ 1,2,3,7

サイズ

1237

型式

MSQB1A

MSQB2A

MSQB3A

MSQB7A

mm

A50.5

56

60

73.5

B28

30

34.5

41

C25

28

30.5

34.5

D16

18

20.5

23

寸法質量(g)

70105150250原寸大(写真はMSQB1A)

基準径(ボス)

ピン穴

取付条件に応じて選べる配線、配管方向オートスイッチ、スピードコントローラ取付例

CD

A

B

揺動テーブルユニット

Aポート

BポートBポート

Aポート

299

CRB2-Z

CRBU2

CRB1

MSU

CRJCRA1-Z

CRA1

CRQ2

MSQ

MSZCRQ2XMSQX

MRQ

D-

MSQ

テーブルの変位量(参考値)

・回転中心から100mm離れた点Aに荷重を 作用させた時の点Aでの変位量です。

MSQ2A

MSQ1A

MSQ3A

MSQ7A

変位

100

荷重A

0 5 10 15 20 25 30

10203040

400

0 10 20 30 40 50

10203040190200

250

300

0 10 20 30 40 50 60 70

50130150

200

250

300

0 20 40 60 80 100 120

350変位量 μm

荷重 N変位量 μm

荷重 N

変位量 μm

荷重 N

変位量 μm

荷重 N

MSQ20

MSQ10

MSQ30

MSQ50

MSQB10(基本形)

MSQA10(高精度形)

MSQA30(高精度形)

MSQB30(基本形)

MSQA20(高精度形)

MSQB20(基本形)

0

100

80

60

40

20

987654321

変位量 μm

荷重 N

MSQB1A(基本形)

MSQA1A(高精度形)

0

20

40

60

80

100

12108642

変位量 μm

荷重 N

MSQB2A(基本形)

MSQA2A(高精度形)

0

20

40

60

80

100

18161412108642

変位量 μm

荷重 N

MSQB3A(基本形)

MSQA3A(高精度形)

0

20

40

60

80

100

24222018161412108642

変位量 μm

荷重 N

MSQB7A(基本形)

MSQA7A(高精度形)

MSQ Series

350

300

250

200

150

12050

MSQA50(高精度形)

MSQB50(基本形)

300

テ-ブルの変位量(参考値)

・回転中心から100mm離れた点Aに荷重を 作用させた時の点Aでの変位量です。

MSQB70□ MSQB100□

MSQB200□

変位量 μm

荷重 N806040 120100200

80

70

60

50

40

30

20

10

変位量 μm

荷重 N

変位量 μm

荷重 N

90

80

70

60

50

40

30

20

10

300250200150100500

180160140120

80

70

60

50

40

30

20

10

806040 100200

振れ精度:180゚揺動時の変位量(参考値)

テーブル外周面の振れ量

テーブル上面の振れ量

測定箇所

テーブル上面の振れ量

テーブル外周面の振れ量

MSQA MSQB0.03

0.03

0.1

0.1

表中の値は実力値であり、保証値ではありません。

mm

ロータリテーブル/ラックピニオンタイプ MSQ Series

変位

100

アーム 荷重A

301

CRB2-Z

CRBU2

CRB1

MSU

CRJCRA1-Z

CRA1

CRQ2

MSQ

MSZCRQ2XMSQX

MRQ

D-

MSQ

小口径/短ストロークのアクチュエータは高頻度で作動させると条件により配管内に結露(水滴)が発生する場合があります。アクチュエータに配管するだけで結露の発生を防止します。詳細はWEBカタログIDK Seriesをご参照ください。

モイスチャーコントロールチューブIDK Series

MSQBオートスイッチの追記号無記号

Sn

2ヶ付1ヶ付nヶ付

接続ポート位置

オートスイッチ無記号

無記号

オートスイッチなし(磁石内蔵)

サイズ

A

E

アジャストボルト付

端面ポート

正面ポート

1237

※オートスイッチの品番につきましては下表を ご参照ください。※オートスイッチは同梱包出荷(未組付)となり ます。

※ご購入後のポート位置の変更はできません。

型式表示方法

A M9BW1基本形

MSQA A M9BW1高精度形

※※耐水性向上タイプのオートスイッチを取り付けることは可能ですが、ロータリアクチュエータは耐水性向上タイプとなっていません。※リード線長さ記号 0.5m……………無記号 (例)M9NW  1m…………… M (例)M9NWM  3m…………… L (例)M9NWL  5m…………… Z (例)M9NWZ

注1)D-F8□をご使用の場合は鉄などの磁性体より10mm以上離して取付けてください。※オートスイッチは、同梱出荷(未組付)となります。

※○印の無接点オートスイッチは受注生産となります。

適用オートスイッチ/オートスイッチ単体の詳細仕様は、P.807~856をご参照ください。

種類

無接点オートスイッチ

特殊機能 リード線取出し

グロメット

表示灯

配線(出力)

3線(NPN)

3線(PNP)

2線

3線(NPN)

3線(PNP)

2線

3線(NPN)

3線(PNP)

2線

負荷電圧

DC

24V

AC

リード線長さ(m)※

0.5(無記号)

3(L)

1(M)

適用負荷プリワイヤコネクタ

IC回路

M9NVF8N

M9PVF8P

M9BVF8B

M9NWVM9PWVM9BWV※※M9NAV※※M9PAV※※M9BAV

オートスイッチ品番

縦取出し

M9N―

M9P―

M9B―

M9NWM9PWM9BW※※M9NA※※M9PA※※M9BA

横取出し

リレー、PLC

5(Z)

5V,12V

12V

診断表示(2色表示)

耐水性向上品(2色表示)

12V

5V,12V

12V

5V,12V

IC回路

IC回路

OrderMade

無接点オートスイッチプリワイヤコネクタ付詳細はP.843、844をご参照ください。

ロータリテーブル/ラックピニオンタイプ

サイズ:1, 2, 3, 7MSQ Series

302A

仕様

サイズ

使用流体

最高使用圧力

最低使用圧力

周囲温度および使用流体温度

クッション

角度調整範囲

最大揺動角度

シリンダ内径

ポートサイズ

空気(無給油)

0.7MPa

0.1MPa

0~60℃(ただし凍結なきこと)

0~190゜

190゜

1 2 3 7

M3×0.5 M5×0.8

許容運動エネルギーと揺動時間調整範囲

サイズ

1237

0.001 0.00150.002 0.006

ø6 ø8 ø10 ø12

許容運動エネルギー(J)

0.2~0.7

0.2~1.0

作動上安定な揺動時間調整範囲(s/90°)

質量

サイズ基本形高精度形

1 2 3 77580

105115

150165

250265

(g)

JIS記号

高精度形

基本形ラバークッションなし

BK

PA(バキュームポート)

クリーンシリーズボディ側面のバキュームポートから真空吸引することで、製品内部の発塵をクリーンルーム内に飛散させません。

外形寸法図クリーンシリーズには回転中心部の中空穴はありません。

型式表示方法 仕様

11 MSQオートスイッチの追記号

オートスイッチ

サイズ

クリーンシリーズバキュームタイプ

A アジャストボルト付

AB

高精度形基本形

1237

1 M9BWB A E S

接続ポート位置無記号

E端面ポート正面ポート

注1)詳細はカタログ「空気圧クリーンシリーズ」をご参照ください。

上記以外は11-MSQAは高精度形、11-MSQBは基本形と同一です。

発塵量のグレードグレード1注1)

吸引流量(参考値)1L/min(ANR)

基本形11-MSQBA

高精度形11-MSQAA

サイズ1237

BK PA5.37.59.57

M3×0.5M3×0.5M3×0.5M5×0.8

上記以外の寸法は基本形・高精度形と同一です。

注)オートスイッチの質量を除いた値です。

注)許容値を超えた運動エネルギーで動作させた場合、製品内部に破損が生じ使用不能になる恐れがありますので、運動エネルギーが許容値を超えないよう、設計時・運動時には十分注意してください。

ロータリテーブル/ラックピニオンタイプ MSQ Series

303

CRB2-Z

CRBU2

CRB1

MSU

CRJCRA1-Z

CRA1

CRQ2

MSQ

MSZCRQ2XMSQX

MRQ

D-

MSQ

揺動角度範囲の設定例・アジャストボルトA 、Bの調整により、下図のように様々な揺動範囲を設定することができます。 (図は、位置決めピン穴の揺動範囲を示しています。)

揺動方向および揺動角度・Aポートより加圧するとテーブルは時計回りに回転し、Bポートより加圧すると反時計回りに回転します。・アジャストボルトを調整することにより図の範囲で回転端を設定することができます。

アジャストボルトB

アジャストボルトA

(時計回り端調整用)

(反時計回り端調整用)

位置決めピン穴

22.5°

時計回り

反時計回り

AポートBポート

Bポート

注)・図は、位置決めピン穴の揺動範囲を示しています。 ・図のピン穴の位置は、アジャストボルトA, Bを同一量ずつ

締め込んで揺動角180°に調整した場合の反時計回り端を示しています。

最大揺動範囲 190

°

時計回り端調整範囲 95°

反時計回り端

調整範囲 95°

時計 回り

90°揺動

アジャストボルトBによる調整幅

アジャストボルトAによる調整幅

90°揺動

アジャストボルトBによる調整幅

アジャストボルトAによる調整幅

90°揺動

アジャストボルトBによる調整幅

アジャストボルトAによる調整幅

アジャストボルトAによる調整幅

アジャストボルトBによる調整幅

ピン穴の揺動範囲180°揺動

アジャストボルトA

アジャストボルトB

(反時計回り端調整用)

(時計回り端調整用)

位置決めピン穴

190°(最大)揺動

サイズ1237

角度調整ねじ一回転当りの調整角度 8.2° 10.0° 10.9° 10.2°

アジャストボルト付、内部アブソーバ付

MSQ Series

304

構造図

!6!7!8

!8

!1

er

@1 !2

!9

u@0q

MSQAA(高精度形)

!7

o i t !0 y w@4!5!4 @3@2 !3

構成部品

※23 六角穴付止ねじは、接続ポート位置によって装着位置が変わります。※部品単品での出荷対応は行っておりません。

12345678910111213141516

17

18

192021222324

番号 部品名 材質本体カバープレートパッキンエンドカバーピストンピニオン六角ナットアジャストボルトクッションパットテーブルベアリング押エ磁石ウェアリングピストンパッキン深溝玉軸受深溝玉軸受特殊軸受十字穴付0番ナベ小ねじ十字穴付ナベ小ねじ十字穴付ナベ小ねじ十字穴付0番ナベ小ねじ六角穴付ボルト平行ピンシールワッシャ六角穴付止ねじOリング

アルミニウム合金アルミニウム合金アルミニウム合金

NBRアルミニウム合金ステンレス

クロムモリブデン鋼鋼線鋼線弾性材

アルミニウム合金アルミニウム合金

―樹脂NBR軸受鋼

軸受鋼

鋼線

鋼線ステンレス炭素鋼NBR

ステンレスNBR

備考アルマイトアルマイトクロメート

アルマイト

アルマイトアルマイト

サイズ:3, 7

基本形高精度形

基本形

高精度形

サイズ:1~3サイズ:7

ロータリテーブル/ラックピニオンタイプ MSQ Series

305

CRB2-Z

CRBU2

CRB1

MSU

CRJCRA1-Z

CRA1

CRQ2

MSQ

MSZCRQ2XMSQX

MRQ

D-

MSQ

(mm)

サイズ

1237

DH27h8

29h8

33h8

39h8

DI27.5h8

29.5h8

34h8

40h8

DJ14H8

14H8

17H8

20H8

DL4.5H8

5 H8

6 H8

7 H8

FE8.2

9.7

9.7

9.5

HA13.5

15.5

15.5

16.5

UV29.5

33.5

36

39.5

(mm)

øDL

(U

V)

HA

FE

øDIøDHøDJ

高精度形/MSQAA

外形寸法図/サイズ1, 2, 3, 7

基本形/MSQBA

サイズ

1237

BC4.5

5.5

5.5

5.5

JJM3×0.5

M3×0.5

M3×0.5

M4×0.7

JK3.5

3.5

3.5

4.5

JUM3×0.5

M4×0.7

M5×0.8

M6×1

PM3×0.5

M3×0.5

M3×0.5

M5×0.8

WDM3×0.5

M3×0.5

M3×0.5

M4×0.7

S50.5

56

60

73.5

Q16

18

20.5

23

SD10.8

13.4

15.2

15.4

SF24.4

26.2

31

37.4

SU 9.4

11.3

11.8

14.9

UU25

28

30.5

34.5

WA 9.5

10

12

14

WB2H9

2H9

2H9

3H9

WC2

2

2

3

WE4.8

5.3

5.3

6.5

WF20

21

25

29

XA22.5

24.5

27

32.5

XB2H9

2H9

2H9

3H9

XC2

2

2

3

YA11

11.5

13.5

15.5

YB2H9

2H9

2H9

3H9

YC2

2

2

3

BD32

34

38

45

BE17

18.5

23

30

BG11

12.6

15.5

18.4

BH 8.2

9.2

10.5

12.2

BI30

35

40

50

BJ4.5

4.5

4.5

5

D27h9

29h9

33h9

39h9

DD27.5h9

29.5h9

34 h9

40 h9

DE14H9

14H9

17H9

20H9

DF3.5

3.8

5

6

DG4.5H9

5 H9

6 H9

7 H9

FA4.8

5.3

5.3

6.5

FB2

2.5

2.5

2.5

FD3.7

4.2

4.2

4.5

H9

10

10

11.5

J3.3

3.3

4.2

4.2

JB3.5

3.5

4.5

4.5

JCM4×0.7

M4×0.7

M5×0.8

M5×0.8

JD2.2

2.2

2.5

2.5

JE5.3

5.3

6

6

JFM4×0.7

M4×0.7

M4×0.7

M5×0.8

JG4

4

4

5

JA6

6

7.5

7.5

(mm)

サイズ

1237

A28

30

34.5

41

AU2.8

3.6

4.4

4.8

AV11

12.6

15.5

18.4

AW 8.2

9.2

10.5

12.2

AX5.5

7

8

10

AY1.5

2

2.5

3

BA35

37

43

50

BB39.6

45.1

46.7

59.2

(mm)

サイズ

1237

(mm)

JD

BJ

BI

1WA

1XAW

B有効深

WC

22.5゚

XB有効深

XC

BE

WF

BA

BD

YB有効深YC

1Y

A

ASFAV

AX

AY

SD

AW

BH

BG

( UU)

HQ

FA

FD

BC

有効深1.2

有効深

FB

(Max.≒SU) SAU BB

øDGøDF(貫通)

øDDøD

øDE

2×JF深JG

8×WD深WE(周8等分)4×JJ深JK

JA座ぐり深JB2×J通し

六角穴付止ねじにて栓) (正面ポート使用時は 端面ポート2×P

六角穴付止ねじにて栓)(端面ポート使用時は正面ポート2×P

本体底面からJDの位置より深JE2×JC

2×JU

MSQ Series

306

MSQ B 10 A M9BW

オートスイッチの追記号無記号

Sn

2ヶ付1ヶ付nヶ付

オートスイッチ無記号 オートスイッチなし(磁石内蔵)

サイズ 10 20 30 50 70100200

AR

アジャストボルト付内部アブソーバ付

サイズ10203050

MSQ A 10

基本形

高精度形 A M9BW

型式表示方法

ポートの種類

※オートスイッチの品番につきましては下表を ご参照ください。

※リード線長さ記号 0.5m……………無記号 (例)M9NW  1m…………… M (例)M9NWM  3m…………… L (例)M9NWL  5m…………… Z (例)M9NWZ

※○印の無接点オートスイッチは受注生産となります。

※オートスイッチは同梱出荷(未組付)となります。

※1 耐水性向上タイプのオートスイッチを取り付けることは可能ですが、ロータリアクチュエータは耐水性向上タイプとなっていません。※2 リード線長さ1mタイプは、D-A93のみの対応となります。

適用オートスイッチ/オートスイッチ単体の詳細仕様は、P.807~856をご参照ください。

A96V

※2A93VA90V

M9NVM9PVM9BVM9NWVM9PWVM9BWV

※1M9NAV※1M9PAV※1M9BAV

A96

A93A90

M9NM9PM9BM9NWM9PWM9BW

※1M9NA※1M9PA※1M9BA

種類 特殊機能

3線(NPN相当)

24Vグロメット

24V

2線

3線(NPN)3線(PNP)2線

3線(NPN)3線(PNP)2線

3線(NPN)3線(PNP)2線

リード線取出し

負荷電圧配線(出力)

プリワイヤコネクタ

適用負荷DC AC

オートスイッチ品番 リード線長さ(m)

縦取出し 横取出し0.5

(無記号)5(Z)

表示灯

有接点

オートスイッチ

無接点オートスイッチ

グロメット

100V100V以下

――

○○○○○○○○○

●―

○○○○○○○○○

1(M)

●―

●●●●●●○○○

●●

●●●●●●○○○

IC回路

―IC回路

IC回路

IC回路

IC回路

リレー、PLC

リレー、PLC

診断表示(2色表示)

耐水性向上品(2色表示)

5V

12V

5V,12V

12V

5V,12V

12V

5V,12V

12V

3(L)

●●

●●●●●●●●●

無記号無記号

-XF-XN

M5Rc1/8G1/8NPT1/8

端面ポートの種類 サイズ10, 2030, 50,70, 100,200

※側面ポートは全てM5となります。

OrderMade

無接点オートスイッチプリワイヤコネクタ付詳細はP.843、844をご参照ください。

ロータリテーブル/ラックピニオンタイプ

サイズ:10, 20, 30, 50, 70, 100, 200MSQ Series

307

CRB2-Z

CRBU2

CRB1

MSU

CRJCRA1-Z

CRA1

CRQ2

MSQ

MSZCRQ2XMSQX

MRQ

D-

MSQ

A

仕様

サイズ

使用流体

周囲温度および使用流体温度

角度調整範囲

最大揺動角度

シリンダ内径

ポートサイズ

空気(無給油)

1MPa

0.6MPa 注1)

0.1MPa

0~60℃(ただし凍結なきこと)

ラバークッション

ショックアブソーバ

0~190゜

190゜

最高使用圧力

最低使用圧力

アジャストボルト付

内部アブソーバ付クッション

アジャストボルト付

内部アブソーバ付

基本形

高精度形

端面ポート

側面ポート

10 20 30 50 70 100 200

M5×0.8

M5×0.8

Rc1/8, G1/8, NPT1/8

RBA0805-X692 RBA1006-X692 RBA1411

-X692

注1)アブソーバの最大許容推力によりアクチュエータの最高使用圧力が制限されます。注2)内部アブソーバ付の揺動角度を下表の値より小さく設定しますと、アブソーバの有効ストローク

よりもピストンのストロークが小さくなり、エネルギー吸収能力が低下しますのでご注意ください。

アブソーバ型式 RBA2015-X821 RBA2725-X821

許容運動エネルギーと揺動時間調整範囲

サイズ

1020305070

100200

アジャストボルト付0.0070.0250.0480.0810.2400.3200.560

内部アブソーバ付0.0390.1160.1160.2941.1001.6002.900

0.2MPa

ø15 ø18 ø21 ø25 ø28 ø32 ø40

0.1MPa ―

許容運動エネルギー(J) 注1)

アジャストボルト付

0.2~1.0 0.2~0.7

0.2~1.00.2~1.50.2~2.00.2~2.5

内部アブソーバ付 注2)作動上安定な揺動時間調整範囲(s/90°)

注)オートスイッチの質量を除いた値です。

質量

サイズ

基本形

高精度形

アジャストボルト付内部アブソーバ付アジャストボルト付内部アブソーバ付

10500510530540

2094094010401040

301230123013501350

501990201021502170

7028802890

10040904100

20075807650

(g)

JIS記号

基本形/MSQB

高精度形/MSQA

サイズ

エネルギー吸収能力が低下しない最小揺動角度 52° 43° 40° 60° 71° 62° 82°

20 30 70 100 2005010

注2)

ショックアブソーバの寿命は使用条件によりロータリテーブル本体とは異なります。交換の目安は個別注意事項欄を参照してください。

注1)許容値を超えた運動エネルギーで動作させた場合、製品内部に破損が生じ使用不能になる恐れがありますので、運動エネルギーが許容値を超えないよう、設計時・運転時には十分注意してください。

注2)内部アブソーバ付の揺動時間を表より長く設定した場合、ショックアブソーバのエネルギー吸収能力は著しく低下しますのでご注意ください。

MSQ Series

端面ポート 側面ポート

308

反時計周り

時計周りBポート

Aポート

22.5°

5°位置決めピン穴

アジャストボルトA(反時計回り端調整用)

アジャストボルトB(時計回り端調整用)

時計 回り

時計回り端

反時

計回り端

調整範囲 95°

調整

範囲 95°

最大揺動範囲 190°

アジャストボルトAによる調整幅

アジャストボルトAによる調整幅

アジャストボルトAによる調整幅

アジャストボルトBによる調整幅

アジャストボルトBによる調整幅

アジャストボルトBによる調整幅

90°揺動90°揺動90°揺動

180°揺動190°(最大)揺動ピン穴の揺動範囲

アジャストボルトBによる調整幅

アジャストボルトAによる調整幅位置決めピン穴

アジャストボルトB(時計回り端調整用)

アジャストボルトA(反時計回り端調整用)

揺動角度範囲の設定例・アジャストボルトA 、Bの調整により、下図のように様々な揺動範囲を設定することができます。 (図は、位置決めピン穴の揺動範囲を示しています。)

・内部アブソーバ付の場合も同様に揺動角度の設定が可能です。

揺動方向および揺動角度・Aポートより加圧するとテーブルは時計回りに回転し、Bポートより加圧すると反時計回りに回転します。・アジャストボルトを調整することにより図の範囲で回転端を設定することができます。・内部アブソーバ付の場合も同様に揺動角度の設定が可能です。

注)・図は、位置決めピン穴の揺動範囲を示しています。 ・図のピン穴の位置は、アジャストボルトA, Bを同一量ずつ

締め込んで揺動角180°に調整した場合の反時計回り端を示しています。

サイズ 10 20 30 50 70100200

角度調整ねじ一回転当りの調整角度 10.2° 7.2° 6.5° 8.2° 7.0° 6.1° 4.9°

アジャストボルト付、内部アブソーバ付

ロータリテーブル/ラックピニオンタイプ MSQ Series

309

CRB2-Z

CRBU2

CRB1

MSU

CRJCRA1-Z

CRA1

CRQ2

MSQ

MSZCRQ2XMSQX

MRQ

D-

MSQ

クリーンシリーズボディ側面のバキュームポートから真空吸引することで、製品内部の発塵をクリーンルーム内に飛散させません。

外形寸法図クリーンシリーズには回転中心部の中空穴はありません。

型式表示方法 仕様

11 MSQ

サイズ

クリーンシリーズバキュームタイプ

AB

高精度形基本形

10203050

10B

注1)詳細はカタログ「空気圧クリーンシリーズ」をご参照ください。

上記以外は11-MSQAは高精度形、11-MSQBは基本形と同一です。

発塵量のグレードグレード1注1)

吸引流量(参考値)1L/min(ANR)

基本形11-MSQB□A11-MSQB□R

高精度形11-MSQA□A11-MSQA□R

サイズ

10203050

DC(H9)

20

28

32

35

DA(h9)

46

61

67

77

DB(h9)

45

60

65

75

DD(h9)

35

40

48

54

HB

20

22

22

24

HC

5

6

6

7

HD

59

65

68

77

(mm)

上記以外の寸法は基本形と同一です。

サイズ

10203050

DA(h8)

46

61

67

77

DB(h8)

45

60

65

75

DC(H8)

20

28

32

35

DD(h8)

35

40

48

54

HA

15.5

19.5

19.5

21.5

HB

24

30

30

34

HC

5

6

6

7

HD

63

73

76

87

HE

9.5

13.5

13.5

15.5

(mm)

上記以外の寸法は高精度形と同一です。

オートスイッチの追記号

AR

アジャストボルト付ショックアブソーバ付

M9BWA

ポートの種類

無記号無記号

-XF-XN

M5Rc1/8G1/8NPT1/8

端面ポートの種類 サイズ10, 20

30, 50

※側面ポートは全てM5となります。

MSQ Series

オートスイッチ無記号 オートスイッチなし(磁石内蔵)※オートスイッチの品番につきましては、 P.307をご参照ください。

M5×0.8深5(バキュームポート)

HE

øDD

øDA

øDB

øDC

M5×0.8深5(バキュームポート)

øDA

øDB

øDC

(H

D)

HC

HB

11.5

5.5

øDD

HB

(H

D)

HC

HA

310A

構造図

@1!2!5!4!9@6u@3@0@2@9#0!3@0

q

MSQA □□(高精度形)

MSQ □□ R(内部アブソーバ付)

交換部品

部品名サイズ

10P523010-5

番号 部品名 数量41213171827

パッキンガスケットガスケットウエアリングピストンパッキンシールワッシャ

111442

20P523020-5

番号 部品名 数量41213171827

パッキンガスケットガスケットウエアリングピストンパッキンシールワッシャ

111442

30P523030-5

番号 部品名 数量41213171827

パッキンガスケットガスケットウエアリングピストンパッキンシールワッシャ

111442

50P523040-5

番号 部品名 数量41213171827

パッキンガスケットガスケットウエアリングピストンパッキンシールワッシャ

111442

70P391050-5

番号 部品名 数量41217182729

パッキンガスケットウエアリングピストンパッキンシールワッシャOリング

144424

100P391060-5

番号 部品名 数量41217182729

パッキンガスケットウエアリングピストンパッキンシールワッシャOリング

144424

200P391070-5

番号 部品名 数量41217182729

パッキンガスケットウエアリングピストンパッキンシールワッシャOリング

144424

パッキンセット

パッキンセットに含まれる部品

構成部品

1

2

34

5

67

8

910

11

12131415161718

番号 部品名 材質本体

カバー

プレートパッキン

エンドカバー

ピストンピニオン小形六角ナット六角ナットアジャストボルトクッションパット ーパッキン押エガスケットガスケットテーブルベアリング押エ磁石ウエアリングピストンパッキン

アルミニウム合金

アルミニウム合金

アルミニウム合金NBR

アルミニウム合金

ステンレスクロムモリブデン鋼

鋼線

クロムモリブデン鋼弾性材―

アルミニウム合金NBRNBR

アルミニウム合金アルミニウム合金

―樹脂NBR

備考アルマイトニッケルめっき塗装

クロメート

ニッケルめっき塗装

クロメート

クロメート

アルマイトアルマイト

サイズ:10~ 50サイズ:70~200

サイズ:10~ 50サイズ:70~200

クリーン仕様クリーン仕様以外

クリーン仕様クリーン仕様以外

19

20

21

22

23

24

25

26

2728293031

番号 部品名 材質ベアリングニードルベアリングベアリングアンギュラベアリング

十字穴付0番ナベ小ねじ

十字穴付ナベ小ねじ低頭六角穴付ボルト六角穴付ボルト六角穴付ボルト

六角穴付ボルト

プッシュナットCS形止め輪平行ピン平行キーシールワッシャプラグOリング鋼球ショックアブソーバ

軸受鋼

軸受鋼

鋼線ステンレス鋼線

鋼線

ステンレスステンレス鋼線

ステンレス

炭素鋼

NBR鋼線NBR

ステンレス-

備考

ニッケルめっき

サイズ:10~ 50サイズ:70~200基本形高精度形サイズ:20~ 50サイズ:70~200サイズ:10 サイズ:20~ 50サイズ:70~200

サイズ:10~ 70サイズ:100~200サイズ:10~ 50サイズ:70~200サイズ:10~ 50サイズ:70~200

サイズ:70~200のみサイズ:70~200のみ

グリースパック(10g)が付属されます。グリースパックのみ必要な場合は下記品番にて手配してください。グリースパック品番:GR-S-010(10g)

ロータリテーブル/ラックピニオンタイプ MSQ Series

※部品単品での出荷対応は行っておりません。

#1 o i @7 @8 t !0 y !6 !7 !8 !1 @5 e r w@4

311

CRB2-Z

CRBU2

CRB1

MSU

CRJCRA1-Z

CRA1

CRQ2

MSQ

MSZCRQ2XMSQX

MRQ

D-

MSQ

外形寸法図/サイズ10, 20, 30, 50

基本形/MSQBA

内部ショックアブソーバ付MSQA□RMSQB□R

高精度形MSQA□A/アジャストボルト付MSQA□R/内部ショックアブソーバ付

サイズ

10203050

AA55.4

70.8

75.4

85.4

JCM 8×1.25

M10×1.5

M10×1.5

M12×1.75

JD12

15

15

18

JJM5×0.8

M6×1

M6×1

M8×1.25

JUM 8×1

M10×1

M10×1

M14×1.5

PM5×0.8

M5×0.8

Rc1/8※

Rc1/8※

WDM5×0.8

M6×1

M6×1

M8×1.25

S 92

117

127

152

Q34

37

40

46

SD9

10

11.5

14.5

SE13

12

14

15

SF45

60

65

75

SU17.7

25

25

31.4

UU47

54

57

66

WA15

20.5

23

26.5

WB3H9

4H9

4H9

5H9

WC3.5

4.5

4.5

5.5

WE 8

10

10

12

WF32

43

48

55

XA27

36

39

45

XB3H9

4H9

4H9

5H9

XC3.5

4.5

4.5

5.5

YA19

24

28

33

YB3H9

4H9

4H9

5H9

YC3.5

4.5

4.5

5.5

A50

65

70

80

AU 6.6

7.6

7.6

10

AV20

27.5

29

38

AW15.5

16

18.5

22

AX12

14

14

19

AY4

5

5

6

BA 9.5

12

12

15.5

BB34.5

46

50

63

BC27.8

30

32

37.5

BD 60

76

84

100

BE27

34

37

50

CA4.5

6

6.5

10

CB28.5

30.5

33.5

37.5

D45h9

60h9

65h9

75h9

DD46h9

61h9

67h9

77h9

DE20H9

28H9

32H9

35H9

DF 6

9

12

13

FA 8

10

10

12

FB4

6

4.5

5

FC3

2.5

3

3

FD4.5

6.5

6.5

7.5

H13

17

17

20

J 6.8

8.6

8.6

10.5

JA11

14

14

18

JB 6.5

8.5

8.5

10.5

DG15H9

17H9

22H9

26H9

(mm)

サイズ

10203050

DH45h8

60h8

65h8

75h8

DI46h8

61h8

67h8

77h8

DJ20H8

28H8

32H8

35H8

DK 6

9

12

13

DL15H8

17H8

22H8

26H8

FE10

15.5

16.5

17.5

HA18.5

26

27

30

UV52.5

63

67

76

(mm)

サイズ

10203050

(mm)

※Rc1/8以外に、G1/8、NPT1/8も選択可能です。

MSQ Series

サイズ

10203050

FU31.5

34.7

34.7

51.7

(mm)

(Max.≒FU)

øDK(貫通)øDL

øDIøDHøDJ

(U

V)

HA

FE

øDF(貫通)AU

CA

XB有効深

XC

WF

BE

有効深

FB

有効深

FC

(Max.≒ SU) SBA øDG

2×Pポート

2×M5×0.8ポート(プラグにて栓)

8×WD×深WE(周8等分)

4×JJ深8

2×J通しJA深座ぐり深JB

矢視図

2×JU

2×JC深JD

BB

SE

BC

AW

AAASFAVAXAY

SD

WAXA

2

222.5°

45°

CB (

UU)

QH

FA

FD

2YA

YB有効深YC

BA

øDEøD

øDD

BD

WB有効深

WC

WB有効深

WC

312

外形寸法図/サイズ70, 100, 200

基本形/MSQBA

サイズ

70100200

AA 90

101

119

JCM12×1.75

M12×1.75

M16×2

JD18

18

25

JK10

10

13

JJ M 8×1.25

M 8×1.25

M12×1.75

JUM20×1.5

M20×1.5

M27×1.5

WD M 8×1.25

M10×1.5

M12×1.75

S170

189

240

Q53

59

74

SD18

22

29

SF 79

90

108

SU34.2

34.3

40.2

UU 75

86

106

WA32.5

37.5

44

WB5H9

6H9

8H9

WC5.5

6.5

8.5

WE12.5

14.5

16.5

WF67

77

90

XA54

59

69

XB5H9

6H9

8H9

XC3.5

4.5

4.5

YA39

49

54

YB5H9

6H9

8H9

YC3.5

4.5

6.5

AB 92

102

120

A 84

95

113

AV42

50

60

AW25.5

29.5

36.5

AX27

27

36

AY 8

8

10

BA17

17

24

BB 75

85

103

BC44.5

50.5

65.5

BD110

130

150

BE57

66

80

CB36

42

57

D88h9

98h9

116h9

DD90h9

100h9

118h9

DE46H9

56H9

64H9

DF16

19

24

FA12.5

14.5

16.5

FB5

6

9

FC3.5

3.5

5.5

FD 9

12

15

H22

27

32

J10.4

10.4

14.2

JA17.5

17.5

20

JB10.5

10.5

12.5

DG22H9

24H9

32H9

(mm)

サイズ

70100200

FU55.4

55.5

79.5

(mm)

サイズ

70100200

(mm)

ショックアブソーバ付MSQBR

※Rc1/8以外に、G1/8、NPT1/8も選択可能です。

ロータリテーブル/ラックピニオンタイプ MSQ Series

(U

U)

WF

AX

(Max.≒SU)

AY

45°

AAY

B有効深YC

2YA

9

øDG

XB有効深

XC2

XA

BB

15

SD

30°

BC

CB

AW

AB

A

SF

AV

2WA

22.5°

BE

BD

有効深

FB

FD

FA

HQ

有効深

FC

øDD

øD

øDE

8 BA BA

S

øDF(貫通)

2×JU

2×M5×0.8(プラグ)ポート

2×Rc1/8ポート

2×JC深JD

2×J通しJA深座ぐり深JB

4×JJ深JK

8×WD深WE(周8等分)

(Max.≒FU)

矢視図

WB有効深

WC

313

CRB2-Z

CRBU2

CRB1

MSU

CRJCRA1-Z

CRA1

CRQ2

MSQ

MSZCRQ2XMSQX

MRQ

D-

MSQ

MSQ

オートスイッチの追記号無記号

Sn

2ヶ付1ヶ付nヶ付

接続ポート位置および揺動角度2345

標準形

対称形

180° 90°180° 90°

AB

高精度形基本形

オートスイッチ無記号 オートスイッチなし(磁石内蔵)

サイズ

LH

低エネルギー用ショックアブソーバ高エネルギー用ショックアブソーバ

揺動角度180° 90°

2:標準形、180°

4:対称形、180°

3:標準形、90°

5:対称形、90°

10203050

右表をご参照ください。

型式表示方法

ショックアブソーバの種類

無記号X

標準品オーダーメイド仕様

B 10 Lオーダーメイド仕様またはポートの種類

M9BW2

接続ポート位置/揺動角度

標準形

対称形

接続ポート位置

※オートスイッチの品番につきましては下表を ご参照ください。

※リード線長さ記号 0.5m……………無記号 (例)M9NW  1m…………… M (例)M9NWM  3m…………… L (例)M9NWL  5m…………… Z (例)M9NWZ

※○印の無接点オートスイッチは受注生産となります。

※オートスイッチは同梱出荷(未組付)となります。

適用オートスイッチ/オートスイッチ単体の詳細仕様は、P.807~856をご参照ください。

A96V

※2A93VA90V

M9NVM9PVM9BVM9NWVM9PWVM9BWV

※1M9NAV※1M9PAV※1M9BAV

A96

A93A90

M9NM9PM9BM9NWM9PWM9BW

※1M9NA※1M9PA※1M9BA

種類 特殊機能

3線(NPN相当)

24Vグロメット

24V

2線

3線(NPN)3線(PNP)2線

3線(NPN)3線(PNP)2線

3線(NPN)3線(PNP)2線

リード線取出し

負荷電圧配線(出力)

プリワイヤコネクタ

適用負荷DC AC

オートスイッチ品番 リード線長さ(m)

縦取出し 横取出し0.5

(無記号)5(Z)

表示灯

有接点

オートスイッチ

無接点オートスイッチ

グロメット

100V100V以下

――

○○○○○○○○○

●―

○○○○○○○○○

1(M)

●―

●●●●●●○○○

OrderMade

無接点オートスイッチプリワイヤコネクタ付詳細はP.843、844をご参照ください。

●●

●●●●●●○○○

IC回路

―IC回路

IC回路

IC回路

IC回路

リレー、PLC

リレー、PLC

診断表示(2色表示)

耐水性向上品(2色表示)

5V

12V

5V,12V

12V

5V,12V

12V

5V,12V

12V

3(L)

●●

●●●●●●●●●

※1 耐水性向上タイプのオートスイッチを取り付けることは可能ですが、ロータリアクチュエータは耐水性向上タイプとなっていません。※2 リード線長さ1mタイプは、D-A93のみの対応となります。

無記号無記号

-XF-XN

M5Rc1/8G1/8NPT1/8

端面ポートの種類 サイズ10, 20

30, 50

※側面ポートは全てM5となります。※オーダーメイド仕様との組合せはできません。

ロータリテーブル/ラックピニオンタイプ

サイズ:10, 20, 30, 50MSQ Series 外部アブソーバ付

接続ポート

接続ポート

接続ポート

接続ポート

オーダーメイド仕様はP.320をご参照ください。

314A

仕様

サイズ

使用流体

最高使用圧力

最低使用圧力

周囲温度および使用流体温度

クッション

揺動角度

角度調整範囲

シリンダ内径

ポートサイズ

空気(無給油)

1MPa

0.2MPa

0~60℃(ただし凍結なきこと)

ショックアブソーバ

RB1006

RB1007

90 、゚180゜

各揺動端±3゜

低エネルギー用

高エネルギー用

端面ポート

側面ポート

10 20 30 50

M5×0.8

M5×0.8

Rc1/8, G1/8, NPT1/8

RB1411

RB1412

RB0805

RB0806

許容運動エネルギーと揺動時間調整範囲

サイズ

10203050

低エネルギー用ショックアブソーバ0.1610.5740.8051.310

高エネルギー用ショックアブソーバ0.2311.0601.2101.820

ø15 ø18 ø21 ø25

許容運動エネルギー(J) 注1)

0.2~1.0

作動上安定な揺動時間調整範囲(s/90°)

注)オートスイッチの質量を除いた値です。

質量

サイズ 90°仕様180°仕様 90°仕様180°仕様

10600570670640

1150109013401290

1460139016901620

2390228027202600

20 30 50

基本形

高精度形

注2)

(g)

JIS記号

アブソーバ型式

サイズ低エネルギー用高エネルギー用

10 7.1° 8.6°

20 6.9° 8.0°

30 6.2° 7.3°

50 9.6° 10.5°

ショックアブソーバの寿命は使用条件によりロータリテーブル本体とは異なります。交換の目安は個別注意事項欄を参照してください。

注1)許容値を超えた運動エネルギーで動作させた場合、製品の破損が生じ使用不能になる恐れがありますので、運動エネルギーが許容値を超えないよう、設計時・運転時には十分注意してください。

注2)表中の値は、揺動開始からショックアブソーバが作用し減速するまでの時間を示しています。減速後、揺動端へ達するまでに要する時間は、使用条件(負荷の慣性モーメント、揺動速度、使用圧力)により異なりますがおよそ0.2~2s程度必要です。なお、ショックアブソーバが作用する角度は、揺動端から下表に示す範囲までとなります。

ロータリテーブル/ラックピニオンタイプ MSQ Series

OrderMade オーダーメイド仕様

(詳細はP.320をご参照ください。)

表示記号 仕様/内容外部アジャストボルト付-X232

端面ポート 側面ポート

315

CRB2-Z

CRBU2

CRB1

MSU

CRJCRA1-Z

CRA1

CRQ2

MSQ

MSZCRQ2XMSQX

MRQ

D-

MSQ

揺動方向および揺動角度・Aポートより加圧するとテーブルは時計まわりに回転し、Bポートより加圧すると反時計まわりに回転します。・ショックアブソーバを調整することにより図の範囲で回転端を設定することができます。

底面位置決めピン穴の位置底面位置決めピン穴の位置

底面位置決めピン穴の位置

位置決めピン穴

底面位置決めピン穴の位置

位置決めピン穴

注)・図は、テーブル上面位置決めピン穴の揺動範囲を示しています。 ・図のピン穴位置は、ショックアブソーバを同一量ずつ締め込んで

揺動角180°、90°に調整した場合の反時計回り端を示しています。

標準形

対称形

サイズ10203050

角度調整ねじ一回転当りの調整角度1.4°1.2°1.1°1.3°

外部アブソーバ付

MSQ Series

180°

3°3°

3°3°

22.5°

90°

3°3°

3°3°

22.5°

時計周り

Bポート

反時計周りAポート

位置決めピン穴位置決めピン穴

180°用 90°用

°

°

681囲動揺大最

471囲動揺小最

リ回計時

Aポート

範°69

囲動揺大最

範°48

囲動

揺小最

リ回計時

Aポート

90°

3°3°22.5°

180°

3°3°

3°3°

22.5°

Aポート

Bポート

時計周り

反時計周り

位置決めピン穴

90°用

範°69

囲動揺大最

範°48

囲動

揺小最

リ回計時

Aポート

180°用

°

°

6

81囲動揺大最

471囲動揺小最

位置決めピン穴

リ回計時

Aポート

位置決めピン穴位置決めピン穴

316

各部名称

構成部品

交換部品

部品名セット番号

10P523010-6パッキンセット

備考

部品内訳はP.311記載の交換部品から@7シールワッシャを除いたものです。20

P523020-630

P523030-650

P523040-6

123456789

番号 部品名 材質エンドカバーテーブルアームアブソーバホルダ六角穴付ボルト六角穴付ボルトテーパプラグ六角ナットショックアブソーバ

アルミニウム合金アルミニウム合金クロムモリブデン鋼アルミニウム合金ステンレスステンレス鋼線鋼線―

備考塗装

アルマイトニッケルめっきアルマイト

グリースパック(10g)が付属されます。グリースパックのみ必要な場合は下記品番にて手配してください。グリースパック品番:GR-S-010(10g)

ロータリテーブル/ラックピニオンタイプ MSQ Series

※部品単品での出荷対応は行っておりません。

y q ie trw ou

317

CRB2-Z

CRBU2

CRB1

MSU

CRJCRA1-Z

CRA1

CRQ2

MSQ

MSZCRQ2XMSQX

MRQ

D-

MSQ

外形寸法図/外部アブソーバ付 サイズ10, 20, 30, 50

基本形/MSQB

サイズ

10203050

AA55.4

70.8

75.4

85.4

JB 6.5

8.5

8.5

10.5

JA11

14

14

18

J 6.8

8.6

8.6

10.5

JD12

15

15

18

JC M 8×1.25

M10×1.5

M10×1.5

M12×1.75

KM 8×1

M10×1

M10×1

M14×1.5

PM5×0.8

M5×0.8

Rc1/8※

Rc1/8※

WDM5×0.8

M6×1

M6×1

M8×1.25

S 92

117

127

152

Q34

37

40

46

ND4

4

4

6

NC12.5

16.5

16.5

19.5

NB5.5

8

8

8.5

NA10

14

14

19

SD9

10

11.5

14.5

SE13

12

14

15

SF45

60

65

75

UU47

54

57

66

WA15

20.5

23

26.5

WB3H9

4H9

4H9

5H9

WC3.5

4.5

4.5

5.5

WE 8

10

10

12

WF32

43

48

55

YA19

24

28

33

YB3H9

4H9

4H9

5H9

YC3.5

4.5

4.5

5.5

A50

65

70

80

BA 9.5

12

12

15.5

BB34.5

46

50

63

BC27.8

30

32

37.5

BD 60

76

84

100

CA4.5

6

6.5

10

CB28.5

30.5

33.5

37.5

D45

60

65

75

DD46

61

67

77

DE20H9

28H9

32H9

35H9

DF 6

9

12

13

DG15H9

17H9

22H9

26H9

EA53

61.9

62.1

86.8

EB44.3

55.3

60.3

71.4

EC33.5

43

46

56

ED14

18

19.5

22

EE 97.3

117.2

122.4

158.2

FA 8

10

10

12

FB4

6

4.5

5

FC3

2.5

3

3

FD4.5

6.5

6.5

7.5

GA20

25

27

32

GB15.6

19.5

21.5

28

GC11

14

14

18

GD 7.5

9.5

9.5

11.5

GE45.2

56.4

61.5

72.9

H13

17

17

20

EF 80

100

110

130

(mm)

サイズ

10203050

DH45

60

65

75

DI46

61

67

77

DJ20H8

28H8

32H8

35H8

DK 6

9

12

13

DL15H8

17H8

22H8

26H8

FE10

15.5

16.5

17.5

HA18.5

26

27

30

NE11

17

18

18.5

NF18

25.5

26.5

29.5

UV52.5

63

67

76

(mm)

サイズ

10203050

(mm)

LH

LH

YA 2

YB有効深

YC

矢視図

注1)180°仕様の場合、この部品はありません。

底面位置決めピン穴の位置

対称形

高精度形MSQA

※Rc1/8以外に、G1/8、NPT1/8も選択可能です。

MSQ Series

YB有効深

YC

2 YA

ポート

øDF(貫通)

BD

øDDøD

NA

ND

GD

0.5

GC

NB

NC

WF

有効深

FB

FD

FA

øDE

H

GE(アーム動作範囲)

GA

ED E

C

EF

EB

(M

ax.≒

EE)

(M

ax.≒

EA)

EB

2WA

GB

AA

CB

CA

22.5°

(U

U)

Q有効深

FC

SBABA øDG

SF

BCSE

SD

BB

A

注1

注1

2×J通しJA深座ぐり深JB

2×JC深JD

2×M5×0.8ポート(プラグにて栓)

2×Kショックアブソーバ

8×WD×深WE(周8等分)

2×Pポート

øDK(貫通)

øDIøDH

NF

NE

(U

V)

FE HA

øDJ

øDL

WB有効深

WC

318A

サイズ

10 20 30 50 70100200

揺動角度

190°190°190°190°190°190°190°

A27353949546181

B 45 62 68 83 95108139

90°80°65°50°45°40°35°

動作角度θm10°10°10°10°10°10°10°

応差角度

有接点オートスイッチ 無接点オートスイッチ

A31394353586585

B 49 66 72 87 99112143

42°35°30°24°22°19°14°

動作角度θm10°10°10°10°10°10°10°

応差角度

D-M9□(V), D-M9□W(V)D-A9□, D-A9□V

動作角度 θm:オートスイッチ単体の動作する範囲Lmを軸の揺動角度に換算した値

応差角度  :オートスイッチの応差を角度に換算した値注)上表の値は目安であり、保証するものではありません。実際の設定においてはオートスイッチの作動状態を確認のうえ、調整願います。

サイズ

1237

揺動角度 D-M9□(V), D-M9□W(V)

190°190°190°190°

A20.922.824.428.7

49°50°47°31°

動作角度θm10°10°10°10°

応差角度D-F8□

B16.918.820.424.7

20°20°15°15°

動作角度θm10°10°10°10°

応差角度

無接点オートスイッチ

動作角度 θm:オートスイッチ単体の動作する範囲Lmを軸の揺動角度に換算した値応差角度  :オートスイッチの応差を角度に換算した値注)上表の値は目安であり、保証するものではありません。実際の設定においてはオートスイッチの作動状態を確認のうえ、調整願います。

オートスイッチ適正取付位置(揺動端検出時)

最高感度位置

マグネット

適正取付位置における動作範囲(Lm/2)

オートスイッチ単体の動作範囲 Lm

BBAA

D-F8使用の場合D-M9使用の場合

・サイズ:1~7

・サイズ:10~200

ロータリテーブル/ラックピニオンタイプ MSQ Series

AB

319

CRB2-Z

CRBU2

CRB1

MSU

CRJCRA1-Z

CRA1

CRQ2

MSQ

MSZCRQ2XMSQX

MRQ

D-

MSQ

有効ストローク

アジャストボルト

ショックアブソーバ

◆EG

◆NG

アジャストボルト

対称形

注)

OrderMade

 

MSQ Series

オーダーメイド仕様詳しい寸法・仕様および納期につきましては、当社にご確認ください。

アブソーバの有効ストロークを短くすることで吸収時間を短縮し、タクトタイムの向上が可能

MSQ

接続ポート位置および揺動角度

オーダーメイド仕様

2345

標準形

対称形

180° 90°180° 90°

AB

高精度形基本形

オートスイッチ

サイズ

LH

低エネルギー用ショックアブソーバ高エネルギー用ショックアブソーバ

10203050

ショックアブソーバの種類

B 10 L M9BW2 X

※オートスイッチにつきましてはP.314をご参照ください。

外部アジャストボルト付

X232

サイズ

10203050

低エネルギーショックアブソーバ0.1610.5740.8051.310

高エネルギーショックアブソーバ0.2311.0601.2101.820

許容運動エネルギー(J)

型式表示方法

仕様

外形寸法図

注1)表中に記載の許容運動エネルギーは、ショックアブソーバの全ストロークを使用した場合の値です。アジャストボルトにてショックアブソーバの有効ストロークを短くした場合、許容エネルギーは表中の値より低下しますので、ご注意ください。

注2)タクトタイムの短縮を目的としてショックアブソーバのストローク調整を行う場合、一旦ショックアブソーバの全ストロークを使用する位置に設定し、製品の動作状態を見ながら徐々に有効ストロークを短くする方向に調整してください。

注3)ショックアブソーバは消耗部品です。動作終端でバウンドが発生するなど、エネルギー吸収能力の低下が認められた場合、ショックアブソーバの有効ストロークが長くなるよう位置を再調整してください。全ストロークを使用してもバウンドが抑えられない場合、新しいショックアブソーバへの交換が必要です。

サイズ

10203050

EG47.4

62

67.6

80

NG4.5

4.5

4.8

7

(mm)

※上記以外の寸法は標準品と同一です。注)180°仕様の場合、この部品はありません。

表示記号

-X232外部アジャストボルト付1

320

q速度の調整は低速側より徐々に行ってください。速度の調整は高速側より行いますと機器類の破損を招き人体および機器、装置に損傷を与える原因となります。

速度調整

q無給油対応品なので給油はしないでください。出荷時はグリースにより潤滑されていますので給油しますと製品仕様を満足できない原因となります。

wMSQシリーズはラバークッションまたはショックアブソーバを装備していますので、角度調整を行う場合は加圧状態(最低使用圧力:アジャストボルト付、内部アブソーバ付0.1MPa以上、外部アブソーバ付0.2MPa以上)で行ってください。

qショックアブソーバ固定ナットの締付トルクは下表に従ってください。

サイズ締付トルクN・m 1.67

20 30

10.8

70 100

62.83.14 23.5

wショックアブソーバ底付のねじは絶対にまわさないでください。(調整用のねじではありません。)油漏れの原因となります。

サイズ

エネルギー吸収能力が低下しない最小揺動角度 52° 43° 40° 60° 71° 62° 82°

e内部アブソーバ付の揺動角度を下表の値より小さく設定しますと、アブソーバの有効ストロークよりもピストンのストロークが小さくなり、エネルギー吸収能力が低下しますのでご注意ください。

q作動速度が高く、負荷の慣性が大きい場合には大きなエネルギーがアクチュエータに加わり破損の原因となります。P.22機種の選定手順により適正な作動時間を求めることができます。

wポート口にある固定絞りを再加工等で大きくしないでください。この固定絞り径を大きくしますとアクチュエータの作動速度が増し、衝撃力が増大してアクチュエータが破損する原因となります。

2005010

20 30 70 100 2005010

底部ねじ回転不可

速度調整

警告

給油

注意

q揺動角度の調整ができる角度調整ねじ(アジャストボルトまたはショックアブソーバ)が標準装備されています。角度調整ねじ一回転当りの調整角度を表に示します。揺動方向および揺動角度、揺動角度範囲の設定例については下記ページをご参照ください。 MSQ/サイズ1~7  → P.304 MSQ/サイズ10~200  → P.309 MSQ/外部アブソーバ付 → P.316

外部アブソーバ付の揺動角度調整範囲は各揺動端±3°です。この範囲を越えて調整した場合、ショックアブソーバの耐久性が低下する恐れがありますので、ご注意ください。

アジャストボルト付、内部アブソーバ付

サイズ10203050

角度調整ねじ一回転当りの調整角度1.4°1.2°1.1°1.3°

サイズ 1 2 3 7 10 20 30 50 70100200

角度調整ねじ一回転当りの調整角度 8.2° 10.0° 10.9° 10.2° 10.2° 7.2°6.5°8.2°7.0°6.1°4.9°

外部アブソーバ付

揺動角度の調整

注意

揺動角度の調整

注意

ショックアブソーバ

注意

tショックアブソーバは消耗部品です。エネルギー吸収能力の低下が認められた場合は交換が必要です。

rショックアブソーバ付の製品はスムーズな停止動作を得るためのものでなく、負荷の運動エネルギーを吸収し、製品の破損を防止することを目的としています。負荷をスムーズに停止させる場合には、使用条件にあった適切なサイズのショックアブソーバを製品外部に設置する必要がありますのでご注意願います。

サイズ 10 20 30 50 70100200

ショックアブソーバ型式RBA0805-X692

RBA1006-X692

RBA1411-X692

RBA2725-X821

RBA2015-X821

内部アブソーバ付

サイズ

10

20

30

50

ショックアブソーバ型式RB0805RB0806RB1006RB1007RB1006RB1007RB1411RB1412

タイプ低エネルギー用高エネルギー用低エネルギー用高エネルギー用低エネルギー用高エネルギー用低エネルギー用高エネルギー用

外部アブソーバ付

ロータリテーブル/製品個別注意事項qご使用の前に必ずお読みください。

MSQ Series

注意

321

CRB2-Z

CRBU2

CRB1

MSU

CRJCRA1-Z

CRA1

CRQ2

MSQ

MSZCRQ2XMSQX

MRQ

D-

MSQ

qカタログ仕様範囲内における使用可能な作動回数は100万回を目安としてください。注)寿命回数(適切な交換時期)は常温(20~25℃)時の値です。温度条件などにより異なる場合がありますので、上記作動回数以内でも交換が必要になる場合があります。

下図に示すねじ部は、接続ポートではありません。作動不良を招きますので絶対に取り外さないでください。

サイズ1,2,3,7は、特殊工具を要するため分解できません。サイズ10,20,30,50の高精度形はアンギュラ型ベアリングにテーブルを圧入しているため分解できません。

ショックアブソーバの寿命および交換時期

注意

外部アブソーバ付

注意

●スピードコントローラAS12□1F/エルボタイプAS13□1F/ユニバーサルタイプ

●ワンタッチ管継手ワンタッチ・ミニ KJシリーズ

●ミニチュア管継手 M3シリーズ

サイズ1,2,3の管接続口はM3×0.5を使用していますので、直接スピードコントローラおよび管継手を接続される場合、下記シリーズをご使用ください。

サイズ1,2,3,7で、スイッチ溝1本に2個のオートスイッチを取付けた場合、検出可能な最低揺動角度は以下の値となります。

サイズ1237

検出可能な最低揺動角度25°25°20°20°

スピードコントローラ・管継手

注意

オートスイッチ

注意

保守・点検

注意

ロータリテーブル/製品個別注意事項wご使用の前に必ずお読みください。

MSQ Series

ねじ部

322