ZP3 Series 取付用アダプタ品番

ZP3 Series

アダプタ 適応パッド一覧

P.370

アダプタ型式適応パッド型式

ZP3シリーズページ

ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3A-T1-A3

P.370ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3A-T1-B3

P.370ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3A-T1-A6-B3

P.370

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3A-T2-A5

P.370

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3A-T2-B5

P.370

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3A-T2-A10-B5

P.370

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3A-T2-A10-04

P.370

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3A-T3-A5

P.371

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3A-T3-B5

アダプタ型式適応パッド型式

ZP3シリーズページ

P.371

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3A-T3-A12-B5

P.371

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3A-T3-A12-04

P.371

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3A-T3-A12-06

P.371ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3A-Y1-B3

P.371

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3A-Y2-B5

P.371

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3A-Y3-B5

365

ZP3

ZP3E

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

バッファAss'y品番

ZP3 Series

バッファ 適応パッド一覧

P.372

バッファAss'y型式適応パッド型式

ZP3シリーズページ

ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3B-T1J3-B3

P.372ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3B-T1J6-B3

P.372ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3B-T1K3-B3

P.372ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3B-T1K6-B3

P.372

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-T2AJ3-B5

P.372

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-T2AJ6-B5

P.372

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-T2AJ10-B5

バッファAss'y型式適応パッド型式

ZP3シリーズページ

P.372

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-T2AK3-B5

P.372

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-T2AK6-B5

P.372

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-T2AK10-B5

P.372

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-T2AJB15-B5

P.372

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-T2AJB20-B5

P.372

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-T2AK15-B5

P.372

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-T2AK20-B5

366

バッファAss'y品番

バッファAss'y型式適応パッド型式

ZP3シリーズページ

P.373

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-T2BJ3-B5

P.373

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-T2BJ6-B5

P.373

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-T2BJ10-B5

P.373

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-T2BK3-B5

P.373

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-T2BK6-B5

P.373

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-T2BK10-B5

P.373

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-T2BJB15-B5

P.373

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-T2BJB20-B5

バッファAss'y型式適応パッド型式

ZP3シリーズページ

P.373

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-T2BK15-B5

P.373

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-T2BK20-B5

P.374ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3B-Y1J3-B3

P.374ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3B-Y1J6-B3

P.374ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3B-Y1K3-B3

P.374ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3B-Y1K6-B3

367

バッファ 適応パッド一覧 ZP3 Series

ZP3

ZP3E

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

バッファAss'y品番

バッファAss'y型式適応パッド型式

ZP3シリーズページ

P.374

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-Y2AJ3-B5

P.374

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-Y2AJ6-B5

P.374

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-Y2AJ10-B5

P.374

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-Y2AK3-B5

P.374

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-Y2AK6-B5

P.374

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-Y2AK10-B5

P.374

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-Y2AJB15-B5

P.374

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-Y2AJB20-B5

バッファAss'y型式適応パッド型式

ZP3シリーズページ

P.374

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-Y2AK15-B5

P.374

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3B-Y2AK20-B5

368

ZP3 Series

バッファAss'y品番

P.375

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-Y2BJ3-B5

P.375

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-Y2BJ6-B5

P.375

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-Y2BJ10-B5

P.375

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-Y2BK3-B5

P.375

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-Y2BK6-B5

P.375

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-Y2BK10-B5

バッファAss'y型式適応パッド型式

ZP3シリーズページ

P.375

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-Y2BJB15-B5

P.375

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-Y2BJB20-B5

バッファAss'y型式適応パッド型式

ZP3シリーズページ

P.375

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-Y2BK15-B5

P.375

ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□

ZP3B-Y2BK20-B5

369

バッファ 適応パッド一覧 ZP3 Series

ZP3

ZP3E

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

1.8

M3×0.5六角対辺5

ガスケット

ø2ø1.5ø0.8

2.5

2.55

0.4

1.5

M6×0.75M3×0.5

3.5

10

12

0.4

1.5

ø2ø1.5ø0.8

3.5

M3×0.5六角対辺5

5.5

0.41.5

ø0.8ø1.5

ø2

ガスケット

M5×0.8

ø5

ø3ø1.8

1.4

3.5

5.5

32.5

六角対辺7

六角対辺8

5

M5×0.8

ø8

M10×1

ø5

ø3ø1.8

1.4

3.5

14

5

M5×0.8六角対辺7

7.5

3.5

1.4

ø5

ø3ø1.8

ガスケット

M5×0.8六角対辺10

六角対辺14

二面幅7

ø6ø4

ø1.8

32.55.5

43

32

12

2

2

2

二面幅5ø6

17

3.5

1.4

12

33

2

六角対辺14 適用チューブ径：ø4

二面幅7M10×1

ø8

ø1.8

ø3

ø5

ZP3 Series

取付用アダプタ品番

ZP3-015UZP3-02UZP3-035U

適応パッド品番

ZP3A-T1-A3［質量：0.5g］アダプタ品番

ZP3-015UZP3-02UZP3-035U

適応パッド品番

ZP3A-T1-A6-B3［質量：2.7g］アダプタ品番

ZP3-015UZP3-02UZP3-035U

適応パッド品番

ZP3A-T1-B3［質量：0.8g］アダプタ品番

ZP3-04UMZP3-06UMZP3-08UMZP3-04BZP3-06BZP3-08B

適応パッド品番

ZP3A-T2-A5［質量：1.4g］アダプタ品番

ZP3-04UMZP3-06UMZP3-08UMZP3-04BZP3-06BZP3-08B

適応パッド品番

ZP3A-T2-A10-B5［質量：10.7g］アダプタ品番

ZP3-04UMZP3-06UMZP3-08UMZP3-04BZP3-06BZP3-08B

適応パッド品番

ZP3A-T2-A10-04［質量：9.9g］アダプタ品番

ZP3-04UMZP3-06UMZP3-08UMZP3-04BZP3-06BZP3-08B

適応パッド品番

ZP3A-T2-B5［質量：2.0g］アダプタ品番

ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B

適応パッド品番

ZP3A-T3-A5［質量：2.4g］アダプタ品番

370

真空取出方向縦

7.5

4

1.8

ø6ø4

ø1.8

5

六角対辺10 M5×0.8

適用チューブ径：ø6

ø6ø4

ø1.8

M12×1

426.2 18

5

六角対辺14

六角対辺142

2

1.8

5

M5×0.8 M12×1

六角対辺14

ø6ø4

ø1.8

1.8

42318

5

六角対辺14

22

51.8

4

適用チューブ径：ø4

六角対辺14

六角対辺14

26 18 22

M12×1

ø1.8ø4ø6

ø5M3×0.5

2

11

0.4

1.5

ø2

ø0.8ø1.5

4M3×0.5

3

3

ø8

M5×0.8

2

16

3.5

1.4

ø5

ø3

ø1.8

5

4

M5×0.8

5

ø8

M5×0.8

16

41.8

ø6

ø4

ø1.8

5

4

M5×0.8

5

8

8

8

8

5

5

ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B

適応パッド品番

ZP3A-T3-B5［質量：5.1g］アダプタ品番

ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B

適応パッド品番

ZP3A-T3-A12-04［質量：19.6g］アダプタ品番

ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B

適応パッド品番

ZP3A-T3-A12-06［質量：17.5g］アダプタ品番

ZP3-015UZP3-02UZP3-035U

適応パッド品番

ZP3A-Y1-B3［質量：1.8g］アダプタ品番

ZP3-04UMZP3-06UMZP3-08UMZP3-04BZP3-06BZP3-08B

適応パッド品番

ZP3A-Y2-B5［質量：6.7g］アダプタ品番

ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B

適応パッド品番

ZP3A-Y3-B5［質量：7.1g］アダプタ品番

ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B

適応パッド品番

ZP3A-T3-A12-B5［質量：18.2g］アダプタ品番

真空取出方向縦

真空取出方向横

371

取付用アダプタ品番 ZP3 Series

ZP3

ZP3E

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

22

ø1.5

ø5M3×0.5

二面幅4

六角対辺8

22D

BA

0.4

1.5

ø2

ø1.5ø0.8

M6×0.75

ø7M5×0.8

4二面幅6

B

DA

1.4

3.5

六角対辺7

M8×0.75

六角対辺10

22

ø7M5×0.8

4

ブッシュ

ブッシュ

M8×0.75

二面幅6

ø5

ø1.8ø3

六角対辺7

A

B3.5

六角対辺10

10

ø5

ø3

ø1.8

1.4

ø7

M3×0.5

3

二面幅6

六角対辺10

22D

A

六角対辺5.5B

1.5 ø0.8

ø2

M8×0.75

ZP3B-T1J3-B3ZP3B-T1J6-B3ZP3B-T1K3-B3ZP3B-T1K6-B3

ZP3B-T1J■-B3 ZP3B-T1K■-B3

ZP3B-T2AJ■-B5 ZP3B-T2AK■-B5

ZP3B-T2AJB■■-B5 ZP3B-T2AK■■-B5

バッファAss'y品番 質量（g）3.54.36.78.1

ZP3B-T2AJ3-B5ZP3B-T2AJ6-B5ZP3B-T2AJ10-B5ZP3B-T2AK3-B5ZP3B-T2AK6-B5ZP3B-T2AK10-B5

バッファAss'y品番 質量（g） 7.1 8.310.2 7.0 8.310.2

ZP3B-T2AJB15-B5ZP3B-T2AJB20-B5ZP3B-T2AK15-B5ZP3B-T2AK20-B5

バッファAss'y品番 質量（g）10.010.612.013.1

ZP3 Series

バッファAss'y品番

ZP3-015UZP3-02UZP3-035U

適応パッド品番

寸法表（ストローク別）型式

47

A2128

B1014

DZP3B-T1J3-B3ZP3B-T1J6-B3

寸法表（ストローク別）型式

58

A23.530

B11 14.5

DZP3B-T1K3-B3ZP3B-T1K6-B3

ZP3-04UMZP3-06UMZP3-08UMZP3-04BZP3-06BZP3-08B

適応パッド品番

寸法表（ストローク別）型式

5 812

A24.531 41

B11 14.520.5

D

注）表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。

ZP3B-T2A☆3-B5ZP3B-T2A☆6-B5ZP3B-T2A☆10-B5

ZP3-04UMZP3-06UMZP3-08UMZP3-04BZP3-06BZP3-08B

適応パッド品番

寸法表（ストローク別）型式

30.538

A49 56.5

BZP3B-T2A☆15-B5ZP3B-T2A☆20-B5注）表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。

372

真空取出方向縦

22

ø7M5×0.8

4二面幅6

B

DA

4

1.8

ø6

ø4ø1.8

六角対辺10

M8×0.75

六角対辺10

22

M5×0.8 ø7

ブッシュ

ブッシュ

M8×0.75

二面幅6

六角対辺10

ø6ø4

ø1.8

1.8

4

A

B

六角対辺10

10

4

ZP3B-T2BJB15-B5ZP3B-T2BJB20-B5ZP3B-T2BK15-B5ZP3B-T2BK20-B5

バッファAss'y品番 質量（g）12.515.614.515.6

ZP3B-T2BJ3-B5ZP3B-T2BJ6-B5ZP3B-T2BJ10-B5ZP3B-T2BK3-B5ZP3B-T2BK6-B5ZP3B-T2BK10-B5

バッファAss'y品番 質量（g） 7.8 8.910.9 7.7 8.910.9

※ナットの締付トルクについては、P.322をご参照ください。

ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B

適応パッド品番

寸法表（ストローク別）型式

5 812

A24.531 41

B11 14.520.5

D

注）表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。

ZP3B-T2B☆3-B5ZP3B-T2B☆6-B5ZP3B-T2B☆10-B5

寸法表（ストローク別）型式

30.538

A49 56.5

BZP3B-T2B☆15-B5ZP3B-T2B☆20-B5

ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B

適応パッド品番

ZP3B-T2BJ■■-B5 ZP3B-T2BK■■-B5

ZP3B-T2BJB■■-B5 ZP3B-T2BK■■-B5

注）表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。

373

真空取出方向縦

バッファAss'y品番 ZP3 Series

ZP3

ZP3E

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

22

1.5

M8×0.75

ø5二面幅4

M6×0.75

六角対辺8

BA

10

0.4

1.5

22D

M3×0.5

43

ø2

8

8

ø1.5ø0.8

ø7二面幅6

M8×0.75

M5×0.8

54

1.4

12A

BD

六角対辺10

8

8

ø5ø3

ø1.8

3.5

8

8

ø7二面幅6

1.4

3.5

12

AB

10

六角対辺10

22

M5×0.8

54

ø5ø3ø1.8

ブッシュ

M8×0.75

ø7二面幅6

六角対辺10

22D

A

B

ø0.8

ø2ø1.5

3

M3×0.5

ZP3B-Y1J3-B3ZP3B-Y1J6-B3ZP3B-Y1K3-B3ZP3B-Y1K6-B3

バッファAss'y品番 質量（g） 7.6 8.510.912.1

ZP3B-Y2AJ3-B5ZP3B-Y2AJ6-B5ZP3B-Y2AJ10-B5ZP3B-Y2AK3-B5ZP3B-Y2AK6-B5ZP3B-Y2AK10-B5

バッファAss'y品番 質量（g）12.513.916.311.913.115.1

ZP3B-Y2AJB15-B5ZP3B-Y2AJB20-B5ZP3B-Y2AK15-B5ZP3B-Y2AK20-B5

バッファAss'y品番 質量（g）14.014.815.216.3

ZP3-015UZP3-02UZP3-035U

適応パッド品番

寸法表（ストローク別）型式

1417

A31 37.5

B11 14.5

DZP3B-Y1K3-B3ZP3B-Y1K6-B3

寸法表（ストローク別）型式

1417

A2734

B1014

DZP3B-Y1J3-B3ZP3B-Y1J6-B3

ZP3-04UMZP3-06UMZP3-08UMZP3-04BZP3-06BZP3-08B

適応パッド品番

寸法表（ストローク別）型式

16.519 23

A344050

B11 14.520.5

D

注）表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。

ZP3B-Y2A☆3-B5ZP3B-Y2A☆6-B5ZP3B-Y2A☆10-B5

ZP3-04UMZP3-06UMZP3-08UMZP3-04BZP3-06BZP3-08B

適応パッド品番

寸法表（ストローク別）型式

36.544

A53 60.5

BZP3B-Y2A☆15-B5ZP3B-Y2A☆20-B5注）表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。

ZP3B-Y1J■-B3 ZP3B-Y1K■-B3

ZP3B-Y2AJ■■-B5 ZP3B-Y2AK■■-B5

ZP3B-Y2AJB■■-B5 ZP3B-Y2AK■■-B5

374

真空取出方向横

ZP3 Series

4

1.8

M5×0.8

ø7

二面幅6

六角対辺10

22

12

DA

B

8

8

ø1.8

ø6ø4

4

5

M8×0.75

8

8

二面幅6

六角対辺10 ø7

ブッシュ

B10

A

12

41.8

22

M8×0.75

4

M5×0.85

ø1.8ø4

ø6

ZP3B-Y2BJ3-B5ZP3B-Y2BJ6-B5ZP3B-Y2BJ10-B5ZP3B-Y2BK3-B5ZP3B-Y2BK6-B5ZP3B-Y2BK10-B5

バッファAss'y品番 質量（g）13.014.316.712.413.615.5

ZP3B-Y2BJB15-B5ZP3B-Y2BJB20-B5ZP3B-Y2BK15-B5ZP3B-Y2BK20-B5

バッファAss'y品番 質量（g）14.415.215.616.7

ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B

適応パッド品番

ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B

適応パッド品番

寸法表（ストローク別）型式

36.544

A53 60.5

BZP3B-Y2B☆15-B5ZP3B-Y2B☆20-B5

寸法表（ストローク別）型式

16.519 23

A344050

B11 14.520.5

D

注）表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。

ZP3B-Y2B☆3-B5　ZP3B-Y2B☆6-B5　ZP3B-Y2B☆10-B5

※ナットの締付トルクについては、P.322をご参照ください。

ZP3B-Y2BJ■■-B5 ZP3B-Y2BK■■-B5

ZP3B-Y2BJB■■-B5 ZP3B-Y2BK■■-B5

注）表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。

375

真空取出方向横

バッファAss'y品番 ZP3 Series

ZP3

ZP3E

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3